JP3994561B2 - ガスセンサ - Google Patents

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    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/26Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
    • G01N27/403Cells and electrode assemblies
    • G01N27/406Cells and probes with solid electrolytes
    • G01N27/407Cells and probes with solid electrolytes for investigating or analysing gases

Description

【0001】
【技術分野】
本発明は,例えば排ガス中の酸素ガス濃度等,被測定ガス中の特定ガス成分濃度を測定できるガスセンサに関する。
【0002】
【従来技術】
各種ガスセンサにおいて,特定ガス成分の濃度を検出するための検出素子と,これを気密的に挿入配置したハウジングとよりなるものがよく知られている。この場合,上記検出素子の上部は基準ガスとなる大気が導入された大気側空間部に面しており,また上記検出素子の下部は検出対象となる特定ガス成分が含まれている被測定ガスが導入された被測定ガス側空間部に面している。
【0003】
【解決しようとする課題】
しかしながら,このようなガスセンサの製造の際に,従来,以下に示す問題が生じていた。
検出素子は一般にセラミック製の固体電解質体に電極や出力取り出し用の線材が固定されて構成されており,強度が低く,脆いものである。
また,ガスセンサは,検出素子とハウジングとの間の気密的な接触によって大気側空間部と被測定ガス側空間部とが区分けされ,大気と被測定ガスとが混じらないように構成されている。
【0004】
このため,ガスセンサの製造において,検出素子とハウジングとの間の気密性を高めるために,両者に対し大きな圧力をかけて検出素子の固定を試みた場合には,検出素子が割れてしまうおそれがあった。
反対に,検出素子のガスセンサ製造時の割れを防止するために検出素子の固定の際の圧力を小さくした場合には,検出素子とハウジングとの間の気密性が不充分となり,大気と被測定ガスとが混じりあい,測定精度が悪化するおそれがあった。
【0005】
本発明は,かかる従来の問題点に鑑みてなされたもので,製造時の検出素子の割れ,欠け等を防止でき,検出素子とハウジングとの間に充分な気密性を確保することができるガスセンサを提供しようとするものである。
【0006】
【課題の解決手段】
請求項1に記載の発明は,一端が大気側空間部に曝されており,他端が被測定ガス側空間部に曝されていると共に,外側面にフランジ部を有する検出素子と,
該検出素子が挿入可能で,内側面に内方に向かう第1段部と第2段部とを有する第1挿入孔を有すると共に,上記第2段部は上記検出素子のフランジ部が当接可能となるよう構成されているハウジングとを有し,
該ハウジングの大気側空間部側の端部と上記ハウジングの第段部との間には,上記ハウジングと上記検出素子との間を気密的に封止するシール用粉末と,該シール用粉末の大気側空間部に面して配置された絶縁シール部材と,該絶縁シール部材と上記ハウジングの大気側空間部側の端部との間に設けられる金属リングとのみが配設されており,上記ハウジングの大気側空間部側の端部が上記被測定ガス側空間部側に押し付けられるようにして上記絶縁シール部材をかしめ固定するガスセンサにおいて,
上記ハウジングの大気側空間部側の内径hと検出素子の大気側空間部側の外径S1との差(h−S1)をa,上記検出素子の外径S1と上記検出素子における上記フランジ部の外径S2との差(S2−S1)をbとすると,0.2≦b/a≦0.5であることを特徴とするガスセンサにある。
【0007】
本発明において最も注目すべきことは,ハウジングの内径hと検出素子の外径S1との差(h−S1)をa,検出素子の外径S1とフランジ部の外径S2との差(S2−S1)をbとすると,0.2≦b/a≦0.5という関係が成り立つことである。
【0008】
上記ハウジングにおける中心軸と,該中心軸から垂直に引き出した直線と,該直線がハウジングの内側面と交わる交点とを考えた場合,ハウジングの内径とは中心軸から交点までの距離の2倍である(または,後述する図2,3に示すごとく,ハウジングの横断面の直径である)。
