JP3967648B2 - 板状部材の搬送装置 - Google Patents
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- 210000000078 claw Anatomy 0.000 claims description 74
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 claims description 6
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 229920000181 Ethylene propylene rubber Polymers 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920005549 butyl rubber Polymers 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- -1 for example Polymers 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000007788 roughening Methods 0.000 description 1
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 1
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
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- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、リードフレーム、基板等の板状部材の搬送装置に係り、特にリードフレームをクランプする爪構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、板状部材は、相対向して平行に配設されたガイドレールに両側部がガイドされ、板状部材送り機構によって搬送される。板状部材送り機構は、板状部材を上下より挟持する上爪及び下爪と、上爪及び下爪を開閉させる爪開閉機構と、上爪及び下爪を板状部材の搬送方向に往復駆動させる爪送り機構とを有している。そこで、爪開閉機構による上爪及び下爪の開閉と、爪送り機構による板状部材搬送方向の往復移動の組み合わせにより、板状部材を１ピッチずつ搬送する（例えば、特許文献１、２参照）。
【０００３】
特許文献１：特公昭６３−５６１２２号公報
特許文献２：特許第２８３５９８８号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
従来技術は、金属製の上爪及び下爪で板状部材の上下をクランプして搬送している。しかし、このような構造は、板状部材が大きくて重いもの、例えば幅４０ｍｍ、長さ４００ｍｍ、厚さ２ｍｍの板状部材は、４枚に１枚の割合で搬送ミスが生じた。この搬送ミスを防止するため、上爪及び下爪のクランプ面を大きくしたり、表面を荒くすることにより多少の改善が見られたが、これでも１６枚で１枚の割合で搬送ミスが発生した。このように、上爪及び下爪のクランプ面が金属製であると、摩擦が小さいため、重い板状部材はスリップを起こしてしまう。
【０００５】
また板状部材にダイボンディング又はワイヤボンディングをする場合には、板状部材はヒートブロックで加熱される。この熱によって板状部材が反り、上爪及び下爪のクランプ面全面でクランプできない場合が発生し、この時にも摩擦不足によってスリップし、搬送ミスが発生する。そこで、反った板状部材の搬送ミスを防止するには、反り押し部材で板状部材を押さえて反りを除いた後に上爪及び下爪でクランプする方法を採っている。
【０００６】
本発明の課題は、反りの無い板状部材は勿論のこと、反りの有る板状部材も確実に搬送できると共に、上爪及び下爪のクランプ面の合わせ調整が容易にでき、かつクランプ板の交換が容易に行える板状部材の搬送装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するための本発明の請求項１は、板状部材を上下よりクランプして搬送する上爪及び下爪を有する板状部材の搬送装置において、前記上爪及び前記下爪は、板状部材をクランプする弾性体よりなるクランプ板と、このクランプ板を挟持するように配設された爪保持板及び爪当て板とよりなり、クランプ板及び爪保持板は、爪当て板に対して着脱自在にボルトで固定されていることを特徴とする。
【０００８】
上記課題を解決するための本発明の請求項２は、上記請求項１において、前記爪保持板及び前記爪当て板の板状部材が搬送されてくる側の面は、前記クランプ板より板状部材が搬送されてくる側に突出するように形成されていることを特徴とする。
【０００９】
上記課題を解決するための本発明の請求項３は、上記請求項１において、前記弾性体は、耐熱性ゴムであることを特徴とする。
【００１０】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施の形態を図１及び図２により説明する。図１に示すように、板状部材１は、相対向して平行に配設されたガイドレール２、３に両側部がガイドされており、上爪１０Ａと下爪１０Ｂによってクランプされて搬送される。上爪１０Ａと下爪１０Ｂは、図示しない爪開閉機構によって開閉されると共に、爪送り機構によって板状部材１の搬送方向、図１において紙面に垂直な方向に搬送される。前記爪開閉機構及び爪送り機構は公知であるので、その説明は省略する。
【００１１】
上爪１０Ａ及び下爪１０Ｂは、図２に示すような構造となっている。上爪１０Ａと下爪１０Ｂは、ほぼ同じ構造よりなるので、両者を区別する必要がある時は、上爪１０Ａの部材には符号の後にＡを付け、下爪１０Ｂの部材には符号の後にＢを付けて説明する。上爪１０Ａ及び下爪１０Ｂは、板状部材１をクランプする弾性体よりなるクランプ板１１を爪保持板１２と爪当て板１３で挟持し、ボルト１４で固定されている。またクランプ板１１のボルト１４挿入部にはカラー１５が配設されている。上爪１０Ａのクランプ板１１Ａのクランプ面１１ａは、爪保持板１２Ａ及び爪当て板１３Ａより下方に突出し、下爪１０Ｂのクランプ板１１Ｂのクランプ面１１ｂは、爪保持板１２Ｂ及び爪当て板１３Ｂより上方に突出している。前記爪保持板１２Ａ、１２Ｂは、図示しない爪開閉機構に取付けられている。
【００１２】
前記クランプ板１１の材質である弾性体は、本装置をボンディング装置に用いる場合、ヒートブロックで加熱されるので、１５０°Ｃ〜３００°Ｃで使用可能な耐熱性ゴムであることが好ましい。耐熱性ゴムとしては、例えばブチルゴム、エチレンプロピレンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴム等が良い。
【００１３】
そこで、板状部材１の搬送は次のように行われる。図１に示すように、上爪１０Ａと下爪１０Ｂが閉じた状態で該上爪１０Ａと下爪１０Ｂが図示しない爪送り機構で１ピッチ移動させられる。次に図示しない爪開閉機構で上爪１０Ａと下爪１０Ｂが開く。続いて上爪１０Ａと下爪１０Ｂは、爪送り機構により板状部材１の搬送と逆の方向に元の位置に移動させられる。これにより、板状部材１は１ピッチ搬送させられる。
【００１４】
このように、クランプ板１１Ａ、１１Ｂは弾性体よりなるので、クランプ面１１ａ、１１ｂの摩擦が大きく、板状部材１とのスリップを防止でき、送りずれを無くすることができる。また反りの有る板状部材１の場合は、クランプ板１１Ａ、１１Ｂが弾性変形してクランプ面１１ａ、１１ｂ全面でクランプでき、クランプ面１１ａ、１１ｂでのスリップをなくすることができる。実際にテストを行った結果、板状部材１を１２８枚搬送しても搬送ミスは生じなかった。また板状部材１をクランプする時は、前記したようにクランプ板１１Ａ、１１Ｂのクランプ面１１ａ、１１ｂ部分が弾性変形するので、クランプ面１１ａ、１１ｂの面合わせが容易であり、面合わせ調整時間の短縮が図れる。
【００１５】
ところで、耐熱性ゴムは金属に比較して耐久性は劣る。そこで、本実施の形態に示すように、クランプ板１１を爪保持板１２と爪当て板１３で挟持し、ボルト１４で固定した構造とすることにより、クランプ板１１のみ交換可能であり、コストの削減が図れる。
【００１６】
従来の技術の項で挙げた特許文献１にも記載されているように、板状部材１がローダより送り出された時に、上爪又は下爪で板状部材１の位置決め、即ち頭出しを行う場合がある。このような場合に対処するため、本実施の形態においては、図１及び図３に示すように、板状部材１の先端が爪保持板１２Ａ、爪当て板１３Ａ又は爪保持板１２Ｂ、爪当て板１３Ｂに当たって正確な頭出しが行えるように、爪保持板１２Ａ、爪当て板１３Ａ又は爪保持板１２Ｂ、爪当て板１３Ｂの板状部材１が搬送されてくる側の面は、クランプ板１１Ａ又はクランプ板１１Ｂより板状部材１の先端側に突出している。
【００１７】
そこで、図３に示すように、板状部材１の頭出しを行う時は、上爪１０Ａの爪保持板１２Ａ、爪当て板１３Ａが板状部材１の搬送路に位置するように下降させ、ローダより送り出された板状部材１が搬送されてくる側の先端を爪保持板１２Ａ、爪当て板１３Ａに当接させて板状部材１の頭出しを行う。なお、下爪１０Ｂを上昇させ、爪保持板１２Ｂ、爪当て板１３Ｂで板状部材１の頭出しを行ってもよいことは言うまでもない。勿論、上爪１０Ａ又は下爪１０Ｂで板状部材１の頭出しを行わないものについては、爪保持板１２Ａ、爪当て板１３Ａ又は爪保持板１２Ｂ、爪当て板１３Ｂをクランプ板１１Ａ又はクランプ板１１Ｂの板状部材１の先端側の面は、同一面であってもよい。またクランプ板１１Ａ、１１Ｂは、全体を弾性体としたが、クランプ面１１ａ、１１ｂ部分のみを弾性体としてもよい。
【００１８】
【発明の効果】
本発明は、板状部材を上下よりクランプして搬送する上爪及び下爪を有する板状部材の搬送装置において、前記上爪及び前記下爪は、板状部材をクランプする弾性体よりなるクランプ板と、このクランプ板を挟持するように配設された爪保持板及び爪当て板とよりなり、クランプ板及び爪保持板は、爪当て板に対して着脱自在にボルトで固定されているので、反りの無い板状部材は勿論のこと、反りの有る板状部材も確実に搬送できると共に、上爪及び下爪のクランプ面の合わせ調整が容易にでき、かつクランプ板の交換が容易に行える。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の板状部材の搬送装置の一実施の形態を示す正面図である。
【図２】上爪及び下爪を示し、（ａ）は正面図、（ｂ）は右側面図、（ｃ）は平面図、（ｄ）は（ｂ）のＡ−Ａ線断面図である。
【図３】板状部材の頭出しを行う場合を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。
【符号の説明】
１ 板状部材
２、３ ガイドレール
１０Ａ 上爪
１０Ｂ 下爪
１１ａ、１１ｂ クランプ面
１１、１１Ａ、１１Ｂ クランプ板
１２、１２Ａ、１２Ｂ 爪保持板
１３、１３Ａ、１３Ｂ 爪当て板
１４ ボルト
【発明の属する技術分野】
本発明は、リードフレーム、基板等の板状部材の搬送装置に係り、特にリードフレームをクランプする爪構造に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、板状部材は、相対向して平行に配設されたガイドレールに両側部がガイドされ、板状部材送り機構によって搬送される。板状部材送り機構は、板状部材を上下より挟持する上爪及び下爪と、上爪及び下爪を開閉させる爪開閉機構と、上爪及び下爪を板状部材の搬送方向に往復駆動させる爪送り機構とを有している。そこで、爪開閉機構による上爪及び下爪の開閉と、爪送り機構による板状部材搬送方向の往復移動の組み合わせにより、板状部材を１ピッチずつ搬送する（例えば、特許文献１、２参照）。
【０００３】
特許文献１：特公昭６３−５６１２２号公報
特許文献２：特許第２８３５９８８号公報
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】
従来技術は、金属製の上爪及び下爪で板状部材の上下をクランプして搬送している。しかし、このような構造は、板状部材が大きくて重いもの、例えば幅４０ｍｍ、長さ４００ｍｍ、厚さ２ｍｍの板状部材は、４枚に１枚の割合で搬送ミスが生じた。この搬送ミスを防止するため、上爪及び下爪のクランプ面を大きくしたり、表面を荒くすることにより多少の改善が見られたが、これでも１６枚で１枚の割合で搬送ミスが発生した。このように、上爪及び下爪のクランプ面が金属製であると、摩擦が小さいため、重い板状部材はスリップを起こしてしまう。
【０００５】
また板状部材にダイボンディング又はワイヤボンディングをする場合には、板状部材はヒートブロックで加熱される。この熱によって板状部材が反り、上爪及び下爪のクランプ面全面でクランプできない場合が発生し、この時にも摩擦不足によってスリップし、搬送ミスが発生する。そこで、反った板状部材の搬送ミスを防止するには、反り押し部材で板状部材を押さえて反りを除いた後に上爪及び下爪でクランプする方法を採っている。
【０００６】
本発明の課題は、反りの無い板状部材は勿論のこと、反りの有る板状部材も確実に搬送できると共に、上爪及び下爪のクランプ面の合わせ調整が容易にでき、かつクランプ板の交換が容易に行える板状部材の搬送装置を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するための本発明の請求項１は、板状部材を上下よりクランプして搬送する上爪及び下爪を有する板状部材の搬送装置において、前記上爪及び前記下爪は、板状部材をクランプする弾性体よりなるクランプ板と、このクランプ板を挟持するように配設された爪保持板及び爪当て板とよりなり、クランプ板及び爪保持板は、爪当て板に対して着脱自在にボルトで固定されていることを特徴とする。
【０００８】
上記課題を解決するための本発明の請求項２は、上記請求項１において、前記爪保持板及び前記爪当て板の板状部材が搬送されてくる側の面は、前記クランプ板より板状部材が搬送されてくる側に突出するように形成されていることを特徴とする。
【０００９】
上記課題を解決するための本発明の請求項３は、上記請求項１において、前記弾性体は、耐熱性ゴムであることを特徴とする。
【００１０】
【発明の実施の形態】
本発明の一実施の形態を図１及び図２により説明する。図１に示すように、板状部材１は、相対向して平行に配設されたガイドレール２、３に両側部がガイドされており、上爪１０Ａと下爪１０Ｂによってクランプされて搬送される。上爪１０Ａと下爪１０Ｂは、図示しない爪開閉機構によって開閉されると共に、爪送り機構によって板状部材１の搬送方向、図１において紙面に垂直な方向に搬送される。前記爪開閉機構及び爪送り機構は公知であるので、その説明は省略する。
【００１１】
上爪１０Ａ及び下爪１０Ｂは、図２に示すような構造となっている。上爪１０Ａと下爪１０Ｂは、ほぼ同じ構造よりなるので、両者を区別する必要がある時は、上爪１０Ａの部材には符号の後にＡを付け、下爪１０Ｂの部材には符号の後にＢを付けて説明する。上爪１０Ａ及び下爪１０Ｂは、板状部材１をクランプする弾性体よりなるクランプ板１１を爪保持板１２と爪当て板１３で挟持し、ボルト１４で固定されている。またクランプ板１１のボルト１４挿入部にはカラー１５が配設されている。上爪１０Ａのクランプ板１１Ａのクランプ面１１ａは、爪保持板１２Ａ及び爪当て板１３Ａより下方に突出し、下爪１０Ｂのクランプ板１１Ｂのクランプ面１１ｂは、爪保持板１２Ｂ及び爪当て板１３Ｂより上方に突出している。前記爪保持板１２Ａ、１２Ｂは、図示しない爪開閉機構に取付けられている。
【００１２】
前記クランプ板１１の材質である弾性体は、本装置をボンディング装置に用いる場合、ヒートブロックで加熱されるので、１５０°Ｃ〜３００°Ｃで使用可能な耐熱性ゴムであることが好ましい。耐熱性ゴムとしては、例えばブチルゴム、エチレンプロピレンゴム、シリコーンゴム、フッ素ゴム等が良い。
【００１３】
そこで、板状部材１の搬送は次のように行われる。図１に示すように、上爪１０Ａと下爪１０Ｂが閉じた状態で該上爪１０Ａと下爪１０Ｂが図示しない爪送り機構で１ピッチ移動させられる。次に図示しない爪開閉機構で上爪１０Ａと下爪１０Ｂが開く。続いて上爪１０Ａと下爪１０Ｂは、爪送り機構により板状部材１の搬送と逆の方向に元の位置に移動させられる。これにより、板状部材１は１ピッチ搬送させられる。
【００１４】
このように、クランプ板１１Ａ、１１Ｂは弾性体よりなるので、クランプ面１１ａ、１１ｂの摩擦が大きく、板状部材１とのスリップを防止でき、送りずれを無くすることができる。また反りの有る板状部材１の場合は、クランプ板１１Ａ、１１Ｂが弾性変形してクランプ面１１ａ、１１ｂ全面でクランプでき、クランプ面１１ａ、１１ｂでのスリップをなくすることができる。実際にテストを行った結果、板状部材１を１２８枚搬送しても搬送ミスは生じなかった。また板状部材１をクランプする時は、前記したようにクランプ板１１Ａ、１１Ｂのクランプ面１１ａ、１１ｂ部分が弾性変形するので、クランプ面１１ａ、１１ｂの面合わせが容易であり、面合わせ調整時間の短縮が図れる。
【００１５】
ところで、耐熱性ゴムは金属に比較して耐久性は劣る。そこで、本実施の形態に示すように、クランプ板１１を爪保持板１２と爪当て板１３で挟持し、ボルト１４で固定した構造とすることにより、クランプ板１１のみ交換可能であり、コストの削減が図れる。
【００１６】
従来の技術の項で挙げた特許文献１にも記載されているように、板状部材１がローダより送り出された時に、上爪又は下爪で板状部材１の位置決め、即ち頭出しを行う場合がある。このような場合に対処するため、本実施の形態においては、図１及び図３に示すように、板状部材１の先端が爪保持板１２Ａ、爪当て板１３Ａ又は爪保持板１２Ｂ、爪当て板１３Ｂに当たって正確な頭出しが行えるように、爪保持板１２Ａ、爪当て板１３Ａ又は爪保持板１２Ｂ、爪当て板１３Ｂの板状部材１が搬送されてくる側の面は、クランプ板１１Ａ又はクランプ板１１Ｂより板状部材１の先端側に突出している。
【００１７】
そこで、図３に示すように、板状部材１の頭出しを行う時は、上爪１０Ａの爪保持板１２Ａ、爪当て板１３Ａが板状部材１の搬送路に位置するように下降させ、ローダより送り出された板状部材１が搬送されてくる側の先端を爪保持板１２Ａ、爪当て板１３Ａに当接させて板状部材１の頭出しを行う。なお、下爪１０Ｂを上昇させ、爪保持板１２Ｂ、爪当て板１３Ｂで板状部材１の頭出しを行ってもよいことは言うまでもない。勿論、上爪１０Ａ又は下爪１０Ｂで板状部材１の頭出しを行わないものについては、爪保持板１２Ａ、爪当て板１３Ａ又は爪保持板１２Ｂ、爪当て板１３Ｂをクランプ板１１Ａ又はクランプ板１１Ｂの板状部材１の先端側の面は、同一面であってもよい。またクランプ板１１Ａ、１１Ｂは、全体を弾性体としたが、クランプ面１１ａ、１１ｂ部分のみを弾性体としてもよい。
【００１８】
【発明の効果】
本発明は、板状部材を上下よりクランプして搬送する上爪及び下爪を有する板状部材の搬送装置において、前記上爪及び前記下爪は、板状部材をクランプする弾性体よりなるクランプ板と、このクランプ板を挟持するように配設された爪保持板及び爪当て板とよりなり、クランプ板及び爪保持板は、爪当て板に対して着脱自在にボルトで固定されているので、反りの無い板状部材は勿論のこと、反りの有る板状部材も確実に搬送できると共に、上爪及び下爪のクランプ面の合わせ調整が容易にでき、かつクランプ板の交換が容易に行える。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の板状部材の搬送装置の一実施の形態を示す正面図である。
【図２】上爪及び下爪を示し、（ａ）は正面図、（ｂ）は右側面図、（ｃ）は平面図、（ｄ）は（ｂ）のＡ−Ａ線断面図である。
【図３】板状部材の頭出しを行う場合を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ線断面図である。
【符号の説明】
１ 板状部材
２、３ ガイドレール
１０Ａ 上爪
１０Ｂ 下爪
１１ａ、１１ｂ クランプ面
１１、１１Ａ、１１Ｂ クランプ板
１２、１２Ａ、１２Ｂ 爪保持板
１３、１３Ａ、１３Ｂ 爪当て板
１４ ボルト
Claims (3)
- 板状部材を上下よりクランプして搬送する上爪及び下爪を有する板状部材の搬送装置において、前記上爪及び前記下爪は、板状部材をクランプする弾性体よりなるクランプ板と、このクランプ板を挟持するように配設された爪保持板及び爪当て板とよりなり、クランプ板及び爪保持板は、爪当て板に対して着脱自在にボルトで固定されていることを特徴とする板状部材の搬送装置。
- 前記爪保持板及び前記爪当て板の板状部材が搬送されてくる側の面は、前記クランプ板より板状部材が搬送されてくる側に突出するように形成されていることを特徴とする請求項１記載の板状部材の搬送装置。
- 前記弾性体は、耐熱性ゴムであることを特徴とする請求項１記載の板状部材の搬送装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002248159A JP3967648B2 (ja) | 2002-08-28 | 2002-08-28 | 板状部材の搬送装置 |
| TW092118261A TWI279877B (en) | 2002-08-28 | 2003-07-04 | Conveying apparatus for plate-shape members |
| KR10-2003-0055477A KR100521894B1 (ko) | 2002-08-28 | 2003-08-11 | 판형상 부재의 반송장치 |
| US10/647,964 US6793066B2 (en) | 2002-08-28 | 2003-08-26 | Conveying apparatus for plate-form members |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2002248159A JP3967648B2 (ja) | 2002-08-28 | 2002-08-28 | 板状部材の搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2004087887A JP2004087887A (ja) | 2004-03-18 |
| JP3967648B2 true JP3967648B2 (ja) | 2007-08-29 |
Family
ID=31972506
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002248159A Expired - Fee Related JP3967648B2 (ja) | 2002-08-28 | 2002-08-28 | 板状部材の搬送装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6793066B2 (ja) |
| JP (1) | JP3967648B2 (ja) |
| KR (1) | KR100521894B1 (ja) |
| TW (1) | TWI279877B (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5042145B2 (ja) * | 2008-06-27 | 2012-10-03 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 電子部品の実装装置 |
| CN103043377A (zh) * | 2011-10-15 | 2013-04-17 | 四川制药制剂有限公司 | 带有传感器的丝杠传动结构 |
| JP7412160B2 (ja) | 2019-12-23 | 2024-01-12 | 三菱電機株式会社 | フレーム搬送装置および半導体モジュールの製造方法 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CH617255A5 (ja) * | 1977-09-14 | 1980-05-14 | Raskin Sa | |
| IT1140278B (it) * | 1981-11-09 | 1986-09-24 | Ezio Curti | Dispositivo per trasferire automaticamente piastre di supporto per circuiti stampati da una zona di caricamento ad una di stampa |
| DE3437642C2 (de) * | 1984-10-13 | 1994-03-31 | Haar Maschbau Alfons | Vorschubvorrichtung zum Eingeben und Vorschieben von Tafeln in eine Stanze |
| JPH069426B2 (ja) | 1986-08-25 | 1994-02-02 | 三菱電機株式会社 | 保護継電器の点検装置 |
| JPH0646645B2 (ja) * | 1988-08-25 | 1994-06-15 | 株式会社東芝 | リードフレーム搬送装置 |
| JP2835988B2 (ja) | 1991-03-22 | 1998-12-14 | 株式会社新川 | 板状部材の移送装置 |
-
2002
- 2002-08-28 JP JP2002248159A patent/JP3967648B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2003
- 2003-07-04 TW TW092118261A patent/TWI279877B/zh not_active IP Right Cessation
- 2003-08-11 KR KR10-2003-0055477A patent/KR100521894B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2003-08-26 US US10/647,964 patent/US6793066B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TWI279877B (en) | 2007-04-21 |
| US20040040823A1 (en) | 2004-03-04 |
| KR20040019890A (ko) | 2004-03-06 |
| TW200403795A (en) | 2004-03-01 |
| JP2004087887A (ja) | 2004-03-18 |
| KR100521894B1 (ko) | 2005-10-14 |
| US6793066B2 (en) | 2004-09-21 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
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|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
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|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |