JP3975649B2 - 単結晶引上装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ワイヤーによりルツボ内の半導体融液からCZ法(チョクラルスキー法)を用いてシリコン単結晶等の半導体単結晶を引き上げる単結晶引上装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
一般に、シリコン(Si)やガリウムヒ素(GaAs)等の半導体単結晶を成長する手段の一つとして、CZ法を用いた単結晶引上装置が知られている。
この単結晶引上装置において引上成長を行うには、図2に示すように、まず密閉容器であるチャンバ1内部のカーボン製サセプタ2上に配設した石英ルツボ3内に半導体融液Lを貯留し、該半導体融液Lを石英ルツボ3の周囲に配置した円筒状のカーボン製ヒータ4で所定温度に加熱制御する。
【0003】
次に、チャンバ1上部の縦型筒部1a内に垂下されたW(タングステン)等のワイヤーWにより、縦型筒部1a下方に配置されたルツボ3内の半導体融液Lから半導体単結晶Cを引き上げる。
なお、図2中において、符号5は保温筒、6は保温筒5の内側面に支持板として設けられたカーボン板、7はフロー管、8はフロー管7を支持する円環状のアッパーリング8、9はサセプタ2を支持し上下動可能なシャフトである。
【0004】
ところで、この単結晶引上装置は、半導体単結晶Cを引き上げるワイヤーWの巻き上げ機構14を、縦型筒部1a上に回転可能に設けられたヘッド部10内に設けている。すなわち、ワイヤーWは、ヘッド部10と縦型筒部1aとを連通するセンターピースCPの位置規制孔を介してヘッド部10から縦型筒部1a内へと垂下される。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
上記単結晶引上装置において、ワイヤがヘッド部のセンターピースと接触して塵埃が発生し、位置規制孔やワイヤーに付着する場合がある。また、ワイヤーが巻き上げ機構によって巻き上げられる際に、ワイヤー自体からW等の粉塵が発生する場合がある。これらの粉塵が落下すると、引上成長に影響して単結晶の有転位化を起こし、結晶引き上げ特性を悪化させるおそれがある。しかしながら、ワイヤーやセンターピースは、引上成長装置の上部にあって高所であるため、手作業等ではこれらの粉塵を除去する掃除が困難であった。
【0006】
本発明は、前述の課題に鑑みてなされたもので、単結晶引上装置におけるヘッド部等の内部やワイヤーの掃除を容易に行うことができる単結晶引上装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明は、前記課題を解決するために以下の構成を採用した。
すなわち、本発明の単結晶引上装置は、密閉容器の縦型筒部上に配置されたヘッド部からヘッド部下部の挿通孔を介して縦型筒部内に垂下されたワイヤーにより、縦型筒部下方に設置されたルツボ内の半導体融液から半導体単結晶を引き上げる単結晶引上装置であって、前記ヘッド部又は前記縦型筒部の少なくとも一方にこれらの内部又は前記ワイヤーをクリーニングするクリーニング機構を備え、
前記クリーニング機構は、前記ヘッド部内に設けられたヘッド部内吹出口から前記挿通孔に向けて空気を吹出可能なヘッド部エア吹出機構を備えていることを特徴とする。
本発明の単結晶引上装置は、密閉容器の縦型筒部上に配置されたヘッド部からヘッド部下部の挿通孔を介して縦型筒部内に垂下されたワイヤーにより、縦型筒部下方に設置されたルツボ内の半導体融液から半導体単結晶を引き上げる単結晶引上装置であって、前記ヘッド部又は前記縦型筒部の少なくとも一方にこれらの内部又は前記ワイヤーをクリーニングするクリーニング機構を備えていることができる。
【0008】
この単結晶引上装置では、ヘッド部又は縦型筒部の少なくとも一方にこれらの内部又はワイヤーをクリーニングするクリーニング機構を備えているので、該クリーニング機構により、高所にあるヘッド部又は縦型筒部において粉塵が付着している内部(内面)やワイヤーを掃除することができる。
【0009】
