JP3987745B2 - スラストプレートの製造方法、動圧軸受用シャフトの製造方法、動圧軸受、スピンドルモータ、及び記録ディスク駆動装置 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、外周面がラジアル軸受部の一部を構成するシャフト本体とともに動圧軸受用シャフトを構成するためのスラストプレートの製造方法に関する。本発明は、特に、シャフト本体が嵌合する中心孔が形成された円環形状であり、両端面にスラスト軸受部の一部を構成するスラスト面が形成されたスラストプレートの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ハードディスク等の記録ディスク駆動装置は、記録ディスクと同心に配置された回転駆動用のスピンドルモータを装置内に有している。このスピンドルモータは、主に、電機子コイルを有するステータが固定された静止部材と、ステータに対向するロータマグネットが固定された回転部材と、回転部材を静止部材に回転自在に支持する軸受機構とから構成されている。
【０００３】
軸受機構としては、高速化及び低振動（騒音）を目的に流体動圧軸受が採用されている。流体動圧軸受は、シャフトとスリーブの間の微小間隙に配置されたオイル等の潤滑流体と、対向面に形成された動圧発生用溝とからなるラジアル・スラスト軸受部とから構成されている。
具体的な構成として、特開２０００−１３４８９７号公報に開示された、動圧軸受を使用したハードディスクドライブ用のスピンドルモータを説明する。このスピンドルモータは、静止部材と、回転部材と、その間に設けられた軸受機構とから構成されている。
【０００４】
静止部材は、ハードディスクドライブのベースに固着されるモータフレーム１０と、それに同心状に一体に設けられた円筒状ボス部と、その内周面に嵌合固定されたスリーブ１４とから構成されている。ボス部の外周面には、ステータ２０が外嵌固定されている。
回転部材は、ロータハブ１６と、それに一体に設けられたシャフト２２とから構成されている。ロータハブ１６には記録ディスクが搭載されている。さらに、ロ一夕ハブ１６の下部外周壁の内側に、ステータ２０に対して径方向に対向して環状のロ一夕マグネット１８が装着されている。シャフト２２はスリーブ１４の内側に回転可能に配置され、シャフト２２の外周面とスリーブ１４の内周面との対向面において、その一方若しくは両方にヘリングボーン状の動圧発生用溝を形成しかつこの対向面間にオイル等の潤滑剤を充填して、上下一対のラジアル動圧軸受部が形成されている。シャフトの下端に設けたスラストプレート（番号なし）はスリーブ１４の下端大径部に収容され、このスリーブ１４の下端大径部を閉塞するようにスラストカバー１２がモータフレーム１０のボス部下端開口部に嵌合固定されている。スラストプレートの上面とこれに対向するスリーブ１４のスラスト面との一方若しくは両方にはヘリングボーン状若しくはスパイラル状の動圧発生用溝が形成され、この対向面に潤滑剤を充填し、上部スラスト動圧軸受部が形成されている。スラストプレートの下面とこれに対向するスラストカバー１２との一方若しくは両方にはヘリングボーン状若しくはスパイラル状の動圧発生用溝が形成され、この対向面に潤滑剤を充填し、下部スラスト動圧軸受部が形成されている。
【０００５】
このような構成の動圧軸受スピンドルモータにおいては、ステ一夕２０のコイルに通電することにより、ステータ２０の回転磁界とロータマグネット１８の多極磁界との電磁相互作用により回転トルクが発生し、口ータハブ１６、シャフト２２及び回転負荷（記録ディスク）を含む回転部材が回転する。この回転時、シャフト２２とスリーブ１４との間に形成された上下一対のラジアル動圧軸受部により回転部材のラジアル負荷が支持され、スラストプレートとスリーブ１４及びスラストカバー１２とのそれぞれの間に形成された一対のスラスト動圧軸受部により回転部材のスラスト荷重が支持される。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上述したような動圧軸受では、動圧軸受用シャフトは、シャフト本体側でラジアル動圧軸受部を形成するとともにスラストプレートの両面でスラスト動圧軸受部を形成する構造であることから、シャフト本体外周面とスラストプレート平面との直角度に高精度が要求される。具体的には、通常、シャフト本体外周面とスリーブ内周面との間のラジアル軸受部におけるラジアル間隙は数μm、スラストプレート両面とスリーブ及びスラストカバーとの間のスラスト軸受部におけるスラスト間隙は１０μm前後であり、以上よりシャフトの軸心線に対するスラストプレート平面の直角度は数μm以内の精度が要求されることになる。