そして,ハウジングの内側面は第1段部,第2段部等を有し,内径が部分的に異なる(後述の図2,図3参照)。
【0009】
ここに,本発明においては,上記大気側空間部と対面するハウジングの端部から上記第1段部に至る部分でのハウジングの内径が『大気側空間部側における内径h』である(後述の図2,図3参照)。
【0010】
また,検出素子における中心軸と,該中心軸から垂直に引き出した直線と,該直線が検出素子の外側面と交わる交点を考えた場合,中心軸から交点までの距離の2倍が上記検出素子の外径となる(または,後述する図2,図3に示すごとく,検出素子横断面の直径である)。
ここに,本発明においては,フランジ部以外の外側面で,フランジ部の位置よりも大気側空間部側での外径が『検出素子の外径S1』である。また,上記フランジ部における外径がS2である(後述の図2,図3参照)。
【0011】
h−S1がaであり,hやS1が複数の値をとることが考えられるため,最も小さくなる値を本発明にかかるaとして採用する。また,S2−S1がbであり,これについても最も小さくなる値を本発明にかかるbとして採用する。
【0012】
そして,b/aの値が0.2未満である場合には,気密性が不充分となり,大気と被測定ガスとが混じりあい,測定精度が悪化するおそれがある。一方,0.5より大である場合には,気密性を高めるために大きな圧力をかける必要がありその結果,検出素子に割れ,かけが生じるおそれがある。
【0013】
また,b/aは0.25〜0.4とすることがより好ましい。部品寸法のバラツキや製造でのバラツキを考慮すると,b/aをこのような範囲とすることで,気密性が確実に得られ,かつより安価に製造することができる。
【0014】
次に,本発明の作用につき説明する。
本発明にかかるガスセンサにおいてb/aは0.2〜0.5の範囲内にある。このため,シール用粉末の充填密度を上げることができるため,検出素子の割れを防止しつつ,大きな圧力でもって検出素子をハウジングに対し組み付けることができる。
このため,検出素子とハウジングとの間で高い気密性を実現することができるため,大気側空間部と被測定ガス側空間部との間で大気や被測定ガスが互いに混じることが防止され,高い検出精度を持ったガスセンサを得ることができる。
【0015】
以上,本発明によれば,製造時の検出素子の割れ,欠け等を防止でき,検出素子とハウジングとの間に充分な気密性を確保することができるガスセンサを提供することができる。
【0016】
なお,上記検出素子としては,コップ型の形状を有し,内部に大気室を設けた固体電解質体と,該固体電解質体の外側面に設けた外側電極,大気室を構成する内側面に設けた内側電極とよりなり,これらの電極から得られる出力を取り出すための出力取り出しリード線等より構成されたものを使用することができる。
また,外側電極と内側電極とを設けた板状の固体電解質体に,絶縁基板を積層する等して構成した積層型の検出素子を使用することができる。
【0017】
また,上記検出素子としては,例えば酸素濃度検出素子,空燃比検出素子,NOx濃度検出素子,CO濃度検出素子等として機能するものを使用できる。
また,上記シール用粉末としては,タルク等のセラミック粉体を使用することができる。
【0018】
また,一端が大気側空間部に曝されており,他端が被測定ガス側空間部に曝されていると共に,外側面にフランジ部を有する検出素子と,
該検出素子が挿入可能な第1挿入孔を有するハウジングと,
上記第1挿入孔の内側面に配置され,上記検出素子が挿入可能な第2挿入孔を有すると共に内方に向かう第1段部と第2段部とを有し,上記第2段部は上記検出素子のフランジ部が当接可能となるよう構成されている絶縁碍子と,
上記絶縁碍子の第1段部と上記検出素子との間に充填することにより,上記ハウジングと上記検出素子との間を気密的に封止するシール用粉末とよりなるガスセンサにおいて,
上記ハウジングの大気側空間部側の内径hと検出素子の大気側空間部側の外径S1との差(h−S1)をa,上記検出素子の外径S1と上記検出素子における上記フランジ部の外径S2との差(S2−S1)をbとすると,0.2≦b/a≦0.5であることを特徴とするガスセンサある。
【0019】
上記第1段部,第2段部は,絶縁碍子における第2挿通孔の内側面に設けることもできるが,第1段部を上記絶縁碍子の大気側空間部側の端面に設け,第2段部を第2挿通孔の内側面に設けることもできる(図6〜図8参照)。
【0020】
本発明にかかるガスセンサにおいてb/aは0.2〜0.5の範囲内にある。このため,シール用粉末の充填密度を上げることができるため,検出素子の割れを防止しつつ,大きな圧力でもって検出素子を絶縁碍子を介してハウジングに対し組み付けることができる。
このため,検出素子とハウジングとの間で高い気密性を実現することができるため,大気側空間部と被測定ガス側空間部との間で大気や被測定ガスが互いに混じることが防止され,高い検出精度を持ったガスセンサを得ることができる。
なお,その他詳細は請求項1と同様である。
【0021】
以上,本発明によれば,製造時の検出素子の割れ,欠け等を防止でき,検出素子とハウジングとの間に充分な気密性を確保することができるガスセンサを提供することができる。
【0022】
また,上記絶縁碍子と上記ハウジングとの間には環状の金属製のシールリング等を配置し,両者の間の気密固定を行うことが好ましい(図6,図7参照)。または,他の絶縁碍子を配置することが好ましい(図8参照)。
【0023】
次に,請求項2記載の発明のように,上記大気側空間部を内側に形成する大気側カバーは,上記ハウジングの一端の外周側面に固定されていることが好ましい。
次に,請求項3記載の発明のように,上記第2段部と上記検出素子のフランジ部との間には,シールリングが配置されていることが好ましい。
これにより,第2段部とフランジ部との間の気密性をより高めることができる。
また,上記シールリングは,例えば耐熱性に優れたステンレス鋼,銅,ニッケル等よりなる環状の薄板より構成することができる。
【0024】
次に,請求項4記載の発明のように,上記シール用粉末は大気側空間部に面して配置された絶縁シール部材により圧縮充填されており,上記絶縁シール部材の下面は外方に向かって上昇するテーパー部を有することが好ましい。
【0025】
絶縁シール部材を設けることで,シール用粉末の充填密度をさらに高くすることができ,ハウジングと検出素子との間により高い気密性を得ることができる。また,検出素子からの出力がハウジングに対し,リークすることを防止することができる。また,テーパー部を設けることで,組み付け時の絶縁シール部材の割れや欠けを防止することができる。
また,上記絶縁シール部材は,例えば,耐熱性に優れた絶縁セラミック板等より構成することができる。
【0026】
次に,請求項5記載の発明のように,上記大気側空間部はハウジングの一端に配置された大気側カバーにより形成され,また上記被測定ガス側空間部は他端に配置された被測定ガス側カバーにより形成されていることが好ましい。
このような構成とすることで,確実に分離された大気側空間部と被測定ガス空間部とを得ることができる。
【0027】
【発明の実施の形態】
実施形態例1
本発明の実施形態例にかかるガスセンサを図1〜図5を用いて説明する。
本発明のガスセンサは酸素センサで,自動車用内燃機関等の排気系に設置して,内燃機関の燃焼制御に使用するものである。
【0028】
図1に示すごとく,本例のガスセンサ1は,検出素子3と,該検出素子3を気密的に挿入配置した略円筒形のハウジング2とよりなり,上記検出素子3の一端は大気側カバー111,112に被われた大気側空間部291に面しており,また上記検出素子3の他端は被測定ガス側カバー121,122に被われた被測定ガス側空間部292に面している。
【0029】
上記ハウジング2は第1挿入孔を有し,その内側面20は,ハウジング2の内方に向かう第1段部201と第2段部202とを有してなり,また,上記検出素子3の外側面30はフランジ部310を有してなる。
そして,上記フランジ部310は上記第2段部202に対し上記被測定ガス側空間部292に面したシールリング21を介して配置され,上記フランジ部310と上記第1段部201との間にはシール用粉末22が充填され,該シール用粉末22は大気側空間部291に面した絶縁シール部材23により圧縮充填されている。
【0030】
上記ハウジング2の大気側空間部291側の内径hと検出素子3の外径S1との差(h−S1)をa,上記検出素子3の外径S1と上記検出素子3における上記フランジ部310の外径S2との差(S2−S1)をbとすると,本例のガスセンサにおいては0.2≦b/a≦0.5という関係が成立する。
【0031】
以下,詳細に説明する。
図1,図2に示すごとく,本例のガスセンサ1は,略円筒形状で内側面20により形成された第1挿通孔を有するハウジング2と第1挿入孔に気密的に挿入配置された検出素子3とよりなる。
図2に示すごとく,この気密的な挿入は,ステンレス鋼よりなる薄板のシールリング21,充填され圧縮されているため密度が高まり,ガスを透過し難い状態にあるタルクよりなるシール用粉末22,緻密なアルミナのセラミックよりなる絶縁シール部材23によって実現されている。
【0032】
この絶縁シール部材23は円筒形であり,円筒の外側面がハウジング2の内側面20と対面し,円筒の内側面が検出素子3と対面する。その上端は金属リング250等を介して大気側空間部291と対面する。
また,上記絶縁シール部材23の下面230は外方に向かって広がるテーパー部となっている。
また,上記シールリング21は被測定ガス側空間部292と対面する。
【0033】
また,後述するごとく,上記絶縁シール部材23はハウジング2の上端25と金属リング250とによって下方に押しつけられるようにしてかしめ固定されている。このかしめ固定の際の下方への押圧力がシール用粉末22を圧縮し,該シール用粉末22の密度を高め,気密性を発揮させるのである。
【0034】
そして,図2,図3(a),(b)に示すごとく,ハウジング2の内側面20が絶縁シール部材23と対面する部分での内径hと検出素子3の外径S1との差h−S1をaとする。また,フランジ部310での検出素子3の外径S2と上記S1との差S2−S1をbとする。
本例のガスセンサ1においては,h=13.2mm,S1=8.8mm,S2=10.4mmであり,よってb/aは0.36である。
【0035】
ハウジング2の下端に検出素子3を保護し,被測定ガス側空間部292を形成するための第1及び第2保護カバー121,122が設けてある。また,第1及び第2保護カバー121,122にはそれぞれ被測定ガスを導入する導入孔120が設けてある。
【0036】
上記ハウジング2の上端外方には第1外側カバー111が設けてあり,該第1外側カバー111の上部外方には撥水フィルタ113を介して第2外側カバー112が設けてある。
第1及び第2外側カバー111,112の内部にはインシュレータ13及びゴムブッシュ14がかしめ固定されている。インシュレータ13及びゴムブッシュ14の内部には検出素子3と該検出素子3に挿入固定したヒータ39へ接続されるリード線391,381,382が挿通配置される。
【0037】
また,上記検出素子3は,内部に大気室390を有するコップ型の酸素イオン導電性の固体電解質体31と,該固体電解質体31の外側面30に設けた外側電極(図示略),大気室390を構成する内側面(図示略)に設けた内側電極とよりなる。上記固体電解質体31は部分安定化ジルコニアよりなり,外側電極,内側電極はPtよりなる。
また,上記大気室390にはヒータ39が挿入固定され,また,ヒータ39内部の発熱体に通電するための通電線393が接続されている。
【0038】
そして,上記検出素子3は大気室390に面した内側電極と被測定ガスに面した外側電極との間に生じる起電力を出力取り出しリード線383,384によってガスセンサ1外部に取り出して,被測定ガス中の酸素ガス濃度を測定するよう構成されている。
【0039】
また,本例のガスセンサ1において,第1及び第2外側カバー111,112には大気導入用の孔110が設けてある。この孔110から導入された大気がガスセンサ1内の隙間などを伝って大気側空間部291に到達するのである。大気側空間部291には上記検出素子3の大気室390が開口しており,導入された大気は最終的に大気室390に達する。
【0040】
次に,本例のガスセンサ1を組み立てる方法について説明する。
図4(a)に示すごとく,ハウジング2を準備した。このハウジング2の下端に被測定ガス側カバー121,122をかしめ固定し,次いで第二段部202に対しシールリング21を配置した。
次に,シールリング21の上に検出素子3のフランジ部310を接触させて,検出素子3を配置した。次いで,検出素子3のフランジ部310と第1段部201との間にシール用粉末22であるタルクを充填し,その後,図4(b)に示すごとく,シール用粉末22の上に絶縁シール部材23を配置した。その後,絶縁シール部材23上からプレス機を用いて加圧した。
【0041】
その後,図4(c)に示すごとく,かしめ用の金属リング250を配置して,ハウジング2の上端部25を該金属リング250に巻きつけて,包みかしめを行った。
続いて,加圧と同時に電流を流して熱かしめを行った。
以上のかしめによりシール用粉末22が更に圧縮され,充分な気密性を持った状態まで圧縮することができる。
【0042】
その後,検出素子3の大気室390にヒータ39を固定し,続いてハウジング2の上部外周に大気側カバー111を取りつけ,該カバー111の外周に撥水フィルタ113を大気側カバー112でかしめ固定して取りつけた。
【0043】