また、本発明の単結晶引上装置は、前記クリーニング機構が、前記ヘッド部内に設けられたヘッド部内吹出口から前記挿通孔に向けて空気を吹出可能なヘッド部エア吹出機構を備えていることが好ましい。すなわち、この単結晶引上装置では、挿通孔内にワイヤーを垂下させ、ヘッド部エア吹出機構により空気をヘッド部内吹出口から挿通孔に向けて空気を吹き付けることにより、挿通孔及びワイヤー表面から粉塵を吹き飛ばして除去することができる。
【0010】
また、本発明の単結晶引上装置は、前記クリーニング機構が、前記縦型筒部の内側に設けられた筒部内吹出口から半径方向内方に向けて空気を吹出可能な筒部エア吹出機構を備えていることが好ましい。すなわち、この単結晶引上装置では、縦型筒部内にワイヤーを垂下させ、筒部エア吹出機構により空気を筒部内吹出口から半径方向内方に向けて吹き付けることにより、ワイヤー表面から粉塵を吹き飛ばして除去することができると共に、縦型筒部内に乱流を発生させて縦型内面に付着している粉塵を落とすことができる。
【0011】
さらに、本発明の単結晶引上装置は、前記筒部エア吹出機構が、複数の前記筒部内吹出口を備えていることが好ましい。すなわち、この単結晶引上装置では、例えば、周方向や軸方向に複数設けられた筒部内吹出口からワイヤーに向けて空気が吹き付けられるので、ワイヤー表面を周方向や軸方向の広い範囲で掃除することが可能になる。
【0012】
また、本発明の単結晶引上装置は、前記クリーニング機構が、前記縦型筒部の内面に、縦型筒部内に配されるワイヤーに接触して振動を与える振動部材を備えていることが好ましい。すなわち、この単結晶引上装置では、縦型筒部内に配されるワイヤーに振動部材を接触させることにより、ワイヤーが振動して付着している粉塵を落とすことができる。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、本発明に係る単結晶引上装置の一実施形態を、図1を参照しながら説明する。
この図にあって、符号11はチャンバ、12は縦型筒部、13はクリーニング機構、14は巻き上げ機構、16はヘッド部を示している。
【0014】
図1は、本実施形態の単結晶引上装置において、チャンバ(密閉容器)11上部の縦型筒部12及び該縦型筒部12上に回転可能に設置されたヘッド部16を示した断面図である。
この単結晶引上装置は、ヘッド部16及び縦型筒部12にワイヤーWをクリーニングするクリーニング機構13を備えている。なお、この単結晶引上装置は、縦型筒部12下方におけるチャンバ11内の部材構成及び構造は、上述した従来の単結晶引上装置と同様である。
【0015】
前記ヘッド部16は、その内部にワイヤーWを巻き取る巻き取り機構14が収納されている。
縦型筒部12の上側には接続筒部15が上方に向かって突出するように形成され、この接続筒部15にはヘッド部16に連通してワイヤーWを吊り下げるための連通孔15aが中央に形成されている。
【0016】
ヘッド部16は平断面形状が略円形とされ、底部16aと、この底部16aの上側を覆うように開閉可能として設けられた蓋部16bとによって、その内部が密閉可能に構成されている。
底部16aには、接続筒部15より大径に形成されこの接続筒部15にシール17を介して回転可能に挿入される接続筒部16dが下方に向かって突設されている。接続筒部16dはシール17を介して接続筒部15に接続され、シール17は縦型筒部12とヘッド部16との内部を大気と遮断可能に構成されている。
【0017】
また、接続筒部16dには、縦型筒部12に連通してワイヤーWを吊り下げるための連通孔16cが底部16aの略中央位置に形成されており、この連通孔16cのヘッド部16側の開口部分には、ワイヤーWの縦型筒部12に対する吊り下げ位置を規定するための位置規制孔(挿通孔)C1を有するセンターピースCPが嵌合されている。
【0018】
接続筒部16dの外周面には従動プーリ18が嵌着され、このプーリ18と図示しないヘッド駆動用モータの出力軸に嵌着された駆動プーリとの間には駆動ベルト19が巻回されている。ヘッド部16はこのヘッド駆動用モータにより回転駆動されるように構成される。
【0019】
底部16aの上側には、この底部16aよりも小径に形成された中円板20が底部16aに対して位置設定可能に設けられ、この中円板20にワイヤーWの巻き取り機構14が設けられる。
巻き取り機構14は中円板20の略中心位置に設けられた定滑車21と、中円板20に取付固定された巻き取りドラム22と、この巻き取りドラム22をシャフト24を介して回転駆動するドラム駆動用モータ23とを有する。
【0020】
定滑車21は図示しない保持部材によって中円板20に支持固定されており、中円板20を下円板16aに対して摺動、傾き角設定等の位置設定することにより、定滑車21のセンターピースCPに対する位置の設定、つまり、ワイヤーWの吊り下げ状態の調整をおこなうことが可能な構成とされている。
【0021】
前記クリーニング機構13は、ヘッド部16内に設けられたヘッド部内ノズル(ヘッド部内吹出口)31aから位置規制孔C1に向けてクリーンエア(空気)を吹出可能なヘッド部エア吹出機構31と、縦型筒部12の内側に設けられた複数の筒部内ノズル(筒部内吹出口)32aから半径方向内方に向けてクリーンエア(空気)を吹出可能な筒部エア吹出機構32と、縦型筒部12の内面に設けられ縦型筒部16内のワイヤーWに接触して振動を与える振動部材33とを備えている。
【0022】
前記ヘッド部エア吹出機構31は、ヘッド部内ノズル31aに先端が接続されたヘッド部側エア供給管31bを備え、該ヘッド部側エア供給管31bには開閉バルブ31c、パーティクルフィルタ31d、ミストオイルフィルタ31e及びポンプ31fがこの順に接続されている。
また、前記ヘッド部内ノズル31aは、蓋部16bを貫通して設置され先端が位置規制孔C1に向けて配されている。
【0023】
前記筒部エア吹出機構32は、各筒部内ノズル32aに先端が接続された筒部側エア供給管32bを備え、該筒部側エア供給管32bには開閉バルブ32c、パーティクルフィルタ32d、ミストオイルフィルタ32e及びポンプ32fがこの順に接続されている。
また、前記筒部内ノズル32aは、互いに周方向に等間隔に配置された4つを軸方向に離間して2箇所備えており、全部で8箇所に配置されている。なお、これらの筒部内ノズル32aは、実際の引上成長時に、引き上げられたインゴットに接触しないように配置されている。
【0024】
前記振動部材33は、図示しないモータ等の振動源に接続された棒状部材であり、先端側がワイヤーWに接触及び離間可能に縦型筒部12内を遠隔操作で移動できるように設けられている。すなわち、この振動部材33は、実際の引上成長時に、引き上げられたインゴットに接触しないように退避可能に設置されている。
なお、ワイヤーWの下端には、種結晶Sを保持するチャックSCが取り付けられている。
【0025】
次に、本実施形態の単結晶引上装置におけるワイヤーの掃除方法について説明する。
【0026】
まず、チャンバ11の本体部分と上部とを切り離しておき、巻き上げ機構14を駆動して位置規制孔C1を挿通させて縦型筒部12内にワイヤーWを垂下させる。さらに、ヘッド部エア吹出機構31を駆動し、開閉バルブ31cを開きポンプ31fによってヘッド部側エア供給管31bに空気を供給すると共に、該空気をミストオイルフィルタ31e、パーティクルフィルタ31dを介してクリーンエアとし、該クリーンエアをヘッド部内ノズル31aから位置規制孔C1に向けて吹き付ける。
【0027】
また、筒部エア吹出機構32を駆動し、開閉バルブ32cを開きポンプ32fによって筒部側エア供給管32bに空気を供給すると共に、該空気をミストオイルフィルタ32e、パーティクルフィルタ32dを介してクリーンエアとし、該クリーンエアを各筒部内ノズル32aからワイヤーWに向けて吹き付ける。
【0028】
このとき、ヘッド部16内では、ヘッド部内ノズル31aから位置規制孔C1及びワイヤーWに空気が吹き付けられ、これら表面の粉塵を吹き飛ばすことができる。また、縦型筒部12内では、各筒部内ノズル32aからワイヤーWの全周にわたって空気が吹き付けられ、軸方向2箇所においてワイヤーW表面の粉塵を吹き飛ばすことができる。特に、ワイヤーW下端のチャックSCが重りとなり、ワイヤーWに吹き付ける空気によってワイヤーWに振動が発生して、より粉塵が落ちやすくなる。
【0029】
さらに、各筒部内ノズル32aから吹き出されたクリーンエアにより、縦型筒部12内に乱流が生じ、縦型筒部12内面に付着している粉塵をも落とすことができる。
また、ワイヤーWに振動部材33を接触させることにより、ワイヤーWを直接的に振動させて付着している粉塵をさらに落とすことができる。
【0030】
