JP3920103B2 - 絶縁層埋め込み型半導体炭化シリコン基板の製造方法及びその製造装置 - Google Patents
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- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 67
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 62
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 28
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 24
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 title claims description 24
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 67
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 56
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims description 43
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 40
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 32
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 32
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 32
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 31
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 25
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 claims description 25
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 24
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 16
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 15
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 15
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 15
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 claims description 14
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 claims description 13
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 claims description 13
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 claims description 13
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 10
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 6
- 230000001131 transforming effect Effects 0.000 claims description 5
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 description 8
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000010574 gas phase reaction Methods 0.000 description 3
- UIUXUFNYAYAMOE-UHFFFAOYSA-N methylsilane Chemical compound [SiH3]C UIUXUFNYAYAMOE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N Propane Chemical compound CCC ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- MROCJMGDEKINLD-UHFFFAOYSA-N dichlorosilane Chemical compound Cl[SiH2]Cl MROCJMGDEKINLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UBHZUDXTHNMNLD-UHFFFAOYSA-N dimethylsilane Chemical compound C[SiH2]C UBHZUDXTHNMNLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PZPGRFITIJYNEJ-UHFFFAOYSA-N disilane Chemical compound [SiH3][SiH3] PZPGRFITIJYNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 230000006911 nucleation Effects 0.000 description 1