そして,これらのカバー111,112内にインシュレータ13やゴムブッシュ14を配置した。インシュレーター13やゴムブッシュ14内に検出素子3やヒータ39からの出力取り出しリード線383,384,通電線393等を配設し,大気側カバー111,112の外方からかしめて固定して,ガスセンサ内部の気密性を確保した。
以上により本例にかかるガスセンサを組み立てることができた。
【0044】
次に,本例にかかる構造のガスセンサで,b/aの値が0.1,0.2,0.3,0.4,0.5,0.6であるガスセンサを準備し,これらのそれぞれについて気密もれ量と検出素子の破壊確率を測定し,この測定結果を図5に記載した。
ここに気密もれ量はエアリークテスタを用いて測定した。
また,破壊確率は,検出素子を目視観察により割れ欠けを判定し,試験数に対する割れ欠けの割合により求めた。
【0045】
図5に示すごとく,以上の測定結果より,0.2≦b/a≦0.5が成立するガスセンサについては気密もれ量は殆ど0であり,破壊確率も殆ど0であることが分かった。0.2未満となった場合,気密もれが発生し,また,0.5より大きくなった場合,検出素子とハウジングとの組み付けの際に検出素子の破壊が生じることが分かった。
【0046】
次に,本例の作用効果について説明する。
本例のガスセンサにおいて,b/aは0.2〜0.5の範囲内にある。このため,上述した図5より知れるごとく,検出素子とハウジングとの組み付けの際に検出素子が割れたり欠けたりすることが殆どなく,また気密もれも生じない。
【0047】
本例のガスセンサは酸素センサで,大気室390に接する内側電極と,被測定ガスに接する外側電極との間で,大気室と被測定ガス側空間部との酸素ガス濃度の違いに対応した起電力が発生し,この起電力を測定することで被測定ガス側空間部の酸素ガス濃度が測定できるのである。
仮に被測定ガス側空間部292に大気側空間部291から大気が流れ込んだ場合,逆に被測定ガス側空間部292から大気側空間部291を経由して大気室390に被測定ガスが流れ込んだ場合には,正しい酸素ガス濃度が測定できなるなるおそれがある。
【0048】
本例のガスセンサは検出素子とハウジングとの間で高い気密性を実現することができるため,大気側空間部と被測定ガス側空間部との間で大気や被測定ガスが互いに混じることが防止される。
よって,本例によれば,高い検出精度を持ったガスセンサを得ることができる。
【0049】
以上,本例によれば,製造時の検出素子の割れ,欠け等を防止でき,検出素子とハウジングとの間に充分な気密性を確保することができるガスセンサを提供することができる。
【0050】
本実施形態例は起電力式の酸素センサを用いて説明したが,限界電流式等の他の方式の酸素センサ等においても同様の効果を得ることができる。
また,コップ状の検出素子だけでなく,積層型の検出素子を用いても同様の効果を得ることができる。更に,酸素センサのみでなく,NOxセンサ,COセンサ,HCセンサ等の他のガスセンサであっても同様の効果を得ることができる。
【0051】
参考例
本例のガスセンサは図6〜図8に示すごとく,ハウジングの第1挿入孔に略円筒形状の絶縁碍子が配置され,該絶縁碍子に第1段部と第2段部が設けてあり,上記第2段部に検出素子が配置されている。
【0052】
図6,図7に示すごとく,ハウジング2の内側面20には段部205が設けてあり,該段部205に対しシールリング411を介して絶縁碍子4が配置されている。
この絶縁碍子4の第2挿入孔を構成する内側面40には第2段部402が設けてあり,絶縁碍子4の内側面20と大気側空間部側の端面409にかけて第1段部401が設けてある。
【0053】
そして,上記第1段部401にはシールリング412を介して検出素子3のフランジ部310が配置してある。上記検出素子3の外側面30と上記第1段部401との間にはシール用粉末22が充填され,該シール用粉末22は絶縁シール部材231,232によりにより圧縮充填されている。
【0054】
そして,上記絶縁シール部材232の上方ではハウジング2の上端とかしめ部材117とによって大気側カバー117の下端がかしめ固定されている。
上記大気側カバー117の上方ではこれとは別の大気側カバー119が固定され,この大気側カバー119の上方においては撥水フィルタ113を介して大気側カバー112がかしめ固定されている。
その他は実施形態例1と同様である。
【0055】
本例にかかるガスセンサにおいても,実施形態例1と同様に検出素子3とハウジング2との間で高い気密性を実現することができるため,大気側空間部291と被測定ガス側空間部292との間で大気や被測定ガスが互いに混じることが防止される。
よって,本例によれば,高い検出精度を持ったガスセンサを得ることができる。
【0056】
また,本例の異なる構造例として,図8に示すごときガスセンサがある。
このガスセンサ1においても,ハウジング2の内側面20には段部205が設けてあり,該段部205に対し他の絶縁碍子421を介して絶縁碍子4が配置されている。
この絶縁碍子4の第2挿入孔を構成する内側面40には第2段部402が設けてあり,絶縁碍子4の内側面20と大気側空間部側の端面409にかけて第1段部401が設けてある。
【0057】
そして,上記第1段部401には検出素子3のフランジ部310が配置してある。上記検出素子3の外側面30と上記第1段部401との間にはシール用粉末22が充填され,該シール用粉末22は絶縁シール部材241,242により圧縮充填されている。
【0058】
そして,上記絶縁シール部材242の上方ではハウジング2の上端とかしめ部材117とによって大気側カバー111の下端がかしめ固定されている。
上記大気側カバー111の上方では撥水フィルタ113を介して大気側カバー112がかしめ固定されている。
その他は実施形態例1と同様である。
【図面の簡単な説明】
【図1】 実施形態例1における,ガスセンサの縦断面説明図。
【図2】 実施形態例1における,ガスセンサの要部縦断面説明図。
【図3】 実施形態例1における,(a)図2におけるA−A矢視断面図,(b)図2におけるB−B矢視断面図。
【図4】 実施形態例1における,ハウジングに対し検出素子を気密配置する際の説明図。
【図5】 実施形態例1における,b/aの値と気密もれ量,破壊確率との間の関係を示す線図。
【図6】 参考例における,絶縁碍子を有するガスセンサの縦断面説明図。
【図7】 参考例における,ガスセンサの要部縦断面説明図。
【図8】 参考例における,絶縁碍子を有する他のガスセンサの縦断面説明図。
【符号の説明】
1...ガスセンサ,
2...ハウジング,
20...内側面,
201...第1段部,
202...第2段部,
21...シールリング,
22...シール用粉末,
23...絶縁シール部材,
292...被測定ガス側空間部,
291...大気側空間部,
3...検出素子,
310...フランジ部,
4...絶縁碍子,

Claims (5)

  1. 一端が大気側空間部に曝されており,他端が被測定ガス側空間部に曝されていると共に,外側面にフランジ部を有する検出素子と,
    該検出素子が挿入可能で,内側面に内方に向かう第1段部と第2段部とを有する第1挿入孔を有すると共に,上記第2段部は上記検出素子のフランジ部が当接可能となるよう構成されているハウジングとを有し,
    該ハウジングの大気側空間部側の端部と上記ハウジングの第段部との間には,上記ハウジングと上記検出素子との間を気密的に封止するシール用粉末と,該シール用粉末の大気側空間部に面して配置された絶縁シール部材と,該絶縁シール部材と上記ハウジングの大気側空間部側の端部との間に設けられる金属リングとのみが配設されており,上記ハウジングの大気側空間部側の端部が上記被測定ガス側空間部側に押し付けられるようにして上記絶縁シール部材をかしめ固定するガスセンサにおいて,
    上記ハウジングの大気側空間部側の内径hと検出素子の大気側空間部側の外径S1との差(h−S1)をa,上記検出素子の外径S1と上記検出素子における上記フランジ部の外径S2との差(S2−S1)をbとすると,0.2≦b/a≦0.5であることを特徴とするガスセンサ。
  2. 請求項1において,上記大気側空間部を内側に形成する大気側カバーは,上記ハウジングの一端の外周側面に固定されていることを特徴とするガスセンサ。
  3. 請求項1または2において,上記第2段部と上記検出素子のフランジ部との間には,シールリングが配置されていることを特徴とするガスセンサ。
  4. 請求項1〜3のいずれか一項において,上記シール用粉末は大気側空間部に面して配置された絶縁シール部材により圧縮充填されており,上記絶縁シール部材の下面は外方に向かって上昇するテーパー部を有することを特徴とするガスセンサ。
  5. 請求項1〜4のいずれか一項において,上記大気側空間部はハウジングの一端に配置された大気側カバーにより形成され,また上記被測定ガス側空間部は他端に配置された被測定ガス側カバーにより形成されていることを特徴とするガスセンサ。
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