JP2006300147A - 動圧流体軸受部材及びその製造方法 - Google Patents

動圧流体軸受部材及びその製造方法 Download PDF

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Abstract

【課題】シャフトにフランジを結合するかしめ工程を効率化し、生産性を向上させること。
【解決手段】シャフトとフランジを、仮かしめ工程によりあらかじめ仮に連結する。仮かしめ工程では、シャフトの端部の凹部を球などの金型で加圧して、外周方向に拡げ、フランジの内周に押し付けて固定する。仮に連結されたシャフトとフランジの連結体を本かしめ工程によって強固に連結する。本かしめ工程により強固に連結されたフランジのそりなどの歪みを矯正するため、フランジを上下の金属で挟んで加圧し平押し成型を行う。
【選択図】図2

Description

本発明は、ディスク状記録媒体を回転駆動するモータに用いられる動圧流体軸受及びその製造方法に関する。
ハードディスクドライブ(HDD)は、大量のデータを記録再生できる記憶装置として優れた機能を有し、パーソナルコンピュータのみならずオーディオビジュアル製品を含む各種の家電製品においても、HDDを組み込んだものが普及しはじめている。HDDでは、ディスクを高速かつ高精度で回転させる必要があるとともに、長期間の使用に耐える耐久性(長寿命)を必要とすることから、モータには動圧流体軸受を用いたスピンドルモータが使用されている。
近年、HDDを組み込んだ小型の携帯用音楽記録再生装置やデジタルカメラ用の記録媒体等、小型のデジタル機器の普及にともなって、HDDは更なる小型化・薄型化が求められている。HDDを小型化・薄型化するためには、ディスクを回転駆動するスピンドルモータを小型かつ薄型にする必要がある。このようなスピンドルモータの典型的な従来例を図11の断面図に示す。
図11において、ハウジング21は、中央部に円筒部21aを有し、円筒部21aにスリーブ22が取り付けられている。スリーブ22の軸受孔22aにはシャフト23が回転可能に挿入されている。シャフト23の下端には、フランジ25が取り付けられている。スリーブ22の下端の開口は、スラスト受板24により密閉されている。シャフト23の外周面及び軸受孔22aの内周面の少なくとも一方には、ラジアル動圧発生溝が設けられている。また、フランジ25とスラスト受板24との対向面の少なくとも一方にはスラスト動圧発生溝が設けられている。シャフト23とスリーブ22との間、及びスラスト受板24とフランジ25との間にはオイル等の流体が充填されており、当技術分野では周知の動圧流体軸受が構成されている。
各部の材料は例えば以下のようなものが用いられる。ハウジング21にはアルミダイカスト材または鉄材が用いられ、スリーブ22には真鍮材(銅合金)にニッケルメッキしたものが用いられる。シャフト23にはステンレス鋼材(例えばSUS420J2)が用いられ、フランジ25にはステンレス鋼材(例えばSUS304)が用いられる。スラスト受板24にはステンレス鋼材(例えばSUS420J2)が用いられ、ハブ27にはステンレス鋼材(例えばDHS1)またはアルミ材が用いられている。
シャフト23の上端部には、ハブ27が取り付けられている。シャフト23の中央部には、シャフト23の軸方向に並行するねじ穴31が設けられている。ねじ穴31に図示を省略したねじをねじ込み図示を省略したクランプ部材を固定することにより、ハブ27の外周部のディスク受け面27gに取り付ける磁気ディスク等が保持される。ハブ27の内側にはロータマグネット37が設けられている。ロータマグネット37に対向するように、コイルを巻回したステータコア29がハウジング21に取り付けられている。
コイルを巻回したステータコア29に電流を流すと、ステータスコア29とロータマグネット37との間に半径方向の磁気力が働き、これによる駆動力を受けて、ハブ27、シャフト23及びフランジ25は、スラスト受板24及びスリーブ22に非接触で回転する。
ステータコア29とマグネット37とは、騒音及び振動の低減のためにそれぞれの軸方向の磁気中心位置をずらして配置し、軸方向の磁気引力を発生させている。この構成の代わりに図11には図示されていないが、マグネット37の直下付近のハウジング21にリング状の吸引板を配置して、ハブ27に軸方向の吸引力を発生させてもよい。