- 238000010899 nucleation Methods 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 239000001294 propane Substances 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
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- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06Q—INFORMATION AND COMMUNICATION TECHNOLOGY [ICT] SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES; SYSTEMS OR METHODS SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G06Q50/00—Information and communication technology [ICT] specially adapted for implementation of business processes of specific business sectors, e.g. utilities or tourism
- G06Q50/10—Services
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/71—Manufacture of specific parts of devices defined in group H01L21/70
- H01L21/76—Making of isolation regions between components
- H01L21/762—Dielectric regions, e.g. EPIC dielectric isolation, LOCOS; Trench refilling techniques, SOI technology, use of channel stoppers
- H01L21/7624—Dielectric regions, e.g. EPIC dielectric isolation, LOCOS; Trench refilling techniques, SOI technology, use of channel stoppers using semiconductor on insulator [SOI] technology
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- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06Q—INFORMATION AND COMMUNICATION TECHNOLOGY [ICT] SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES; SYSTEMS OR METHODS SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- G06Q30/06—Buying, selling or leasing transactions
- G06Q30/0601—Electronic shopping [e-shopping]
- G06Q30/0613—Third-party assisted
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- G16H—HEALTHCARE INFORMATICS, i.e. INFORMATION AND COMMUNICATION TECHNOLOGY [ICT] SPECIALLY ADAPTED FOR THE HANDLING OR PROCESSING OF MEDICAL OR HEALTHCARE DATA
- G16H20/00—ICT specially adapted for therapies or health-improving plans, e.g. for handling prescriptions, for steering therapy or for monitoring patient compliance
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02367—Substrates
- H01L21/0237—Materials
- H01L21/02373—Group 14 semiconducting materials
- H01L21/02378—Silicon carbide
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- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02367—Substrates
- H01L21/0237—Materials
- H01L21/02373—Group 14 semiconducting materials
- H01L21/02381—Silicon, silicon germanium, germanium
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02436—Intermediate layers between substrates and deposited layers
- H01L21/02439—Materials
- H01L21/02488—Insulating materials
