JP4297252B2 - 振動型ジャイロスコープ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、振動型ジャイロスコープに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
振動型ジャイロスコープの振動状態におけるエネルギー損失を示す変数として、いわゆるQ値が知られている。振動型ジャイロスコープの感度を向上させるためには、振動子のQ値が大きいことが望まれる。しかし、振動型ジャイロスコープの応答帯域を上昇させるためには、検出振動のQ値を小さくすることが望まれる。なぜなら、振動型ジャイロスコープにおいては、自励振回路を使用し、振動子の自己発振によって振動子の検出振動の周波数が最適となるようにしている。この際、検出振動のQ値が大きいと、検出振動の周波数が最適となる周波数の範囲が非常に狭くなり、応答帯域が狭くなるからである。更に、振動子の駆動回路とのマッチングを良くし、振動型ジャイロスコープの動作を安定化させるためには、駆動振動のQ値を小さくすることが望まれる。
【0003】
このような課題を解決する方法として、本出願人は特許文献1を開示した。特許文献1においては、振動子の駆動振動片や検出振動片の上に、駆動電極や検出電極とは別に、金属膜からなるQ値調整膜を設けることを開示した。これによって、駆動振動や検出振動のQ値が低くなるように調整することができる。また、このQ値調整膜を駆動電極や検出電極として機能させることも開示されている(0018)。
【特許文献1】
特開平11−257968号公報
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
特許文献1記載の振動型ジャイロスコープにおいては、検出振動片上の電極膜の厚さを大きくすることによって、検出振動のQ値を低くすることが可能である。しかし、この場合には、振動型ジャイロスコープとしての感度が低下する傾向があった。
【0005】
本発明の課題は、検出振動モードのQ値を低くし、駆動振動モードのQ値と検出振動モードのQ値との差を大きくしつつ、感度の低下を抑制して、振動感度(振動に対するノイズを感度で割ったもの)を抑制できるようにすることである。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明は、振動子、および前記振動子に駆動振動を励振し、前記振動子に加わる物理量に応じて前記振動子に励振される検出振動を検出するための電極系を備えている振動型ジャイロスコープであって、
振動子が所定面に沿って形成されており、基部、この基部から突出する支持部、この支持部から突出する駆動振動片、および基部から突出する検出振動片を備えており、駆動振動モードにおいて駆動振動片が支持部への付け根を中心として所定面に平行に屈曲振動し、検出振動モードにおいて検出振動片が基部への付け根を中心として所定面に平行に屈曲振動し、
電極系が、駆動振動片に取り付けられた駆動電極と前記検出振動片に取り付けられた検出電極とを含んでおり、駆動電極が厚さ1000オングストローム以下の金属膜からなり、検出電極が厚さ1000オングストローム以下の金属下地膜およびこの金属下地膜上の厚さ300オングストローム以上の金属上層膜を備えることを特徴とする。
【0007】
本発明者は、振動子に設けられる電極の構成と振動子全体の駆動振動モードのQ値、検出振動モードのQ値、および振動感度が密接な関係にあることを見いだし、本発明に到達した。即ち、振動子をパッケージ内に真空封止した場合には、パッケージ内の空間では空気抵抗がない。この状態では振動子のQ値は例えば数万に達する。この場合には、電極の膜厚、組成などが変化するだけで、Q値が著しく変化し、また振動感度が大きく変動することが判明してきた。
【0008】
具体的には、駆動電極を厚さ1000オングストローム以下の金属膜とし、検出電極を厚さ1000オングストローム以下の金属下地膜およびこの金属下地膜上の厚さ300オングストローム以上の金属上層膜とすることを想到した。この結果、振動子全体の検出振動モードのQ値を駆動振動モードのQ値に比べて著しく小さくすると同時に、感度を高く相対的に維持することが可能であることを見いだし、本発明に到達した。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しつつ、本発明を更に詳細に説明する。
図1は、本発明の一実施形態に係る振動子1Aを概略的に示す平面図である(駆動振動モードを示す)。図2は、振動子1Aの検出振動モードの振動を示す平面図である。
【0010】
本例の振動子1Aは、基部2と、基部2から突出する一対の検出振動片13A、13Bと、基部2から突出する一対の支持部5と、各支持部5の先端に設けられている各駆動振動片14A、14B、14C、14Dとを備えている。
【0011】
各駆動振動片14A〜14Dの各主面には、それぞれ細長い溝が形成されており、各駆動振動片14A〜14Dの横断面形状は略H字形状となっている。溝内に駆動電極19が形成されている。各駆動振動片14A〜14Dの各先端にはそれぞれ幅広部または重量部15A、15B、15C、15Dが設けられており、各幅広部にはそれぞれ貫通孔17が形成されている。各検出振動片13A、13Bの各主面には、それぞれ細長い溝が形成されており、各検出振動片13A、13Bの横断面形状は略H字形状となっている。溝内に検出電極20が形成されている。各検出振動片13A、13Bの各先端にはそれぞれ幅広部または重量部16A、16Bが設けられており、各幅広部にはそれぞれ貫通孔18が形成されている。
【0012】
図1には駆動モードの振動を示す。駆動時には、各駆動振動片14A〜14Dが、それぞれ、支持部5への付け根21を中心として矢印Aのように屈曲振動する。この状態で振動子1Aを、振動子1Aに略垂直に延びる回転軸Zの周りに回転させる。すると、図2に示すように、支持部5が固定部2への付け根5aを中心として、矢印Bのように屈曲振動する。各検出振動片13A,13Bが、それぞれ、その反作用によって、固定部2への付け根を中心として、矢印Cのように屈曲振動する。各検出振動片13A、13Bにおいて発生した電気信号に基づいて、Z軸を中心とする回転角速度を算出する。
【0013】
ここで、振動子上の電極系とは、駆動電極19、検出電極20、およびこれらの電極を外部電極と連結するための配線を含む概念である。
【0014】
図3は、図1、図2の振動子1Aの検出モードにおける応力分布のシミュレーション結果を示す。図4は、図3の部分拡大図である。図3、図4において、青色の領域は歪みが小さく、色が薄くなるほど歪みが大きくなる。即ち、図1、図2において、基部2、駆動振動片14A〜14D、重量部15A〜15D、16A、16Bにおいては歪みが小さく、検出振動片13A、13B、支持部5においては歪みが大きい。
【0015】
こうした場合には、検出振動モードにおいて歪みが小さい領域内において、厚さ1000オングストローム以下の金属膜からなる第一の部分を設ける。例えば図8(a)に模式的に示すように、振動片30上に第一の部分25を設けることができ、第一の部分25は金属膜31からなる。
【0016】
また、歪みが大きい領域内の電極系において、厚さ1000オングストローム以下の金属下地膜およびこの金属下地膜上の厚さ300オングストローム以上の金属上層膜を備える第二の部分を設ける。例えば図8(b)に模式的に示すように、振動片30上に第二の部分26を設けることができ、第二の部分26は、厚さ1000オングストローム以下の金属下地膜27および金属下地膜27上の厚さ300オングストローム以上の金属上層膜28を備える。これによって、検出振動のQ値を低くすることができる。
【0017】
歪みが大きい領域内においては、振動子の一対の主面上の電極系に第二の部分を設けることができ、また、一対の側面上の電極系に第二の部分を設けることができる。
【0018】
駆動電極は、厚さ1000オングストローム以下の金属膜からなる。この金属膜を構成する金属は限定されない。しかし振動子が圧電性単結晶からなる場合には、密着性の観点からは、この金属膜がアルミニウム、あるいは遷移金属からなることが好ましく、なかでもクロム、チタン、クロム合金、チタン合金からなることが特に好ましい。
【0019】
駆動電極を構成する金属膜の厚さを1000オングストローム以下とすることによって、駆動振動モードの振動のQ値を大きくすると共に、感度を大きくできる。この観点からは、この金属膜の厚さを500オングストローム以下とすることが更に好ましい。
【0020】
検出電極は、厚さ1000オングストローム以下の金属下地膜および厚さ300オングストローム以上の金属上層膜を備える。
【0021】
このように少なくとも二層を有する構造とし、かつ金属上層膜の厚さをある程度以上大きくすることによって、検出振動モードのQ値を低くし、かつ振動感度を抑制することができる。金属下地膜の厚さは1000オングストローム以下とすることが更に好ましく、500オングストローム以下とすることが一層好ましい。金属下地膜を構成する金属は限定されない。しかし振動子が圧電性単結晶からなる場合には、密着性の観点からは、金属下地膜がアルミニウム、あるいは遷移金属からなることが好ましく、クロム、チタン、クロム合金、チタン合金からなることが特に好ましい。
【0022】
金属上層膜の厚さは300オングストローム以上とするが、本発明の観点からは、400オングストローム以上とすることが更に好ましい。金属上層膜を構成する金属は特に限定されないが、貴金属またはアルミニウムからなることが導電性の観点からは特に好ましい。
【0023】
本発明においては、電極系が駆動電極と検出電極とを含んでおり、振動子が、駆動電極の設けられた駆動振動片、検出電極の設けられた検出振動片、および駆動振動片と検出振動片との間に設けられた基部を備えている。
【0024】
本発明においては、駆動電極が第一の部分からなり、検出電極が第二の部分からなる。これによって、検出振動モードのQ値を一層低減し、振動感度の低下を抑制できる。
【0025】
電極系を構成する各金属膜は、真空蒸着法、スパッタリング法、電解メッキ法、無電解メッキ法等の公知の方法によって製造できる。
【0026】
本発明においては、振動子が所定面に対して平行に延びている。これは厚さにして1mm以下の範囲内に、振動子が形成されている場合を含む。振動子の駆動振動と検出振動とが、それぞれ所定面に対して平行に生ずる。
【0027】
振動子の材質は限定されないが、圧電単結晶が好ましく、水晶、ニオブ酸リチウム単結晶、タンタル酸リチウム単結晶、ニオブ酸リチウム−タンタル酸リチウム固溶体単結晶、ホウ酸リチウム単結晶、ランガサイト単結晶等からなる圧電単結晶が特に好ましい。
【0028】
振動子の寸法は限定されないが、本発明の観点からは、振動子の幅を10mm以下とすることが好ましく、5mm以下とすることがさらに好ましい。また、同様の観点からは、振動子の重量を5mg以下とすることが好ましく、1mg以下とすることが一層好ましい。また、振動子の厚さを0.3mm以下とすることが好ましく、0.2mm以下とすることが更に好ましい。
【0029】
本発明は、振動子に駆動振動を励振し、駆動振動中の振動子に対する物理量の影響によって振動子の振動状態に変化が生じたときに、この振動状態の変化から検出回路を通して角速度を検出する振動型ジャイロスコープである。
【0030】
【実施例】
以下、更に具体的な実験結果について述べる。図1、図2に示す振動子1Aを製造した。具体的には、厚さ0.1mmの水晶のZ板のウエハーに、スパッタ法によって、所定位置に、クロム膜(金属下地膜)と金膜とを形成した。ウエハーの両面にレジストをコーティングした。
【0031】
このウエハーを、ヨウ素とヨウ化カリウムとの水溶液に浸漬し、余分な金膜をエッチングによって除去し、更に硝酸セリウムアンモニウムと過塩素酸との水溶液にウエハーを浸漬し、余分なクロム膜をエッチングして除去した。温度80℃の重フッ化アンモニウムに20時間ウエハーを浸漬し、ウエハーをエッチングし、振動子1Aの外形を形成した。メタルマスクを使用して、クロム膜(金属下地膜)27上に金膜28を電極膜として形成した。振動子1Aの寸法は、縦3.8mm、横4.5mm、厚さ0.1mmであり、重量は約0.8mgであった。
【0032】
次いで、再びレジスト法によって、振動子の一部領域において金膜28をエッチングで除去し、金属下地膜27を残留させた。この結果、金膜を除去しなかった領域では金属下地膜27と金属上層膜28との二層構造の電極26が形成され、金膜を除去した領域では金属膜31からなる部分25が構成される。
【0033】
ここで、第一の部分および第二の部分は、図5、6、7に示すようにして選択した。即ち、図5においては、領域E(主として駆動振動片14A〜14D)において、電極系を第一の部分によって構成し、領域F(主として検出振動片13A、13B、重量部15A〜15D、16A、16B、基部2、支持部5)において、電極系を第二の部分によって構成した。また、図6においては、領域E(主として駆動振動片14A〜14D、支持部5)において、電極系を第一の部分によって構成し、領域F(主として検出振動片13A、13B、重量部15A〜15D、16A、16B、基部2)において、電極系を第二の部分によって構成した。図7においては、領域E(主として駆動振動片14A〜14D、支持部5、検出振動片13A、13B、重量部15A〜15Dおよび16A、16B)において、電極系を第一の部分によって構成し、領域F(主として基部2)において、電極系を第二の部分によって構成した。
【0034】
各電極系において、領域Eにおける電極は、表1、表2に示すように、クロム膜、チタン膜、アルミニウム膜または金−クロム膜から形成した。領域Fにおける電極は、表1、表2に示すように、下地をクロム膜またはチタン膜とし、金属上層膜を金膜、アルミニウム膜とした。各膜の厚さは、表1、表2に示すように変更した。
【0035】
次いで各例の振動子1Aをパッケージに実装した。ただし、基板はアルミナセラミックスによって形成し、接点パッドは金によって形成し、枠体はSUSによって形成した。ボンディングワイヤは、銅膜線を金によってメッキすることで製造した。銅膜線の厚さは約20μmであり、幅は約100μmであり、金メッキの厚さは約1μmであった。振動子1Aの基部2をボンディングワイヤに対して超音波ボンディングによって接合し、基板上に固定した。
【0036】
得られた振動型ジャイロスコープについて、各モードの振動のQ値を、インピーダンスアナライザを用いて測定した。また、各例の振動型ジャイロスコープについて、回転角速度に対する振動感度(感度に対するノイズの比率)を測定した。これらの結果を表1、表2に示す。
【0037】
【表1】
【0038】
【表2】
【0039】
実施例1、2、比較例1においては、領域Eにおいて厚さ100オングストロームのクロム膜を形成し、領域Fにおいて、厚さ100オングストロームのクロム膜(金属下地膜)と厚さ500オングストロームのアルミニウム膜(金属上層膜)とを積層している。この結果、領域Eが拡大すると駆動モードのQ値と検出モードのQ値との差が小さくなって、振動感度が上昇してしまう。
【0040】
実施例3、4、比較例2においては、領域Eにおいて厚さ500オングストロームのクロム膜を形成し、領域Fにおいて、厚さ500オングストロームのクロム膜(金属下地膜)と厚さ500オングストロームのアルミニウム膜(金属上層膜)とを積層している。この結果、領域Eが拡大すると駆動モードのQ値と検出モードのQ値との差が小さくなって、振動感度が上昇してしまう。また、実施例1〜3と比較すると、検出モードのQ値は若干低い。
【0041】
実施例5、6、比較例3においては、領域Eにおいて厚さ500オングストロームのチタン膜を形成し、領域Fにおいて、厚さ500オングストロームのチタン膜(金属下地膜)と厚さ500オングストロームの金膜(金属上層膜)とを積層している。この結果、領域Eが拡大すると駆動モードのQ値と検出モードのQ値との差が小さくなって、振動感度が上昇してしまう。また、実施例4〜6と比較すると、検出モードのQ値は若干低い。
【0042】
実施例7、8、比較例4においては、領域Eにおいて厚さ500オングストロームのアルミニウム膜を形成し、領域Fにおいて、厚さ500オングストロームのクロム膜(金属下地膜)と厚さ500オングストロームの金膜(金属上層膜)とを積層している。この結果、領域Eが拡大すると駆動モードのQ値と検出モードのQ値との差が小さくなって、振動感度が上昇してしまう。
【0043】
比較例5においては、領域Eにおいて厚さ500オングストロームのクロム膜と厚さ2000オングストロームの金膜とを形成し、領域Fにおいて、厚さ500オングストロームのクロム膜(金属下地膜)と厚さ2000オングストロームの金膜(金属上層膜)とを積層している。この結果、駆動モードのQ値と検出モードのQ値との差がほとんどない。
【0044】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、検出振動モードのQ値を低くし、駆動振動モードのQ値と検出振動モードのQ値との差を大きくしつつ、振動感度の低下を抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】振動子1Aの駆動振動モードを示す平面図である。
【図2】振動子1Aの検出振動モードを示す平面図である。
【図3】振動子1Aの検出振動モードにおける各部分の変位を示す写真である。
【図4】図3の部分拡大写真である。
【図5】振動子1Aにおいて、領域Eと領域Fとのパターン例を示す。
【図6】振動子1Aにおいて、領域Eと領域Fとのパターン例を示す。
【図7】振動子1Aにおいて、領域Eと領域Fとのパターン例を示す。
【図8】(a)は、第一の部分25を例示し、(b)は、第二の部分26を例示する。
【符号の説明】
1A 振動子 2 基部 13A、13B 検出振動片 14A、14B、14C、14D 駆動振動片 19 駆動電極 20 検出電極 25 第一の部分 26 第二の部分
27 金属下地膜 28 金属上層膜 31 金属膜
A 駆動モードの振動 B、C 検出モードの振動
Claims (4)
- 振動子、および前記振動子に駆動振動を励振し、前記振動子に加わる物理量に応じて前記振動子に励振される検出振動を検出するための電極系を備えている振動型ジャイロスコープであって、
前記振動子が所定面に沿って形成されており、基部、この基部から突出する支持部、この支持部から突出する駆動振動片、および前記基部から突出する検出振動片を備えており、駆動振動モードにおいて前記駆動振動片が前記支持部への付け根を中心として前記所定面に平行に屈曲振動し、検出振動モードにおいて前記検出振動片が前記基部への付け根を中心として前記所定面に平行に屈曲振動し、
前記電極系が、前記駆動振動片に取り付けられた駆動電極と前記検出振動片に取り付けられた検出電極とを含んでおり、前記駆動電極が厚さ1000オングストローム以下の金属膜からなり、前記検出電極が厚さ1000オングストローム以下の金属下地膜およびこの金属下地膜上の厚さ300オングストローム以上の金属上層膜を備えることを特徴とする、振動型ジャイロスコープ。 - 前記駆動電極を構成する前記金属膜がクロム、チタンまたはアルミニウムを含むことを特徴とする、請求項1記載の振動型ジャイロスコープ。
- 前記金属下地膜がクロム、チタンまたはアルミニウムを含むことを特徴とする、請求項1または2記載の振動型ジャイロスコープ。
- 前記金属上層膜が貴金属またはアルミニウムからなることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一つの請求項に記載の振動型ジャイロスコープ。
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