JP4766121B2 - 弾性表面波素子、その製造方法およびその共振周波数調整方法 - Google Patents
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Description
複数の領域(21、22、23、24)は、櫛歯電極(3、4)から伝搬された弾性表面波を反射する領域内で、弾性表面波の伝搬方向に垂直な方向に並んでおり、
反射器(5、6)は、弾性表面波の伝搬方向に並ぶ複数本の電極(5a、6a)によって構成され、
反射器(5、6)は、複数本の電極(5a、6a)のそれぞれが伝搬方向に等間隔で配置され、複数本の電極(5a、6a)の間隔が異なる複数の領域(21、22、23、24)を有することを特徴としている。
また、請求項3に記載の発明では、反射器(5、6)は、反射効率が最大となる周波数が異なる複数の領域(7、8、9、10)を有し、
複数の領域(7、8、9、10)は、櫛歯電極(3、4)から伝搬された弾性表面波を反射する領域内で、弾性表面波の伝搬方向に垂直な方向に並んでおり、
反射器(5、6)は、弾性表面波の伝搬方向に並ぶ複数本の電極(5a、6a)によって構成され、
反射器(5、6)は、複数の領域として、複数本の電極(5a、6a)同士が短絡されていないオープンの領域(7、8)と、複数本の電極(5a、6a)同士が短絡されているショートの領域(9、10)とを有し、
反射器(5、6)は、櫛歯電極(3、4)の弾性表面波の伝搬方向での両側に配置されており、
櫛歯電極(3、4)の両側に配置された反射器(5、6)は、弾性表面波の伝搬方向に垂直であって櫛歯電極(3、4)の中心を通る軸(11)に対して線対称な電極パターンとなっていることを特徴としている。
複数の領域(7、8、9、10)は、櫛歯電極(3、4)から伝搬された弾性表面波を反射する領域内で、弾性表面波の伝搬方向に垂直な方向に並んでおり、
反射器(5、6)は、弾性表面波の伝搬方向に並ぶ複数本の電極(5a、6a)によって構成され、
反射器(5、6)は、複数の領域として、複数本の電極(5a、6a)同士が短絡されていないオープンの領域(7、8)と、複数本の電極(5a、6a)同士が短絡されているショートの領域(9、10)とを有する弾性表面波素子の製造方法であって、
櫛歯電極(3、4)を圧電材料(2、63)上に形成するとともに、弾性表面波の伝搬方向に並ぶ複数本の電極(5a、6a)のすべてが連結部(5b、6b)によって互いに連結された形状の反射器(5、6)を圧電材料(2、63)上に形成する工程と、複数本の電極(5a、6a)を切断することで、オープンの領域(7、8)と、ショートの領域(9、10)とに、反射器(5、6)を分割する工程とを有することを特徴としている。
図1に本実施形態における弾性表面波素子の平面図を示す。また、図2に図1中のII−II線断面図を示す。
図3、4、5に、本実施形態における弾性表面波素子の製造方法を説明するための弾性表面波素子の平面図を示す。本実施形態は、第1実施形態に対して製造方法を変更したものであり、以下では、変更点のみを説明する。
図6に、本実施形態における弾性表面波素子の平面図を示す。本実施形態は、第1実施形態に対して反射器5、6の構成を変更したものであり、以下では、変更点のみを説明する。
図7に、本実施形態における弾性表面波素子の平面図を示す。本実施形態は、第3実施形態に対して反射器5、6の構成を変更したものであり、以下では、変更点のみを説明する。
(第5実施形態)
図8、9に、本実施形態における弾性表面波素子の平面図を示す。本実施形態は、第4実施形態で説明した素子の構造を利用して共振周波数を調整するものである。
図11に、本実施形態の弾性表面波素子の平面図を示す。第5実施形態では、櫛歯電極3、4の櫛歯部3a、4aをY軸方向で複数個に分割した電極パターンとしていたが、本実施形態では、第4実施形態で説明した図7に示す構造の素子を用いる。したがって、櫛歯電極3、4を形成するときでは、櫛歯部3a、4aをY軸方向で連続した電極パターンとする。このとき、櫛歯部3a、4aは、Y軸方向で連続しているので、電気的につながっている。
(1)図12に弾性表面波素子の断面図を示す。図12は、図2に対応している。上述の各実施形態では、弾性表面波素子1は、圧電材料の単結晶からなる圧電基板2の上に各電極を形成した構成であったが、図12に示すように、単結晶からなる圧電基板2の代わりに、圧電材料の薄膜で構成された圧電薄膜の上に電極を形成した構成としても良い。
2 圧電基板
3、4 櫛歯電極
5、6 反射器
7、8 オープンの領域
9、10 ショートの領域
21、22 反射器のうち電極間隔が小さい領域
23、24 反射器のうち電極間隔が大きい領域
41、42 配線
63 圧電薄膜
Claims (9)
- 圧電材料(2、63)上に形成された櫛歯電極(3、4)と、
前記圧電材料(2、63)上に形成され、前記櫛歯電極(3、4)から伝搬された弾性表面波を反射する反射器(5、6)とを備える弾性表面波素子において、
前記反射器(5、6)は、反射効率が最大となる周波数が異なる複数の領域(21、22、23、24)を有し、
前記複数の領域(21、22、23、24)は、前記櫛歯電極(3、4)から伝搬された弾性表面波を反射する領域内で、弾性表面波の伝搬方向に垂直な方向に並んでおり、
前記反射器(5、6)は、弾性表面波の伝搬方向に並ぶ複数本の電極(5a、6a)によって構成され、
前記反射器(5、6)は、前記複数本の電極(5a、6a)のそれぞれが前記伝搬方向に等間隔で配置され、前記複数本の電極(5a、6a)の間隔が異なる前記複数の領域(21、22、23、24)を有することを特徴とする弾性表面波素子。 - 前記反射器(5、6)は、前記櫛歯電極(3、4)の弾性表面波の伝搬方向での両側に配置されており、
前記櫛歯電極(3、4)の両側に配置された前記反射器(5、6)は、弾性表面波の伝搬方向に垂直であって前記櫛歯電極(3、4)の中心を通る軸(11)に対して線対称な電極パターンとなっていることを特徴とする請求項1に記載の弾性表面波素子。 - 圧電材料(2、63)上に形成された櫛歯電極(3、4)と、
前記圧電材料(2、63)上に形成され、前記櫛歯電極(3、4)から伝搬された弾性表面波を反射する反射器(5、6)とを備える弾性表面波素子において、
前記反射器(5、6)は、反射効率が最大となる周波数が異なる複数の領域(7、8、9、10)を有し、
前記複数の領域(7、8、9、10)は、前記櫛歯電極(3、4)から伝搬された弾性表面波を反射する領域内で、弾性表面波の伝搬方向に垂直な方向に並んでおり、
前記反射器(5、6)は、弾性表面波の伝搬方向に並ぶ複数本の電極(5a、6a)によって構成され、
前記反射器(5、6)は、前記複数の領域として、前記複数本の電極(5a、6a)同士が短絡されていないオープンの領域(7、8)と、前記複数本の電極(5a、6a)同士が短絡されているショートの領域(9、10)とを有し、
前記反射器(5、6)は、前記櫛歯電極(3、4)の弾性表面波の伝搬方向での両側に配置されており、
前記櫛歯電極(3、4)の両側に配置された前記反射器(5、6)は、弾性表面波の伝搬方向に垂直であって前記櫛歯電極(3、4)の中心を通る軸(11)に対して線対称な電極パターンとなっていることを特徴とする弾性表面波素子。 - 圧電材料(2、63)上に形成された櫛歯電極(3、4)と、
前記圧電材料(2、63)上に形成され、前記櫛歯電極(3、4)から伝搬された弾性表面波を反射する反射器(5、6)とを備え、
前記反射器(5、6)は、反射効率が最大となる周波数が異なる複数の領域(7、8、9、10)を有し、
前記複数の領域(7、8、9、10)は、前記櫛歯電極(3、4)から伝搬された弾性表面波を反射する領域内で、弾性表面波の伝搬方向に垂直な方向に並んでおり、
前記反射器(5、6)は、弾性表面波の伝搬方向に並ぶ複数本の電極(5a、6a)によって構成され、
前記反射器(5、6)は、前記複数の領域として、前記複数本の電極(5a、6a)同士が短絡されていないオープンの領域(7、8)と、前記複数本の電極(5a、6a)同士が短絡されているショートの領域(9、10)とを有する弾性表面波素子の製造方法であって、
前記櫛歯電極(3、4)を前記圧電材料(2、63)上に形成するとともに、弾性表面波の伝搬方向に並ぶ複数本の電極(5a、6a)のすべてが連結部(5b、6b)によって互いに連結された形状の前記反射器(5、6)を前記圧電材料(2、63)上に形成する工程と、
前記複数本の電極(5a、6a)を切断することで、前記オープンの領域(7、8)と、前記ショートの領域(9、10)とに、前記反射器(5、6)を分割する工程とを有することを特徴とする弾性表面波素子の製造方法。 - 前記反射器(5、6)を分割する工程の後、前記ショートの領域(9、10)における前記複数の電極(5a、6a)を切断して、前記ショートの領域(9、10)を減らすとともに前記オープンの領域(7、8)を増やすことで、素子全体の共振周波数を調整する工程を有することを特徴とする請求項4に記載の弾性表面波素子の製造方法。
- 圧電材料(2、63)上に形成され、複数の櫛歯部(3a、4a)を有する形状の櫛歯電極(3、4)と、
前記圧電材料(2、63)上に形成され、前記櫛歯電極(3、4)から伝搬された弾性表面波を反射する反射器(5、6)とを備え、
前記反射器(5、6)が、弾性表面波の伝搬方向に並ぶ複数本の電極(5a、6a)によって構成されている弾性表面波素子の製造方法において、
前記櫛歯電極(3、4)を前記圧電材料(2、63)上に形成するとともに、前記複数本の電極(5a、6a)の間隔が異なる複数の領域を有し、前記複数の領域が前記櫛歯電極(3、4)から伝搬された弾性表面波を反射する領域内で、弾性表面波の伝搬方向に垂直な方向に並ぶ形状の前記反射器(5、6)を前記圧電材料(2、63)上に形成する工程と、
前記反射器(5、6)の前記複数の領域に対応させて、前記櫛歯部(3a)を切断することにより、前記櫛歯部(3a)の電気的につながっている部分を短くすることで、素子全体の共振周波数を調整する工程とを有することを特徴とする弾性表面波素子の製造方法。 - 圧電材料(2、63)上に形成され、複数の櫛歯部(3a、4a)を有する形状の櫛歯電極(3、4)と、
前記圧電材料(2、63)上に形成され、前記櫛歯電極(3、4)から伝搬された弾性表面波を反射する反射器(5、6)とを備え、
前記反射器(5、6)が、弾性表面波の伝搬方向に並ぶ複数本の電極(5a、6a)によって構成されている弾性表面波素子の製造方法において、
前記櫛歯電極(3、4)を前記圧電材料(2、63)上に形成するとともに、前記複数本の電極(5a、6a)の間隔が異なる複数の領域を有する形状の前記反射器(5、6)を前記圧電材料(2、63)上に形成する工程と、
前記反射器(5、6)の前記複数の領域に対応させて、前記櫛歯部(3a)の電気的につながっている部分の長さを調節することで、素子全体の共振周波数を調整する工程とを有し、
前記櫛歯電極(3、4)および前記反射器(5、6)を形成する工程では、前記反射器(5、6)の前記複数の領域に対応させて、前記櫛歯部(3a、4a)が複数個に分離された形状として前記櫛歯電極(3、4)を形成した後、前記複数個に分離された前記櫛歯部(3a、4a)の隣同士を配線(41、42)で接続しておき、
前記素子全体の共振周波数を調整する工程では、前記配線(41、42)を切断して前記櫛歯部(3a)の電気的につながっている部分の長さを調節することを特徴とする弾性表面波素子の製造方法。 - 圧電材料(2、63)上に形成された櫛歯電極(3、4)と、
前記圧電材料(2、63)上に形成され、前記櫛歯電極(3、4)から伝搬された弾性表面波を反射する反射器(5、6)とを備え、
前記反射器(5、6)が、弾性表面波の伝搬方向に並ぶ複数本の電極(5a、6a)によって構成されている弾性表面波素子の共振周波数調整方法において、
前記反射器(5、6)を、前記複数本の電極(5a、6a)同士が短絡されていないオープンの領域(7、8)と、前記複数本の電極(5a、6a)同士が短絡されているショートの領域(9、10)とを有する構成とし、前記オープンの領域(7、8)と前記ショートの領域(9、10)との比率を変化させることで、素子全体の共振周波数を調整することを特徴とする弾性表面波素子の共振周波数調整方法。 - 圧電材料(2、63)上に形成され、複数の櫛歯部(3a、4a)を有する形状の櫛歯電極(3、4)と、
前記圧電材料(2、63)上に形成され、前記櫛歯電極(3、4)から伝搬された弾性表面波を反射する反射器(5、6)とを備え、
前記反射器(5、6)が、弾性表面波の伝搬方向に並ぶ複数本の電極(5a、6a)によって構成されている弾性表面波素子の共振周波数調整方法において、
前記反射器(5、6)を、前記複数本の電極(5a、6a)の間隔が異なる複数の領域を有し、前記複数の領域が前記櫛歯電極(3、4)から伝搬された弾性表面波を反射する領域内で、弾性表面波の伝搬方向に垂直な方向に並ぶ構成とし、
前記反射器(5、6)の前記複数の領域に対応させて、前記櫛歯部(3a)を切断することにより、前記櫛歯部(3a)の電気的につながっている部分を短くすることで、素子全体の共振周波数を調整することを特徴とする弾性表面波素子の共振周波数調整方法。
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