-
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02518—Deposited layers
- H01L21/02521—Materials
- H01L21/02524—Group 14 semiconducting materials
- H01L21/02529—Silicon carbide
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- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
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- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02518—Deposited layers
- H01L21/02521—Materials
- H01L21/02524—Group 14 semiconducting materials
- H01L21/02532—Silicon, silicon germanium, germanium
-
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
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- H01L21/02612—Formation types
- H01L21/02617—Deposition types
- H01L21/02636—Selective deposition, e.g. simultaneous growth of mono- and non-monocrystalline semiconductor materials
- H01L21/02639—Preparation of substrate for selective deposition
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、絶縁層埋め込み型半導体炭化シリコン基板の製造方法と、その製造装置とに関する。
【0002】
【従来の技術】
単結晶炭化シリコン(SiC)は、熱的、化学的安定性に優れ、機械的強度も強く、放射線照射にも強いという特性から、次世代の半導体デバイス材料として注目を集めている。また、埋め込み絶縁層を有するSOI基板は、回路の高速化と低消費電力化を図る上で優れており、次世代のLSI基板として有望視されている。従って、これら2つの特徴を融合した絶縁層埋め込み型半導体炭化シリコン基板が半導体デバイス材料として有望なことはいうまでもない。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、単結晶炭化シリコンとSOI基板との特徴を融合した絶縁層埋め込み型半導体炭化シリコン基板の製造方法は確立されていないのが現状である。
【0004】
例えば、シリコン基板上に単結晶炭化シリコン薄膜を形成する方法としては、シリコン基板の上にプラズマ式気相反応法等を用いたものがあり、かかる手法をSOI基板に適用することで、SOI基板上に単結晶炭化シリコン薄膜を形成することが可能であった。また、SOI基板における表面シリコン層の膜厚は50nmを越えているのが現状である。
【0005】
SOI基板の上に単結晶炭化シリコン薄膜を形成する方法で製造された半導体基板は、単結晶炭化シリコン薄膜と埋め込み絶縁物との間にシリコン層が介在するという問題がある。かかる単結晶炭化シリコン薄膜と埋め込み絶縁物との間に介在するシリコン層は、後工程での加熱処理中に表面の単結晶炭化シリコン薄膜中へ拡散し、その物性を劣化させるという問題を有している。加えて、埋め込み絶縁物の上に炭化シリコンを形成しようとする所望の構造にもならない。
【0006】
また、プラズマ式気相反応法等を用いてSOI基板上に単結晶炭化シリコン薄膜を形成する方法では、高真空中において成膜工程を行わなければならず、複雑な構成の製造装置が必要となっていた。もちろん、この複雑な構成の製造装置では、単結晶炭化シリコン薄膜の形成のコストが高くなるという問題点を内包している。
【0007】
また、膜厚が10nmを越える表面シリコン層を有するSOI基板では、変成された単結晶炭化シリコン薄膜が局所的に核成長を起こして粒塊となることで、表面状態が荒れ、好ましくない状況となる。
【0008】
本発明は上記事情に鑑みて創案されたもので、SOI基板上に単結晶炭化シリコン薄膜を安価かつ容易に形成することができる絶縁層埋め込み型半導体炭化シリコン基板の製造方法と、製造装置とを提供することを目的としている。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る絶縁層埋め込み型半導体炭化シリコン基板の製造方法は、所定の厚さの表面シリコン層と埋め込み絶縁物を有するSOI基板を加熱炉内に設置し、前記加熱炉内に水素ガスと炭化水素系ガスとの混合ガスを供給しつつ、加熱炉内の雰囲気温度を上昇させて、前記SOI基板の表面シリコン層を単結晶炭化シリコン薄膜に変成させる第1の工程と、前記第1の工程を過剰に行って炭素薄膜を前記単結晶炭化シリコン薄膜の上に堆積させる第2の工程と、前記混合ガスを所定の割合で酸素ガスが混合された不活性ガスで置換し、前記SOI基板を550℃以上に加熱して前記炭素薄膜をエッチングで除去する第3の工程と、前記酸素ガスが混合された不活性ガスを酸素ガスが混合されない純粋な不活性ガスで置換し、前記加熱炉内の雰囲気温度を所定の温度にまで上昇させる第4の工程と、前記所定の雰囲気温度を維持した状態で、水素ガスとシラン系ガスとを加熱炉内に供給して前記SOI基板の表面の単結晶炭化シリコン薄膜の上に新たな単結晶炭化シリコン薄膜を成長させる第5の工程とを備えている。
【0010】
また、前記所定の厚さの表面シリコン層の膜厚については、10nm以下にすると良い。前記所定の温度については、500〜1405℃にすると良い。前記一連の反応については、大気圧中で行うようにしても良い。
【0011】
【発明の実施の形態】
図1は本発明の実施の形態に係る絶縁層埋め込み型半導体炭化シリコン基板の製造方法の各工程を示す概略的説明図、図2は本発明の実施の形態に係る絶縁層埋め込み型半導体炭化シリコン基板の製造方法を実施するための絶縁層埋め込み型半導体炭化シリコン基板の製造装置の概略的説明図である。なお、図1における各層の厚さ寸法は図示の都合上、具体的なものとは相違している。また、図1においては、絶縁層埋め込み型半導体炭化シリコン基板の製造方法の各工程における周囲のガスを明記している。
【0012】
本発明の実施の形態に係る絶縁層埋め込み型半導体炭化シリコン基板の製造方法は、表面シリコン層130の膜厚が10nm以下で埋め込み絶縁物層120を有するSOI基板100を加熱炉200内に設置し、前記加熱炉200内に水素ガスG1と炭化水素系ガスG2との混合ガス(G1+G2)を供給しつつ、加熱炉200内の雰囲気温度を上昇させて、前記SOI基板100の表面シリコン層130を単結晶炭化シリコン薄膜140に変成させる第1の工程と、前記第1の工程を過剰に行って炭素薄膜150を前記単結晶炭化シリコン薄膜140の上に堆積させる第2の工程と、前記混合ガス(G1+G2)を所定の割合で酸素ガスG3が混合された不活性ガスG4で置換し、しかる後に前記SOI基板100を550℃以上に加熱して前記炭素薄膜150をエッチングで除去する第3の工程と、次に前記酸素ガスG3が混合された不活性ガスG4を酸素ガスG3が混合されない純粋な不活性ガスG4で置換し、前記加熱炉200内の雰囲気温度を所定の温度にまで上昇させる第4の工程と、前記所定の雰囲気温度を維持した状態で、水素ガスG1とシラン系ガスG5とを加熱炉200内に供給して前記SOI基板100の表面の単結晶炭化シリコン薄膜140の上に新たな単結晶炭化シリコン薄膜160を成長させる第5の工程とを有している。
【0013】
前記SOI基板100は、図1(A)に示すように、シリコン層110の中に埋め込み絶縁物としての埋め込み絶縁物層120が形成され、この埋め込み絶縁物層120の上に膜厚が10nm以下の表面シリコン層130を形成したものである。なお、このSOI基板100の表面シリコン層130は、例えば面方位(111)である。
【0014】
なお、SOI基板100の表面シリコン層130は、例えば所望の厚さを残して表面シリコン層130を酸化させ、フッ化水素酸等でエッチングする等の周知の方法によって、その膜厚は制御される。
【0015】
また、前記加熱炉200としては、電気炉を用いることができる。この加熱炉200は、図2に示すように、一端がSOI基板等を出し入れするための出し入れ口となり、他端が排気手段210と連結されたものであって、炉壁220の周囲には電気ヒータ等の加熱手段230が設置されている。また、この加熱炉200には、内部に各種のガスを供給するためのガス供給手段300が接続されている。そして、この加熱炉200の内部の圧力は、大気圧と同等になっている。
【0016】
前記ガス供給手段300は、水素ガスG1を供給する水素ガス供給部310と、炭化水素系ガスG2を供給する炭化水素系ガス供給部320と、酸素ガスG3を供給する酸素ガス供給部330と、不活性ガスG4(純粋な不活性ガスを含む)としてのアルゴンガスを供給する不活性ガス供給部340と、シラン系ガスG5を供給するシラン系ガス供給部350と、これらのガス供給部310〜350が接続された切換弁360とを有している。かかるガス供給手段300は、供給管370を介して前記加熱炉200に接続されている。
【0017】
〈第1の工程〉(図1(B)参照)
当該第1の工程では、前記SOI基板100を加熱炉200内に設置して、加熱炉200内に炭化水素系ガスG2を水素ガスG1に対して1体積%の割合の混合ガス(G1+G2)を供給する。また、この混合ガス(G1+G2)の供給と同じくして、加熱炉200内の雰囲気温度を1200乃至1405℃に加熱する。この加熱によって、SOI基板100の表面シリコン層130を単結晶炭化シリコン薄膜140に変成させる。すなわち、この第1の工程は、SOI基板100の表面シリコン層130を単結晶炭化シリコン薄膜140に変成させる工程である。
【0018】
前記単結晶炭化シリコン薄膜140は、表面シリコン層130を変成させたものであるため、その膜厚は表面シリコン層130の膜厚と等しくなる。すなわち、単結晶炭化シリコン薄膜140の膜厚は、SOI基板100の表面シリコン層130の膜厚を任意に制御することができることになる。
【0019】
なお、前記水素ガスG1はキャリアガスであり、炭化水素系ガスG2としてはプロパンガスを使用する。例えば、水素ガスG1の水素ガス供給部310からの供給量が1000cc/分であったならば、炭化水素系ガスG2の炭化水素系ガス供給部320からの供給量を10cc/分とする。
【0020】
〈第2の工程〉(図1(C)参照)
当該第2の工程は、前記第1の工程を過剰に行って炭素薄膜150を前記単結晶炭化シリコン薄膜140の上に堆積させる工程である。前記炭素薄膜150は、前記第1の工程を例えば数分〜数時間継続させることによって堆積される。
【0021】
〈第3の工程〉(図1(D)参照)
当該第3の工程は、前記炭化水素系ガス供給部320から供給される炭化水素系ガスG2と水素ガス供給部310から供給される水素ガスG1との混合ガス(G1+G2)を所定の割合で酸素ガスG3が混合された不活性ガスG4で置換し、前記SOI基板100を550℃以上、例えば約650℃に加熱して前記炭素薄膜150をエッチングで除去する。前記不活性ガスG4としては、例えばアルゴンガスが用いられる。また、この不活性ガスG4に混合される酸素ガスG3は、例えば不活性ガスG4の不活性ガス供給部340からの供給量が1000cc/分である場合、酸素ガスG3の酸素ガス供給部330からの供給量を100cc/分とする。
【0022】
この酸素ガスG3が混合された不活性ガスG4の供給とともに、加熱手段230によってSIO基板100を約650℃に加熱する。この状態を数分〜数時間継続させる。
【0023】
SOI基板100の表面に形成されている炭素薄膜150は、C+O2 →CO2 という化学変化を起こして二酸化炭素ガスに変化する。これによって、炭素薄膜150はエッチングされて除去されるのである。なお、この二酸化炭素ガスは、排気手段210によって加熱炉200の外部に排気される。
【0024】
〈第4の工程〉(図1(E)参照)
当該第4の工程は、前記酸素ガスが混合された不活性ガスG4を酸素ガスが混合されな純粋な不活性ガスG4で置換し、前記加熱炉200内の雰囲気温度を所定の温度にまで上昇させる工程である。なお、前記純粋な不活性ガスG4には、純粋なアルゴンガスが使用される。この第4の工程において加熱炉200内を純粋な不活性ガスG4に置換するのは、後の第5の工程で使用するシラン系ガスG5は、メチルシランガスが酸素ガスと爆発的に反応するため、その危険性を回避することが目的である。
【0025】
前記加熱炉200内の雰囲気温度としては、500〜1405℃が適当である。
【0026】
なお、前記純粋な不活性ガスG4は、前記第3の工程において加熱炉200に供給されていた酸素ガスG3の供給を停止し、不活性ガスG4の供給を継続することによって、加熱炉200に供給されるものである。
【0027】
〈第5の工程〉(図1(F)参照)
当該第5の工程は、前記所定の雰囲気温度(500〜1405℃)を維持した状態で、水素ガス供給部310から水素ガスG1を、シラン系ガス供給部350からシラン系ガスG5をそれぞれ加熱炉200内に供給して前記SOI基板100の表面の単結晶炭化シリコン薄膜140の上に新たな単結晶炭化シリコン薄膜160を成長させる工程である。
【0028】
前記シラン系ガスG5としては、例えばメチルシランガスが用いられる。このメチルシランガスが分解されることによって生成されるシリコンと単結晶炭化シリコン薄膜140中の炭素とが反応することで、単結晶炭化シリコン薄膜140の上にさらなる単結晶炭化シリコン薄膜160が形成されるのである。
【0029】
なお、前記シラン系ガスG5としては、メチルシランガスの他に、モノシランガス、ジシランガス、ジメチルシランガス、ジクロロシランガス等を使用することができる。
【0030】
このようにして、単結晶炭化シリコン薄膜140,160を有する絶縁層埋め込み型半導体炭化シリコン基板を製造することができる。
【0031】
なお、上述した実施の形態では、水素ガスG1は水素ガス供給部310から、炭化水素系ガスG2は炭化水素系ガス供給部320から、酸素ガスG3は酸素ガス供給部330から、不活性ガスG4(純粋な不活性ガスを含む)は不活性ガス供給部340から、シラン系ガスG5はシラン系ガス供給部350からそれぞれ別個に供給されているとしたが、第1の工程に必要な混合ガス(G1+G2)は水素ガスG1と炭化水素系ガスG2とを予め所定の割合で混合したものであってもよいし、第3の工程に必要な混合ガスは不活性ガスG4と酸素ガスG3とを予め所定の割合で混合したものであってもよいし、第5の工程に必要な水素ガスとシラン系ガスとは予め所定の割合で混合したものであっもよい。
【0032】
ただし、各種のガスを予め所定の割合が混合したものを供給するタイプのものより、各種のガスを別個に供給するタイプの方が、各種のガスの混合比を容易に変更することができるので、各種の化学反応に対応することができるのであるという点で柔軟性に富んでいるといえよう。
【0033】
【発明の効果】
本発明に係る絶縁層埋め込み型半導体炭化シリコン基板の製造方法は、所定の厚さの表面シリコン層と埋め込み絶縁物を有するSOI基板を加熱炉内に設置し、前記加熱炉内に水素ガスと炭化水素系ガスとの混合ガスを供給しつつ、加熱炉内の雰囲気温度を上昇させて、前記SOI基板の表面シリコン層を単結晶炭化シリコン薄膜に変成させる第1の工程と、前記第1の工程を過剰に行って炭素薄膜を前記単結晶炭化シリコン薄膜の上に堆積させる第2の工程と、前記混合ガスを所定の割合で酸素ガスが混合された不活性ガスで置換し、前記SOI基板を550℃以上に加熱して前記炭素薄膜をエッチングで除去する第3の工程と、前記酸素ガスが混合された不活性ガスを酸素ガスが混合されない純粋な不活性ガスで置換し、前記加熱炉内の雰囲気温度を所定の温度にまで上昇させる第4の工程と、前記所定の雰囲気温度を維持した状態で、水素ガスとシラン系ガスとを加熱炉内に供給して前記SOI基板の表面の単結晶炭化シリコン薄膜の上に新たな単結晶炭化シリコン薄膜を成長させる第5の工程とを備えている。
【0034】
このため、かかる製造方法であると、従来のプラズマ式気相反応法等で問題になっていた単結晶炭化シリコン薄膜と埋め込み酸化物層との間にシリコン層を介在させることなく、埋め込み酸化物層の真上に単結晶炭化シリコン薄膜を形成することができる。このため、この製造方法で製造された絶縁層埋め込み型半導体炭化シリコン基板は、従来の問題点であった単結晶炭化シリコン薄膜とその下部のシリコン層との界面における各種の欠陥発生や界面荒れを解消したものとなる。また、この製造方法であると、電気炉等の簡単な加熱炉のみでよく、従来のように高真空を維持する必要がないため、製造装置や製造工程の簡略化やその結果としての製造コストの低減に寄与することができる。
【0035】
また、表面シリコン層の膜厚が10nm以下であると、10nm以上のもののように単結晶炭化シリコンが局所的に核成長を起こして粒塊になることによる表面状態の荒れがなくなり、良好な表面状態を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態に係る絶縁層埋め込み型半導体炭化シリコン基板の製造方法の各工程を示す概略的説明図である。
【図2】本発明の実施の形態に係る絶縁層埋め込み型半導体炭化シリコン基板の製造方法を実施するための絶縁層埋め込み型半導体炭化シリコン基板の製造装置の概略的説明図である。
【符号の説明】
100 SOI基板
110 シリコン層
120 埋め込み絶縁物層
130 表面シリコン層
140 単結晶炭化シリコン薄膜
150 炭素薄膜
160 単結晶炭化シリコン薄膜
Claims (4)
- 所定の厚さの表面シリコン層と埋め込み絶縁物を有するSOI基板を加熱炉内に設置し、前記加熱炉内に水素ガスと炭化水素系ガスとの混合ガスを供給しつつ、加熱炉内の雰囲気温度を上昇させて、前記SOI基板の表面シリコン層を単結晶炭化シリコン薄膜に変成させる第1の工程と、前記第1の工程を過剰に行って炭素薄膜を前記単結晶炭化シリコン薄膜の上に堆積させる第2の工程と、前記混合ガスを所定の割合で酸素ガスが混合された不活性ガスで置換し、前記SOI基板を550℃以上に加熱して前記炭素薄膜をエッチングで除去する第3の工程と、前記酸素ガスが混合された不活性ガスを酸素ガスが混合されない純粋な不活性ガスで置換し、前記加熱炉内の雰囲気温度を所定の温度にまで上昇させる第4の工程と、前記所定の雰囲気温度を維持した状態で、水素ガスとシラン系ガスとを加熱炉内に供給して前記SOI基板の表面の単結晶炭化シリコン薄膜の上に新たな単結晶炭化シリコン薄膜を成長させる第5の工程とを具備したことを特徴とする絶縁層埋め込み型半導体炭化シリコン基板の製造方法。
- 前記所定の厚さの表面シリコン層の膜厚は、10nm以下であることを特徴とする請求項1記載の絶縁層埋め込み型半導体炭化シリコン基板の製造方法。
- 前記所定の温度は、500〜1405℃であることを特徴とする請求項1記載の絶縁層埋め込み型半導体炭化シリコン基板の製造方法。
- 前記一連の反応は、大気圧中で行われることを特徴とする請求項1、2又は3記載の絶縁層埋め込み型半導体炭化シリコン基板の製造方法。
Priority Applications (8)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002022631A JP3920103B2 (ja) | 2002-01-31 | 2002-01-31 | 絶縁層埋め込み型半導体炭化シリコン基板の製造方法及びその製造装置 |
TW091137731A TWI264070B (en) | 2002-01-31 | 2002-12-27 | Manufacturing method for buried insulating layer-type semiconductor silicon carbide substrate and manufacturing apparatus thereof |
KR1020030002943A KR100777544B1 (ko) | 2002-01-31 | 2003-01-16 | 절연층 매립형 반도체 탄화 실리콘 기판의 제조방법 |
CNB031034705A CN100343962C (zh) | 2002-01-31 | 2003-01-27 | 埋置绝缘体型半导体碳化硅衬底的制作方法和制作装置 |
US10/351,385 US7084049B2 (en) | 2002-01-31 | 2003-01-27 | Manufacturing method for buried insulating layer-type semiconductor silicon carbide substrate |
EP03250583A EP1333482B1 (en) | 2002-01-31 | 2003-01-30 | Method for manufacturing a semiconductor silicon carbide on insulator substrate (SOI) and apparatus therefore |
DE60321734T DE60321734D1 (de) | 2002-01-31 | 2003-01-30 | Verfahren zur Herstellung eines aus halbleitendem Siliziumkarbid-auf-Isolator Substrates (SOI) und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens |
US10/802,806 US7128788B2 (en) | 2002-01-31 | 2004-03-18 | Manufacturing apparatus for buried insulating layer-type semiconductor silicon carbide substrate |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002022631A JP3920103B2 (ja) | 2002-01-31 | 2002-01-31 | 絶縁層埋め込み型半導体炭化シリコン基板の製造方法及びその製造装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003224248A JP2003224248A (ja) | 2003-08-08 |
JP3920103B2 true JP3920103B2 (ja) | 2007-05-30 |
Family
ID=19192223
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002022631A Expired - Lifetime JP3920103B2 (ja) | 2002-01-31 | 2002-01-31 | 絶縁層埋め込み型半導体炭化シリコン基板の製造方法及びその製造装置 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7084049B2 (ja) |
EP (1) | EP1333482B1 (ja) |
JP (1) | JP3920103B2 (ja) |
KR (1) | KR100777544B1 (ja) |
CN (1) | CN100343962C (ja) |
DE (1) | DE60321734D1 (ja) |
TW (1) | TWI264070B (ja) |
Families Citing this family (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002280354A (ja) * | 2001-03-19 | 2002-09-27 | Osaka Prefecture | 炭素薄膜のエッチング方法及びエッチング装置 |
US7147715B2 (en) * | 2003-07-28 | 2006-12-12 | Cree, Inc. | Growth of ultra-high purity silicon carbide crystals in an ambient containing hydrogen |
US20070231485A1 (en) * | 2003-09-05 | 2007-10-04 | Moffat William A | Silane process chamber with double door seal |
JP2005317801A (ja) * | 2004-04-28 | 2005-11-10 | Japan Science & Technology Agency | 薄膜素子形成法 |
US7382023B2 (en) | 2004-04-28 | 2008-06-03 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Fully depleted SOI multiple threshold voltage application |
JP4690734B2 (ja) * | 2005-01-28 | 2011-06-01 | エア・ウォーター株式会社 | 単結晶SiC基板の製造方法 |
JP4511378B2 (ja) * | 2005-02-15 | 2010-07-28 | エア・ウォーター株式会社 | SOI基板を用いた単結晶SiC層を形成する方法 |
JP4563918B2 (ja) * | 2005-10-31 | 2010-10-20 | エア・ウォーター株式会社 | 単結晶SiC基板の製造方法 |
CN100514562C (zh) * | 2006-09-18 | 2009-07-15 | 中国科学院半导体研究所 | 用于MEMS器件的大面积3C-SiC薄膜的制备方法 |
WO2008111277A1 (ja) * | 2007-03-15 | 2008-09-18 | Kyushu Institute Of Technology | 単結晶酸化亜鉛基板 |
JP5394632B2 (ja) | 2007-11-19 | 2014-01-22 | エア・ウォーター株式会社 | 単結晶SiC基板の製造方法 |
JP2009158702A (ja) * | 2007-12-26 | 2009-07-16 | Kyushu Institute Of Technology | 発光デバイス |
WO2009113472A1 (ja) * | 2008-03-10 | 2009-09-17 | 国立大学法人東北大学 | グラフェンまたはグラファイト薄膜、その製造方法、薄膜構造および電子デバイス |
JP2011243640A (ja) * | 2010-05-14 | 2011-12-01 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 炭化珪素基板の製造方法、半導体装置の製造方法、炭化珪素基板および半導体装置 |
JP5585268B2 (ja) | 2010-07-22 | 2014-09-10 | セイコーエプソン株式会社 | 単結晶炭化珪素膜付き基材及び単結晶炭化珪素膜の製造方法並びに単結晶炭化珪素膜付き基材の製造方法 |
CN102965733B (zh) * | 2012-11-02 | 2015-11-18 | 中国科学院物理研究所 | 一种无石墨包裹物的导电碳化硅晶体生长工艺 |
JP6111678B2 (ja) * | 2013-01-17 | 2017-04-12 | 信越半導体株式会社 | GeOIウェーハの製造方法 |
JP6136731B2 (ja) * | 2013-08-06 | 2017-05-31 | 住友電気工業株式会社 | 炭化珪素半導体基板およびその製造方法、ならびに炭化珪素半導体装置の製造方法 |
MD4280C1 (ro) * | 2013-09-04 | 2014-10-31 | Государственный Университет Молд0 | Procedeu de creştere a structurii pInP-nCdS |
JPWO2016047534A1 (ja) * | 2014-09-24 | 2017-07-27 | エア・ウォーター株式会社 | SiC層を備えた半導体装置 |
RU2578104C1 (ru) * | 2015-04-07 | 2016-03-20 | Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Национальный исследовательский университет "Московский институт электронной техники" (МИЭТ) | Способ газофазной карбидизации поверхности монокристаллического кремния ориентации (111), (100) |
MD4554C1 (ro) * | 2017-10-18 | 2018-09-30 | Государственный Университет Молд0 | Procedeu de majorare a eficienţei celulelor fotovoltaice pe baza p+InP-p-InP-n+CdS |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4664944A (en) * | 1986-01-31 | 1987-05-12 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Deposition method for producing silicon carbide high-temperature semiconductors |
JP2962851B2 (ja) * | 1990-04-26 | 1999-10-12 | キヤノン株式会社 | 光受容部材 |
JPH06191997A (ja) | 1992-10-07 | 1994-07-12 | Kyushu Kogyo Univ | SiC結晶膜の形成法 |
US5415126A (en) * | 1993-08-16 | 1995-05-16 | Dow Corning Corporation | Method of forming crystalline silicon carbide coatings at low temperatures |
DE19514079A1 (de) * | 1995-04-13 | 1996-10-17 | Siemens Ag | Verfahren zum Passivieren einer Siliciumcarbid-Oberfläche gegenüber Sauerstoff |
US5759908A (en) * | 1995-05-16 | 1998-06-02 | University Of Cincinnati | Method for forming SiC-SOI structures |
US5880491A (en) * | 1997-01-31 | 1999-03-09 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | SiC/111-V-nitride heterostructures on SiC/SiO2 /Si for optoelectronic devices |
JP2002363751A (ja) * | 2001-06-06 | 2002-12-18 | Osaka Prefecture | 単結晶炭化シリコン薄膜の製造方法及びその製造装置 |
-
2002
- 2002-01-31 JP JP2002022631A patent/JP3920103B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 2002-12-27 TW TW091137731A patent/TWI264070B/zh not_active IP Right Cessation
-
2003
- 2003-01-16 KR KR1020030002943A patent/KR100777544B1/ko active IP Right Grant
- 2003-01-27 US US10/351,385 patent/US7084049B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2003-01-27 CN CNB031034705A patent/CN100343962C/zh not_active Expired - Lifetime
- 2003-01-30 DE DE60321734T patent/DE60321734D1/de not_active Expired - Lifetime
- 2003-01-30 EP EP03250583A patent/EP1333482B1/en not_active Expired - Lifetime
-
2004
- 2004-03-18 US US10/802,806 patent/US7128788B2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7128788B2 (en) | 2006-10-31 |
KR100777544B1 (ko) | 2007-11-20 |
EP1333482B1 (en) | 2008-06-25 |
TW200306627A (en) | 2003-11-16 |
US7084049B2 (en) | 2006-08-01 |
JP2003224248A (ja) | 2003-08-08 |
TWI264070B (en) | 2006-10-11 |
KR20030065326A (ko) | 2003-08-06 |
EP1333482A2 (en) | 2003-08-06 |
US20040173154A1 (en) | 2004-09-09 |
CN1435866A (zh) | 2003-08-13 |
DE60321734D1 (de) | 2008-08-07 |
CN100343962C (zh) | 2007-10-17 |
EP1333482A3 (en) | 2006-02-01 |
US20030148586A1 (en) | 2003-08-07 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060301 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060523 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060614 |
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