【０００７】
その一方で、前述の特開２０００−１３４８９７号公報で開示された動圧軸受用シャフトは、シャフト本体とスラストプレートとを別部品とした上でスラストプレートの中心孔にシャフト本体の端部を圧入して固着させているため、シャフトを一体部材から削り出しで切削加工するシャフト製造方法に比べて、シャフト本体の軸心線に対するスラストプレート平面の直角度を得ることが困難である。一方、スラストプレートの中心孔に対するシャフト本体の圧入時の精度は、治具により確保することが可能である。つまり、スラストプレート平面に対する中心孔の直角度が十分高精度に得られれば（直角度精度が数μm以内であれば）、回転振れ精度の良好な動圧軸受が得られる。
【０００８】
そこで、次に、スラストプレート平面に対する中心孔の直角度の問題を検討する。スラストプレートは、例えば３．５インチの記録ディスクを回転駆動するスピンドルモータの場合、外径７〜８ｍｍ、内径４ｍｍ、厚み２〜３mm程度のものが用いられるため、プレス加工により得るのが普通である。
プレス抜き加工（せん断加工）してブランク材の内周面を得る加工方法では、せん断切り口面には、せん断面・破断面・かえり（バリ）が生じる。したがって、最終的には、内外周面の仕上げ加工を要すると共に、両端面の仕上げが必要になる。この場合、内周面を仕上げ加工したとしても十分な精度を安定的に得ることが困難であり、したがってスラストプレート平面に対する中心孔の直角度を安定的に精度よくすることができない。
【０００９】
次に、コイニング工程によってブランク材の内周面を得る加工方法について説明する。この製造方法は、ブランク材抜き工程、両面研磨工程、バレル工程、仕上げ研磨工程、コイニング工程、平打ち工程とを備えている。ブランク材抜き工程では、板状の素材から円環状のブランク材をプレス抜きする。続いて、両面研磨工程、バレル工程及び仕上げ研磨工程によって、精度を出し、最終形状を得る。コイニング工程では、ブランク材をコイニングの型に入れて、面押しして主に内径とそれに対する両端面の直角度との寸法出しを行う。より詳細には、コイニングの型の中央には外径が精度良く仕上げられたピンが立てられており、ピンをブランク材の中心孔に挿入させ、この状態でブランク材を両面から押圧する。すると、ブランク材は多少押しつぶされて、肉が内外径方向に流れる。この結果、ブランク材がコイニングの型に応じた内外径を得ることになる。平打ち工程では、ブランク材の両面が押圧され、所定の高さ寸法が得られる。
【００１０】
しかし、コイニング工程においてブランク材の肉が半径方向に均一に流れず、偏りが生じやすい。そのため、ブランク材の両端面の平行度が悪く、ばらつきが大きい。また、平打ち工程においてもこのばらつきは十分に改善されず、部分的に部品高さが異なる結果となる。
本発明の課題は、シャフト本体にスラストプレートを嵌合したシャフトを用いて動圧軸受を構成するものにおいて、スラストプレートの中心軸に対する端面の振れ精度（直角度）を安定的に高精度に確保し得るスラストプレートの製造方法を提供し、動圧軸受の軸受性能を高めることにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
請求項１に記載のスラストプレートの製造方法で製造されるスラストプレートは、外周面がラジアル軸受部の一部を構成するシャフト本体とともに動圧軸受用シャフトを構成するための部材であり、シャフト本体が嵌合する中心孔が形成された円環状であり、両端面にスラスト軸受部の一部を構成するスラスト面が形成されている。このスラストプレートの製造方法は、以下の工程を備えている。
【００１２】
◎板状の素材をプレス抜きし、円環状のブランク材を得るブランク抜き工程
◎研磨後のブランク材の両端面を研磨して該両端面を平行に仕上げる端面研磨工程
◎研磨後のブランク材の内外径を前記両端面に対し直角に同時にプレス抜きし、内外周面の表面を削り落とすシェービング工程