前記の用途の小型ハードディスクドライブは、一般のパーソナルコンピュータに組み込まれているハードディスクドライブに比べると、電源のオン・オフを行う機会が多く、そのたびにハードディスクドライブのモータが起動・停止を繰り返す。このようなモータに組み込まれている流体軸受では、モータの起動及び停止の際に、シャフト23とフランジ25の接続部に力が加わる。また、使用中に床の上に落とすなど、強い衝撃が加わる場合もある。そのため特にシャフト23とフランジ25の接続強度を十分高くしておく必要がある。
シャフトとフランジとを接続する従来の方法としては、特許文献1に示されている「プレス加工法」がある。プレス加工法では、中央にシャフト取付孔を有する円板状のフランジ部材と、前記シャフト取付孔に挿入されるシャフトが、あらかじめ部品として作られている。シャフトとフランジ部材との接続は以下の各工程によって行われる。
工程(1):中央にシャフトが入る孔を有し、フランジ部材の外径より若干大きい内径の凹部を有する凹型(金型)がプレス機に取り付けられており、この凹型の前記孔にシャフトを装填する(以下、セットするという)。
工程(2):フランジ部材の前記シャフト取付孔にシャフトの端部を挿入してフランジ部材を凹型にセットする。フランジ部材の外周面と凹型の内周面との間は、微小なすきまを有しているが、フランジ部材の外周面は実質的に凹型の内周面により拘束されている。凹型に対向して移動する凸型は、フランジ部材の面に所定のプレス圧を加えるようにプレス機に取り付けられている。凹型の底面及び凸型の表面の少なくとも一方には、フランジ部材の両面又は片面にスラスト動圧発生溝を形成するための、例えば渦巻状の溝型を有している。
工程(3):プレス機を動作させて、凹型及び凸型でフランジ部材の両面を挟み加圧する(加圧工程)。加圧工程でフランジ部材の両面又は片面にスラスト動圧発生溝が形成される。
この加圧工程において、両面を圧迫されたフランジ部材は外周方向に伸びようとするが、外周が凹型で拘束されているので、シャフト取付孔の方に向かって伸びる。その結果シャフト取付孔の直径が減少(以下、縮径という)してシャフトに締結される。
工程(4):フランジ部材が固定されたシャフトを凹型から取り外す。
シャフトに締結されたフランジ部材は、前記加圧工程で生じた歪み(そり)を有するので、次の工程でそりを矯正する(矯正工程)。
工程(5):矯正工程では、平面を有する2つの平金型の間に、シャフトに取り付けられたフランジをセットする。
工程(6):2つの平金型を閉じてフランジの両面を加圧し平押し成型を行う。
工程(7):平金型からフランジを取り外す。
前記の工程(1)から(7)によりフランジ部材が取り付けられたシャフトが製作される。前記工程(1)から(4)を「圧縮成型工程」といい、工程(5)から(7)を「平押し成型工程」という。フランジ部材が取り付けられたシャフトを「動圧流体軸受部材」ということにする。
特開2004−204916号公報
前記従来の動圧流体軸受部材の製造工程では、少なくとも工程(1)及び(2)は作業員による手作業で行われている。そのため工程(1)及び(2)の所要時間は作業員の技能に大きく依存する。また工程(2)で凹型にフランジ部材をセットするとき、正しくセットされないことがある。例えば、フランジ部材の縁が凹型の縁にかかった状態でセットされることがある。この状態で凹型と凸型を閉じると、高価な凹型及び凸型が共に損傷を受けて使用できなくなるという問題があった。
工程(1)から(4)の圧縮成型工程と、工程(5)から(7)の平押し成型工程とは作業時間(タクト時間)が異なり、通常圧縮成型工程の方が長い。そのため両工程を並行して進めることができず、生産性の向上が難しい。その結果としてコストダウンが困難であった。
本発明は、低コストで高品質の動圧流体軸受部材及びその製造方法を提供することを目的とする。
本発明の動圧流体軸受部材は、円柱状部材の一方に端部に形成した、前記円柱状部材の中心軸に垂直な面を有する段部、前記段部の最小径より大きい直径を有し、端面に凹部を有する取付部を有するシャフト、及び前記シャフトの取付部が挿入される孔を有する円板状のフランジを有し、前記シャフトの段部にフランジの片面が当接して、前記シャフトとフランジがかしめ加工により結合されていることを特徴とする。
この発明によれば、シャフトの段部にフランジの片面が当接しているので、フランジはシャフトに正しい角度をもって取り付けられる。フランジはシャフトにかしめ加工により取り付けられているので、フランジの孔の内周部が、シャフトの段部に食い込み、シャフトとフランジが強固に取り付けられている。
本発明の動圧流体軸受部材の製造方法は、円柱状部材の一方の端部に形成した、前記円柱状部材の中心軸に垂直な面を有する段部、前記段部の最小径より大きい直径を有し、端面に凹部を設けた取付部を有するシャフト、及び前記シャフトの取付部が挿入される孔を有する円板状のフランジを備える動圧流体軸受部材であって、前記フランジの孔に前記シャフトの取付部を挿入し、前記シャフトの前記凹部に所定形状の金型により圧力を加えて前記取付部を拡大し、前記シャフトとフランジを仮に結合する仮かしめ工程、前記仮かしめ工程で仮に結合したフランジとシャフトにおいて、前記フランジの外周を拘束しつつ前記フランジの両面に金型により圧力を加えて、前記フランジの孔の内周部を前記シャフトの段部に食い込まさせてかしめる本かしめ工程、及び前記フランジの両面に圧力を加えて、フランジの歪みを矯正する平押し成型工程を有する。
この発明によれば、シャフトとフランジを仮かしめ工程により仮に取り付けることにより、以後の本かしめ工程において、本かしめ工程用の金型にシャフトとフランジを装填する工程におけるシャフトとフランジの取扱いが極めて容易となる。仮かしめされたシャフトとフランジは本かしめ工程で強固に取り付けられる。
本発明によれば、動圧流体軸の構成部品である、シャフトとフランジとを結合する工程において、シャフトとフランジを仮かしめ工程によってあらかじめ一体にしておく。仮かしめ工程の金型は構成が簡単であり、シャフト及びフランジを前記金型にセットする作業は簡単である。仮かしめにより一体化したシャフトとフランジは取扱いが容易であるので、本かしめ工程に用いるやや複雑な金型へのセットも容易になる。そのため金型への誤セットを防止することができ、金型に損傷を与えるのを防止できる。
以下本発明の動圧流体軸受部材及びその製造方法の好適な実施例を図1から図9を参照して説明する。「動圧流体軸受部材」とは、動圧流体軸受の主要な構成要素である、ラジアル軸受として働くシャフトと、スラスト軸受として働くフランジとを一体に結合した部材のことをいう。
《実施例1》
本発明の実施例1の動圧流体軸受部材を図1から図7を参照して説明する。
図1は、実施例1の動圧流体軸受部材の、シャフト1とフランジ5とを組み合わせた状態の部分断面図である。シャフト1は、一方の端部1aにシャフト1の中心軸に略垂直な面を有する環状の段部2が形成された円柱状の部材であり、SUS420等のステンレススチール系の金属材料で作られている。シャフト1の取付部3は、前記段部2の最小径より大きく、シャフト1の軸方向(矢印a)に平行な面を有する円柱状に形成されている。取付部3の中央部には、断面が例えば円錐状もしくはすりばち状の凹部4が形成されている。シャフトの下端部には細径部1eが形成されている。
フランジ5は、中央にシャフトを取り付けるためのシャフト取付孔6を有する円板状の部材であり、SUS304等のステンレススチール系の金属材料で作られている。取付部3とシャフト取付孔6のはめ合いは、シャフト取付孔6に取付部3を容易に挿入できる程度にゆるくしておく。
図1に示すシャフト1とフランジ5とを結合する製造工程を図2から図7を参照して説明する。本実施例1の製造工程は、(A)仮かしめ工程、(B)本かしめ工程、(C)平押し成型工程からなる。「仮かしめ」とは、シャフト1とフランジ5とを仮に結合することをいい、この工程を「仮かしめ工程」という。仮かしめ工程の具体例の仕様は以下の通りである。取付部3の直径d1が1.9mm程度、凹部4の直径d2が1.2mm程度のとき、直径3mmの球又は球状の先端部9aを有するかしめ金型9を矢印9b方向に移動して、250kgf程度の加圧力を加える。
「本かしめ工程」とはシャフト1とフランジ5とを強固に固定することをいう。「平押し成形工程」とは、フランジのそりなどの歪みを矯正することをいう。
仮かしめされたシャフト1とフランジ5を、「仮かしめ軸受部10」ということにする。
図2において、固定治具8及びかしめ金型9は図示を省略したプレス機に取り付けられており、動作時には、かしめ金型9が矢印9b方向に移動する。
(A)仮かしめ工程
工程(A1)、手作業によってシャフト1を、固定治具8の穴8aに端部1aを上にして挿入する。
工程(A2)、フランジ5のシャフト取付孔6にシャフト1の取付部3を挿入する。
工程(A3)、プレス機を動作させて、かしめ金型9の球、又は球状の先端部9aでシャフト1の凹部4を押圧するか又は打圧する。先端部9aの球状部の直径は凹部4の上面の直径(図1におけるd2)に球面が接する程度に大きい方が好ましい。その結果凹部4は外側に向かって開き、それに伴って取付部3が外側に開く。その結果取付部3はシャフト取付孔6の内面を圧迫して、シャフト1はフランジ5に「仮かしめ」される。
工程(4a)、仮かしめ軸受部10を治具8から取りはずして所定の容器に保管する。
(B)本かしめ工程
仮かしめ軸受部10の本かしめ工程を図3から図5の断面図を参照して説明する。図3は、本かしめ工程に用いるプレス機(図示省略)の金型のみを示す側断面図である。
図において、下金型11及び上金型12はともに、一般によく知られているプレス機に取り付けられており、プレス加工時には例えば上金型12が矢印b方向に動いてプレス加工をする。
下金型11は上面に凹部11aを有し、凹部11aの中央に穴11bを有する。凹部11aの深さ、すなわち側面11cの高さはフランジ5の厚みより若干低くなされている。通常凹部11aの底面11dには、フランジ5の図1において下面にスラスト動圧発生溝を形成する成形型が設けられているが、これが設けられていない場合もある。凹部11aの側面11cの直径は、フランジ5が容易に入るように、フランジ5の直径より若干大きくなされている。
上金型12の下面12aには、スラスト動圧発生溝用の成形型が設けられている。
図4は、本かしめ工程の工程(B1)で前記の下型11に手作業又は自動装填により被加工物の仮かしめ軸受部10をセットした状態を示し、シャフト1が穴11bに挿入されている。シャフト1の下端部と下金型11の穴11bの底面との間には隙間が出来るようになされており、この隙間は下金型11の凹部底面11dに形成されているスラスト動圧発生溝の型の高さより大きい値になされている。
工程(B2)で、図5に示すように上金型12を下降させフランジ5の上面を押圧し本かしめをする。これによりフランジ5の上下面にスラスト動圧発生溝が形成されると共に、フランジ5は押しつぶされ、面に添う方向に伸びようとする。フランジ5の外周は下金型11の凹部11aの側面11cにより拘束されているので外周方向には伸びることが出来ない。そのためフランジ5の内周の下端部が、シャフト1の段部2とフランジ5との間の隙間2aに向かって伸び隙間2aに食い込む。その結果シャフト1とフランジ5は強固に結合される。この本かしめ工程の工法によれば、シャフト1の段部2の面が、軸に対して直角度でなく若干誤差があっても、フランジ5を金型に沿って変形させることにより、フランジ2の面の直角度は金型によって所望の精度に加工される。そのため部品の寸法に多少の誤差があっても完成品の精度に大きな影響を与えることはない、という利点がある。
具体例における仕様は以下の通りである。例えば、図6において小径部の直径d3が1.9mm程度、凹部4の直径d4が1.5mm程度、凹部の深さd5が、0.6mmの場合、プレス機の加圧力は4〜5ton程度である。
本かしめ工程が終了したシャフト1とフランジ5の結合体を「本かしめ軸受部10a」ということにする。
工程(B3)で、本かしめ軸受部10aを下金型11から取り外す。図6は完成した本かしめ軸受部10aの部分断面図である。図から判るようにシャフトの段部2にフランジ5の内周部が張り出して(縮径ともいう)シャフト1の端部aの段部2の上に形成される凹部に入り込んでいる。
(C)平押し成形工程
工程(C1)で、別のプレス機に取り付けられた、図7に示す下金型14及び上金型15に本かしめ軸受部10aをセットする。
工程(C2)で、図7に示すように上金型14を下降させてフランジ5を挟んで加圧し、平押し成形を行ってフランジ5のそりを矯正する。
工程(C3)で、下金型14から平押し成形をした本かしめ軸受部10aを取り出す。
以上の各工程により、完成した動圧流体軸受部材が得られる。
本実施例1の製造方法によると、工程(A1)から工程(A3)までの工程(A)の所要時間、工程(B1)から工程(B3)までの工程(B)の所要時間及び工程(C1)から工程(C3)までの工程(C)の所要時間をほぼ等しくすることができる。そのため、工程A、B及びCを並行して行う場合に工程(A)から工程(C)までの全製造工程において「手待ち」が生じることが少なく生産効率の向上を図ることが出来る。また仮かしめ工程を設けたことにより、仮かしめした「仮かしめ軸受部10」は取扱いが容易であり、図4から図5に示す本かしめ工程で下金型11への正常な装填が確実に行われ、誤装填により下金型11及び上金型12に損傷を与えるおそれはほとんどなくなる。図4に示す本かしめ工程で、仮かしめ軸受部10を、パーツフィーダや工業用ロボット等を用いて自動装填することも容易となるので、大幅な生産性向上が可能となり、ひいては大幅なコストダウンが可能となる。
《実施例2》
本発明の実施例2の動圧流体軸受部材を図8及び図9を参照して説明する。本実施例において、シャフト18の端部の形状が前記実施例1のシャフト1と異なっている。フランジの形状及び構成は前記実施例1のものと実質的に同じである。
図8は、実施例2のシャフト18の端部の断面図である。図において、シャフト18は、円柱状部材の右端部に、小径部18aと段部18bが形成されている。小径部18aと段部18bとの間には、小径部より更に直径が小さい逃げ部18dが形成されている。シャフト18の右端には、小径部18aより直径が大きい取付部18cが形成されている。シャフト18の右端面には凹部18eが形成されている。凹部18eの側壁は、底部直径d6からシャフトの右端部に向かって徐々に直径が大きくなるような傾斜を有する。具体例のシャフト18の各部の寸法は以下の通りである。シャフト18の直径が2.4mm、小径部18aの直径が1.5mm、取付部18cの直径が1.9mm、凹部18eの底部直径d6が1.5mm及び凹部18eの深さd7が0.06mmである。凹部18eの中央に円錐状もしくはすりばち状の凹部を設けてもよい。
このシャフト18をフランジ5に仮かしめするときは、図9の(a)又は(b)に示す3つの突起を有するかしめ金型16又は19を用いて、凹部18eの外方に拡径している側壁もしくは側壁と端面に圧力を加える。
図9の(a)及び(b)は、それぞれ仮かしめ工程で用いるかしめ金型16及び19の先端部の斜視図である。図9の(a)に示すかしめ金型は、先端部に略三角形の平面部16aが形成されており、三角形の3つの角が突起部16bとなっている。図9の(b)は、他の例のかしめ金型19の先端部の斜視図である。図9の(b)のかしめ金型19は、先端部に3つの円弧状の突起19bを有している。突起19bの端面19aからの高さは0.5から1mm程度である。3つの突起16bまたは19bの外周を囲む円の直径d8は凹部18eの底部直径d6より大きく、かつ取付部18cの直径より小さくなされている。かしめ金型16またはかしめ金型19は、上下を逆にして、図2に示すかしめ金型9の代わりに用いる。
実施例2では、図2に示す前期実施例1のかしめ金型9の代わりに、このかしめ金型16を用いて仮かしめを行う。図2と同様にプレス機を構成し、かしめ金型16でシャフト18の凹部18eを加圧すると、取付部18cはかしめ金型16の3つの突起部16bで押された3つの部分が外周方向に拡がり、フランジ5の内周面に押しつけられる。その結果シャフト18の取付部18cは3ヶ所でフランジ5に固定され、仮かしめが行われる。上記の仮かしめ工程はかしめ金型19についても同様である。
本実施例2の仮かしめ工程では、シャフト18の取付部18cの3つの比較的狭い部分を外周方向に拡げるので、仮かしめ工程でかしめ金型16に加える加圧力は前記実施例1の場合よりも小さくてよい。したがって仮かしめ工程に用いるプレス機として小型のものを用いることができる。図8に示すシャフト18では、加圧力は70kgf程度である。本実施例2ではかしめ金型16の突起部16bの数は3であったが、この数は3に限定されるものではなく3より少なくてもよく、また3より多くてもよい。実施例2において、仮かしめ工程に続く各工程は、前記実施例1と同様であり、本かしめ工程によりフランジ5の内周部が縮径して、シャフト18の逃げ部18dに食い込み強固な固定がなされる。図10は本実施例における本かしめ工程後のシャフト端面及びフランジ面の状態を示す平面図である。図から判るように、仮かしめ工程で、図9の(a)又は(b)に示す3つの突起を有するかしめ金型16又は19で押圧されたときに形成された凹部20が見えている。
本発明は、動圧流体軸受の軸受部材の量産に利用可能である。
本発明の実施例1の動圧流体軸受部材の部品であるシャフトとフランジを組み合わせた状態を示す断面図 図1で組み合わせたシャフトとフランジの、仮かしめ工程を示す断面図 仮かしめ工程で仮かしめをした仮かしめ軸受部10の本かしめを行うための、上金型及び下金型の断面図 図4に示す下金型に仮かしめをした仮かしめ軸受部10を装填した、本かしめ工程の直前の状態を示す上下金型の断面図 本かしめ工程を示す上下金型の断面図 本かしめ工程が終了した軸受部材の断面図 フランジのそりを矯正する平押し成型工程を示す上下金型の断面図 本発明の実施例2の流体動圧軸受部材のシャフトの一部分の断面図 (a)は本発明の実施例2における仮かしめ工程に用いる上金型の先端部の斜視図、(b)は上金型の他の例の先端部の斜視図 本発明の実施例2の仮かしめを行なったシャフト端面図 動圧流体軸受を有する典型的なスピンドルモータの構成を示す断面図
符号の説明
1 シャフト
1a 端部
2 段部
3 取付部
4 凹部
5 フランジ
6 シャフト取付孔
8 固定治具
8a 穴
9 かしめ金型
9a 先端部
10 仮かしめ軸受部
11 下金型
11a 凹部
11b 穴
11c 側面
11d 底面
12 上金型
12a 下面
14 下金型
15 上金型
16、19 かしめ金型
16a 平面部
16b 突起部
18 シャフト
18a 小径部
18b 段部
18c 取付部
18e 凹部
19b 突起部

Claims (9)

  1. 円柱状部材の一方の端部に形成した、前記円柱状部材の中心軸に略垂直な面を有する段部、前記段部の最小径より大きい直径を有し、端面に凹部を形成した取付部を有するシャフト、及び
    前記シャフトの取付部が挿入される孔を有する円板状のフランジを有し、
    前記シャフトの段部にフランジの片面が当接して、前記シャフトとフランジがかしめ加工により結合されていることを特徴とする動圧流体軸受部材。
  2. 前記シャフトの端面に設けた前記凹部が円錐状もしくはすりばち状であることを特徴とする請求項1記載の動圧流体軸受部材。
  3. 前記シャフトの端面に設けた前記凹部は、その内径がシャフト端部に向かって徐々に大きくなることを特徴とする請求項1記載の動圧流体軸受部材。
  4. 円柱状部材の一方の端部に形成した、前記円柱状部材の中心軸に略垂直な面を有する段部、前記段部の最小径より大きい直径を有し、端面に凹部を設けた取付部を有するシャフト、及び
    前記シャフトの取付部が挿入される孔を有する円板状のフランジを備える動圧流体軸受部材であって、
    前記フランジの孔に前記シャフトの取付部を挿入し、前記シャフトの前記凹部に所定形状の金型により圧力を加えて前記取付部を拡大し、前記シャフトとフランジを仮に結合する仮かしめ工程、
    前記仮かしめ工程で仮に結合したフランジとシャフトにおいて、前記フランジの外周を拘束しつつ前記フランジの両面に金型により圧力を加えて、前記フランジの孔の内周部を前記シャフトの段部に食い込まさせてかしめる本かしめ工程、及び
    前記フランジの両面に圧力を加えて、フランジの歪みを矯正する平押し成型工程
    を有する動圧流体軸受部材の製造方法。
  5. 前記凹部に圧力を加える金型の先端部形状が球状であることを特徴とする請求項4記載の動圧流体軸受部材の製造方法。
  6. 前記凹部に圧力を加える金型が複数の突起を有し、前記突起が前記取付部を外周方向に拡大することを特徴とする請求項4記載の動圧流体軸受部材の製造方法。
  7. 前記本かしめ工程において、前記フランジの両面に圧力を加えるそれぞれの金型の少なくとも一方の加圧面に、前記フランジの当接面に動圧発生溝を形成するための溝型を有することを特徴とする請求項4記載の動圧流体軸受部材の製造方法。
  8. 前記シャフトの端面に設けた前記凹部が円錐状もしくはすりばち状であることを特徴とする請求項4記載の動圧流体軸受部材の製造方法。
  9. 前記シャフトの端面に設けた前記凹部は、その内径がシャフトの端部に向かって徐々に大きくなることを特徴とする請求項4記載の動圧流体軸受部材の製造方法。

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