JP3950699B2

JP3950699B2 - エアシャワ装置

Info

Publication number: JP3950699B2
Application number: JP2002032553A
Authority: JP
Inventors: 点村尾
Original assignee: Hitachi Industrial Equipment Systems Co Ltd
Current assignee: Hitachi Industrial Equipment Systems Co Ltd
Priority date: 2002-02-08
Filing date: 2002-02-08
Publication date: 2007-08-01
Anticipated expiration: 2022-02-08
Also published as: JP2003240292A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、食品製造や半導体製造を行う清浄環境構造物の出入口に設置されエアシャワ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来、エアシャワ装置をクリーンルーム等構造物の出入口に組み込む場合、エアジェット気流を吹出す本体ユニットを直接、構造物のドア枠等に取付けたり、該本体ユニットを、本体ユニット外周部に固定した板状や棒状などの組込み用部材を介して構造物のドア枠等に取付けるようにしていた。また、エアシャワ室内空気の清浄度を確保する技術としては、例えば、特許第２６６２２０７号公報に記載されたものがある。該特許公報には、エアシャワ室を外部と開放状に連通させ、かつ、エアシャワ室にエアシャワ用に給送する空気量以上の空気量を、エアシャワ室から吸い出すようにした構成とし、エアシャワ室を負圧状態にして、エアシャワによって落された塵埃等が外部に吹出されないようにする技術が記載されている。また、外部からエアシャワ室内へ塵埃等が流入するのを防止するために、本体ユニットと構造物のドア枠等との間の隙間や、本体ユニットと上記組込み用部材との間の隙間や、該組込み用部材と構造物のドア枠等との間の隙間などに、例えばコーキング等を行っていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
上記組込み用部材を介する等してエアシャワ装置を構造物のドア枠などに固定する構成においては、外部からエアシャワ室内へ塵埃等が流入するのを防止するために、上記コーキング等の作業を、構造物にエアシャワ装置を組み込んだ後に現地作業として行う必要があり、そのためにはかなりの時間と手間を要する。また、該作業を行ったとしても、十分な空気清浄度が得られないおそれもある。
本発明の課題点は、上記従来技術の状況に鑑み、エアシャワ装置として、コーキング等の作業を行わなくても、外部からエアシャワ室内へ塵埃等が流入するのを簡単に防止できるようにすることである。
本発明の目的は、かかる課題点を解決できる技術の提供にある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】
上記課題点を解決するために、本発明では、エアシャワ装置として、（１）ファンとフィルタを有し、空気の吸込口を側面部及び前面部に、空気の吹出し口を前面部に備え、該ファンにより該吸込口から吸込んだ空気を、該フィルタにより清浄化して該吹出し口からエアシャワ室内に吹出す本体ユニットと、該本体ユニットの側面部に直結され、内部に該側面部の高さ方向に沿った空気流路が形成され、該空気流路が開口を介して該本体ユニットの上記側面部の吸込口と連通され、該空気流路により空気を該側面部の吸込口に吸込まれるように導く補助ユニットとを備えた構成とする。（２）複数の本体ユニットを備える方式では、ファンとフィルタを有し、かつ、空気の吸込口を側面部及び前面部に、空気の吹出し口を前面部に備え、該ファンにより該吸込口から吸込んだ空気を、該フィルタにより清浄化して該吹出し口から上記エアシャワ室内に吹出す構成を有し、該吹出し口が略同方向に向くように並べて配された第１、第２の本体ユニットと、該第１の本体ユニットの側面部と該第２の本体ユニットの側面部との間に配され、該それぞれの側面部に直結され、内部に該側面部の高さ方向に沿った共通の空気流路が形成され、該空気流路が開口を介して該第１、第２の本体ユニットそれぞれの上記側面部の吸込口と連通され、該空気流路により空気を該それぞれの側面部の吸込口に吸込まれるように導く補助ユニットとを備えた構成とする。
【０００５】
上記（１）において、補助ユニットは、エアシャワ装置をクリーンルームなどのドア枠等に結合可能にするとともに、その空気流路によって、空気を本体ユニット側のファンやフィルタ側に導き、該空気中の塵埃等が該本体ユニット内で除去され清浄空気としてエアシャワ室内に吹出されるようにする。上記（２）において、補助ユニットは、第１の本体ユニットと第２の本体ユニットを連結するとともに、その空気流路によって、空気を両本体ユニット側のファンやフィルタ側に導き、該空気中の塵埃等が該両本体ユニット内で除去され清浄空気としてエアシャワ室内に吹出されるようにする。
【０００６】
上記構成はいずれも、コーキング等の作業を不要にする。
【０００７】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施例につき、図面を用いて説明する。
図１は本発明のエアシャワ装置の第１の実施例を示す図である。
本第１の実施例は、エアシャワ装置をクリーンルーム等構造物に固定するために、エアシャワ装置の本体ユニットと構造物との間に固定用の補助ユニットを設けた場合の構成例である。
図１において、１は本体ユニット、２は、クリーンルーム等構造物のドア枠等への結合される構成を備えた補助ユニットとしてのドアユニット、３はファン、４はＨＥＰＡフィルタ（High Efficiency Particulate Air Filter）、５ａ１は空気の第１の吸込口、５ａ２は空気の第２の吸込口、６は空気の吹出し口、７はドアユニット２内の開口、８はドアユニット２内の空気流路、９はドアユニット２を結合するための本体ユニット１側の結合部、１０は本体ユニット１を結合するためのドアユニット２側の結合部である。本体ユニット１とドアユニット２とは互いに結合部９、１０において結合され、さらに、該ドアユニット２がその外周部において、クリーンルーム等構造物側の出入口部に取付けられる。かかる構成において、エアシャワ装置は、ファン３によって、エアシャワ室内の空気を第１の吸込口５ａ１から吸込み、該吸込んだ空気をＨＥＰＡフィルタ４側に送る。該ＨＥＰＡフィルタ４では該空気中の塵埃等の異物を除去し、清浄状態にした空気をその前面側（エアシャワ室を向いた面側）から流出させる。該流出した清浄空気は、複数の吹出し口６からエアジェット気流としてエアシャワ室内に噴出される。エアシャワ室内では出入者等がこれを浴びて衣類等に付着した塵埃等が吹き落される。ファン３の回転によって生ずる負圧によって、本体ユニット１とドアユニット２との結合部の隙間からもエアシャワ室外とエアシャワ室内の空気が吸込まれる。該隙間から吸込まれた空気は、ドアユニットの開口７から空気流路８内に入り、該流路８を通って本体ユニット１側の第２の吸込口５ａ２から本体ユニット内に吸込まれる。吸込まれた空気は、上記第１の吸込口５ａ１から吸込まれた空気といっしょに、ファン３からＨＥＰＡフィルタ４側に送られ、ここで清浄化された後、複数の吹出し口６からエアジェット気流としてエアシャワ室内に噴出される。つまり、本体ユニット１とドアユニット２との結合部の隙間から吸込まれたエアシャワ室外またはエアシャワ室内からの空気は、ＨＥＰＡフィルタ４を通過して清浄化されるようになっている。このため、ＨＥＰＡフィルタ４を通過しない汚れた空気がエアシャワ室内に流入することがない。
【０００８】
上記第１の実施例によれば、本体ユニット１とドアユニット２との結合部の隙間から吸込まれるエアシャワ室外またはエアシャワ室内からの空気も、ＨＥＰＡフィルタ４を通過するようにされるため、清浄化された空気に変えられてエアシャワ室内に流入される。しかも、エアシャワ室内から第１の吸込口５ａ１を通って吸込まれる空気といっしょに清浄化され、吹出し口６から清浄空気のエアジェット気流としてエアシャワ室内に噴出され、出入者等の塵埃等の除去に役立てられる。このため、エアシャワ室内及びエアジェット気流の空気清浄度を向上させられるとともに、従来行っていた装置組立て後のコーキング作業等も不要にできる。
【０００９】
図２は本発明のエアシャワ装置の第２の実施例を示す図である。
本第２の実施例は、エアシャワ装置を構成する複数の本体ユニットを連結するために、本体ユニット相互間に補助ユニットを設けた場合の構成例である。
図２において、１ａは第１の本体ユニット、１ｂは第２の本体ユニット、２'は補助ユニットとしての連結ユニット、３ａは第１の本体ユニット１ａ側のファン、４ａは第１の本体ユニット１ａ側のＨＥＰＡフィルタ、５ａ₁は第１の本体ユニット１ａ側の空気の第１の吸込口、５ａ₂は第１の本体ユニット１ａ側の空気の第２の吸込口、６ａは第１の本体ユニット１ａ側の空気の吹出し口、３ｂは第２の本体ユニット１ｂ側のファン、４ｂは第２の本体ユニット１ｂ側のＨＥＰＡフィルタ、５ｂ₁は第２の本体ユニット１ｂ側の空気の第１の吸込口、５ｂ₂は第２の本体ユニット１ｂ側の空気の第２の吸込口、６ｂは第１の本体ユニット１ａ側の空気の吹出し口、７ａは連結ユニット２'内における第１の本体ユニット１ａ側の開口、７ｂは連結ユニット２'内における第２の本体ユニット１ｂ側の開口、８'は連結ユニット２'内の空気流路、９ａは連結ユニット２'を結合するための第１の本体ユニット１ａ側の結合部、９ｂは連結ユニット２'を結合するための第２の本体ユニット１ｂ側の結合部、１０ａは第１の本体ユニット１ａ側を結合するための連結ユニット２'側の結合部、１０ｂは第２の本体ユニット１ｂ側を結合するための連結ユニット２'側の結合部である。第１の本体ユニット１ａと連結ユニット２'とは結合部９ａ、１０ａにおいて結合され、第２の本体ユニット１ｂと連結ユニット２'とは結合部９ｂ、１０ｂにおいて結合される。かかる構成において、エアシャワ装置は、第１の本体ユニット１ａ側においては、ファン３ａによって、エアシャワ室内の空気を第１の吸込口５ａ１から吸込み、該吸込んだ空気をＨＥＰＡフィルタ４ａ側に送る。該ＨＥＰＡフィルタ４ａでは該空気中の塵埃等の異物を除去し、清浄状態にした空気をその前面側（エアシャワ室を向いた面側）から流出させる。該流出した清浄空気は、複数の吹出し口６ａからエアジェット気流としてエアシャワ室内に噴出される。また、第２の本体ユニット１ｂ側においても同様に、ファン３ｂによって、エアシャワ室内の空気を第１の吸込口５ｂ₁から吸込み、該吸込んだ空気をＨＥＰＡフィルタ４ｂ側に送る。該ＨＥＰＡフィルタ４ｂでは該空気中の塵埃等の異物を除去し、清浄状態にした空気をその前面側（エアシャワ室を向いた面側）から流出させる。該流出した清浄空気は、複数の吹出し口６ｂからエアジェット気流としてエアシャワ室内に噴出される。本第２の実施例構成においても、ファン３ａ、３ｂの回転によって生ずる負圧により、第１の本体ユニット１ａ、第２の本体ユニット１ｂと、連結ユニット２'との結合部の隙間からもエアシャワ室外とエアシャワ室内の空気が吸込まれる。該両隙間から吸込まれた空気は、連結ユニット２'の開口７ａ、７ｂから空気流路８'内に入り、該流路８'を通って、第１の本体ユニット１ａ側の第２の吸込口５ａ₂と第２の本体ユニット１ｂ側の第２の吸込口５ｂ₂とから両本体ユニット１ａ、１ｂ内に吸込まれる。吸込まれた空気は、第１の本体ユニット１ａ側においては、上記第１の吸込口５ａ₁から吸込まれた空気といっしょに、ファン３ａからＨＥＰＡフィルタ４ａ側に送られ、ここで清浄化された後、複数の吹出し口６ａからエアジェット気流としてエアシャワ室内に噴出される。また、第２の本体ユニット１ｂ側においては、上記第１の吸込口５ｂ₁から吸込まれた空気といっしょに、ファン３ｂからＨＥＰＡフィルタ４ｂ側に送られ、ここで清浄化された後、複数の吹出し口６ｂからエアジェット気流としてエアシャワ室内に噴出される。つまり、本体ユニット１ａ、１ｂと連結ユニット２'との結合部の隙間から吸込まれたエアシャワ室外またはエアシャワ室内からの空気は、ＨＥＰＡフィルタ４ａ、４ｂを通過して清浄化されるようになっている。このため、ＨＥＰＡフィルタ４ａまたはＨＥＰＡフィルタ４ｂを通過しない汚れた空気がエアシャワ室内に流入することはない。本体ユニット数は２個に限定されず、第１、第２の本体ユニット及び連結ユニット間の相関関係は３個以上の場合も同様である。
【００１０】
上記第２の実施例によれば、本体ユニット１ａ、１ｂと連結ユニット２'との結合部の隙間から吸込まれるエアシャワ室外またはエアシャワ室内からの空気も、ＨＥＰＡフィルタ４ａ、４ｂを通過するようにされるため、清浄空気としてエアシャワ室内に流入される。しかも、第１、第２の本体ユニット１ａ、１ｂそれぞれにおいて、エアシャワ室内から、それぞれ第１の吸込口５ａ₁、５ｂ₁を通って吸込まれる空気といっしょに清浄化され、それぞれ吹出し口６ａ、６ｂから清浄空気のエアジェット気流としてエアシャワ室内に噴出され、出入者等の塵埃等の除去に使用される。このため、本第２の実施例構成においても、エアシャワ室内及びエアジェット気流の空気清浄度を向上させられるとともに、従来行っていた装置組立て後のコーキング作業等も不要にできる。
【００１１】
なお、上記第２の実施例構成（図２）と上記第１の実施例構成（図１）とを組合せた実施例もある。すなわち、上記第２の実施例構成（図２）における上記第１、第２の本体ユニット１ａ、１ｂそれぞれにおいて、クリーンルーム等構造物への固定部には、例えば、上記第１の実施例のように、第２の補助ユニットとしてドアユニットを用い、該第１、第２の本体ユニット１ａ、１ｂ側にも、該ドアユニット内の空気流路とつなげるための第３の吸込口を設ける構成も、本発明の実施例として考えられる。本構成の場合は、第１、第２の本体ユニット１ａ、１ｂと連結ユニット２'との結合部の隙間から吸込まれる空気も、また、第１、第２の本体ユニット１ａ、１ｂと上記ドアユニットとの結合部の隙間から吸込まれる空気もともに、ＨＥＰＡフィルタ４ａ、４ｂを通過するようにして、清浄空気としてエアシャワ室内に流入させることが可能となる。
【００１２】
図３は本発明のエアシャワ装置の第３の実施例を示す図である。
本第３の実施例は、上記第１の実施例の場合と同様、エアシャワ装置をクリーンルーム等構造物に固定するために、エアシャワ装置の本体ユニットと構造物との間に固定用の補助ユニットを設け、さらに、本体ユニット側に該補助ユニットの空気流路に清浄空気を供給するための第２の吹出し口を設けた場合の構成例である。
図３において、１は本体ユニット、２は、クリーンルーム等構造物のドア枠等への結合される構成を備えた補助ユニットとしてのドアユニット、３はファン、４はＨＥＰＡフィルタ、５ａ₁は空気の第１の吸込口、５ａ₂は空気の第２の吸込口、６は空気の第１の吹出し口、７はドアユニット２内の開口、８はドアユニット２内の空気流路、９はドアユニット２を結合するための本体ユニット１側の結合部、１０は本体ユニット１を結合するためのドアユニット２側の結合部、１１は空気の第２の吹出し口である。上記第１の実施例の場合と同様に、本体ユニット１とドアユニット２とは互いに結合部９、１０において結合され、さらに、該ドアユニット２がその外周部において、クリーンルーム等構造物側の出入口部に取付けられる。かかる構成において、エアシャワ装置は、ファン３によって、エアシャワ室内の空気を第１の吸込口５ａ１から吸込み、該吸込んだ空気をＨＥＰＡフィルタ４側に送る。該ＨＥＰＡフィルタ４では該空気中の塵埃等の異物を除去し、清浄状態にした空気をその前面側（エアシャワ室を向いた面側）から流出させる。該流出した清浄空気は、複数の第１の吹出し口６からエアジェット気流としてエアシャワ室内に噴出されるとともに、一部は第２の吹出し口１１からドアユニット２内の空気流路８に吹出される（供給される）。エアシャワ室内では出入者等がこれを浴びて衣類等に付着した塵埃等が吹き落される。ファン３の回転によって生ずる負圧によって、本体ユニット１とドアユニット２との結合部の隙間からもエアシャワ室外とエアシャワ室内の空気が吸込まれ、該隙間から吸込まれた空気は、ドアユニットの開口７から空気流路８内を通って本体ユニット１側の第２の吸込口５ａ₂から本体ユニット内に吸込まれる。該吸込まれた空気は、上記第１の吸込口５ａ₁から吸込まれた空気といっしょに、ファン３からＨＥＰＡフィルタ４側に送られ、ここで清浄化された後、複数の吹出し口６からエアジェット気流としてエアシャワ室内に噴出される。上記第２の吹出し口１１からドアユニット２内の空気流路８に吹出された清浄空気は、上記本体ユニット１とドアユニット２との結合部の隙間から吸込まれた空気といっしょになって空気流路内を流れ、第２の吸込口５ａ₂から本体ユニット１内に吸込まれる。上記第２の吹出し口１１からドアユニット２内の空気流路８に吹出された清浄空気は、上記本体ユニット１とドアユニット２との結合部の隙間から吸込まれた空気の清浄度を上げる作用がある。つまり、本実施例構成においては、本体ユニット１とドアユニット２との結合部の隙間から吸込まれたエアシャワ室外またはエアシャワ室内からの空気は、上記第２の吹出し口１１から供給される空気といっしょになってＨＥＰＡフィルタ４を通過して清浄化されるようになっている。このため、汚れた空気が、ＨＥＰＡフィルタ４を通過せずに汚れたままでエアシャワ室内に流入することがない。
【００１３】
上記第３の実施例によれば、本体ユニット１とドアユニット２との結合部の隙間から吸込まれるエアシャワ室外またはエアシャワ室内からの空気は、上記第２の吹出し口１１から供給される空気によって清浄度を上げられた状態で、ＨＥＰＡフィルタ４を通過するため、一層清浄度の高まった清浄空気の状態でエアシャワ室内に流入される。しかも、エアシャワ室内側から第１の吸込口５ａ１を通って吸込まれる空気といっしょに清浄化され、吹出し口６から清浄空気のエアジェット気流としてエアシャワ室内に噴出される。このため、エアシャワ室内及びエアジェット気流の空気清浄度を向上させられるとともに、従来行っていたコーキング作業等も不要にできる。
【００１４】
また、上記第３の実施例の構成（図３）と上記第２の実施例の構成（図２）とを組合せた実施例構成もある。すなわち、第２の実施例構成（図２）における第１、第２の本体ユニット１ａ、１ｂそれぞれにおいて、クリーンルーム等構造物への固定部に、第３の実施例構成（図３）のように、第２の補助ユニットとしてのドアユニットを用い、該第１、第２の本体ユニット１ａ、１ｂ側にも、該ドアユニット内の空気流路とつなげるための第２の吹出し口と第３の吸込口とを設ける構成も、本発明の実施例としてある。本構成の場合は、第１、第２の本体ユニット１ａ、１ｂと連結ユニット２'との結合部の隙間から吸込まれる空気も、また、第１、第２の本体ユニット１ａ、１ｂと上記ドアユニットとの結合部の隙間から吸込まれる空気もともに、ＨＥＰＡフィルタ４ａ、４ｂを通過するようにして、清浄空気としてエアシャワ室内に流入させることが可能となる。
【００１５】
なお、上記実施例のうち、複数の本体ユニットを用いる構成では、隣接して配される本体ユニットを第１、第２の本体ユニットとして説明した。従って、本体ユニット数が２個の場合も、３個以上の場合も同様である。３個以上の場合は連結ユニットを２個以上用いることになる。
【００１６】
【発明の効果】
本発明によれば、エアシャワ装置をクリーンルーム等構造物に固定するための部材を利用して、外部から塵埃等がエアシャワ室内に流入するのを簡単に防止できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施例を示す図である。
【図２】本発明の第２の実施例を示す図である。
【図３】本発明の第３の実施例を示す図である。
【符号の説明】
１…本体ユニット、１ａ…第１の本体ユニット、１ｂ…第２の本体ユニット、２…ドアユニット、２'…連結ユニット、３、３ａ、３ｂ…ファン、４、４ａ、４ｂ…ＨＥＰＡフィルタ、５ａ₁、５ｂ₁…第１の吸込口、５ａ₂、５ｂ₂…第２の吸込口、６、６ａ、６ｂ…吹出し口、７…ドアユニット内の開口、７ａ、７ｂ…連結ユニット内の開口、８…ドアユニット内の空気流路、８'…連結ユニット内の空気流路、９、９ａ、９ｂ、１０、１０ａ、１０ｂ…結合部。

Claims

吸込んだ空気を清浄状態にしてエアシャワ室内に吹出すエアシャワ装置であって、
ファンとフィルタを有し、かつ、空気の吸込口を側面部及び前面部に、空気の吹出し口を前面部に備え、該ファンにより該吸込口から吸込んだ空気を、該フィルタにより清浄化して該吹出し口から上記エアシャワ室内に吹出す本体ユニットと、
上記本体ユニットの側面部に直結され、内部に該側面部の高さ方向に沿った空気流路が形成され、該空気流路が開口を介して上記本体ユニットの上記側面部の吸込口と連通され、該空気流路により空気を該側面部の吸込口に吸込まれるように導く補助ユニットと、
を備えた構成を特徴とするエアシャワ装置。
上記本体ユニットは、上記補助ユニットが直結される側面部に、該補助ユニットの上記開口を介して上記空気流路と連通される空気の吹出し口を備え、上記フィルタから流出された空気を該空気流路に吹出す構成である請求項１に記載のエアシャワ装置。
上記補助ユニットは、上記開口が、上記空気流路に沿って設けられた構成である請求項１に記載のエアシャワ装置。
上記本体ユニットは、その内部において、上記ファンが下方に、上記フィルタが上方に配され、かつ、上記吸込口が該フィルタよりも該ファンに近い位置に配された構成である請求項１に記載のエアシャワ装置。
吸込んだ空気を清浄状態にしてエアシャワ室内に吹出すエアシャワ装置であって、
それぞれが、ファンとフィルタを有し、かつ、空気の吸込口を側面部及び前面部に、空気の吹出し口を前面部に備え、該ファンにより該吸込口から吸込んだ空気を、該フィルタにより清浄化して該吹出し口から上記エアシャワ室内に吹出す構成を有し、該吹出し口が略同方向に向くように並べて配された第１、第２の本体ユニットと、
上記第１の本体ユニットの側面部と上記第２の本体ユニットの側面部との間に配され、該それぞれの側面部に直結され、内部に該側面部の高さ方向に沿った共通の空気流路が形成され、該空気流路が開口を介して該第１、第２の本体ユニットそれぞれの上記側面部の吸込口と連通され、該空気流路により空気を該それぞれの側面部の吸込口に吸込まれるように導く補助ユニットと、
を備えた構成を特徴とするエアシャワ装置。
上記補助ユニットは、上記開口が、上記空気流路に沿って設けられた構成である請求項５に記載のエアシャワ装置。