JP2835988B2 - 板状部材の移送装置 - Google Patents
板状部材の移送装置Info
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- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 43
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 3
- 230000001174 ascending effect Effects 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
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- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
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- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/50—Assembly of semiconductor devices using processes or apparatus not provided for in a single one of the subgroups H01L21/06 - H01L21/326, e.g. sealing of a cap to a base of a container
-
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- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はリードフレーム等の板状
部材の移送装置に係り、特に爪移動機構に関する。
部材の移送装置に係り、特に爪移動機構に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、板状部材の移送装置として、例え
ば特開昭６０ー６７３１３号公報に示すものが知られて
いる。この構造は、リードフレームを送るための爪を有
する複数個のフレーム送り機構にそれぞれ雌ねじを固定
し、この複数個の雌ねじを雄ねじに螺合させている。
ば特開昭６０ー６７３１３号公報に示すものが知られて
いる。この構造は、リードフレームを送るための爪を有
する複数個のフレーム送り機構にそれぞれ雌ねじを固定
し、この複数個の雌ねじを雄ねじに螺合させている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記従来技術は、複数
個のフレーム送り機構にそれぞれ雌ねじを固定し、この
複数個の雌ねじを雄ねじに螺合させているので、雄ねじ
の長さが非常に長い。このような長い雄ねじを高精度に
製作することは困難であり、各フレーム送り機構を高精
度に送ることができないという問題点があった。
個のフレーム送り機構にそれぞれ雌ねじを固定し、この
複数個の雌ねじを雄ねじに螺合させているので、雄ねじ
の長さが非常に長い。このような長い雄ねじを高精度に
製作することは困難であり、各フレーム送り機構を高精
度に送ることができないという問題点があった。
【０００４】本発明の目的は、雄ねじの長さを短くする
ことができ、各フレーム送り機構を高精度に送ることが
可能な板状部材の移送装置を提供することにある。
ことができ、各フレーム送り機構を高精度に送ることが
可能な板状部材の移送装置を提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
の本発明の構成は、板状部材を送るための爪を有する複
数個のフレーム送り機構と、この複数個のフレーム送り
機構が固定され、前記板状部材の送り方向に移動可能に
設けられたスライダと、このスライダに固定された雌ね
じと、この雌ねじに螺合された雄ねじと、この雄ねじを
回転させる爪移動用モータとを備えた板状部材の移送装
置において、前記各フレーム送り機構は、前記板状部材
を上下より挟持する上爪及び下爪と、この上爪及び下爪
を開閉させる爪開閉機構とをそれぞれ有し、前記複数個
の爪開閉機構は、前記スライダに固定された支持体に固
定され、かつ前記スライダに固定された１個の爪開閉用
モータで駆動されるように構成されていることを特徴と
する。
の本発明の構成は、板状部材を送るための爪を有する複
数個のフレーム送り機構と、この複数個のフレーム送り
機構が固定され、前記板状部材の送り方向に移動可能に
設けられたスライダと、このスライダに固定された雌ね
じと、この雌ねじに螺合された雄ねじと、この雄ねじを
回転させる爪移動用モータとを備えた板状部材の移送装
置において、前記各フレーム送り機構は、前記板状部材
