JP3942596B2 - 半導体装置の実装方法及び半導体装置のリペア方法 - Google Patents
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Description
端子を備えた第1の面と前記第1の面の反対側の第2の面とを有する基板と、前記基板に搭載された半導体チップと、前記第1の面と前記第2の面とを繋ぐように、前記基板に形成された貫通穴と、前記端子に接続され、前記貫通穴の内表面に備えられた第1の配線層と、前記端子に接続され、前記第1の面上に前記貫通穴を覆うように備えられた半田ボールとを有する半導体装置を、前記半田ボールがプリント基板の端子上に載るように、前記プリント基板上に置く工程と、
加熱装置の加熱プローブを前記第2の面側から前記貫通穴に挿入し、前記半田ボールに突き刺して、前記半田ボールを溶融させる工程と、
加熱装置の加熱プローブを前記半田ボールから抜き出して、前記半田ボールを凝固させる工程とを有するものである。
端子を備えた第1の面と前記第1の面の反対側の第2の面とを有する基板と、前記基板に搭載された半導体チップと、前記第1の面と前記第2の面とを繋ぐように、前記基板に形成された貫通穴と、前記端子に接続され、前記第1の面上に前記貫通穴を覆うように備えられた半田ボールと、一端を前記半田ボールに接触させ、他端を前記基板の前記第2の面側に配置された加熱装置の発熱部に接触可能なように、前記貫通穴内に配置した熱伝導部材とを有する半導体装置を、前記半田ボールがプリント基板の端子上に載るように、前記プリント基板上に置く工程と、
加熱装置により前記熱伝導部材を加熱して、前記半田ボールを溶融させる工程と、
加熱装置による前記熱伝導部材の加熱を停止して、前記半田ボールを凝固させる工程と
を有するものである。
端子を備えた第1の面と前記第1の面の反対側の第2の面とを有する基板と、前記基板に搭載された半導体チップと、前記第1の面と前記第2の面とを繋ぐように、前記基板に形成された貫通穴と、前記端子に接続され、前記貫通穴の内表面に備えられた第1の配線層と、前記端子に接続され、前記第1の面上に前記貫通穴を覆うように備えられた半田ボールとを有する半導体装置であって、プリント基板の端子に前記半田ボールを融着させた前記半導体装置のリペア方法であって、
加熱装置の加熱プローブを前記第2の面側から前記貫通穴に挿入し、前記半田ボールに突き刺して、前記半田ボールを溶融させる工程と、
加熱装置の加熱プローブを前記半田ボールから抜き出して、前記半田ボールを凝固させる工程とを有するものである。
端子を備えた第1の面と前記第1の面の反対側の第2の面とを有する基板と、前記基板に搭載された半導体チップと、前記第1の面と前記第2の面とを繋ぐように、前記基板に形成された貫通穴と、前記端子に接続され、前記第1の面上に前記貫通穴を覆うように備えられた半田ボールと、一端を前記半田ボールに接触させ、他端を前記基板の前記第2の面側に配置された加熱装置の発熱部に接触可能なように、前記貫通穴内に配置した熱伝導部材とを有する半導体装置であって、プリント基板の端子に前記半田ボールを融着させた前記半導体装置のリペア方法であって、
加熱装置により前記熱伝導部材を加熱して、前記半田ボールを溶融させる工程と、
加熱装置による前記熱伝導部材の加熱を停止して、前記半田ボールを凝固させる工程と
を有するものである。
<第1の実施形態に係る半導体装置の構造>
図1は、本発明の第1の実施形態に係る半導体装置の上面(ヒートシンク2を備えた面)を概略的に示す平面図であり、図2は、図1の半導体装置をS2−S2線で切る面を概略的に示す断面図であり、図3は、図1の半導体装置の下面(半田ボール6を備えた面)を概略的に示す平面図である。また、図4は、図1の半導体装置の上面の貫通穴7付近を拡大して示す平面図であり、図5は、図1の半導体装置の端子8と半田ボール6の接合部を拡大して示す断面図である。
図6から図8までは、プリント回路としてのマザーボード21に搭載された第1の実施形態に係る半導体装置のリペア工程(その1〜3)を示す断面図である。また、図9(a)及び(b)のそれぞれは、リペア工程を実施する前と後の半田ボール6の状態を示す説明図である。
図10は、第1の実施の形態に係る実装方法が適用される半導体装置を概略的に示す断面図である。
図14は、半導体装置の貫通穴7にジェル状樹脂を充填した充填部15を設けた第1の実施形態の変形例を示す断面図である。ジェル状樹脂としては、シリコーン系樹脂(例えば、東レ社製「JCR6110」)やポリイミド系樹脂(例えば、日立化成社製「PIX8200」)を用いることができる。充填部15は、貫通穴7の上部開口部からジェル状樹脂を注入することによって形成される。図14に示すように、貫通穴7内に充填部15を設けることによって、端子8や、半田ボール6の接合部の腐食等に起因する不具合や、外部からの異物(ゴミ等)の侵入に起因する不具合の発生を無くすることができる。
図15は、本発明の第2の実施形態に係る半導体装置に関するものであり、同図(a)は、半導体装置の貫通穴付近を概略的に示す断面図であり、同図(b)は、貫通穴付近を拡大して示す平面図である。
図17は、本発明の第3の実施形態に係る半導体装置に関するものであり、同図(a)は、貫通穴付近を概略的に示す断面図であり、同図(b)は、基板1の端子31を示す平面図である。
図18は、本発明の第4の実施形態に係る半導体装置に関するものであり、同図(a)は、貫通穴付近を概略的に示す断面図であり、同図(b)は、基板1の端子32を示す平面図である。
図19は、本発明の第5の実施形態に係る半導体装置に関するものであり、同図(a)は、貫通穴付近を概略的に示す断面図であり、同図(b)は、基板1の端子33を示す平面図である。
図20は、本発明の第6の実施形態に係る半導体装置を概略的に示す断面図である。
図23は、本発明の第7の実施形態に係る半導体装置を概略的に示す断面図である。
1a 中央開口部
1b 下面
1c 上面
1d 側面
2 ヒートスラグ
3 ICチップ
4 金属細線
5 封止体
6 半田ボール
6a 金属間化合物
7 貫通穴
8 基板の端子
9 配線層
11,12,13 絶縁基板
14 配線層
15,17 充填部
16 電極部材
21 マザーボード
22 マザーボードの端子
31,32,33 基板の端子
31a,32a,33b 端子の開口部
33a 十字形部
41 加熱プローブ
41a 加熱プローブの先端
41b 加熱プローブの端部
42 発熱体
43 移動機構
44,45,46 固定プローブ
44a,45a,46a 固定プローブの端部
51,52,53 発熱体
60 L字状の貫通穴
61,62,63 固定プローブ
61a,62a,63a 固定プローブの端部
Claims (14)
- 端子を備えた第1の面と前記第1の面の反対側の第2の面とを有する基板と、前記基板に搭載された半導体チップと、前記第1の面と前記第2の面とを繋ぐように、前記基板に形成された貫通穴と、前記端子に接続され、前記貫通穴の内表面に備えられた第1の配線層と、前記端子に接続され、前記第1の面上に前記貫通穴を覆うように備えられた半田ボールとを有する半導体装置を、前記半田ボールがプリント基板の端子上に載るように、前記プリント基板上に置く工程と、
加熱装置の加熱プローブを前記第2の面側から前記貫通穴に挿入し、前記半田ボールに突き刺して、前記半田ボールを溶融させる工程と、
加熱装置の加熱プローブを前記半田ボールから抜き出して、前記半田ボールを凝固させる工程と
を有することを特徴とする半導体装置の実装方法。 - 前記端子が、前記貫通穴に重なる半円状の開口部を有することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の実装方法。
- 前記端子が、前記貫通穴に重なる複数の扇形開口部を含むことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の実装方法。
- 前記端子が、前記貫通穴の中心と同心に配置され、前記貫通穴の内径よりも小径の開口部を有することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の実装方法。
- 前記貫通穴内に、前記貫通穴を半円柱状にする電極部材を備えたことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の実装方法。
- 前記貫通穴内に、前記貫通穴を塞ぐジェル状樹脂からなる充填部を備えたことを特徴とする請求項1から5までのいずれかに記載の半導体装置の実装方法。
- 端子を備えた第1の面と前記第1の面の反対側の第2の面とを有する基板と、前記基板に搭載された半導体チップと、前記第1の面と前記第2の面とを繋ぐように、前記基板に形成された貫通穴と、前記端子に接続され、前記第1の面上に前記貫通穴を覆うように備えられた半田ボールと、一端を前記半田ボールに接触させ、他端を前記基板の前記第2の面側に配置された加熱装置の発熱部に接触可能なように、前記貫通穴内に配置した熱伝導部材とを有する半導体装置を、前記半田ボールがプリント基板の端子上に載るように、前記プリント基板上に置く工程と、
加熱装置により前記熱伝導部材を加熱して、前記半田ボールを溶融させる工程と、
加熱装置による前記熱伝導部材の加熱を停止して、前記半田ボールを凝固させる工程と
を有することを特徴とする半導体装置の実装方法。 - 端子を備えた第1の面と前記第1の面の反対側の第2の面とを有する基板と、前記基板に搭載された半導体チップと、前記第1の面と前記第2の面とを繋ぐように、前記基板に形成された貫通穴と、前記端子に接続され、前記貫通穴の内表面に備えられた第1の配線層と、前記端子に接続され、前記第1の面上に前記貫通穴を覆うように備えられた半田ボールとを有する半導体装置であって、プリント基板の端子に前記半田ボールを融着させた前記半導体装置のリペア方法であって、
加熱装置の加熱プローブを前記第2の面側から前記貫通穴に挿入し、前記半田ボールに突き刺して、前記半田ボールを溶融させる工程と、
加熱装置の加熱プローブを前記半田ボールから抜き出して、前記半田ボールを凝固させる工程と
を有することを特徴とする半導体装置のリペア方法。 - 前記端子が、前記貫通穴に重なる半円状の開口部を有することを特徴とする請求項8に記載の半導体装置のリペア方法。
- 前記端子が、前記貫通穴に重なる複数の扇形開口部を含むことを特徴とする請求項8に記載の半導体装置のリペア方法。
- 前記端子が、前記貫通穴の中心と同心に配置され、前記貫通穴の内径よりも小径の開口部を有することを特徴とする請求項8に記載の半導体装置のリペア方法。
- 前記貫通穴内に、前記貫通穴を半円柱状にする電極部材を備えたことを特徴とする請求項8に記載の半導体装置のリペア方法。
- 前記貫通穴内に、前記貫通穴を塞ぐジェル状樹脂からなる充填部を備えたことを特徴とする請求項8から12までのいずれかに記載の半導体装置のリペア方法。
- 端子を備えた第1の面と前記第1の面の反対側の第2の面とを有する基板と、前記基板に搭載された半導体チップと、前記第1の面と前記第2の面とを繋ぐように、前記基板に形成された貫通穴と、前記端子に接続され、前記第1の面上に前記貫通穴を覆うように備えられた半田ボールと、一端を前記半田ボールに接触させ、他端を前記基板の前記第2の面側に配置された加熱装置の発熱部に接触可能なように、前記貫通穴内に配置した熱伝導部材とを有する半導体装置であって、プリント基板の端子に前記半田ボールを融着させた前記半導体装置のリペア方法であって、
加熱装置により前記熱伝導部材を加熱して、前記半田ボールを溶融させる工程と、
加熱装置による前記熱伝導部材の加熱を停止して、前記半田ボールを凝固させる工程と
を有することを特徴とする半導体装置のリペア方法。
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