JPH06329494A - 黒鉛るつぼハンドリング装置 - Google Patents
黒鉛るつぼハンドリング装置Info
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- JPH06329494A JPH06329494A JP14425593A JP14425593A JPH06329494A JP H06329494 A JPH06329494 A JP H06329494A JP 14425593 A JP14425593 A JP 14425593A JP 14425593 A JP14425593 A JP 14425593A JP H06329494 A JPH06329494 A JP H06329494A
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- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 75
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Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Load-Engaging Elements For Cranes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ２分割または３分割された重量の大きい黒鉛
るつぼのるつぼ軸に対する着脱を、安全かつ容易に行う
ことができるハンドリング装置を提供する。 【構成】 黒鉛るつぼハンドリング装置は、ホース６を
介して真空発生装置７に接続した１個以上の吸着パッド
１を支持フレーム３に取着し、支持フレーム３の上部部
材３ｂにアイボルト８を取着したものである。分割され
た黒鉛るつぼ２の外周面に吸着パッド１を吸着させ、荷
役・運搬機器を操作して本ハンドリング装置を吊り上げ
る。前記アイボルト８は、本ハンドリング装置に黒鉛る
つぼ２を吸着して吊り上げたときその重心位置を通る鉛
直線上の位置に取着されているので、黒鉛るつぼ２を傾
かせることなく釣支することが可能となる。そして、支
持フレーム３に取着した把手９を操作して位置決めを行
うことにより、るつぼ受け５への取り付けを極めて容易
に行うことができる。
るつぼのるつぼ軸に対する着脱を、安全かつ容易に行う
ことができるハンドリング装置を提供する。 【構成】 黒鉛るつぼハンドリング装置は、ホース６を
介して真空発生装置７に接続した１個以上の吸着パッド
１を支持フレーム３に取着し、支持フレーム３の上部部
材３ｂにアイボルト８を取着したものである。分割され
た黒鉛るつぼ２の外周面に吸着パッド１を吸着させ、荷
役・運搬機器を操作して本ハンドリング装置を吊り上げ
る。前記アイボルト８は、本ハンドリング装置に黒鉛る
つぼ２を吸着して吊り上げたときその重心位置を通る鉛
直線上の位置に取着されているので、黒鉛るつぼ２を傾
かせることなく釣支することが可能となる。そして、支
持フレーム３に取着した把手９を操作して位置決めを行
うことにより、るつぼ受け５への取り付けを極めて容易
に行うことができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、分割された黒鉛るつぼ
のハンドリング装置に関する。
のハンドリング装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体集積回路の基本材料であるシリコ
ン単結晶の製造方法の一つとして、るつぼ内の原料融液
から円柱状の単結晶を引き上げるチョクラルスキー法
（以下ＣＺ法という）が用いられている。ＣＺ法におい
ては、単結晶製造装置のチャンバ内に設置したるつぼ軸
にるつぼ受けを介して黒鉛るつぼを取着し、前記黒鉛る
つぼに石英るつぼを収容する。この石英るつぼ内に充填
した高純度の多結晶シリコンを、前記黒鉛るつぼの外周
を取り巻くように設けたヒータによって加熱溶解した
後、シードチャックに取り付けた種子結晶を融液に浸漬
し、前記シードチャックおよび黒鉛るつぼを同方向また
は逆方向に回転しつつシードチャックを引き上げてシリ
コン単結晶を成長させる。
ン単結晶の製造方法の一つとして、るつぼ内の原料融液
から円柱状の単結晶を引き上げるチョクラルスキー法
（以下ＣＺ法という）が用いられている。ＣＺ法におい
ては、単結晶製造装置のチャンバ内に設置したるつぼ軸
にるつぼ受けを介して黒鉛るつぼを取着し、前記黒鉛る
つぼに石英るつぼを収容する。この石英るつぼ内に充填
した高純度の多結晶シリコンを、前記黒鉛るつぼの外周
を取り巻くように設けたヒータによって加熱溶解した
後、シードチャックに取り付けた種子結晶を融液に浸漬
し、前記シードチャックおよび黒鉛るつぼを同方向また
は逆方向に回転しつつシードチャックを引き上げてシリ
コン単結晶を成長させる。
【０００３】単結晶の引き上げが完了すると、石英るつ
ぼ、黒鉛るつぼ、黒鉛ヒータ、保温筒などの炉内部品を
取り外し、石英るつぼは新品と交換する。その他の部品
は点検、清掃の上、特に支障がなければ再度使用するこ
ととし、前記各部品は次の単結晶引き上げのためチャン
バ内の所定の位置に取り付けられる。従来、黒鉛るつぼ
のるつぼ軸に対する着脱は人力によって行われている。
ぼ、黒鉛るつぼ、黒鉛ヒータ、保温筒などの炉内部品を
取り外し、石英るつぼは新品と交換する。その他の部品
は点検、清掃の上、特に支障がなければ再度使用するこ
ととし、前記各部品は次の単結晶引き上げのためチャン
バ内の所定の位置に取り付けられる。従来、黒鉛るつぼ
のるつぼ軸に対する着脱は人力によって行われている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、単結晶の大径
化に伴い黒鉛るつぼが大型化し、その重量も増大してい
る。通常、前記黒鉛るつぼは熱影響を考慮して縦方向に
２分割ないし３分割されているため、単体では不安定な
形状であり、重量が重くなるとハンドリングが容易では
ない。また、単結晶への影響を考慮すると、黒鉛るつぼ
にハンドリング用の穴や突起を設けることは好ましくな
い。本発明は上記従来の問題点に着目してなされたもの
で、黒鉛るつぼの形状を変えることなく、るつぼ軸に対
する着脱を安全かつ容易に行うことができる黒鉛るつぼ
ハンドリング装置を提供することを目的としている。
化に伴い黒鉛るつぼが大型化し、その重量も増大してい
る。通常、前記黒鉛るつぼは熱影響を考慮して縦方向に
２分割ないし３分割されているため、単体では不安定な
形状であり、重量が重くなるとハンドリングが容易では
ない。また、単結晶への影響を考慮すると、黒鉛るつぼ
にハンドリング用の穴や突起を設けることは好ましくな
い。本発明は上記従来の問題点に着目してなされたもの
で、黒鉛るつぼの形状を変えることなく、るつぼ軸に対
する着脱を安全かつ容易に行うことができる黒鉛るつぼ
ハンドリング装置を提供することを目的としている。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明に係る黒鉛るつぼハンドリング装置は、２分
割または３分割された黒鉛るつぼの外周面または内周面
に対向して配設され、ホースを介して真空発生装置に接
続した１個以上の吸着パッドと、前記吸着パッドを取着
する支持フレームとからなる黒鉛るつぼハンドリング装
置であって、前記黒鉛るつぼハンドリング装置に前記分
割された黒鉛るつぼを吸着したとき、その重心位置を通
る鉛直線上に吊り上げワイヤ取り付け具を備えているこ
とを特徴としている。
め、本発明に係る黒鉛るつぼハンドリング装置は、２分
割または３分割された黒鉛るつぼの外周面または内周面
に対向して配設され、ホースを介して真空発生装置に接
続した１個以上の吸着パッドと、前記吸着パッドを取着
する支持フレームとからなる黒鉛るつぼハンドリング装
置であって、前記黒鉛るつぼハンドリング装置に前記分
割された黒鉛るつぼを吸着したとき、その重心位置を通
る鉛直線上に吊り上げワイヤ取り付け具を備えているこ
とを特徴としている。
【０００６】
【作用】上記構成によれば、分割された黒鉛るつぼの外
周面または内周面に対向して１個以上の吸着パッドを配
設し、ホースを介してこれらの吸着パッドを真空発生装
置に接続するとともに、前記吸着パッドと吊り上げワイ
ヤ取り付け具を支持フレームに取着したので、吸着パッ
ドを黒鉛るつぼの外周面に当接させて真空発生装置を駆
動すれば、黒鉛るつぼハンドリング装置は黒鉛るつぼに
吸着する。そして、前記黒鉛るつぼハンドリング装置に
分割された黒鉛るつぼを吸着したとき、その重心位置を
通る鉛直線上に吊り上げワイヤ取り付け具を設けたの
で、この吊り上げワイヤ取り付け具にワイヤを掛止して
