JP3969368B2 - Sawチップの製造方法およびsawチップ並びにsawデバイス - Google Patents
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また、本発明は、電極間の短絡を防止できるようにすることを目的としている。
図1は、本発明の実施の形態に係るSAWチップの一例を示す説明図であって、(1)は平面図であり、(2)は(1)のA−A線に沿った一部断面図である。図1(1)に示したように、SAWチップ10は、水晶などの圧電基板12の上面中央部にIDT電極14が形成してある。IDT電極14は、一対の櫛型電極16(16a、16b)から構成してあって、一方の櫛型電極16aの各電極指18a間に、他方の櫛型電極16bの電極指18bが挿入され、すだれ状に形成してある。また、SAWチップ10は、IDT電極14の長手方向両側にすだれ状に形成した反射器20(20a、20b)を備えている。そして、各櫛型電極16は、配線パターン22(22a、22b)を介して各反射器20の外側に設けた接続パッド部24(24a、24b)に接続してある。
Claims (7)
- 圧電基板の表面にアルミニウムまたはアルミニウム系合金からなる金属膜を成膜する金属膜形成工程と、
前記金属膜の表面に絶縁膜を形成する絶縁膜形成工程と、
前記絶縁膜と前記金属膜とをエッチングしてIDT電極パターンを形成する電極パターン形成工程と、
形成した前記IDT電極パターンによる共振周波数を測定して目標共振周波数との偏差を求める偏差演算工程と、
前記IDT電極パターンの側面を陽極酸化し、前記偏差演算工程において求めた前記偏差に応じた陽極酸化膜を形成する周波数調整工程と、
を有することを特徴とするSAWチップの製造方法。 - 請求項1に記載のSAWチップの製造方法において、
前記絶縁膜は、物理蒸着または化学蒸着により成膜したケイ素系絶縁膜からなることを特徴とするSAWチップの製造方法。 - 請求項1に記載のSAWチップの製造方法において、
前記絶縁膜は、前記金属膜を陽極酸化して形成した第1陽極酸化膜であることを特徴とするSAWチップの製造方法。 - 請求項3に記載のSAWチップの製造方法において、
前記第1陽極酸化膜を形成する第1陽極酸化は、前記IDT電極パターンの側面を陽極酸化する電圧以上の電圧で行なうことを特徴とするSAWチップの製造方法。 - 請求項1ないし請求項4のいずれかに記載のSAWチップの製造方法において、
前記周波数調整工程は、ウエハに形成した複数のSAW素子に対して行なうことを特徴とするSAWチップの製造方法。 - すだれ状IDT電極を有するSAWチップであって、
前記IDT電極の上面に設けたケイ素系絶縁膜からなる第1絶縁膜と、
前記IDT電極の側面に設けたアルミニウムまたはアルミニウム系合金からなる電極本体を陽極酸化して形成した陽極酸化膜からなる第2絶縁膜と、
を有することを特徴とするSAWチップ。 - 請求項6に記載のSAWチップを有することを特徴とするSAWデバイス。
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