このスラストプレートの製造方法では、シェービング工程によってブランク材の内外周面の表面を削り落とすため、安定して内周面の精度を高くできる。特に、ブランク材の両端面を研磨して該両端面を平行に仕上げた上で、この両端面に対し直角に同時プレス抜きして内外周面の表面を削り落とすため、従来のコイニング工程を用いた製造方法とは異なり、スラストプレートの両端面の平行度が高く維持されている。この結果、スラストプレートの中心軸に対する端面の振れ精度（直角度）を高精度に確保し得る。なお、シェービング加工とは、いったんせん断された切り口面を再度同様なせん断工具によって削り取る加工方法をいう。
【００１３】
請求項２に記載のスラストプレートの製造方法では、請求項１において、シェービング工程では、ブランク材に対するプレス抜き方向は、ブランク抜き工程におけるプレス抜き方向と同じである。
したがって、スラストプレートの内周面に全せん断面が得られやすくなり、その結果内周面の精度が向上する。
【００１４】
請求項３に記載のスラストプレートの製造方法では、請求項１又は２において、シェービング工程では、ブランク材の両端面はプレス抜き方向両側から押さえつけられている。
このスラストプレートの製造方法では、シェービング工程では、両端面研磨工程によって平行度が向上したブランク材の両端面を押さえつけて加工するため、スラストプレートの中心軸に対する端面の振れ精度（直角度）を高精度に確保し得る。
【００１５】
請求項４に記載のスラストプレートの製造方法では、請求項１〜３のいずれかにおいて、ブランク抜き工程及びシェービング工程では、プレス打ち抜き面に全せん断面を得るようにプレス抜きする。
したがって、スラストプレートの内周面の精度が向上する。
請求項５に記載の動圧軸受用シャフトの製造方法は、以下の工程を備えている。
【００１６】
◎請求項１〜４のいずれかに記載のスラストプレートの製造方法
◎スラストプレートの中心孔にシャフト本体を嵌合する嵌合工程
このシャフトの製造方法では、請求項１〜４のいずれかに記載のスラストプレートの製造方法を用いているため、シャフト本体の中心軸とスラストプレートの平面との直角度を高精度に実現できる。
【００１７】
請求項６に記載の動圧軸受は、請求項５の製造方法により製造された動圧軸受用シャフトと、動圧軸受用シャフトが貫通する貫通孔が形成された中空円筒状部材とを備えている。中空円筒状部材は、シャフト本体の外周面と微少間隙を介して対向するラジアル内周面と、スラストプレートの両端面に微少間隙を介して対向するスラスト面とを有する。シャフト本体の外周面と、中空円筒状部材のラジアル内周面と、その微少間隙内の潤滑流体とによって、ラジアル軸受部が構成されている。スラストプレートの両端面と、中空円筒状部材のスラスト面と、その微少間隙内の潤滑流体とによって、スラスト軸受部が構成されている。
【００１８】
この動圧軸受では、請求項５の製造方法により製造された動圧軸受用シャフトを用いているため、動圧軸受の軸受性能が向上し、具体的には高速回転が可能となっている。
請求項７に記載のスピンドルモータは、請求項６に記載の動圧軸受と、動圧軸受用シャフト及び中空円筒状部材の一方に対して回転不能に配置されたステータと、動圧軸受用シャフト及び中空円筒状部材の他方に対して回転不能に配置され、ステータと協働して回転磁界を発生するためのロータマグネットとを備えている。
【００１９】
このスピンドルモータでは、請求項６に記載の動圧軸受を用いているため、高速回転が可能である。
請求項８に記載の記録ディスク駆動装置は、ハウジングと、ハウジングの内部に固定された、請求項７に記載のスピンドルモータと、動圧軸受用シャフト及び中空円筒状部材の他方に対して回転不能に配置された、情報を記録できる円板状記録媒体と、記録媒体の所要の位置に情報を書込又は読み出すための情報アクセス手段とを備えている。
【００２０】
この記録ディスク駆動装置では、請求項７に記載のスピンドルモータを用いているため、情報の書込又は読み出し速度が向上する。
【００２１】
【発明の実施の形態】
１．第１実施形態
（１）スピンドルモータ全体の構成
図１は本発明の一実施形態としてのスピンドルモータ１の概略構成を模式的に示す縦断面図である。このスピンドルモータ１は記録ディスク駆動用スピンドルモータであり、ハードディスク等の記録ディスク駆動装置の一部を構成している。
【００２２】
なお、図１に示すＯ−Ｏがスピンドルモータ１の回転軸線である。また、本実施形態の説明では便宜上図１の上下方向を「軸線上下方向」とするが、スピンドルモータ１の実際の取り付け状態における方向を限定するものではない。
