JP2021132361A - 弾性波装置 - Google Patents

Abstract

【課題】隣り合う弾性波素子間の音響結合を効果的に抑制することができる弾性波装置を提供する。【解決手段】弾性波装置は、圧電基板上に設けられており、少なくとも１つのＩＤＴ電極２２Ａを有する第１の弾性波素子（並列腕共振子）Ｐ３と、上記圧電基板上に設けられており、少なくとも１つのＩＤＴ電極２２Ｂを有する第２の弾性波素子（直列腕共振子）Ｓ４と、を備える。第１の弾性波素子と第２の弾性波素子とは、弾性波伝搬方向において隣り合っている。第１のＩＤＴ電極２２Ａと、第２のＩＤＴ電極２２Ｂとの間において、弾性波を回折させる回折部材２５が設けられている。回折部材２５が、弾性波を回折させるためのスリットとしてのギャップ２５ａを有する。【選択図】図３

Description

本発明は、共振子や帯域フィルタ等に用いられる弾性波装置に関する。

近年、複数の弾性波素子が同一圧電基板上に設けられている弾性波装置が広く用いられている。このような弾性波装置では、弾性波素子同士が圧電基板上において近接配置されている。そのため、一方の弾性波素子のＩＤＴ電極と、他方の弾性波素子のＩＤＴ電極との間で音響結合が生じるおそれがあった。音響結合が生じると、例えば弾性波フィルタの通過帯域にリップルが生じたりするという問題が生じる。

下記の特許文献１には、上記音響結合を防止するために、一方のＩＤＴ電極と他方のＩＤＴ電極との間に、弾性波を屈折させる斜め方向に延びる屈折パターンが設けられている。また、一方のＩＤＴ電極と他方のＩＤＴ電極との間に、弾性波を吸収する吸収体が設けられている。

特開２０１８−１２９７９８号公報

特許文献１に記載の屈折パターン、及び吸収体を用いた構成では、隣り合う弾性波素子間のスペースが大きくならざるを得ない。小型化をすすめるには、このような屈折パターン、又は吸収体の弾性波伝搬方向に沿う寸法を小さくすることが必要である。しかしながら、この寸法を小さくすると、音響結合を抑制する効果が十分に得られない。したがって、小型であり、かつ十分な音響結合抑制効果を有する弾性波装置を提供することが困難であった。加えて、上記屈折パターンを用いた構成では、伝搬してきた弾性波が他方の弾性波素子のＩＤＴ電極内に伝搬するおそれがあった。すなわち、ＩＤＴ電極外に確実に弾性波を屈折させたり反射させたりすることが困難であった。そのため、音響結合を十分に抑制することが困難であった。

本発明の目的は、隣り合う弾性波素子間の音響結合をより一層効果的に抑制し得る弾性波装置を提供することにある。

本発明の他の目的は、隣り合う弾性波素子間の音響結合を十分に抑制することができ、かつ小型化を図り得る弾性波装置を提供することにある。

本発明に係る弾性波装置は、圧電基板と、前記圧電基板上に設けられており、少なくとも１つの第１のＩＤＴ電極を有する、第１の弾性波素子と、前記圧電基板上に設けられており、少なくとも１つの第２のＩＤＴ電極を有する、第２の弾性波素子と、を備え、前記第１のＩＤＴ電極の交叉領域と、前記第２のＩＤＴ電極の交叉領域が、弾性波伝搬方向において重なる領域を有しており、前記弾性波伝搬方向において重なる領域においてスリットを有する回折部材を備える。