吊り上げたとき、黒鉛るつぼを傾かせることなく釣支す
ることができ、るつぼ受けに対する黒鉛るつぼの着脱作
業が容易となる。
周面または内周面に対向して１個以上の吸着パッドを配
設し、ホースを介してこれらの吸着パッドを真空発生装
置に接続するとともに、前記吸着パッドと吊り上げワイ
ヤ取り付け具を支持フレームに取着したので、吸着パッ
ドを黒鉛るつぼの外周面に当接させて真空発生装置を駆
動すれば、黒鉛るつぼハンドリング装置は黒鉛るつぼに
吸着する。そして、前記黒鉛るつぼハンドリング装置に
分割された黒鉛るつぼを吸着したとき、その重心位置を
通る鉛直線上に吊り上げワイヤ取り付け具を設けたの
で、この吊り上げワイヤ取り付け具にワイヤを掛止して
吊り上げたとき、黒鉛るつぼを傾かせることなく釣支す
ることができ、るつぼ受けに対する黒鉛るつぼの着脱作
業が容易となる。
【０００７】
【実施例】以下に本発明に係る黒鉛るつぼハンドリング
装置の実施例について、図面を参照して説明する。図１
は黒鉛るつぼハンドリング装置の上面図で、２分割の黒
鉛るつぼにハンドリング装置を取り付け、るつぼ受けの
上方に釣支した状態を示す。同図において吸着パッド１
は、黒鉛るつぼ２の外周面に向かって、かつ吸引力を効
果的に発揮するため吸着方向を考慮して、支持フレーム
３の内面にボルト４を用いて２個取着されている。吸着
パッド１のリップ部には可撓性に富む材料を用いるた
め、吸着パッド１の側面形状は図２に示す通りである
が、図３に示すようにリップ部の側面形状を黒鉛るつぼ
の外周面にほぼ一致する円弧状としてもよい。なお、図
１において５はるつぼ受けである。
装置の実施例について、図面を参照して説明する。図１
は黒鉛るつぼハンドリング装置の上面図で、２分割の黒
鉛るつぼにハンドリング装置を取り付け、るつぼ受けの
上方に釣支した状態を示す。同図において吸着パッド１
は、黒鉛るつぼ２の外周面に向かって、かつ吸引力を効
果的に発揮するため吸着方向を考慮して、支持フレーム
３の内面にボルト４を用いて２個取着されている。吸着
パッド１のリップ部には可撓性に富む材料を用いるた
め、吸着パッド１の側面形状は図２に示す通りである
が、図３に示すようにリップ部の側面形状を黒鉛るつぼ
の外周面にほぼ一致する円弧状としてもよい。なお、図
１において５はるつぼ受けである。
【０００８】図４は黒鉛るつぼハンドリング装置の側面
図で、るつぼ受け５に前記黒鉛るつぼを取り付けた状態
を示す。吸着パッド１にはホース６の一端が接続され、
ホース６の他端は真空発生装置７に接続されている。支
持フレーム３の側面形状はほぼコの字形で、前記吸着パ
ッド１を取着した支持フレーム本体３ａに対して上部部
材３ｂは、図１に示すように、２個の吸着パッド１の中
間の位置に溶着されている。前記上部部材３ｂの上面に
は、本ハンドリング装置に黒鉛るつぼ２を吸着したとき
その重心位置を通る鉛直線上の位置にアイボルト８が取
着されている。また支持フレーム本体３ａの側面には、
１個ないし２個の把手９が支持フレーム３の外方に向か
って取着されている。１０は吊り上げワイヤ、１１はる
つぼ軸である。
図で、るつぼ受け５に前記黒鉛るつぼを取り付けた状態
を示す。吸着パッド１にはホース６の一端が接続され、
ホース６の他端は真空発生装置７に接続されている。支
持フレーム３の側面形状はほぼコの字形で、前記吸着パ
ッド１を取着した支持フレーム本体３ａに対して上部部
材３ｂは、図１に示すように、２個の吸着パッド１の中
間の位置に溶着されている。前記上部部材３ｂの上面に
は、本ハンドリング装置に黒鉛るつぼ２を吸着したとき
その重心位置を通る鉛直線上の位置にアイボルト８が取
着されている。また支持フレーム本体３ａの側面には、
１個ないし２個の把手９が支持フレーム３の外方に向か
って取着されている。１０は吊り上げワイヤ、１１はる
つぼ軸である。
【０００９】黒鉛るつぼを単結晶製造装置のるつぼ軸に
取り付ける場合、単結晶製造装置の近傍に搬送された２
分割の黒鉛るつぼ２の外周面に黒鉛るつぼハンドリング
装置の吸着パッド１を当接させ、真空発生装置７を駆動
して黒鉛るつぼハンドリング装置に黒鉛るつぼ２を吸
着、固定する。このとき、各吸着パッド１は図４に示す
ように黒鉛るつぼ２の上端に近づけて取り付け、黒鉛る
つぼ２下部の球面部分にかからないようにすれば、確実
に吸着させることができる。次に、荷役・運搬機器のフ
ックに掛止した吊り上げワイヤ１０の下端をアイボルト
８に掛止し、黒鉛るつぼハンドリング装置を吊り上げて
るつぼ受け５の上方に移動させる。
取り付ける場合、単結晶製造装置の近傍に搬送された２
分割の黒鉛るつぼ２の外周面に黒鉛るつぼハンドリング
装置の吸着パッド１を当接させ、真空発生装置７を駆動
して黒鉛るつぼハンドリング装置に黒鉛るつぼ２を吸
着、固定する。このとき、各吸着パッド１は図４に示す
ように黒鉛るつぼ２の上端に近づけて取り付け、黒鉛る
つぼ２下部の球面部分にかからないようにすれば、確実
に吸着させることができる。次に、荷役・運搬機器のフ
ックに掛止した吊り上げワイヤ１０の下端をアイボルト
８に掛止し、黒鉛るつぼハンドリング装置を吊り上げて
るつぼ受け５の上方に移動させる。
【００１０】荷役・運搬機器を操作して黒鉛るつぼハン
ドリング装置を下降させ、黒鉛るつぼ２の底面から突出
するボスをるつぼ受け５に嵌め込む。上述したように黒
鉛るつぼ２は重心位置を釣支されているため、そのまま
の状態でるつぼ受け５に挿嵌させることができ、また、
支持フレーム本体３ａに取着した把手９をつかんで操作
すると、るつぼ受け５に対する黒鉛るつぼ２の位置の微
調整を極めて容易かつ迅速に行うことが可能となる。本
ハンドリング装置を用いるとにより、従来少なくとも２
人で行っていた黒鉛るつぼのるつぼ軸への取り付け作業
を１人で容易に行うことができる。なお、いうまでもな
く、単結晶引き上げ完了後に行う黒鉛るつぼ取り外し作
業においても、本ハンドリング装置を利用することがで
きる。荷役・運搬機器の他、本ハンドリング装置をロボ
ットと組み合わせて用いてもよい。
ドリング装置を下降させ、黒鉛るつぼ２の底面から突出
するボスをるつぼ受け５に嵌め込む。上述したように黒
鉛るつぼ２は重心位置を釣支されているため、そのまま
の状態でるつぼ受け５に挿嵌させることができ、また、
支持フレーム本体３ａに取着した把手９をつかんで操作
すると、るつぼ受け５に対する黒鉛るつぼ２の位置の微
調整を極めて容易かつ迅速に行うことが可能となる。本
ハンドリング装置を用いるとにより、従来少なくとも２
人で行っていた黒鉛るつぼのるつぼ軸への取り付け作業
を１人で容易に行うことができる。なお、いうまでもな
く、単結晶引き上げ完了後に行う黒鉛るつぼ取り外し作
業においても、本ハンドリング装置を利用することがで
きる。荷役・運搬機器の他、本ハンドリング装置をロボ
ットと組み合わせて用いてもよい。
【００１１】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、分
割されているため不安定な形状で重量の大きい黒鉛るつ
ぼを、支持フレームに取着した吸着パッドで吸引して吊
り上げることにしたので、大型の黒鉛るつぼであっても
ハンドリングが極めて容易になる。また、本ハンドリン
グ装置は、黒鉛るつぼをハンドリング装置に吸着したと
きその重心位置を吊り上げるので、黒鉛るつぼが傾か
ず、るつぼ受けに円滑に挿嵌することができる。従っ
て、従来の人手によるハンドリングに比べて作業者の疲
労を著しく軽減させることができるとともに、単結晶引
き上げに伴う準備作業の能率向上に大きく寄与する。
割されているため不安定な形状で重量の大きい黒鉛るつ
ぼを、支持フレームに取着した吸着パッドで吸引して吊
り上げることにしたので、大型の黒鉛るつぼであっても
ハンドリングが極めて容易になる。また、本ハンドリン
グ装置は、黒鉛るつぼをハンドリング装置に吸着したと
きその重心位置を吊り上げるので、黒鉛るつぼが傾か
ず、るつぼ受けに円滑に挿嵌することができる。従っ
て、従来の人手によるハンドリングに比べて作業者の疲
労を著しく軽減させることができるとともに、単結晶引
き上げに伴う準備作業の能率向上に大きく寄与する。
【図１】黒鉛るつぼハンドリング装置の上面図で、２分
割の黒鉛るつぼに前記ハンドリング装置を取り付けた状
態を示す。
割の黒鉛るつぼに前記ハンドリング装置を取り付けた状
態を示す。
【図２】吸着パッドの側面形状の一例を示す図である。
【図３】吸着パッドの側面形状の他の例を示す図であ
る。
る。
【図４】黒鉛るつぼハンドリング装置の側面図で、るつ
ぼ軸に２分割の黒鉛るつぼを取り付けた状態を示す。
ぼ軸に２分割の黒鉛るつぼを取り付けた状態を示す。
１ 吸着パッド ２ 黒鉛るつぼ ３ 支持フレーム ６ ホース ７ 真空発生装置 ８ アイボルト（吊り上げワイヤ取り付け具）
Claims (1)
- 【請求項１】 ２分割または３分割された黒鉛るつぼの
外周面または内周面に対向して配設され、ホースを介し
て真空発生装置に接続した１個以上の吸着パッドと、前
記吸着パッドを取着する支持フレームとからなる黒鉛る
つぼハンドリング装置であって、前記黒鉛るつぼハンド
リング装置に前記分割された黒鉛るつぼを吸着したと
き、その重心位置を通る鉛直線上に吊り上げワイヤ取り
付け具を備えていることを特徴とする黒鉛るつぼハンド
リング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05144255A JP3129572B2 (ja) | 1993-05-24 | 1993-05-24 | 黒鉛るつぼハンドリング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05144255A JP3129572B2 (ja) | 1993-05-24 | 1993-05-24 | 黒鉛るつぼハンドリング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06329494A true JPH06329494A (ja) | 1994-11-29 |
| JP3129572B2 JP3129572B2 (ja) | 2001-01-31 |
Family
ID=15357850
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP05144255A Expired - Fee Related JP3129572B2 (ja) | 1993-05-24 | 1993-05-24 | 黒鉛るつぼハンドリング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3129572B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102392155B1 (ko) * | 2021-12-24 | 2022-04-29 | 주식회사 르본인터내셔널 | 전기접점용 전기 보온로를 포함하는 전기접점용 빌렛 제조장치, 카본 주형 도가니를 포함하는 전기접점용 빌렛 제조장치 및 카본 주형 도가니의 탈착이동장치 |
| KR102392156B1 (ko) * | 2021-12-24 | 2022-04-29 | 주식회사 르본인터내셔널 | 카본 주형 도가니를 포함하는 전기접점용 빌렛 제조장치 및 카본 주형 도가니의 탈착이동장치 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101996499B1 (ko) * | 2017-07-13 | 2019-07-04 | 옥철식 | 실탄 사격 훈련 시스템 |
-
1993
- 1993-05-24 JP JP05144255A patent/JP3129572B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102392155B1 (ko) * | 2021-12-24 | 2022-04-29 | 주식회사 르본인터내셔널 | 전기접점용 전기 보온로를 포함하는 전기접점용 빌렛 제조장치, 카본 주형 도가니를 포함하는 전기접점용 빌렛 제조장치 및 카본 주형 도가니의 탈착이동장치 |
| KR102392156B1 (ko) * | 2021-12-24 | 2022-04-29 | 주식회사 르본인터내셔널 | 카본 주형 도가니를 포함하는 전기접점용 빌렛 제조장치 및 카본 주형 도가니의 탈착이동장치 |
| KR102462018B1 (ko) * | 2021-12-24 | 2022-11-03 | 주식회사 르본인터내셔널 | 빌렛 제조장치 |
| KR102462019B1 (ko) * | 2021-12-24 | 2022-11-03 | 주식회사 르본인터내셔널 | 카본 주형 도가니의 탈착이동장치 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3129572B2 (ja) | 2001-01-31 |
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