なお、上記クリーニングの際、巻き上げ機構14によってワイヤーWを何度か上下させることにより、ワイヤーW全体をクリーニングすることができる。
また、上記クリーニングを行うにあたって、周囲に粉塵がまき散らされるのを防ぐため、縦型筒部12の下方に排気ユニットを接続又は設置して、縦型筒部12から落ちてくる粉塵を集塵することが望ましい。
【0031】
このように、本実施形態の単結晶引上装置では、クリーニング機構13として、ヘッド部内ノズル31aから位置規制孔C1に向けてクリーンエアを吹出可能なヘッド部エア吹出機構31と、筒部内ノズル32aから縦型筒部12の半径方向内方に向けてクリーンエアを吹出可能な筒部エア吹出機構32とを備えているので、高所であっても、ヘッド部16内で位置規制孔C1及びワイヤーWの表面に付着している粉塵をクリーンエアで吹き飛ばすことができると共に、縦型筒部12内でも、挿通されたワイヤーW表面に付着している粉塵をクリーンエアで吹き飛ばして除去することができる。また、縦型筒部12の内面に振動部材33を備えることにより、ワイヤーWに振動部材33を接触させてワイヤーを直接振動させ、付着している粉塵を落とすことができる。
【0032】
【発明の効果】
本発明の単結晶引上装置によれば、ヘッド部又は縦型筒部の少なくとも一方にこれらの内部又はワイヤーをクリーニングするクリーニング機構を備えているので、ヘッド部や縦型筒部が高所にあっても、クリーニング機構によって、粉塵が付着しているヘッド部又は縦型筒部の内面やワイヤー表面をクリーニングすることができる。したがって、手作業によらずに容易に粉塵除去の掃除を行うことができ、ワイヤー等からの粉塵による引上成長への影響(結晶の有転位化等)を抑制することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明に係る単結晶引上装置の一実施形態において、要部を拡大した断面図である。
【図2】 本発明に係る単結晶引上装置の従来例を示す全体断面図である。
【符号の説明】
1a 縦型筒部
3 ルツボ
11 チャンバ(密閉容器)
12 縦型筒部
13 クリーニング機構
16 ヘッド部
31 ヘッド部エア吹出機構
31a ヘッド部内ノズル(ヘッド部内吹出口)
32 筒部エア吹出機構
32a 筒部内ノズル(筒部内吹出口)
33 振動部材
C 半導体単結晶
C1 位置規制孔(挿通孔)
CP センターピース
L 半導体融液
W ワイヤー
Claims (5)
- 密閉容器の縦型筒部上に配置されたヘッド部からヘッド部下部の挿通孔を介して縦型筒部内に垂下されたワイヤーにより、縦型筒部下方に設置されたルツボ内の半導体融液から半導体単結晶を引き上げる単結晶引上装置であって、
前記ヘッド部又は前記縦型筒部の少なくとも一方にこれらの内部又は前記ワイヤーをクリーニングするクリーニング機構を備え、
前記クリーニング機構は、前記ヘッド部内に設けられたヘッド部内吹出口から前記挿通孔に向けて空気を吹出可能なヘッド部エア吹出機構を備えていることを特徴とする単結晶引上装置。 - 請求項1に記載の単結晶引上装置において、
前記クリーニング機構は、前記縦型筒部の内側に設けられた筒部内吹出口から半径方向内方に向けて空気を吹出可能な筒部エア吹出機構を備えていることを特徴とする単結晶引上装置。 - 請求項2に記載の単結晶引上装置において、
前記筒部エア吹出機構は、複数の前記筒部内吹出口を備えていることを特徴とする単結晶引上装置。 - 請求項1から3のいずれかに記載の単結晶引上装置において、
前記クリーニング機構は、前記縦型筒部の内面に、縦型筒部内に配されるワイヤーに接触して振動を与える振動部材を備えていることを特徴とする単結晶引上装置。 - 密閉容器の縦型筒部上に配置されたヘッド部からヘッド部下部の挿通孔を介して縦型筒部内に垂下されたワイヤーにより、縦型筒部下方に設置されたルツボ内の半導体融液から半導体単結晶を引き上げる単結晶引上装置であって、
前記ヘッド部又は前記縦型筒部の少なくとも一方にこれらの内部又は前記ワイヤーをクリーニングするクリーニング機構を備え、
前記クリーニング機構は、前記縦型筒部の内面に、縦型筒部内に配されるワイヤーに接触して振動を与える振動部材を備えていることを特徴とする単結晶引上装置。
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