本発明に係る弾性波装置によれば、隣り合う第１，第２の弾性波素子間の音響結合を効果的に抑制することができる。

本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図である。 （ａ）は、第１の実施形態に係る弾性波装置の回路図であり、（ｂ）は、第１の実施形態に係る弾性波装置で用いられている弾性波共振子の電極構造を示す模式的平面図である。 第１の実施形態に係る弾性波装置において、隣り合う第１，第２の弾性波素子を説明するための平面図である。 第２の実施形態に係る弾性波装置において、隣り合う第１，第２の弾性波素子を説明するための平面図である。 比較例の弾性波装置、実施例１及び実施例２の弾性波装置の減衰量周波数特性を示す図である。 第３の実施形態に係る弾性波装置の第１，第２の弾性波素子及び回折部材を説明するための平面図である。 第４の実施形態に係る弾性波装置の第１，第２の弾性波素子及び回折部材を説明するための平面図である。 第５の実施形態に係る弾性波装置を説明するための平面図である。 第６の実施形態に係る弾性波装置を説明するための平面図である。 第７の実施形態に係る弾性波装置を説明するための平面図である。 （ａ）は、第８の実施形態に係る弾性波装置における回折部材を説明するための平面図であり、（ｂ）は、その変形例を示す平面図である。

以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。

なお、本明細書に記載の各実施形態は、例示的なものであり、異なる実施形態間において、構成の部分的な置換または組み合わせが可能であることを指摘しておく。

図１は、本発明の第１の実施形態に係る弾性波装置の模式的平面図であり、図２（ａ）は、その回路図である。

弾性波装置１はスマートフォン等に用いられているデュプレクサである。弾性波装置１は、受信フィルタ７と送信フィルタ８とを有する。受信フィルタ７と送信フィルタ８とは、共通端子４において共通接続されている。共通端子４は、アンテナ端子３に接続されている。受信フィルタ７は、共通端子４と受信端子５との間に接続されている。送信フィルタ８は、送信端子６と共通端子４との間に接続されている。

受信フィルタ７は、弾性波共振子９と、縦結合共振子型弾性波フィルタ１０，１１とを有する。他方、送信フィルタ８は、複数の弾性波共振子を有するラダー型フィルタである。より具体的には、送信フィルタ８は、複数の直列腕共振子Ｓ１〜Ｓ４及び複数の並列腕共振子Ｐ１〜Ｐ３を有する。複数の直列腕共振子Ｓ１〜Ｓ４及び複数の並列腕共振子Ｐ１〜Ｐ３は、それぞれ、１ポート型弾性波共振子からなる。

図２（ｂ）は、１ポート型弾性波共振子の電極構造を示す模式的平面図である。弾性波装置２１は、ＩＤＴ電極２２と、ＩＤＴ電極の弾性波伝搬方向両側に配置された反射器２３，２４とを有する。

図１において、上記弾性波共振子からなる複数の直列腕共振子Ｓ１〜Ｓ４及び複数の並列腕共振子Ｐ１〜Ｐ３並びに弾性波共振子９及び縦結合共振子型弾性波フィルタ１０，１１は、Ｘを矩形の枠で囲んだ記号で略図的に示している。図１において、並列腕共振子Ｐ３と、直列腕共振子Ｓ４とは、弾性波伝搬方向において隣り合っている。同様に、並列腕共振子Ｐ２と直列腕共振子Ｓ３、並びに直列腕共振子Ｓ１及び並列腕共振子Ｐ１も弾性波伝搬方向において隣り合っている。

近年弾性波フィルタの小型化が進むにつれて、隣り合っている弾性波素子間の距離が非常に小さくなっている。そのため、例えば並列腕共振子Ｐ３と直列腕共振子Ｓ４との間で、弾性波が相手方の共振子側に伝搬し、音響結合が生じるおそれがあった。このような音響結合が生じると、フィルタの通過帯域内にリップルが現れたりするという問題があった。

弾性波装置１では、並列腕共振子Ｐ３と直列腕共振子Ｓ４との間、並列腕共振子Ｐ２と直列腕共振子Ｓ３との間及び直列腕共振子Ｓ１と並列腕共振子Ｐ１との間において、矢印Ａで略図的に示す回折部材が設けられている。これを、図３を参照してより詳細に説明する。