を上下より挟持する上爪及び下爪と、この上爪及び下爪
を開閉させる爪開閉機構とをそれぞれ有し、前記複数個
の爪開閉機構は、前記スライダに固定された支持体に固
定され、かつ前記スライダに固定された１個の爪開閉用
モータで駆動されるように構成されていることを特徴と
する。
【０００６】
【作用】爪移動用モータを一定量回転させると、雄ねじ
が回転し、雌ねじと共にスライダが一定量移動する。従
って、スライダに固定された複数個のフレーム送り機構
は共に一定量移動する。このように、複数個のフレーム
送り機構はスライダに固定され、このスライダに雌ねじ
が固定されているので、雌ねじを送る雄ねじの長さは、
フレーム送り機構を一定量、即ち板状部材の１ピッチ送
り分の長さでよい。即ち、雄ねじの長さは非常に短くて
よいので、各フレーム送り機構を高精度に送ることがで
きる。
が回転し、雌ねじと共にスライダが一定量移動する。従
って、スライダに固定された複数個のフレーム送り機構
は共に一定量移動する。このように、複数個のフレーム
送り機構はスライダに固定され、このスライダに雌ねじ
が固定されているので、雌ねじを送る雄ねじの長さは、
フレーム送り機構を一定量、即ち板状部材の１ピッチ送
り分の長さでよい。即ち、雄ねじの長さは非常に短くて
よいので、各フレーム送り機構を高精度に送ることがで
きる。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図により説明す
る。リードフレーム１をガイドする一対のガイドレール
２、３は、両端側がそれぞれ支持板４、５を介してベー
ス板６に固定されている。ガイドレール２の下方には、
該ガイドレール２と平行にガイド板７が配設され、ガイ
ド板７は支持板８を介してベース板６に固定されてい
る。ガイド板７にはスライダ９が摺動自在に設けられて
おり、スライダ９上には、一定距離離れて２個のフレー
ム送り機構１５Ａ、１５Ｂの支持体１６Ａ、１６Ｂがそ
れぞれ固定されている。ここで、フレーム送り機構１５
Ａと１５Ｂはほぼ同一の構造よりなるので、一方のフレ
ーム送り機構１５Ａのみについて説明する。なお、同一
機能を有する部材には同一番号を付し、その番号の後に
符号Ａ、Ｂを付して区別する。
る。リードフレーム１をガイドする一対のガイドレール
２、３は、両端側がそれぞれ支持板４、５を介してベー
ス板６に固定されている。ガイドレール２の下方には、
該ガイドレール２と平行にガイド板７が配設され、ガイ
ド板７は支持板８を介してベース板６に固定されてい
る。ガイド板７にはスライダ９が摺動自在に設けられて
おり、スライダ９上には、一定距離離れて２個のフレー
ム送り機構１５Ａ、１５Ｂの支持体１６Ａ、１６Ｂがそ
れぞれ固定されている。ここで、フレーム送り機構１５
Ａと１５Ｂはほぼ同一の構造よりなるので、一方のフレ
ーム送り機構１５Ａのみについて説明する。なお、同一
機能を有する部材には同一番号を付し、その番号の後に
符号Ａ、Ｂを付して区別する。
【０００８】フレーム送り機構１５Ａの支持体１６Ａに
は、カム軸１７Ａが回転自在に支承されており、カム軸
１７Ａには上爪上下動用カム１８Ａ、下爪上下動用カム
１９Ａ、原点検出用カム２０Ａ及びタイミングプーリ２
１Ａが固定されている。また支持体１６Ａには、カム軸
１７Ａの上方に２本のガイド棒２２Ａが垂直に固定され
ており、ガイド棒２２Ａには、上爪保持部材２３Ａ及び
下爪保持部材２４Ａが摺動自在に嵌挿されている。上爪
保持部材２３Ａには、上爪２５Ａが上爪固定板２６Ａを
介して固定され、下爪保持部材２４Ａには、下爪２７Ａ
が下爪固定板２８Ａを介して固定されている。上爪２５
Ａはガイドレール２の上方よりガイドレール２、３間に
伸び、下爪２７Ａはガイドレール２の下方から前記上爪
２５Ａに相対向してガイドレール２、３間に伸びてい
る。
は、カム軸１７Ａが回転自在に支承されており、カム軸
１７Ａには上爪上下動用カム１８Ａ、下爪上下動用カム
１９Ａ、原点検出用カム２０Ａ及びタイミングプーリ２
１Ａが固定されている。また支持体１６Ａには、カム軸
１７Ａの上方に２本のガイド棒２２Ａが垂直に固定され
ており、ガイド棒２２Ａには、上爪保持部材２３Ａ及び
下爪保持部材２４Ａが摺動自在に嵌挿されている。上爪
保持部材２３Ａには、上爪２５Ａが上爪固定板２６Ａを
介して固定され、下爪保持部材２４Ａには、下爪２７Ａ
が下爪固定板２８Ａを介して固定されている。上爪２５
Ａはガイドレール２の上方よりガイドレール２、３間に
伸び、下爪２７Ａはガイドレール２の下方から前記上爪
２５Ａに相対向してガイドレール２、３間に伸びてい
る。
【０００９】上爪保持部材２３Ａ及び下爪保持部材２４
Ａには、それぞれローラ支持軸４５Ａ、４６Ａが固定さ
れており、ローラ支持軸４５Ａ、４６Ａには、それぞれ
上爪上下動用カム１８Ａ、下爪上下動用カム１９Ａに対
応した位置にローラ４７Ａ、４８Ａが回転自在に支承さ
れている。また上爪保持部材２３Ａ及び下爪保持部材２
４Ａにはそれぞればね掛けフック５１Ａ、５２Ａが固定
され、支持体１６Ａにはばね掛けフック５３Ａ、５４Ａ
（５３Ａ、５４Ａは図示されていないので、図５におけ
る５３Ｂ、５４Ｂを参照）が固定されている。そして、
ローラ４７Ａ、４８Ａがそれぞれ上爪上下動用カム１８
Ａ、下爪上下動用カム１９Ａに圧接するように、ばね掛
けフック５１Ａ、５２Ａと５３Ａ、５４Ａにそれぞれば
ね（図示せず）が掛けられている。また支持体１６Ａに
は前記原点検出用カム２０Ａに対応してセンサ５５Ａが
固定されている。
Ａには、それぞれローラ支持軸４５Ａ、４６Ａが固定さ
れており、ローラ支持軸４５Ａ、４６Ａには、それぞれ
上爪上下動用カム１８Ａ、下爪上下動用カム１９Ａに対
応した位置にローラ４７Ａ、４８Ａが回転自在に支承さ
れている。また上爪保持部材２３Ａ及び下爪保持部材２
４Ａにはそれぞればね掛けフック５１Ａ、５２Ａが固定
され、支持体１６Ａにはばね掛けフック５３Ａ、５４Ａ
（５３Ａ、５４Ａは図示されていないので、図５におけ
る５３Ｂ、５４Ｂを参照）が固定されている。そして、
ローラ４７Ａ、４８Ａがそれぞれ上爪上下動用カム１８
Ａ、下爪上下動用カム１９Ａに圧接するように、ばね掛
けフック５１Ａ、５２Ａと５３Ａ、５４Ａにそれぞれば
ね（図示せず）が掛けられている。また支持体１６Ａに
は前記原点検出用カム２０Ａに対応してセンサ５５Ａが
固定されている。
【００１０】フレーム送り機構１５Ａとフレーム送り機
構１５Ｂ間におけるスライダ９上にはモータ支持板６０
が固定されている。モータ支持板６０には爪開閉用モー
タ６１が固定されており、爪開閉用モータ６１の出力軸
にはタイミングプーリ６２が固定されている。そして、
タイミングプーリ６２と前記フレーム送り機構１５Ａ、
１５Ｂのタイミングプーリ２１Ａ、２１Ｂにはタイミン
グベルト６３が掛けられている。またタイミングベルト
６３にテンションを付与するために、モータ支持板６０
にはローラ支持板６４、６５が固定され、ローラ支持板
６４、６５にはそれぞれテンションローラ６６、６７が
回転自在に支承され、テンションローラ６６、６７は前
記タイミングベルト６３に圧接されている。
構１５Ｂ間におけるスライダ９上にはモータ支持板６０
が固定されている。モータ支持板６０には爪開閉用モー
タ６１が固定されており、爪開閉用モータ６１の出力軸
にはタイミングプーリ６２が固定されている。そして、
タイミングプーリ６２と前記フレーム送り機構１５Ａ、
１５Ｂのタイミングプーリ２１Ａ、２１Ｂにはタイミン
グベルト６３が掛けられている。またタイミングベルト
６３にテンションを付与するために、モータ支持板６０
にはローラ支持板６４、６５が固定され、ローラ支持板
６４、６５にはそれぞれテンションローラ６６、６７が
回転自在に支承され、テンションローラ６６、６７は前
記タイミングベルト６３に圧接されている。
【００１１】前記スライダ９には雌ねじ７０が固定され
ており、雌ねじ７０には前記ガイドレール２と平行に配
設された雄ねじ７１が螺合している。雄ねじ７１は、ベ
ース板６に固定されたＵ字状の支持板７２のねじ支持部
７２ａ及び支持板７３に回転自在に支承されている。支
持板７２のモータ支持部７２ｂには爪移動用モータ７４
が固定されており、爪移動用モータ７４の出力軸はカッ
プリング７５を介して雄ねじ７１に連結されている。
ており、雌ねじ７０には前記ガイドレール２と平行に配
設された雄ねじ７１が螺合している。雄ねじ７１は、ベ
ース板６に固定されたＵ字状の支持板７２のねじ支持部
７２ａ及び支持板７３に回転自在に支承されている。支
持板７２のモータ支持部７２ｂには爪移動用モータ７４
が固定されており、爪移動用モータ７４の出力軸はカッ
プリング７５を介して雄ねじ７１に連結されている。
【００１２】次に作用について説明する。まず上爪２５
Ａ、２５Ｂ及び下爪２７Ａ、２７Ｂの開閉を行なう爪開
閉機構と上爪２５Ａ、２５Ｂ及び下爪２７Ａ、２７Ｂ、
即ちフレーム送り機構１５Ａ、１５Ｂを移動させる爪移
動機構の動作について説明し、その後にリードフレーム
１の送り動作について説明する。
Ａ、２５Ｂ及び下爪２７Ａ、２７Ｂの開閉を行なう爪開
閉機構と上爪２５Ａ、２５Ｂ及び下爪２７Ａ、２７Ｂ、
即ちフレーム送り機構１５Ａ、１５Ｂを移動させる爪移
動機構の動作について説明し、その後にリードフレーム
１の送り動作について説明する。
【００１３】まず、爪開閉機構の動作について説明す
る。上爪上下動用カム１８Ａ、１８Ｂ及び下爪上下動用
カム１９Ａ、１９Ｂの上昇プロフイルによってそれぞれ
に対応した上爪保持部材２３Ａ、２３Ｂ及び下爪保持部
材２４Ａ、２４Ｂは上昇し、上爪２５Ａ、２５Ｂ及び下
爪２７Ａ、２７Ｂは上昇する。また逆に、上爪上下動用
カム１８Ａ、１８Ｂ及び下爪上下動用カム１９Ａ、１９
Ｂの下降プロフイルによってそれぞれに対応した上爪保
持部材２３Ａ、２３Ｂ及び下爪保持部材２４Ａ、２４Ｂ
は下降し、上爪２５Ａ、２５Ｂ及び下爪２７Ａ、２７Ｂ
は下降する。上爪２５Ａと下爪２７Ａとよりなる右側爪
２５Ａ、２７Ａが閉じた状態、上爪２５Ｂと下爪２７Ｂ
とからなる左側爪２５Ｂ、２７Ｂが開いた状態より説明
する。この状態より爪開閉用モータ６１が回転すると、
タイミングプーリ６２、タイミングベルト６３、タイミ
ングプーリ２１Ａ、２１Ｂを介してカム軸１７Ａ、１７
Ｂ、上爪上下動用カム１８Ａ、１８Ｂ及び下爪上下動用
カム１９Ａ、１９Ｂが共に回転する。
る。上爪上下動用カム１８Ａ、１８Ｂ及び下爪上下動用
カム１９Ａ、１９Ｂの上昇プロフイルによってそれぞれ
に対応した上爪保持部材２３Ａ、２３Ｂ及び下爪保持部
材２４Ａ、２４Ｂは上昇し、上爪２５Ａ、２５Ｂ及び下
爪２７Ａ、２７Ｂは上昇する。また逆に、上爪上下動用
カム１８Ａ、１８Ｂ及び下爪上下動用カム１９Ａ、１９
Ｂの下降プロフイルによってそれぞれに対応した上爪保
持部材２３Ａ、２３Ｂ及び下爪保持部材２４Ａ、２４Ｂ
は下降し、上爪２５Ａ、２５Ｂ及び下爪２７Ａ、２７Ｂ
は下降する。上爪２５Ａと下爪２７Ａとよりなる右側爪
２５Ａ、２７Ａが閉じた状態、上爪２５Ｂと下爪２７Ｂ
とからなる左側爪２５Ｂ、２７Ｂが開いた状態より説明
する。この状態より爪開閉用モータ６１が回転すると、
タイミングプーリ６２、タイミングベルト６３、タイミ
ングプーリ２１Ａ、２１Ｂを介してカム軸１７Ａ、１７
Ｂ、上爪上下動用カム１８Ａ、１８Ｂ及び下爪上下動用
カム１９Ａ、１９Ｂが共に回転する。
【００１４】カム軸１７Ａ、１７Ｂが９０度回転する
と、上爪上下動用カム１８Ａの上昇プロフイルによって
上爪２５Ａは上昇し、下爪上下動用カム１９Ａの下降プ
ロフイルによって下爪２７Ａは下降する。これにより、
右側爪２５Ａ、２７Ａは開く。しかし、上爪上下動用カ
ム１８Ｂ及び下爪上下動用カム１９Ｂのプロフイルは変
わらなく、左側爪２５Ｂ、２７Ｂは開いたままである。
この状態より再びカム軸１７Ａ、１７Ｂが９０度回転す
ると、上爪上下動用カム１８Ａ及び下爪上下動用カム１
９Ａのプロフイルは変わらなく、右側爪２５Ａ、２７Ａ
は開いたままであるが、上爪上下動用カム１８Ｂの上昇
プロフイル及び下爪上下動用カム１９Ｂの下降プロフイ
ルによって右側爪２５Ａ、２７Ａは閉じる。更にカム軸
１７Ａ、１７Ｂが９０度回転すると、上爪上下動用カム
１８Ａの下降プロフイル及び下爪上下動用カム１９Ａの
上昇プロフイルによって右側爪２５Ａ、２７Ａは閉じ
る。しかし、上爪上下動用カム１８Ｂ、下爪上下動用カ
ム１９Ｂのプロフイルは変わらなく、左側爪２５Ｂ、２
７Ｂは閉じたままである。更にカム軸１７Ａ、１７Ｂが
９０度回転すると、上爪上下動用カム１８Ａ、下爪上下
動用カム１９Ａのプロフイルは変わらなく、右側爪２５
Ａ、２７Ａは閉じたままであるが、上爪上下動用カム１
８Ｂの上昇プロフイル及び下爪上下動用カム１９Ｂの下
降プロフイルによって左側爪２５Ｂ、２７Ｂは開く。即
ち、カム軸１７Ａ、１７Ｂが９０度、１８０度、２７０
度、３６０度回転すると、右側爪２５Ａ、２７Ａは開、
開、閉、閉となり、左側爪２５Ｂ、２７Ｂは開、閉、
閉、開となる。
と、上爪上下動用カム１８Ａの上昇プロフイルによって
上爪２５Ａは上昇し、下爪上下動用カム１９Ａの下降プ
ロフイルによって下爪２７Ａは下降する。これにより、
右側爪２５Ａ、２７Ａは開く。しかし、上爪上下動用カ
ム１８Ｂ及び下爪上下動用カム１９Ｂのプロフイルは変
わらなく、左側爪２５Ｂ、２７Ｂは開いたままである。
この状態より再びカム軸１７Ａ、１７Ｂが９０度回転す
ると、上爪上下動用カム１８Ａ及び下爪上下動用カム１
９Ａのプロフイルは変わらなく、右側爪２５Ａ、２７Ａ
は開いたままであるが、上爪上下動用カム１８Ｂの上昇
プロフイル及び下爪上下動用カム１９Ｂの下降プロフイ
ルによって右側爪２５Ａ、２７Ａは閉じる。更にカム軸
１７Ａ、１７Ｂが９０度回転すると、上爪上下動用カム
１８Ａの下降プロフイル及び下爪上下動用カム１９Ａの
上昇プロフイルによって右側爪２５Ａ、２７Ａは閉じ
る。しかし、上爪上下動用カム１８Ｂ、下爪上下動用カ
ム１９Ｂのプロフイルは変わらなく、左側爪２５Ｂ、２
７Ｂは閉じたままである。更にカム軸１７Ａ、１７Ｂが
９０度回転すると、上爪上下動用カム１８Ａ、下爪上下
動用カム１９Ａのプロフイルは変わらなく、右側爪２５
Ａ、２７Ａは閉じたままであるが、上爪上下動用カム１
８Ｂの上昇プロフイル及び下爪上下動用カム１９Ｂの下
降プロフイルによって左側爪２５Ｂ、２７Ｂは開く。即
ち、カム軸１７Ａ、１７Ｂが９０度、１８０度、２７０
度、３６０度回転すると、右側爪２５Ａ、２７Ａは開、
開、閉、閉となり、左側爪２５Ｂ、２７Ｂは開、閉、
閉、開となる。
【００１５】次に爪移動機構の動作について説明する。
爪移動用モータ７４が正回転すると、カップリング７５
を介して雄ねじ７１が回転する。これにより、雌ねじ７
０は、図１において２点鎖線の状態より実線で示すよう
に、左方向に移動する。前記雌ねじ７０には、スライダ
９が固定されているので、スライダ９も左方向に移動す
る。スライダ９にはフレーム送り機構１５Ａ、１５Ｂの
支持体１６Ａ、１６Ｂが固定されているので、前記のよ
うにスライダ９が左方向に移動すると、フレーム送り機
構１５Ａ、１５Ｂ、即ち上爪２５Ａ、下爪２７Ａ及び上
爪２５Ｂ、下爪２７Ｂは共に左方向に移動する。また前
記と逆に、爪移動用モータ７４が逆回転すると、雌ねじ
７０、スライダ９及びフレーム送り機構１５Ａ、１５Ｂ
は右方向に移動し、上爪２５Ａ、下爪２７Ａ及び上爪２
５Ｂ、下爪２７Ｂは共に右方向に移動する。
爪移動用モータ７４が正回転すると、カップリング７５
を介して雄ねじ７１が回転する。これにより、雌ねじ７
０は、図１において２点鎖線の状態より実線で示すよう
に、左方向に移動する。前記雌ねじ７０には、スライダ
９が固定されているので、スライダ９も左方向に移動す
る。スライダ９にはフレーム送り機構１５Ａ、１５Ｂの
支持体１６Ａ、１６Ｂが固定されているので、前記のよ
うにスライダ９が左方向に移動すると、フレーム送り機
構１５Ａ、１５Ｂ、即ち上爪２５Ａ、下爪２７Ａ及び上
爪２５Ｂ、下爪２７Ｂは共に左方向に移動する。また前
記と逆に、爪移動用モータ７４が逆回転すると、雌ねじ
７０、スライダ９及びフレーム送り機構１５Ａ、１５Ｂ
は右方向に移動し、上爪２５Ａ、下爪２７Ａ及び上爪２
５Ｂ、下爪２７Ｂは共に右方向に移動する。
【００１６】次にリードフレーム１の送り動作について
説明する。右側爪２５Ａ、２７Ａが閉、左側爪２５Ｂ、
２７Ｂが開状態で、まず爪開閉用モータ６１が９０度回
転する。これにより、前記したように上爪上下動用カム
１８Ａ及び上爪上下動用カム１８Ｂが９０度回転し、右
側爪２５Ａ、２７Ａは開となり、左側爪２５Ｂ、２７Ｂ
は開のままである。即ち、右側爪２５Ａ、２７Ａ及び左
側爪２５Ｂ、２７Ｂは共に開状態となる。次に爪移動用
モータ７４が一定量正回転し、前記したようにスライダ
９、フレーム送り機構１５Ａ、１５Ｂが左方向に一定量
移動する。これにより、右側爪２５Ａ、２７Ａ及び左側
爪２５Ｂ、２７Ｂはリードフレーム１をチャックする位
置に位置する。
説明する。右側爪２５Ａ、２７Ａが閉、左側爪２５Ｂ、
２７Ｂが開状態で、まず爪開閉用モータ６１が９０度回
転する。これにより、前記したように上爪上下動用カム
１８Ａ及び上爪上下動用カム１８Ｂが９０度回転し、右
側爪２５Ａ、２７Ａは開となり、左側爪２５Ｂ、２７Ｂ
は開のままである。即ち、右側爪２５Ａ、２７Ａ及び左
側爪２５Ｂ、２７Ｂは共に開状態となる。次に爪移動用
モータ７４が一定量正回転し、前記したようにスライダ
９、フレーム送り機構１５Ａ、１５Ｂが左方向に一定量
移動する。これにより、右側爪２５Ａ、２７Ａ及び左側
爪２５Ｂ、２７Ｂはリードフレーム１をチャックする位
置に位置する。
【００１７】次に再び爪開閉用モータ６１が９０度回転
し、前記したように右側爪２５Ａ、２７Ａは開状態で、
左側爪２５Ｂ、２７Ｂが閉状態となる。これにより、左
側爪２５Ｂ、２７Ｂはガイドレール２、３の入口側のリ
ードフレーム１をチャックする。次に爪移動用モータ７
４が前記正回転量の３分の１量だけ逆回転する。これに
より、左側爪２５Ｂ、２７Ｂは入口側のリードフレーム
１をチャックしたまま右方向に一定量（リードフレーム
１の１デバイス分）移動する。即ち、入口側のリードフ
レーム１は１デバイス分右方向に送られる。しかし、右
側爪２５Ａ、２７Ａは開状態であるので、出口側のリー
ドフレーム１は送られない。この動作により、出口側の
リードフレーム１に対して入口側のリードフレーム１が
１ピッチ間隔が詰められる。従って、出口側のリードフ
レーム１に例えばボンデイングを行なっている時に、入
口側のリードフレーム１のみ１ピッチ送ることができ
る。
し、前記したように右側爪２５Ａ、２７Ａは開状態で、
左側爪２５Ｂ、２７Ｂが閉状態となる。これにより、左
側爪２５Ｂ、２７Ｂはガイドレール２、３の入口側のリ
ードフレーム１をチャックする。次に爪移動用モータ７
４が前記正回転量の３分の１量だけ逆回転する。これに
より、左側爪２５Ｂ、２７Ｂは入口側のリードフレーム
１をチャックしたまま右方向に一定量（リードフレーム
１の１デバイス分）移動する。即ち、入口側のリードフ
レーム１は１デバイス分右方向に送られる。しかし、右
側爪２５Ａ、２７Ａは開状態であるので、出口側のリー
ドフレーム１は送られない。この動作により、出口側の
リードフレーム１に対して入口側のリードフレーム１が
１ピッチ間隔が詰められる。従って、出口側のリードフ
レーム１に例えばボンデイングを行なっている時に、入
口側のリードフレーム１のみ１ピッチ送ることができ
る。
【００１８】次に出口側のリードフレーム１に対する例
えばボンデイングが終了した後、再び爪開閉用モータ６
１が９０度回転し、前記したように右側爪２５Ａ、２７