図１において、このスピンドルモータ１は、主に、静止部材２と、回転部材３と、回転部材３を静止部材２に回転自在に支持するための軸受機構４とを備えている。スピンドルモータ１は、さらに、静止部材２に固定されたステータコアとそれに巻かれたコイルからなるステータ６と、回転部材３に固定されたロータマグネット７を備えており、両部材によって、回転部材３に対して回転力を与えるための磁気回路部が構成されている。
【００２３】
（２）静止部材
静止部材２は、ブラケット１０と、このブラケット１０の中央開口内に固定されたスリーブ１１とから構成されている。より詳細には、ブラケット１０の中央開口縁には軸線方向上側に延びる筒部１０ａが形成されており、その内周面にスリーブ１１の外周面が嵌合されている。また筒部１０ａの外周面には、ステータ６が固定されている。
【００２４】
スリーブ１１は、円筒状の部材であり、その略中央部には、軸線方向に貫通する貫通孔５１が形成されている。スリーブ１１の貫通孔５１の内周面は、図２に示すように、上側から下側に向かって、ラジアル内周面５３及び下部内周面５４を有している。スリーブ１１の下部内周面５４は、貫通孔５１の下端において段部５２を形成している。段部５２は、ラジアル内周面５３より大径であり、貫通孔５１回りで軸線方向下側を向くスラスト面５６と下部内周面５４とを有している。
【００２５】
スリーブ１１の貫通孔５１の下端にはスラストカバー１２が固定されており、スラストカバー１２は貫通孔５１の下端を閉鎖している。スラストカバー１２の軸線方向上側面の外周側は、スリーブ１１のスラスト面５６に対して軸線方向に対向するスラスト面１２ａとなっている。
（３）回転部材
回転部材３は、スリーブ１１に対して軸受機構４を介して回転自在に支持された部材であって、外周部に記録ディスクが載置されるロータハブ１４と、ロータハブ１４の内周側に位置し、軸受機構４を介してスリーブ１１に軸支されるシャフト１５とを備えている。
【００２６】
ロータハブ１４は、静止部材２やステータ６の上方に近接して配置されている。ロータハブ１４の筒状部の内周面には、接着等の手段によってロータマグネット７が固定されている。ロータマグネット７はステータ６に半径方向に微小間隙をもって対向している。そして、ステータ６に通電することにより、ステータ６とロータマグネット７との電磁相互作用により、回転部材３にトルクが作用する。
【００２７】
シャフト１５は、円柱形状のシャフト本体４５と、その下端に嵌合されたスラストプレート４６とから構成されている。シャフト１５のシャフト本体４５の軸線方向上側端部は、ロータハブ１４の中心孔内に嵌合されている。なお、以上に述べた嵌合方法としては、圧入や接着などがある。
スラストプレート４６は、シャフト本体４５の下端の外周面から半径方向外側に突設する環状かつ円板状の部材であり、シャフト本体４５のフランジを構成している。スラストプレート４６は、シャフト本体４５の一端が圧入された内周面４９と、外周面５０と、シャフト本体側の上側スラスト面４７と、その反対側の下側スラスト面４８とを有している。スラストプレート４６の上側スラスト面４７はスリーブ１１のスラスト面５６に微少間隙を介して対向しており、スラストプレート４６の下側スラスト面４８はスラストカバー１２のスラスト面１２ａに微少間隙を介して対向している。
【００２８】
（４）軸受機構
軸受機構４は、回転部材３を静止部材２に対して、より具体的には、ロータハブ１４及びシャフト１５をスリーブ１１に対して潤滑油８を介して回転自在に支持するための流体動圧軸受である。軸受機構４は、第１及び第２ラジアル軸受部２１，２２と、第１及び第２スラスト軸受部２３，２４とを有している。以下、図２を用いて、スリーブ１１，スラストカバー１２及びシャフト１５の構造に触れながら、各軸受部２１〜２４の構造を説明していく。
【００２９】
▲１▼ラジアル軸受部
スリーブ１１のラジアル内周面５３は、シャフト１５のシャフト本体４５の外周面３７との間に潤滑油８が保持されるラジアル微小間隙を確保するように対向している。ラジアル内周面５３には、潤滑油８中に動圧を発生するための周方向に配列された複数本のヘリングボーン状動圧発生用溝２５，２６が軸線方向に並んで形成されている。このように、スリーブ１１のラジアル内周面５３と、シャフト１５のシャフト本体４５の外周面３７と、その間の潤滑油８とによって、第１及び第２ラジアル軸受部２１，２２が軸線方向に並んで構成されている。
【００３０】
▲２▼スラスト軸受部
スリーブ１１のスラスト面５６には、シャフト１５の回転にともない潤滑油８中に動圧を発生するための複数本のヘリングボーン状動圧発生用溝２７が周方向に配列される状態で形成されている。このように、スリーブ１１のスラスト面５６とスラストプレート４６の上側スラスト面４７とその間の潤滑油８によって、第１スラスト軸受部２３が形成されている。
【００３１】
スラストカバー１２のスラスト面１２ａには、シャフト１５の回転にともない潤滑流体中に動圧を発生するための複数本のヘリングボーン状動圧発生用溝２８が周方向に配列される状態で形成されている。このように、スラストプレート４６の下側スラスト面４８とスラストカバー１２のスラスト面１２ａとその間の潤滑油８によって、第２スラスト軸受部２４が形成されている。
【００３２】
このように、スリーブ１１とスラストカバー１２とによって、シャフト１５に対して相対回転する中空円筒状部材が構成されている。すなわち、中空円筒状部材は、シャフト１５が貫通する貫通孔５１が形成され、シャフト本体４５の外周面３７と微少間隙を介して対向するラジアル内周面５３と、スラストプレート４６の上側及び下側スラスト面４７，４８に微少間隙を介して対向するスラスト面５６，１２ａとを有する。
【００３３】
表面張力シール部２９は、第１ラジアル軸受部２１からの潤滑油８の漏れを防止するための構造であり、第１ラジアル軸受部２１の軸線方向外側端部において、スリーブ１１の内周面とシャフト１５の外周面とによって構成されている。具体的には、シャフト１５の外周面の軸線方向において第１ラジアル軸受部２１より軸線方向外側の部分には、スリーブ１１の内周面との間の空隙が軸線方向外側に向かって拡大するよう傾斜面３０が形成されている。軸受部に保持された潤滑油８の表面張力と外気の空気圧等とがバランスされ、潤滑油８のメニスカスは傾斜面３０に位置している。この結果、潤滑油８がさらに外方に移動しようとすると液面の曲率が大きくなろうとし、それが抵抗となって潤滑油８が軸受外部に移動するのが抑制される。
【００３４】
以上に述べたように、この軸受機構４は、第１ラジアル軸受部２１、第２ラジアル軸受部２２、第１スラスト軸受部２３、第２スラスト軸受部２４とから構成されており、各軸受部内を潤滑油が連続して満たしている。さらに、各軸受部内の潤滑油８は、シャフト１５の外周面とスリーブ１１の内周面との間の隙間の軸線方向上側部分に形成された表面張力シール部２９によってシールされている。
【００３５】
なお、図１及び図２では、各動圧発生溝２５、２６，２７、２８を便宜上くの字の形で象徴的に示しているが、実際には、上述したように各面５３、５３、５６、１２ａに形成されている。
（５）シャフトの製造方法
以下に、シャフト１５の製造方法、特に、スラストプレート４６の製造方法について図３を用いて説明する。この製造方法は、主に、▲１▼プレス抜き工程→▲２▼端面研磨工程→▲３▼シェービング工程→▲４▼仕上げ加工工程を有している。なお、図３の（ａ）〜（ｆ）は、各工程におけるブランク部材Ｂの形状の変化を説明の便宜のために強調して描いた概略図である。
【００３６】
▲１▼プレス抜き工程
（ａ）ブランク抜き工程
図３（ａ）に示すように、ステンレス鋼、及び銅合金等の素材（板材）から円環状のブランク材Ｂをプレス抜きする。例えば板厚２．５ｍｍの素材から外径７〜８ｍｍ、内径３〜４ｍｍのブランク材Ｂを得る。
【００３７】
この場合、プレス打ち抜き面（内周面及び外周面）に破断面が生じず、全せん断面を得るように打ち抜くことが好ましい。特に、ファインブランキングと呼ばれる工法（打ち抜かれるブランク材にプレス方向両面より圧力を加えて「だれ」の生じるのを防止する）若しくはこれと同等の工法により行うことが好ましい。
ここで得られるブランク材Ｂは、最終的に要求されるスラストプレート４６の内外径に対し、内径は０．１ｍｍ程度小さく、外径は０．１ｍｍ程度大きくなっている。
【００３８】
▲２▼端面研磨工程
（ｂ）荒両面研磨工程
図３（ｂ）に示すように、ブランク材Ｂの両端面の平行度を上げるために、この両面を研磨する。例えば両面平面研削盤を使用する。
（ｃ）バリ取り工程
図３（ｃ）に示すように、上記荒研磨により生じたバリを除去し、同時にＲ取りする。例えば高速遠心バレルと呼ばれる機械を使用する。
【００３９】
▲３▼シェービング工程
（ｄ）内外径プレス仕上げ抜き工程
図３（ｄ）に示すように、ブランク材Ｂの研磨した両面に対し直角にブランク材の内外径を同時にプレス抜きし、表面を削り落とす。このように、いったんせん断された切り口面を再度同様なせん断工具によって削り取る加工法をシェービング法という。
【００４０】
この場合、ブランク抜き工程と同一方向にブランク材を加工することが好ましい。こうすることにより、全せん断面が得られやすくなり、内周面がきれいに仕上がると同時に、極めて精度の高い真円度及び円筒度が得られる。
また、この加工に際し、ファインブランキング工法を用いることが好ましい。
この加工により、最終的にスラストプレートに要求される内外径が得られる。
【００４１】
図４及び図５は、特にシェービング工程に使用するプレス機の金型の一例を示している。この金型６１は、固定の下型６２と、上下動可能な上型６３とから構成されている。
下型６２は、ベース６５、べース６５上に固定されたパンチプレート６６、このパンチプレート６６に支持された下パンチ６７、パンチプレート６６に対して上下に移動自在に支持さればね等で上方付勢されたストリッパプレート６８と、このストリッパプレート６８上に設けられ上記ブランク材Ｂを下パンチ６７上に位置保持するガイド６９とからなる。下パンチ６７は、図６に示すように、上側に開いた筒状形状であり、内周縁６７ａと外周縁６７ｂとを有している。
【００４２】
上型６３は、上下駆動力を発生するシリンダ等に連結されたダイセット７１、ダイセット７１の下面に固定されたハッキングプレート７２、ハッキングプレート７２の下面に固定されたパンチプレート７３、パンチプレート７３に下方へ突出するよう固定された棒状のピアスパンチ７４、パンチプレート７３の下面に固定されたダイプレート７５、ダイプレート７５に固定されたダイパンチ７６からなる。ピアスパンチ７４は、ダイパンチ７６の中空部内を延び、その下端部はダイパンチ７６の下端面よりさらに下側に突出している。ピアスパンチ７４の外周縁７４ａは、下パンチ６７の内周縁６７ａに対応して形成されている。ダイパンチ７６の内周縁７６ａは、ピアスパンチ７４との径方向間に隙間を有しており、下パンチ６７の外周縁６７ｂに対応している。ノックアウト７７は、ダイパンチ７６の中空部内においてピアスパンチ７４の回りに上下方向に移動可能に係止された筒状の部材である。ノックアウト７７は、図示しない付勢部材によって下方に押圧付勢力が付与されているため、図５においてはダイパンチ７６の中空部内において最も下方に移動している。その状態でノックアウト７７の下端面はピアスパンチ７４の下端面にほぼ一致している。
【００４３】
図６を用いて実際のシェービング加工について説明する。上型６３の下動に伴って、ピアスパンチ７４がブランク材Ｂの内径部に入り込んで内周面を削り落とす。すなわち、ピアスパンチ７４が内径抜き用の上側パンチとなり、その外周縁７４ａが下パンチ６７の内周縁６７ａとの間で内径シェービングを行う。このとき同時に、ダイパンチ７６がブランク材Ｂの外周面を削り落とす。すなわち、ダイパンチ７６が外径抜き用の上側パンチとなり、その内周縁７６ａが下パンチ６７の外周縁６７ｂとの間で外径シェービングを行う。この動作時、ダイプレート７５はストリッパプレート６８に当接してこれを下方へ移動させる。
【００４４】
以上の動作において、ノックアウト７７は、ガイド６９により保持されたブランク材Ｂの上面を押圧し、下パンチ６７との間でブランク材Ｂに圧力をかけ、ファインブランキング工法を実現する。この工法において、上記▲２▼端面研磨工程（特に「ｂ）荒両面研磨工程」）によってブランク材Ｂの両端面の平行度がすでに向上しているため、スラストプレート４６において従来に比し格段に向上した振れ精度（直角度）を得ることができる。
【００４５】
▲４▼仕上げ加工工程
（ｅ）バレル（Ｒ付け）工程
図３（ｅ）に示すように、ブランク材ＢのＲ付けを行う。
（ｆ）仕上げ研磨・バリ除去工程
図３（ｆ）に示すように、高さ平面度を出すために仕上げ研磨を行い、それによりバレルによる寸法変化を修正する。その後、前記研磨によって発生したバリを除去する。
【００４６】
最後に、スラストプレート４６の中心孔すなわち内周面４９にシャフト本体４５の一端を圧入や接着などによって嵌合し、シャフト１５を完成させる。
（６）スラストプレートの製造方法の効果
▲１▼シェービング工程によってブランク材Ｂの内外周面の表面を削り落とすため、スラストプレート４６の内周面４９の精度を安定的に高くできる。さらに、従来のコイニング工程を用いた製造方法とは異なり、スラストプレート４６の両端面である上側及び下側スラスト面４７，４８の平行度が高く維持されている。以上の結果、スラストプレート４６の中心軸に対する上側及び下側スラスト面４７，４８の振れ精度（直角度）を高精度に確保し得る。
【００４７】
▲２▼ブランク材Ｂのプレス抜き（ブランク抜き固定）後、両端面を研磨してバリ取り・Ｒ取りと同時に両面の平行度を確保し（端面研磨工程）、この研磨された面を基準にしてシェービング加工して内外径を抜き直す（シェービング工程）ことにより、スラストプレート４６において従来に比し格段に向上した振れ精度（直角度）を得ることができる。従来のブランク材をプレス抜き後,仕上げ加工してスラストプレートを得る製造方法では、その振れ精度が最高でも１０μm程度であったものが、本発明を採用することにより数μmオーダの振れ精度を確保することが可能になり、しかも常時この精度を維持でき、安定した高精度部品の供給が可能になった。
【００４８】
なお、本製造方法を採用することにより、板厚１０ｍｍ程度までのスラストプレートを高精度に得ることが可能である。
（７）ハードディスク装置の構成
以上、本発明に従う記録ディスク駆動用スピンドルモータ１の一実施形態について説明したが、本発明に従うこのスピンドルモータ１を備えた記録ディスク駆動装置としてのハードディスク装置を例に説明する。
【００４９】
図７に、一般的なハードディスク装置８０の内部構成を模式図として示す。ハウジング８１の内部は塵・埃等が極度に少ないクリーンな空間を形成しており、その内部に情報を記憶する円板状の記録ディスク８３が装着されたスピンドルモータ１が設置されている。加えてハウジング８１の内部には、記録ディスク８３に対して情報を読み書きする磁気ヘッド移動機構８７が配置され、この磁気ヘッド移動機構８７は、記録ディスク上の情報を読み書きするヘッド８６、このヘッドを支えるアーム８５、及びヘッド及びアームをディスク上の所要の位置に移動させるアクチュエータ部８４により構成される。
【００５０】
２．他の実施形態
本発明はかかる上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲を逸脱することなく種々の変形又は修正が可能である。
具体的には、本発明は、前記実施形態に示された動圧軸受、モータ又は記録ディスク駆動装置に限定されるものではない。例えば、潤滑流体としては、オイルに限定されず、気体であってもよい。さらに、動圧軸受の各軸受部では、動圧発生用溝の有無、形成された部材、又は形状は、前記実施形態に限定されない。
【００５１】
また、図示の実施形態では、シャフト１５がロータハブ１４に固定され、回転部材３を構成する、いわゆる軸回転型のスピンドルモータを例に上げて説明したが、シャフトが静止部材の一部を構成する、いわゆる軸固定型のスピンドルモータにも本発明は適用可能である。
【００５２】
【発明の効果】
請求項１に記載の動圧軸受用シャフトのスラストプレートの製造方法では、シェービング工程によってブランク材の内外周面の表面を削り落とすため、安定して内周面の精度を高くできる。さらに、従来のコイニング工程を用いた製造方法とは異なり、スラストプレートの両端面の平行度が高く維持されている。この結果、スラストプレートの中心軸に対する端面の振れ精度（直角度）を高精度に確保し得る。
【００５３】
請求項２に記載のスラストプレートの製造方法では、請求項１において、シェービング工程では、ブランク材に対するプレス抜き方向は、プレス抜き工程におけるプレス抜き方向と同じであるため、スラストプレートの内周面に全せん断面が得られやすくなり、その結果内周面の精度が向上する。
請求項３に記載のスラストプレートの製造方法では、請求項１又は２において、シェービング工程では、両端面研磨工程によって平行度が向上したブランク材の両端面を押さえつけて加工するため、スラストプレートの中心軸に対する端面の振れ精度（直角度）を高精度に確保し得る。
【００５４】
請求項４に記載のスラストプレートの製造方法では、請求項１〜３のいずれかにおいて、ブランク抜き工程及びシェービング工程では、プレス打ち抜き面に全せん断面を得るようにプレス抜きするため、スラストプレートの内周面の精度が向上する。
請求項５に記載の動圧軸受用シャフトの製造方法では、請求項１〜４のいずれかに記載のスラストプレートの製造方法を用いているため、シャフト本体の中心軸とスラストプレートの平面との直角度を高精度に実現できる。
【００５５】
請求項６に記載の動圧軸受では、請求項５の製造方法により製造された動圧軸受用シャフトを用いているため、動圧軸受の軸受性能が向上し、具体的には高速回転が可能となっている。
請求項７に記載のスピンドルモータでは、請求項６に記載の動圧軸受を用いているため、高速回転が可能である。
【００５６】
請求項８に記載の記録ディスク駆動装置では、請求項７に記載のスピンドルモータを用いているため、情報の書込又は読み出し速度が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１実施形態としてのスピンドルモータの縦断面概略図。
【図２】軸受機構の各軸受部及びシャフトの連通孔を説明するための図面であり、図１の部分拡大図。
【図３】スラストプレートの製造工程におけるブランク材の形状の変化を説明するための模式図。
【図４】スラストプレートのシェービング工程に用いられる金型の縦断面概略図。
【図５】図４の部分拡大図。
【図６】シェービング工程を説明するための金型の部分縦断面概略図。
【図７】一般的なハードディスク装置の概略構成図。
【符号の説明】
１ スピンドルモータ
２ 静止部材（中空円筒状部材）
３ 回転部材
１１ スリーブ
１４ ロータハブ
１５ シャフト
２１ 第１ラジアル軸受部
２２ 第２ラジアル軸受部
２３ 第１スラスト軸受部
２４ 第２スラスト軸受部
４５ シャフト本体
４６ スラストプレート
４７ 上側スラスト面
４８ 下側スラスト面
４９ 内周面
５０ 外周面

Claims (8)

1. 外周面がラジアル軸受部の一部を構成するシャフト本体とともに動圧軸受用シャフトを構成するための部材であり、前記シャフト本体が嵌合する中心孔が形成された円環状であり、両端面にスラスト軸受部の一部を構成するスラスト面が形成されたスラストプレートの製造方法であって、
   板状の素材をプレス抜きし、円環状のブランク材を得るブランク抜き工程と、
   前記ブランク材の両端面を研磨して該両端面を平行に仕上げる端面研磨工程と、
   研磨後の前記ブランク材の内外径を前記両端面に対し直角に同時にプレス抜きし、内外周面の表面を削り落とすシェービング工程と、
   を備えたスラストプレートの製造方法。
2. 前記シェービング工程では、前記ブランク材に対するプレス抜き方向は、前記ブランク抜き工程におけるプレス抜き方向と同じである、請求項１に記載のスラストプレートの製造方法。
3. 前記シェービング工程では、前記ブランク材の両端面はプレス抜き方向両側から押さえつけられている、請求項１又は２に記載のスラストプレートの製造方法。
4. 前記ブランク抜き工程及び前記シェービング工程では、プレス打ち抜き面に全せん断面を得るようにプレス抜きする、請求項１〜３のいずれかに記載のスラストプレートの製造方法。
5. 請求項１〜４のいずれかに記載のスラストプレートの製造方法と、
   前記スラストプレートの中心孔に前記シャフト本体を嵌合する嵌合工程と、
   を備えた動圧軸受用シャフトの製造方法。
6. 請求項５の製造方法により製造された動圧軸受用シャフトと、
   前記動圧軸受用シャフトが貫通する貫通孔が形成され、前記シャフト本体の外周面と微少間隙を介して対向するラジアル内周面と、前記スラストプレートの両端面に微少間隙を介して対向するスラスト面とを有する中空円筒状部材とを備え、
   前記シャフト本体の外周面と、前記中空円筒状部材のラジアル内周面と、その微少間隙内の潤滑流体とによって、ラジアル軸受部が構成され、
   前記スラストプレートの両端面と、前記中空円筒状部材のスラスト面と、その微少間隙内の潤滑流体とによって、スラスト軸受部が構成されている、
   動圧軸受。
7. 請求項６に記載の動圧軸受と、
   前記動圧軸受用シャフト及び前記中空円筒状部材の一方に対して回転不能に配置されたステータと、
   前記動圧軸受用シャフト及び前記中空円筒状部材の他方に対して回転不能に配置され、前記ステータと協働して回転磁界を発生するためのロータマグネットと、
   を備えたスピンドルモータ。
8. ハウジングと、
   前記ハウジングの内部に固定された、請求項７に記載のスピンドルモータと、
   前記動圧軸受用シャフト及び前記中空円筒状部材の前記他方に対して回転不能に配置された、情報を記録できる円板状記録媒体と、
   前記記録媒体の所要の位置に情報を書込又は読み出すための情報アクセス手段と、
   を備えた記録ディスク駆動装置。

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