図３は、並列腕共振子Ｐ３と直列腕共振子Ｓ４とが隣り合っている。すなわち、本発明における第１の弾性波素子と第２の弾性波素子とが隣り合っている部分を示す平面図である。ここでは、第１の弾性波素子として並列腕共振子Ｐ３と、第２の弾性波素子としての直列腕共振子Ｓ４とが隣り合っている。並列腕共振子Ｐ３は、第１のＩＤＴ電極２２Ａと、反射器２３Ａ，２４Ａとを有する。直列腕共振子Ｓ４は、第２のＩＤＴ電極２２Ｂと、反射器２３Ｂ，２４Ｂとを有する。そして、第１のＩＤＴ電極２２Ａと、第２のＩＤＴ電極２２Ｂとの間、より詳細には、反射器２４Ａと反射器２３Ｂとの間に、回折部材２５が設けられている。回折部材２５は、弾性波伝搬方向と直交する方向に延び、直線状の形状を有している。この回折部材２５は、弾性波伝搬方向と直交する方向に延びるギャップ２５ａを一部に有している。本実施形態においては、ギャップ２５ａは、回折部材２５の長さ方向中央に設けられている。もっとも、ギャップ２５ａは、長さ方向中央以外の部分に設けられてもよい。

回折部材２５は、反射器２４Ａ，２３Ｂに電気的に接続されていない。もっとも、回折部材２５は、反射器２４Ａ又は反射器２３Ｂの少なくとも一方に電気的に接続されていてもよい。

回折部材２５は、第１，第２のＩＤＴ電極２２Ａ，２２Ｂと同じ電極材料により構成されている。また、回折部材２５は、弾性波伝搬方向と直交する方向に延びている。したがって、回折部材２５は、第１，第２のＩＤＴ電極２２Ａ，２２Ｂ、反射器２３Ａ，２４Ａ，２３Ｂ，２４Ｂと同一工程において容易に形成することができる。

もっとも、回折部材２５は、ＩＤＴ電極２２Ａ，２２Ｂと同じ電極材料以外の材料で構成されていてもよい。回折部材２５は、後述の回折現象を利用し得るギャップ２５ａを有する限り、その材料は金属に限定されず、セラミックス等により形成されていてもよい。

回折部材２５は、弾性波を回折させるためのスリットとしてのギャップ２５ａを有する。ここでは、弾性波伝搬方向と直交する方向に延びる第１の部分２５ｂと、第２の部分２５ｃとの間がギャップ２５ａであり、それによって、貫通スリットとしてのギャップ２５ａが形成されている。なお、本発明において、スリットは、弾性波伝搬方向において回折部材を貫通していない非貫通型のスリットであってもよい。すなわち、回折部材２５において、ギャップ２５ａの一部において第１の部分２５ｂと、第２の部分２５ｃとが連なることにより、非貫通スリットとしての凹部が形成されていてもよい。このように、非貫通型のスリットが設けられている場合には、回折部材２５は単一の部材からなる。また、複数の回折部材２５が弾性波伝搬方向に沿って配置されていてもよい。

なお、並列腕共振子Ｐ３における第１のＩＤＴ電極２２Ａで励振される弾性波の波長は、直列腕共振子Ｓ４において第２のＩＤＴ電極２２Ｂで励振される弾性波の波長と異なっている。したがって、第１のＩＤＴ電極２２Ａの電極指ピッチで定まる波長λと、第２のＩＤＴ電極２２Ｂの電極指ピッチで定まる波長λとは異なっている。

ギャップ２５ａの弾性波伝搬方向と直交する方向に沿う寸法、すなわちギャップ２５ａの長さは、第１のＩＤＴ電極２２Ａ及び第２のＩＤＴ電極２２Ｂを伝搬する弾性波の波長の双方よりも短いことが好ましい。より具体的には、第１のＩＤＴ電極２２Ａの電極指ピッチで定まる波長λ及び第２のＩＤＴ電極２２Ｂの電極指ピッチで定まる波長λの双方よりも、ギャップ２５ａの長さが短いことが好ましい。

また、弾性波装置１において、送信フィルタ８に送信信号が入力されると、第２の弾性波素子としての直列腕共振子Ｓ４において送信信号が入力され、弾性波が励振される。この弾性波が、図３において矢印で示すように、第１の弾性波素子としての並列腕共振子Ｐ３側に伝搬する。この場合、間に回折部材２５が存在するため、矢印Ｂ，Ｃで示すように、回折現象により、伝搬してきた弾性波が弾性波伝搬方向と直交する方向外側に散乱していく。同様に、並列腕共振子Ｐ３で発生した弾性波も、ギャップ２５ａを通過する際に回折現象により、反射器２３Ｂが設けられている領域において、弾性波伝搬方向と直交する方向外側に散乱していく。そのため、並列腕共振子Ｐ３と直列腕共振子Ｓ４との間の音響結合、すなわち第１の弾性波素子と第２の弾性波素子との間の音響結合を確実に抑制することができる。

しかも、上記回折現象を利用して弾性波を散乱させているため、回折部材２５が設けられている領域の弾性波伝搬方向に沿う寸法を大きくせずとも、十分な音響結合抑制効果を得ることができる。したがって、弾性波装置１では、隣り合う第１，第２の弾性波素子間の寸法を小さくし、小型化を進めることもできる。

なお、第１の弾性波素子として並列腕共振子Ｐ３を、第２の弾性波素子として直列腕共振子Ｓ４を代表して説明したが、前述した図１の矢印Ａで示す回折部材２５が設けられている、隣り合う第１，第２の弾性波素子間の全てにおいて、音響結合が効果的に抑制される。

したがって、弾性波装置１では、送信フィルタ８の通過帯域における所望でないリップルを効果的に抑制することができる。

図４は、第２の実施形態に係る弾性波装置の第１，第２の弾性波素子及び回折部材を説明するための平面図である。第２の実施形態の弾性波装置３１においても、並列腕共振子Ｐ３と直列腕共振子Ｓ４とが隣り合っている。第２の実施形態の弾性波装置３１が第１の実施形態と異なるところは、回折部材３２が反射器２３Ｂ内に設けられていることにある。すなわち、反射器２３Ｂは、複数本の電極指２３Ｂ１，２３Ｂ２と、回折部材３２とを有する。回折部材３２は、スリット３２ａを有する。スリット３２ａの弾性波伝搬方向に直交する方向両側に、第１の部分３２ｂ及び第２の部分３２ｃが設けられている。この回折部材３２は、図３に示した回折部材２５と同様に、弾性波伝搬方向と直交する方向に延び、直線状の形状を有している。スリット３２ａの長さ、すなわちスリット３２ａの弾性波伝搬方向と直交する方向の寸法は、ＩＤＴ電極２２Ａ及びＩＤＴ電極２２Ｂの電極指ピッチで定まる波長よりも小さいことが好ましい。すなわち、スリット３２ａの長さは、並列腕共振子Ｐ３で励振される弾性波の波長及び直列腕共振子Ｓ４で励振される弾性波の波長の双方よりも短いことが好ましい。それによって、回折現象による音響結合抑制効果を十分に大きくすることができる。

反射器２３Ｂでは、複数本の電極指２３Ｂ１，２３Ｂ２の両端が、バスバー２３Ｂ３及び２３Ｂ４により短絡されている。回折部材３２の第１の部分３２ｂもバスバー２３Ｂ３に接続されており、第２の部分３２ｃがバスバー２３Ｂ４に接続されている。

上記のように、スリット３２ａを有する回折部材３２が反射器２３Ｂ内に設けられていることを除いては、弾性波装置３１は、第１の実施形態の弾性波装置１と同様に構成されている。このように、反射器内に回折部材を設けた場合においても、図４に矢印Ｂ，Ｃで示すように、弾性波が伝搬してきた際に、回折現象により弾性波が並列腕共振子Ｐ３側において弾性波伝搬方向と直交する方向外側に散乱していく。そのため、音響結合を効果的に抑制することができる。

上記のように、本発明においては、回折部材３２は、第１の弾性波素子と第２の弾性波素子との間の領域ではなく、少なくとも一方の反射器内に設けられていてもよい。この場合、第１の弾性波素子と第２の弾性波素子との間に回折部材を設ける必要がないため、第１の弾性波素子と第２の弾性波素子との間の距離をより一層小さくすることができる。したがって、弾性波装置の小型化をより一層進めることができる。

反射器２３Ｂにおいて、回折部材３２は、電極指２３Ｂ１，２３Ｂ２よりも第２のＩＤＴ電極２２Ｂから離れた部分に位置している。したがって、電極指２３Ｂ１，２３Ｂ２により、弾性波を確実に第２のＩＤＴ電極２２Ｂ内に反射させることができる。好ましくは、回折部材３２は、電極指２３Ｂ１，２３Ｂ２よりも、第２のＩＤＴ電極２２Ｂの弾性波伝搬方向外側に位置していることが望ましい。もっとも、回折部材３２は、電極指２３Ｂ１，２３Ｂ２間に配置されてもよく、電極指２３Ｂ１が設けられている位置に配置されていてもよい。

なお、弾性波装置３１においても、反射器２３Ｂ内に、複数本の回折部材が設けられてもよい。

また、弾性波装置３１では、反射器２３Ｂ内に回折部材３２が設けられていたが、反射器２４Ａ側に同様の回折部材が設けられていてもよく、反射器２３Ｂ及び反射器２４Ａの双方に回折部材が設けられていてもよい。

上記第１の実施形態の弾性波装置について実施例１、第２の実施形態の弾性波装置について実施例２及び比較例の弾性波装置を作成し、送信フィルタの減衰量周波数特性を測定した。比較例の弾性波装置は、上記回折部材が設けられていないことを除いては、実施例１と同様とした。結果を図５に示す。図５の実線が実施例１の結果を、破線が実施例２の結果を、一点鎖線が比較例の結果を示す。図５から明らかなように、８４８ＭＨｚ付近において、比較例の弾性波装置では大きなリップルが表れている。これに対して、実施例１及び実施例２では、このような大きなリップルが表れていないことがわかる。これは、実施例１及び実施例２では、隣り合う第１，第２の弾性波素子間の音響結合が効果的に抑制されているためと考えられる。

図６は、第３の実施形態に係る弾性波装置の第１，第２の弾性波素子及び回折部材を説明するための平面図である。

第３の実施形態の弾性波装置４１では、複数本の回折部材４２〜４４が第１の弾性波素子としての並列腕共振子Ｐ３と第２の弾性波素子としての直列腕共振子Ｓ４との間に設けられている。この回折部材４２〜４４が設けられていることを除いては、弾性波装置４１は第１の実施形態の弾性波装置１と同様に構成されている。

回折部材４２，４３，４４は、それぞれ弾性波伝搬方向と直交する方向に延び、直線状の形状を有しているが、それぞれ複数のスリットを有する。すなわち、回折部材４２は、複数のスリット４２ａを有しており、回折部材４３は複数のスリット４３ａを有しており、回折部材４４は複数のスリット４４ａを有している。このように、本発明において、直線状に延びる回折部材４２，４３，４４の途中に複数のスリット４２ａ，４３ａ，４４ａが設けられていてもよい。

また、弾性波装置４１では、複数のスリット４２ａと、複数のスリット４３ａの弾性波伝搬方向と直交する方向の位置が異ならされている。同様に、回折部材４３のスリット４３ａと回折部材４４のスリット４４ａも、弾性波伝搬方位に沿う位置が異なっている。それによって、矢印Ａで示す方向に伝搬してきた弾性波が、直接並列腕共振子Ｐ３側に伝達することが防止されている。好ましくは、隣り合う回折部材４２，４３において、一方のスリット４２ａと他方のスリット４３ａとは、間に他の部材を介することなく直接対向していないことが望ましい。すなわち、隣り合う回折部材４２，４３のスリット４２ａとスリット４３ａとは、他の部材を介することなく弾性波伝搬方向において直接重ならないように設けられることが望ましい。隣り合う回折部材４３のスリット４３ａと回折部材４４のスリット４４ａも同様に配置されることが望ましい。

弾性波装置４１では、上記複数のスリット４２ａ，４３ａ，４４ａが設けられているため、回折現象により、伝搬してきた弾性波をより一層効果的に弾性波伝搬方向と直交する方向外側に散乱させることができる。したがって、第１の弾性波素子と第２の弾性波素子との間の音響結合をより効果的に抑制することができる。

図７は、第４の実施形態の弾性波装置の第１，第２の弾性波素子と回折部材とを説明するための平面図である。

弾性波装置５１は、第２の実施形態の弾性波装置３１の変形例に相当する。ここでは、反射器２３Ｂ内に複数本の回折部材５２〜５４が設けられている。すなわち、回折部材５２〜５４は、それぞれ、スリット５２ａ，５３ａ，５４ａを有する。このように、反射器２３Ｂ内に複数本の回折部材５２〜５４が設けられていてもよい。この場合においても、隣り合う回折部材５２，５３間において、スリット５２ａとスリット５３ａとは、弾性波伝搬方向と直交する方向において異なる位置に設けられることが好ましい。同様に、回折部材５３及び回折部材５４間においても、スリット５３ａとスリット５４ａとが、弾性波伝搬方向と直交する方向において異なる位置に設けられていることが好ましい。それによって、弾性波が直進しつつ相手方の弾性波素子である並列腕共振子Ｐ３に伝搬することを防止することができる。したがって、好ましくは、弾性波伝搬方向において隣り合っている回折部材のスリットは、間に他の部材を介することなく直接弾性波伝搬方向において対向していないことが好ましい。

弾性波装置５１においても、複数本の回折部材５２〜５４が設けられているため、並列腕共振子Ｐ３と直列腕共振子Ｓ４との間の音響結合をより効果的に抑制することができる。

図８は、第５の実施形態に係る弾性波装置を説明するための平面図である。弾性波装置６１では、第１の弾性波素子６２と第２の弾性波素子６３とが弾性波伝搬方向において隣り合っている。第１の弾性波素子６２は、複数の第１のＩＤＴ電極６２Ａと反射器６２Ｂ，６２Ｃとを有する３ＩＤＴ型の縦結合型弾性波フィルタである。同様に、第２の弾性波素子６３も、複数の第２のＩＤＴ電極６３Ａと、反射器６３Ｂ，６３Ｃとを有する３ＩＤＴ型の縦結合共振子型弾性波フィルタである。

そして、第１の弾性波素子６２と第２の弾性波素子６３との間に、回折部材６４〜６６が設けられている。回折部材６４は、複数のスリット６４ａを有する。回折部材６５は複数のスリット６５ａを有する。回折部材６６は複数のスリット６６ａを有する。回折部材６４〜６６が、第１の弾性波素子６２と第２の弾性波素子６３との間に設けられているため、本実施形態においても、第１の弾性波素子６２と第２の弾性波素子６３との間の音響結合を抑制することができる。

本実施形態のように、本発明において、隣り合う第１，第２の弾性波素子は、弾性波共振子に限らず、縦結合共振子型弾性波フィルタであってもよい。

また、縦結合共振子型弾性波フィルタ同士が隣り合っている構成に限らず、一方が縦結合共振子型弾性波フィルタであって、他方が弾性波共振子であってもよい。

図９は、第６の実施形態に係る弾性波装置を説明するための平面図である。弾性波装置７１では、第１の弾性波素子７２に、第２の弾性波素子７３が隣り合っている。第１の弾性波素子７２は、１ポート型の弾性波共振子である。第２の弾性波素子７３は、ＩＤＴ電極７４，７５と、反射器７６，７７とを有する。このＩＤＴ電極７４，７５は、弾性波フィルタ間の位相を調整する、位相調節回路を構成している。このように、弾性波素子は、共振子やフィルタに限らず、位相調整回路を構成している弾性波素子であってもよい。この場合においても、複数の回折部材６４〜６６が第１の弾性波素子７２と第２の弾性波素子７３との間に設けられているため、第１の弾性波素子７２と第２の弾性波素子７３との間の音響結合抑制することができる。

図１０は、第７の実施形態に係る弾性波装置を説明するための平面図である。弾性波装置８１では、第１の弾性波素子８２と第２の弾性波素子８３とが弾性波伝搬方向において隣り合っている。第１の弾性波素子８２及び第２の弾性波素子８３は、それぞれ、複数のＩＤＴ電極８２Ａ及び８３Ａを有する。ここでは、第１の弾性波素子８２及び第２の弾性波素子８３は、弾性波装置７１における第２の弾性波素子７３と同様に、位相調整回路を構成している。このように、第１の弾性波素子及び第２の弾性波素子が、いずれも位相調整回路を構成するものであってもよい。なお、第１の弾性波素子８２及び第２の弾性波素子８３は、反射器を有していない。すなわち、このような位相調整回路は反射器を有しないものであってもよい。

弾性波装置８１においても、第１の弾性波素子８２と第２の弾性波素子８３との間に複数本の回折部材６４〜６６が設けられている。したがって、第１の弾性波素子８２と第２の弾性波素子８３との間の音響結合を効果的に抑制することができる。

なお、弾性波装置８１から明らかなように、本発明における第１，第２の弾性波素子は、反射器を有しないものであってもよい。

図１１（ａ）は、第８の実施形態に係る弾性波装置における回折部材を説明するための平面図であり、図１１（ｂ）は、その変形例を示す平面図である。回折部材２５は、第１の部分２５ｂと第２の部分２５ｃとの間に、貫通スリットとしてのギャップ２５ａを有する。第１の実施形態の回折部材２５と異なるところは、第１の部分２５ｂ及び第２の部分２５ｃのギャップ２５ａに臨む側の部分において、コーナー部が切り欠かれていることにある。すなわち、第１の部分２５ｂ及び第２の部分２５ｃのギャップ２５ａ側の端部において、弾性波伝搬方向両側のコーナー部部分が切り欠かれている。この場合、回折波をよりブロードな波とすることができ、それによって減衰距離を短縮することができる。したがって、より一層省スペース化を図ることができる。

なお、図１１（ｂ）に示すように、上記第１の部分２５ｂ及び第２の部分２５ｃのギャップ２５ａ側に臨む端部のコーナー部は、丸みを帯びていてもよい。

１…弾性波装置
３…アンテナ端子
４…共通端子
５…受信端子
６…送信端子
７…受信フィルタ
８…送信フィルタ
９…弾性波共振子
１０，１１…縦結合共振子型弾性波フィルタ
２１…弾性波装置
２２…ＩＤＴ電極
２２Ａ，２２Ｂ…第１，第２のＩＤＴ電極
２３，２３Ａ，２３Ｂ…反射器
２３Ｂ１，２３Ｂ２…電極指
２３Ｂ３，２３Ｂ４…バスバー
２４，２４Ａ，２４Ｂ…反射器
２５…回折部材
２５ａ…ギャップ
２５ｂ，２５ｃ…第１，第２の部分
３１…弾性波装置
３２…回折部材
３２ａ…スリット
３２ｂ，３２ｃ…第１，第２の部分
４１…弾性波装置
４２，４３，４４，…回折部材
４２ａ，４３ａ，４４ａ…スリット
５１…弾性波装置
５２，５３，５４…回折部材
５２ａ，５３ａ，５４ａ…スリット
６１…弾性波装置
６２，６３…第１，第２の弾性波素子
６２Ａ，６３Ａ…第１，第２のＩＤＴ電極
６２Ｂ，６２Ｃ，６３Ｂ，６３Ｃ…反射器
６４，６５，６６…回折部材
６４ａ，６５ａ，６６ａ…スリット
７１…弾性波装置
７２，７３…第１，第２の弾性波素子
７４，７５…ＩＤＴ電極
７６，７７…反射器
８１…弾性波装置
８２，８３…第１，第２の弾性波素子
８２Ａ，８３Ａ…ＩＤＴ電極
Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３…並列腕共振子
Ｓ１，Ｓ２，Ｓ３，Ｓ４…直列腕共振子

Claims (16)

1. 圧電基板と、
   前記圧電基板上に設けられており、少なくとも１つの第１のＩＤＴ電極を有する、第１の弾性波素子と、
   前記圧電基板上に設けられており、少なくとも１つの第２のＩＤＴ電極を有する、第２の弾性波素子と、
   を備え、
   前記第１のＩＤＴ電極の交叉領域と、前記第２のＩＤＴ電極の交叉領域が、弾性波伝搬方向において重なる領域を有しており、
   前記弾性波伝搬方向において重なる領域において、スリットを有する回折部材を備える、弾性波装置。
2. 前記回折部材が、第１の部分と第２の部分とを有し、前記第１の部分と前記第２の部分とは、弾性波伝搬方向と直交する方向において、前記スリットを介して配置されている、請求項１に記載の弾性波装置。
3. 前記スリットが、前記第１の部分と前記第２の部分との間に配置されたギャップであり、該ギャップにより前記回折部材を貫通している貫通スリットが構成されている、請求項２に記載の弾性波装置。
4. 前記回折部材の前記スリットに臨む部分のコーナー部が切り欠かれている、請求項１〜３のいずれか１項に記載の弾性波装置。
5. 前記回折部材の前記スリットに臨む部分のコーナー部が丸みを帯びている、請求項１〜３のいずれか１項に記載の弾性波装置。
6. 前記回折部材が、直線状の形状を有する、請求項１〜５のいずれか１項に記載の弾性波装置。
7. 前記回折部材に複数の前記スリットが設けられている、請求項１〜６のいずれか１項に記載の弾性波装置。
8. 前記回折部材が、前記弾性波伝搬方向に沿って複数設けられている、請求項１〜７のいずれか１項に記載の弾性波装置。
9. 前記複数の回折部材に設けられているスリット同士が、前記弾性波伝搬方向において重なり合っていない、請求項７に記載の弾性波装置。
10. 前記第１の弾性波素子が、前記第１のＩＤＴ電極が設けられた領域の弾性波伝搬方向両側に設けられた一対の第１の反射器を有し、
    前記第２の弾性波素子が、前記第２のＩＤＴ電極が設けられた領域の弾性波伝搬方向両側に配置された一対の第２の反射器とを有し、
    前記第１の弾性波素子の一方の第１の反射器と、前記第２の弾性波素子の一方の第２の反射器とが弾性波伝搬方向において隣り合っている、請求項１〜９のいずれか１項に記載の弾性波装置。
11. 前記回折部材が、弾性波伝搬方向において隣り合っている前記第１の反射器と前記第２の反射器との間に配置されている、請求項１０に記載の弾性波装置。
12. 前記回折部材が、弾性波伝搬方向において隣り合っている前記第１の反射器及び前記第２の反射器と接続されていない、請求項１０に記載の弾性波装置。
13. 前記回折部材が、弾性波伝搬方向において隣り合っている前記第１の反射器内及び前記第２の反射器内の少なくとも一方に設けられている、請求項１０に記載の弾性波装置。
14. 前記第１の弾性波素子及び前記第２の弾性波素子で励振される双方の弾性波それぞれの波長よりも、前記スリットの前記弾性波伝搬方向と直交する方向に延びる寸法が小さい、請求項１〜１３のいずれか１項に記載の弾性波装置。
15. 前記第１のＩＤＴ電極の電極指ピッチで定まる波長と、前記第２のＩＤＴ電極の電極指ピッチで定まる波長とが異なっている、請求項１〜１４のいずれか１項に記載の弾性波装置。
16. 前記第１の弾性波素子を有する第１の弾性波フィルタと、前記第２の弾性波素子を有する第２の弾性波フィルタとを備え、前記圧電基板上に前記第１の弾性波フィルタと、通過帯域が異なる前記第２の弾性波フィルタとが構成されている、請求項１〜１５のいずれか１項に記載の弾性波装置。

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