Ａ及び左側爪２５Ｂ、２７Ｂは閉状態となる。これによ
り、左側爪２５Ｂ、２７Ｂはガイドレール２、３の入口
側のリードフレーム１をチャックしたままで、右側爪２
５Ａ、２７Ａが出口側のリードフレーム１をチャックす
る。次に爪移動用モータ７４が前記正回転量の３分の１
量だけ更に逆回転する。これにより、右側爪２５Ａ、２
７Ａ及び左側爪２５Ｂ、２７Ｂはそれぞれ出口側及び入
口側のリードフレーム１をチャックしたまま右方向に一
定量（１デバイス分）移動する。即ち、出口側及び入口
側のリードフレーム１は共に１デバイス分右方向に送ら
れる。
えばボンデイングが終了した後、再び爪開閉用モータ６
１が９０度回転し、前記したように右側爪２５Ａ、２７
Ａ及び左側爪２５Ｂ、２７Ｂは閉状態となる。これによ
り、左側爪２５Ｂ、２７Ｂはガイドレール２、３の入口
側のリードフレーム１をチャックしたままで、右側爪２
５Ａ、２７Ａが出口側のリードフレーム１をチャックす
る。次に爪移動用モータ７４が前記正回転量の３分の１
量だけ更に逆回転する。これにより、右側爪２５Ａ、２
７Ａ及び左側爪２５Ｂ、２７Ｂはそれぞれ出口側及び入
口側のリードフレーム１をチャックしたまま右方向に一
定量（１デバイス分）移動する。即ち、出口側及び入口
側のリードフレーム１は共に１デバイス分右方向に送ら
れる。
【００１９】次に出口側のリードフレーム１のボンデイ
ングが終了した後、再び爪開閉用モータ６１が９０度回
転し、前記したように右側爪２５Ａ、２７Ａは閉じたま
まで、左側爪２５Ｂ、２７Ｂが開状態となる。次に爪移
動用モータ７４が前記正回転量の残りの３分の１量だけ
逆回転する。これにより、右側爪２５Ａ、２７Ａは出口
側のリードフレーム１をチャックしたまま右方向に一定
量移動する。即ち、出口側のリードフレーム１は１デバ
イス分右方向に送られる。しかし、左側爪２５Ｂ、２７
Ｂは開状態であるので、入口側のリードフレーム１は送
られない。
ングが終了した後、再び爪開閉用モータ６１が９０度回
転し、前記したように右側爪２５Ａ、２７Ａは閉じたま
まで、左側爪２５Ｂ、２７Ｂが開状態となる。次に爪移
動用モータ７４が前記正回転量の残りの３分の１量だけ
逆回転する。これにより、右側爪２５Ａ、２７Ａは出口
側のリードフレーム１をチャックしたまま右方向に一定
量移動する。即ち、出口側のリードフレーム１は１デバ
イス分右方向に送られる。しかし、左側爪２５Ｂ、２７
Ｂは開状態であるので、入口側のリードフレーム１は送
られない。
【００２０】このような動作を繰り返し、先ず、入口側
のリードフレーム１が１デバイス分送られ、次に入口側
及び出口側のリードフレーム１が共に１デバイス分送ら
れ、その後出口側のリードフレーム１が１デバイス分送
られる。
のリードフレーム１が１デバイス分送られ、次に入口側
及び出口側のリードフレーム１が共に１デバイス分送ら
れ、その後出口側のリードフレーム１が１デバイス分送
られる。
【００２１】なお、上記実施例においては、２個のフレ
ーム送り機構１５Ａ、１５Ｂを設けた場合について説明
したが、フレーム送り機構１５Ａを３個以上設けてもよ
い。また入口側のリードフレーム１が１デバイス分送ら
れ、次に入口側及び出口側のリードフレーム１が共に１
デバイス分送られ、その後出口側のリードフレーム１が
１デバイス分送られる場合について説明したが、出口側
及び入口側のリードフレーム１を常に１デバイス分共に
間欠的に送るようにしてもよい。これらの動作は、リー
ドフレーム送り時間とボンデイング作業時間との関係に
よって、ボンデイング作業中にボンデイングしないリー
ドフレームの送り動作を行なうか行なわないかをマイク
ロコンピュータが判断して右側爪、左側爪の開閉動作及
び送り動作の指示を出す。
ーム送り機構１５Ａ、１５Ｂを設けた場合について説明
したが、フレーム送り機構１５Ａを３個以上設けてもよ
い。また入口側のリードフレーム１が１デバイス分送ら
れ、次に入口側及び出口側のリードフレーム１が共に１
デバイス分送られ、その後出口側のリードフレーム１が
１デバイス分送られる場合について説明したが、出口側
及び入口側のリードフレーム１を常に１デバイス分共に
間欠的に送るようにしてもよい。これらの動作は、リー
ドフレーム送り時間とボンデイング作業時間との関係に
よって、ボンデイング作業中にボンデイングしないリー
ドフレームの送り動作を行なうか行なわないかをマイク
ロコンピュータが判断して右側爪、左側爪の開閉動作及
び送り動作の指示を出す。
【００２２】このように、複数個のフレーム送り機構１
５Ａ、１５Ｂはスライダ９に固定され、このスライダ９
に雌ねじ７０が固定されているので、雌ねじ７０を送る
雄ねじ７１の長さは、フレーム送り機構１５Ａ、１５Ｂ
を一定量、即ち板状部材の１ピッチ送り分の長さでよ
い。即ち、雄ねじ７１の長さは非常に短くてよく、また
雌ねじ７０が１個でよいので、爪移動機構をコンパクト
にできると共に、雄ねじ７１の加工が高精度で安価にで
き、各フレーム送り機構１５Ａ、１５Ｂを高精度に送る
ことができる。
５Ａ、１５Ｂはスライダ９に固定され、このスライダ９
に雌ねじ７０が固定されているので、雌ねじ７０を送る
雄ねじ７１の長さは、フレーム送り機構１５Ａ、１５Ｂ
を一定量、即ち板状部材の１ピッチ送り分の長さでよ
い。即ち、雄ねじ７１の長さは非常に短くてよく、また
雌ねじ７０が１個でよいので、爪移動機構をコンパクト
にできると共に、雄ねじ７１の加工が高精度で安価にで
き、各フレーム送り機構１５Ａ、１５Ｂを高精度に送る
ことができる。
【００２３】
【発明の効果】本発明によれば、複数個のフレーム送り
機構はスライダに固定され、このスライダに雌ねじが固
定されているので、雌ねじを送る雄ねじの長さは非常に
短くてよく、また雌ねじが１個でよいので、爪移動機構
をコンパクトにできると共に、雄ねじの加工が高精度で
安価にでき、各フレーム送り機構を高精度に送ることが
できる。従って、ボンデイング作業を効率的に行なうこ
とができる。また上爪及び下爪はそれぞれ上下動可能で
あるので、リードフレームをクランプする時に下爪がリ
ードフレームを持ち上げる量は少なくてよい。また複数
個の爪開閉機構は、１個の爪開閉用モータによって駆動
されるので、装置コストの低減が図れる。また爪開閉用
モータによって駆動するので、上爪及び下爪の上下動量
を高精度に制御できると共に、またリードフレームの品
種に対応して最適な上下動量に容易に変更できる。
機構はスライダに固定され、このスライダに雌ねじが固
定されているので、雌ねじを送る雄ねじの長さは非常に
短くてよく、また雌ねじが１個でよいので、爪移動機構
をコンパクトにできると共に、雄ねじの加工が高精度で
安価にでき、各フレーム送り機構を高精度に送ることが
できる。従って、ボンデイング作業を効率的に行なうこ
とができる。また上爪及び下爪はそれぞれ上下動可能で
あるので、リードフレームをクランプする時に下爪がリ
ードフレームを持ち上げる量は少なくてよい。また複数
個の爪開閉機構は、１個の爪開閉用モータによって駆動
されるので、装置コストの低減が図れる。また爪開閉用
モータによって駆動するので、上爪及び下爪の上下動量
を高精度に制御できると共に、またリードフレームの品
種に対応して最適な上下動量に容易に変更できる。
【図１】本発明の一実施例を示す正面図である。
【図２】図１の平面図である。
【図３】図２のＡーＡ線断面図である。
【図４】図１のＢーＢ線断面図である。
【図５】要部斜視図である。
１ リードフレーム ９ スライダ １５Ａ、１５Ｂ フレーム送り機構 ２５Ａ、２５Ｂ 上爪 ２７Ａ、２７Ｂ 下爪 ７０ 雌ねじ ７１ 雄ねじ ７４ 爪移動用モータ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01L 21/50
Claims (1)
- 【請求項１】 板状部材を送るための爪を有する複数個
のフレーム送り機構と、この複数個のフレーム送り機構
が固定され、前記板状部材の送り方向に移動可能に設け
られたスライダと、このスライダに固定された雌ねじ
と、この雌ねじに螺合された雄ねじと、この雄ねじを回
転させる爪移動用モータとを備えた板状部材の移送装置
において、前記各フレーム送り機構は、前記板状部材を
上下より挟持する上爪及び下爪と、この上爪及び下爪を
開閉させる爪開閉機構とをそれぞれ有し、前記複数個の
爪開閉機構は、前記スライダに固定された支持体に固定
され、かつ前記スライダに固定された１個の爪開閉用モ
ータで駆動されるように構成されていることを特徴とす
る板状部材の移送装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3083293A JP2835988B2 (ja) | 1991-03-22 | 1991-03-22 | 板状部材の移送装置 |
| KR1019920004271A KR960000695B1 (ko) | 1991-03-22 | 1992-03-16 | 판상부재의 이송장치 |
| US07/855,297 US5217107A (en) | 1991-03-22 | 1992-03-23 | Apparatus for feeding plate-form parts |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3083293A JP2835988B2 (ja) | 1991-03-22 | 1991-03-22 | 板状部材の移送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04294550A JPH04294550A (ja) | 1992-10-19 |
| JP2835988B2 true JP2835988B2 (ja) | 1998-12-14 |
Family
ID=13798349
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3083293A Expired - Fee Related JP2835988B2 (ja) | 1991-03-22 | 1991-03-22 | 板状部材の移送装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5217107A (ja) |
| JP (1) | JP2835988B2 (ja) |
| KR (1) | KR960000695B1 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6793066B2 (en) | 2002-08-28 | 2004-09-21 | Kabushiki Kaisha Shinkawa | Conveying apparatus for plate-form members |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5649618A (en) * | 1995-07-28 | 1997-07-22 | Lico, Inc. | Motorcycle clamping fixture |
| JP3377725B2 (ja) * | 1997-07-17 | 2003-02-17 | 株式会社新川 | 基板移送装置 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6067313A (ja) * | 1983-09-16 | 1985-04-17 | Shinkawa Ltd | リ−ドフレ−ムの移送装置 |
| US4573862A (en) * | 1984-09-24 | 1986-03-04 | Lamb Technicon Corp. | Workpiece transfer device |
| US4910858A (en) * | 1988-01-29 | 1990-03-27 | Tanaka Seiki Co., Ltd. | Automatic coil winding and finishing machine |
-
1991
- 1991-03-22 JP JP3083293A patent/JP2835988B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1992
- 1992-03-16 KR KR1019920004271A patent/KR960000695B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1992-03-23 US US07/855,297 patent/US5217107A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6793066B2 (en) | 2002-08-28 | 2004-09-21 | Kabushiki Kaisha Shinkawa | Conveying apparatus for plate-form members |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5217107A (en) | 1993-06-08 |
| KR960000695B1 (ko) | 1996-01-11 |
| JPH04294550A (ja) | 1992-10-19 |
| KR920018899A (ko) | 1992-10-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19980819 |
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| R250 | Receipt of annual fees |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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| R250 | Receipt of annual fees |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081009 Year of fee payment: 10 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091009 Year of fee payment: 11 |
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| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |