JP3910482B2 - 数値制御工作機械における加工誤差補正方法及びこれを用いた研削盤 - Google Patents

数値制御工作機械における加工誤差補正方法及びこれを用いた研削盤 Download PDF

Info

Publication number
JP3910482B2
JP3910482B2 JP2002127193A JP2002127193A JP3910482B2 JP 3910482 B2 JP3910482 B2 JP 3910482B2 JP 2002127193 A JP2002127193 A JP 2002127193A JP 2002127193 A JP2002127193 A JP 2002127193A JP 3910482 B2 JP3910482 B2 JP 3910482B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
grinding wheel
amount
tool
workpiece
measurement
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP2002127193A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2003311585A (ja
Inventor
拓也 山形
勇次 白川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
THK Co Ltd
Original Assignee
THK Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by THK Co Ltd filed Critical THK Co Ltd
Priority to JP2002127193A priority Critical patent/JP3910482B2/ja
Priority to DE10314199.5A priority patent/DE10314199B4/de
Priority to US10/405,813 priority patent/US6732009B2/en
Priority to KR1020030026239A priority patent/KR100976899B1/ko
Publication of JP2003311585A publication Critical patent/JP2003311585A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3910482B2 publication Critical patent/JP3910482B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23QDETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q15/00Automatic control or regulation of feed movement, cutting velocity or position of tool or work
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00Programme-control systems
    • G05B19/02Programme-control systems electric
    • G05B19/18Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form
    • G05B19/404Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form characterised by control arrangements for compensation, e.g. for backlash, overshoot, tool offset, tool wear, temperature, machine construction errors, load, inertia
    • GPHYSICS
    • G05CONTROLLING; REGULATING
    • G05BCONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00Program-control systems
    • G05B2219/30Nc systems
    • G05B2219/49Nc machine tool, till multiple
    • G05B2219/49206Compensation temperature, thermal displacement, use measured temperature

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えばNCフライス盤やNC研削盤等、プログラムされた移動量に基づいてツールを動かしながらワークの加工を行う数値制御加工機械に係り、詳細には、ツールの移動誤差に基づくワークの加工誤差を排除するための加工誤差補正方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来より、各種ツールを用いてワークの加工を行う工作機械としては、予め入力された数値データに従ってツールの移動を制御し、ワークを自動的に加工していく所謂数値制御(NC)工作機械が知られている。図10はワークWに対して砥石車Tを用いて研削加工を行う縦型NC研削盤の一例を示すものである。この研削盤ではベース100上にワークWを固定するためのワークテーブル101が設けられると共に、このワークテーブル101を跨ぐようにして門型のコラム102がベース100上に立設されており、上記ワークテーブル101はX軸方向(紙面左右方向)に沿ってベース100上を移動し得るように構成されている。また、ワークWに対して研削加工を行う砥石車Tはスピンドル103に保持される一方、このスピンドル103はU軸方向(上下方向)及びY軸方向(紙面奥行方向)に移動可能なツール移動手段としての砥石台104に保持されており、この砥石台104は上記コラム102の一側面に装着されている。
【0003】
砥石台104及びワークテーブル101の移動はコンピュータからなる数値制御部によってコントロールされており、かかる数値制御部には工具経路や加工速度等が予めプログラミングされている。工具経路は砥石台の移動範囲中の一点をプログラム原点とする座標系によって示されるのが一般的であり、プログラム原点からU軸方向及びY軸方向の距離で定義されている。従って、加工が開始されると、砥石台104及びワークテーブル101が数値制御部の指令に従って駆動され、スピンドル103に保持された砥石車Tは所定の速度でプログラム原点から所定の位置へ移動し、ワークテーブル101の移動も相まってワークWを加工していくことになる。
【0004】
本来、このようなNC工作機械においては、数値制御部に対する入力通りに砥石台及びワークテーブルが移動するのであれば、ワークを寸分違わず高精度に加工できるはずである。しかし、工場内の温度が変化すると、砥石台の移動を担うボールねじのリードが変動すると共に、砥石台を支えるコラムやベースも僅かではあるが膨張又は収縮する。また、砥石車を保持するスピンドルは高速で回転することから、連続で加工を続ける場合には、モータや軸受で発生した熱によって主軸が軸方向へ膨張することになる。このため、砥石台がプログラム原点から指令された移動量だけ移動したとしても、ワークに対するツールの位置は微妙に異なることになり、ワークを決められた寸法通りに加工することは困難である。
【0005】
このため、前述のような環境変動要因を排除してワークを高精度に加工すべく、従来から定寸装置が数値制御と共に併用されている。この定寸装置は加工がなされたワークを予め高精度に加工されたマスターピースと比較し、ワークの加工寸法を確認するものであり、マスターピース及びワークの対応部位に対して接触させる測定子を有している。図10に示す研削盤では砥石台104とは反対側のコラム102の側面に定寸装置105が取り付けられており、上記測定子106は砥石台104と同様な移動手段107を介してコラム102に保持されている。一方、マスターピース108はワークテーブル101上のワークWと略同様な位置に固定されている。この定寸装置105を用いた加工では、先ず、測定子106をマスターピース108に接触させて、その接触位置を数値制御部のメモリ内に格納し、次に測定子106を加工後のワークWに接触させ、その接触位置をメモリ内に格納されていたマスターピース108の接触位置と比較する。この比較による差分がマスターピース108に対するワークWの加工誤差であり、検出した差分だけ更に砥石台104を移動させてワークWの加工を行えば、ワークWをマスターピース108と同じ精度で加工することができる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、定寸装置を用いて個々のワーク毎に加工精度を測定するのには時間を要し、生産効率が低下する一因となっている。また、定寸装置それ自体のコストや、事前に高精度のマスターピースを製作する必要がある等、定寸装置の導入コストそれ自体も嵩むといった問題点もある。
【0007】
また、砥石車を用いた研削盤では、所定の個数のワークを加工する度にドレッサー109を用いて砥石車Tの形状修正、砥粒切刃の創成を行わなければならず、ドレッサー109に対する砥石車Tの位置精度も極めて重要である。仮にドレッサー109に対する砥石車Tの位置精度が悪い場合には、本来は砥石形状を修正する筈のドレッサー109が砥石形状を崩してしまうことになり、ワークWの加工精度が悪化する原因となってしまう。
【0008】
この点、前述の定寸装置はマスターピースとワークとの相対的な比較によって、ワークの加工精度を高めるものであるから、砥石車の移動における位置精度そのものを保証するものではなく、ドレッサーと砥石車との関係については全く効果を発揮しない。従って、研削盤においては、定寸装置を装備している場合であっても、ワークの加工精度が悪化し易いという問題点があった。
【0009】
また、研削加工における加工時間を短縮し、生産コストの低減化を図るためには、アルミナ質等の在来砥粒よりも硬い砥粒を用いた所謂CBN砥石を用いることが望まれるが、ドレッサーによる砥石形状の修正精度が悪いと、一回のドレッシングでより多くの砥粒を削り採ることになるので、砥石の寿命が短くなってしまい、加工効率には優れるものの高価なCBN砥石を導入することができないといった問題点もあった。
【0010】
本発明はこのような問題点に鑑みなされたものであり、その目的とするところは、環境温度の変動や加工時の摩擦熱等の影響によって生じるツールの実際の送り量の変動を排除し、定寸装置によるマスターとの比較を行わずとも、高精度にワークを加工することが可能となる数値制御工作機械における加工誤差補正方法を提供することにある。
【0011】
また、本発明の他の目的は、ドレッサーによって砥石形状の修正を行う際に、このドレッサーに対するツールの実際の送り量の変動を排除し、砥石の形状修正を高精度に行うことが可能であると共に、以てワークを高精度に且つ高い生産効率で加工することが可能な研削盤を提供することにある。
【0012】
【課題を解決するための手段】
すなわち、本発明は、ツールの移動量がプログラムされた数値制御部と、この数値制御部から送出される指令信号によって駆動され、ワークテーブルに固定されたワークに対して上記ツールを送り込むツール移動手段と、を備えた工作機械に適用され、上記ツールによるワークの加工誤差を補正するための方法であって、上記数値制御部からツール移動手段に対して所定の測定移動量を指令し、ツールをプログラム原点からこれとは別個に設けられた測定ポイントへ移動させた後、移動完了後のツール位置と測定ポイントとの位置ずれ量を計測し、ワーク加工の際には、数値制御部がツール移動手段に指令する加工移動量を上記位置ずれ量によって補正することを特徴とするものである。
【0013】
本来、ツールをプログラム原点からワークの加工位置へ移動させるためには、プログラム原点に対するワーク加工位置の座標を加工移動量としてツール移動手段に指令すれば良いのだが、環境温度の変動等によるツール移動手段の送り誤差や、ツール移動手段を支持するコラムの膨張又は収縮により、ワーク加工位置の座標を加工移動量として指令しただけでは、ツールをワーク加工位置に対して正確に設定することはできない。このため、本発明ではプログラム原点とは別個に測定ポイントなる位置を設け、測定ポイントの座標を測定移動量としてツール移動手段に指令してツールを移動させた際に、かかるツールが正しく測定ポイントに設定されるか否かを変位量センサを用いて測定するように構成した。そして、変位量センサによってツールの測定ポイントに対する位置ずれ量が検出された場合には、ワーク加工時に使用される加工移動量そのものを上記位置ずれ量で補正するように構成した。
【0014】
このような本発明方法によれば、環境温度の変動によってツール移動手段の送り量が変動したり、かかるツール移動手段を支えるコラムの膨張又は収縮する等しても、その影響を排除することができ、ツールをワーク加工位置に対して正確に設定することが可能となる。従って、定寸装置を用いて加工後のワーク寸法をいちいちマスターピースと比較する必要がなくなり、その分だけ生産効率を高めることが可能となる。
【0015】
また、本発明方法を研削盤に適用し、ツールをプログラム原点からドレッシング位置へ設定するために使用するドレス移動量を上記位置ずれ量で補正するように構成すれば、環境温度の変動によってツール移動手段の送り量が変動する等しても、砥石をドレッサーに対して正確に位置決めすることが可能となるので、砥石の形状修正を高精度に行うことができ、ひいてはワークを高精度に加工することが可能となる。また、砥石の形状修正を高精度に行うことができるので、一回のドレッシングで削り採る砥粒を最小限に抑えることも可能となり、砥石寿命が延命化する分、加工効率に優れたCBN砥石を導入し、生産効率の向上を図ることも可能となる。
【0016】
このような本発明方法において、測定ポイントにおいてツールの位置ずれ量を計測した後は、この位置ずれ量を用いて必ず数値制御部に設定されているツールの加工移動量及び/又はドレス移動量を補正するように構成しても差し支えないが、検出した位置ずれ量がツール移動手段に本来的に内在する送り量誤差よりも小さい場合にまで加工移動量を補正する必要はなく、かかる観点からすれば、計測した位置ずれ量が所定値以上の場合にのみ加工移動量及び/又はドレス移動量を補正するように構成するのが好ましい。
【0017】
また、測定ポイントに設定したツールの位置ずれ量の検出には、接触式や被接式等、測定ポイントに対するツールの位置ずれを検出し得る各種センサ類を使用することができる。但し、ここでの変位量の検出精度がワークの加工精度にそのまま反映されてくるので、1μm以下の位置ズレを検出し得るセンサであることが好ましく、また、長期間の繰り返し計測においても検出精度が損なわれないという観点からすれば、非接触式センサであることが好ましい。
【0018】
更に、本発明方法においては計測した位置ずれ量をそのまま用いて加工移動量を補正しても差し支えないが、かかる位置ずれ量に計測誤差が存在する場合には、逆にツールの送り量の変動を増大させてしまうことも考えられる。従って、そのような観点からすれば、計測した位置ずれ量を用いてツールを測定ポイントに移動設定するための測定移動量を補正すると共に、補正後の測定移動量を用いてツールを再度測定ポイントに移動設定し、測定ポイントにおいて再計測した位置ずれ量が所定値以下に収まっているか否かを確認するのが好ましい。
【0019】
また更に、このような加工移動量の補正は、ワークの加工の度毎に行うのが最も好ましいが、測定ポイントでツール位置ずれ量の計測を行うことによる時間損失を考慮すると、ツールの移動精度が著しく損なわれている蓋然性が高い場合、例えば、ツールを交換した後や所定個数のワークの加工がなされた後に限って該補正を行うのが好ましい。また、長時間の休憩を経た後に工作機械の起動を行う場合等にも、環境温度の変動による影響を排除するため、ツール位置ずれ量の計測を行ってから、加工移動量の補正を行うのが好ましい。
【0020】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面に基づいて本発明の数値制御工作機械における加工誤差補正方法を詳細に説明する。
図1は本発明の加工誤差補正方法を実施する数値制御研削盤の一例を示すものである。この研削盤は、工場の床面に設置されるベース部1と、このベース部1上をY軸方向(紙面左右方向)へ往復移動可能なワークテーブル2と、このワークテーブル2を跨ぐようにして設けられたコラム3と、このコラム3の側面に設けられてU軸方向及びX軸方向へ移動可能な砥石台(ツール移動手段)4と、この砥石台4に支持されると共に回転主軸をU軸方向へ合致させたスピンドル5とを備え、スピンドル5の回転主軸に装着した砥石車(ツール)Tを用いて、上記ワークテーブル2上に固定されたワークWの研削加工を行うように構成されている。
【0021】
上記ワークテーブル2上にはワークWを保持するための固定台6が備えられると共に、ベース1内に格納されたモータ及び送りねじ(図示せず)の組み合わせによってY軸方向へ往復運動するように構成されており、上記砥石台4によってツールTをU軸方向及びX軸方向へ所定量だけ移動させ、その状態からワークテーブル2を移動させることによって、砥石車TがワークWに対して切り込むようになっている。従って、上記モータの回転角度及び回転速度を制御することによって、ワークWに対する砥石車Tの切り込み量及び研削速度が自由に設定される。尚、図1に示す例では固定台6上に複数のワークWが固定され、ワークテーブル2をX軸方向へ移動させながら研削加工を行うことによって、砥石車TがこれらワークWを次々に加工していくように構成されているが、かかるワークテーブル2はワークWを一度に一つのみ固定するタイプのものであっても差し支えない。
【0022】
また、上記砥石台4は、U軸方向へ往復移動自在な一軸テーブルと、X軸方向へ往復移動自在な一軸テーブルとを積み重ねて構成されており、X軸方向へ移動するトップテーブル上に上記スピンドル5が固定されている。各一軸テーブルは上記ワークテーブル2と同様、モータ及び送りねじの組み合わせによって各方向へ駆動され、2つのモータの回転角度(回転量)を制御することにより、スピンドル5に装着された砥石車TをU−X座標平面内のプログラム原点から任意の位置に移動設定することができるようなっている。ここで、プログラム原点とは、砥石車Tの移動位置、ワークテーブルの移動位置をU−X−Y空間内で数値制御する際の原点を意味している。
【0023】
一方、上記ワークテーブル2上には砥石形状を修正するためのドレッサー7が設けられている。このドレッサー7はスピンドル8によってダイヤモンドホイール9を支承したロータリドレッサーであり、回転主軸をU軸方向へ合致させると共に、ワーク固定台6からY軸方向へ離間した位置に配置されている。従って、ワークテーブル2をY軸方向へ移動させることによって、砥石車Tをワーク加工位置又はロータリドレッサー7によるドレッシング位置へ適宜設定することができるようになっている。
【0024】
この研削盤は、例えば、図2に示すような直線案内装置30の摺動ブロック31の研削加工に使用されるものである。この直線案内装置30は、長手方向に沿ってボール転走面32が形成された軌道レール33と、上記ボール転走面32を転動する多数のボール34を備えると共にこれらボール34の転動に伴って上記軌道レール33上を移動する摺動ブロック31とから構成されており、この図の例では上記摺動ブロック31が中央に凹溝を備えたチャネル状に形成され、軌道レール33を跨ぐようにして該軌道レール33と組み合わされている。図3に示すように、チャネル状に形成された摺動ブロック31の内側面には上記ボール34が転動するボール転走面35が片側2条ずつ、計4条形成されており、上記研削盤は摺動ブロック31のこれらボール転走面35の研削加工に使用される。研削加工の効率化、複数のボール転走面の位置関係の正確化を期すため、これら4条のボール転走面35は凹溝の片側に位置する2条のボール転走面が同時に研削される。このため、砥石車Tは片側2条のボール転走面35,35の形状が転写された総型砥石として形成され、この砥石車Tを摺動ブロック31の凹溝の一方の側面に接触させて研削加工を行うことにより、2条のボール転走面35,35を高精度に仕上げることが可能となっている。
【0025】
本来、この研削盤においては、砥石台4を構成するモータに対して所定の回転量を与えている場合、砥石車TはU軸方向及びX軸方向へ正確に移動し、U−X軸平面内の目的とする位置に対して高精度に位置決めされる筈である。しかし、この研削盤が設置されている工場内の環境温度が変動すると、砥石台4のU軸方向及びX軸方向への移動を担っている送りねじに僅かではあるが膨張又は収縮が生じ、これら送りねじのリードが変動することから、モータに対して所定の回転量を与えた場合であっても、砥石車Tが設定された位置は目的とする位置に対して誤差を含んだものとなってしまう。
【0026】
また、砥石車Tを保持しているスピンドル5は加工中に高速回転することから、ワークWの加工中はモータで発生した熱エネルギや軸受の摩擦熱が次第にスピンドル主軸に蓄積され、かかる主軸も僅かではあるが熱膨張を生じる。更に、上記コラム3やベース1も環境温度の変動によって膨張又は収縮を生じ、特に、砥石車Tが配置されたコラム3の側面には研削加工中に使用されるクーラント液が付着することから、コラム3自体が熱変形を生じてしまう懸念もある。従って、これらの点からしても、砥石車Tの移動先の位置は誤差を含んだものとなり易い。
【0027】
そして、このように砥石車の移動位置が誤差を含んでしまうと、ワークWの加工精度が損なわれることになる。しかも、研削盤ではドレッサー7を用いて砥石車の形状の修正を行っていることから、砥石車Tの移動位置に誤差が含まれてしまうと、ドレッサー7に対する砥石車Tの位置決めにも誤差が含まれることになり、砥石形状を修正する筈のドレッシングによって逆に砥石形状が損なわれ、更に、この砥石車Tを用いてワークWの研削を行うことにより、ワークWの加工精度が損なわれることになる。特に、前述した如く砥石車Tとして総型砥石を用いている場合に、この問題は深刻である。
【0028】
このため、本実施例の研削盤では、砥石台4のプログラム原点とは別個に測定ポイントなるものを設け、ワーク加工の合間等の所定のタイミング毎に砥石車Tをプログラム原点から測定ポイントへ移動設定し、かかる測定ポイントで砥石車Tの測定ポイントに対する位置ずれ量を検出するようにしている。この測定ポイントはワーク固定台6上のワークWとドレッサー7との略中間位置に設けられており、図4に示すように、ワークテーブル2上にセンサベース10を介して一対のセンサ11,12を保持することにより構成されている。尚、図4はワーク固定台6からX軸方向に沿って測定ポイントを観察した図であり、上記支持ベース10の後方にドレッサー7が位置している。
【0029】
図5に示すように、上記センサベース10には一対の変位量センサ11,12が取り付けられている。これら変位量センサ11.,12は渦電流式の近接センサであり、一方の変位量センサ11は砥石車TのU軸方向の位置ずれ量を検出するためにU軸方向上向きに、他方の変位量センサ12は砥石車TのX軸方向の位置ずれ量を検出するためにX軸方向に向いて配置されている。砥石車Tが測定ポイントに設定された場合、前者のU軸方向センサ11は砥石車Tの金属製回転軸Sの先端に対向する一方、後者のX軸方向センサ12は砥石車Tの金属製回転軸Sの周面と対向し、かかる回転軸Sが各センサ11,12に対してどの程度近接しているかを分解能1μm以下で検出する。
【0030】
図6はU−X−Y空間内における上記測定ポイントS、プログラム原点O、ドレッシング位置D及びワークWの加工開始位置との位置関係を示すものである。ワークテーブル2にはY軸方向への移動位置を検出するためのセンサ(図示せ ず)が設けられており、かかるセンサの検出信号をピックアップすることにより、測定ポイントが砥石車Tの移動平面に合致する位置にワークテーブル2を正確に停止させることができるようになっている。従って、この位置(以下、「テーブル原点」という)にワークテーブル2を停止させた状態で、砥石台4を駆動して砥石車TをU−X平面内で移動させると、砥石車Tを測定ポイントに設定することができる。
【0031】
砥石車Tの形状修正を行うドレッシング位置DはU−X平面内における位置が測定ポイントと重なっており、砥石車Tを測定ポイントに設定した状態でワークテーブル2をY軸方向へ移動させると、かかる砥石車Tをドレッシング位置Dに設定することができるようになっている。また、ドレッサー7のダイヤモンドホイール9は測定ポイントSとドレッシング位置Dを結ぶY軸方向線に対して接するように設けられている。このため、砥石車Tが正しく測定ポイントに移動設定されさえすれば、ワークテーブル2をY軸方向へ移動するだけで、砥石車Tを正しくドレッシング位置に設定することができ、X軸方向に関する砥石車Tの食い込み量を調整するのみで、砥石車Tの修正形状を高精度に行うことができる。
【0032】
また、ワークWも測定ポイントSとドレッシング位置Dを結ぶY軸方向線上に位置しており、測定ポイントSに対する砥石車Tの位置ずれ量が解消されれば、ワークテーブル2をY軸方向へ移動させることで、砥石車TをワークWに対して誤差なくアプローチさせることができるようになっている。
【0033】
図7はこの研削盤における砥石台4及びワークテーブル2の制御系を示すブロック図である。この制御系はコンピュータシステムから構成された数値制御部13を備え、かかる数値制御部13にはワーク加工時における砥石車Tの移動位置がU−X平面内の座標位置、すなわちプログラム原点を基準としたU軸方向及びX軸方向への移動量としてプログラミングされると共に、ワークテーブル2のY軸方向への移動量もプログラミングされている。また、この数値制御部13は、砥石車TをU軸方向へ移動させるモータ(U軸モータ)14及びX軸方向へ移動させるモータ(X軸モータ)15、ワークテーブルをY軸方向へ移動させるモータ(Y軸モータ)16に対して駆動制御信号を送出し、これらモータの回転速度及び回転量を制御している。従って、加工が開始されると、数値制御部13が予め入力されている制御プログラムに基づいてU軸モータ14、X軸モータ15及びY軸モータ16の回転が制御され、砥石台4が砥石車Tを所定の加工開始位置に移動設定すると共に、ワークテーブル2に対して所定の送りが与えられ、砥石車TがワークWに対して切り込むことになる。
【0034】
また、本実施例の研削盤は、前述した変位量センサ11,12を用いて砥石車Tの測定ポイントに対する位置ずれ量を検出するため、ワーク加工の合間等の所定タイミング毎に砥石車Tを測定ポイントに移動設定させる測定制御部17を有している。この測定制御部17は上記数値制御部13と同じコンピュータシステムによって実現されており、予め格納されている測定プログラムを実行し、U軸モータ、X軸モータ及びY軸モータを制御して、砥石車Tを測定ポイントに設定する。また、この測定制御部17は変位量センサ11,12で計測した砥石車Tの位置ずれ量を取り込み、かかる位置ずれ量を用いて数値制御部13に格納されているワークW加工時の砥石車Tの移動量、すなわち加工移動量を補正して書き換えるように構成されている。
【0035】
図8は上記測定プログラムの流れを示したフローチャートである。この測定プログラムは、前回のワーク加工から次回のワーク加工迄の間に、砥石台4を用いた砥石車Tの送り量に誤差が発生している蓋然性が高い場合、例えば、長時間にわたり機械を停止していた後や、砥石車Tを交換した後、多数のワークWを連続的に加工した後等をトリガーとして自動的に実行される。また、ドレッサー7による砥石車Tの形状修正を高精度に行うため、砥石車Tのドレッシング開始前には必ず実行される。
【0036】
この測定プログラムが実行されると、上記測定制御部17はY軸モータ16に対して駆動信号を送出し、ワークテーブル2をテーブル原点に設定させると共に、メモリ内に格納されている測定ポイントSの座標を読み出し、これを測定移動量としてX軸モータ14及びU軸モータ15に指令する(ST1)。仮に、砥石台4による砥石車Tの送り量に誤差が存在しないのであれば、これによって砥石車Tは正確にプログラム原点から測定ポイントに設定される筈である。次に、測定制御部17はX軸センサ12の測定値をチェックし、砥石車TがX軸方向に関して測定ポイントからどの程度変位しているかを計測し(ST2)、その値をX軸方向の位置ずれ量としてメモリに格納する(ST3)。また、測定制御部は計測した位置ずれ量が所定値よりも大きいか否かをチェックし(ST4)、大きいと判断される場合には、機械そのものの故障、制御系の異常が考えられるため、液晶パネル等のユーザインターフェースを通じてエラー表示を行い(ST5)、測定プログラムを終了する。一方、計測したX軸方向の位置ずれ量が所定値以内に収まっていると判断されるのであれば、次に、測定制御部17はU軸センサ11の測定値をチェックし、砥石車TがU軸方向に関して測定ポイントからどの程度変位しているかを計測し(ST6)、その値をU軸方向の位置ずれ量としてメモリに格納する(ST7)。また、測定制御部は計測した位置ずれ量が所定値よりも大きいか否かをチェックし(ST8)、大きいと判断される場合には、やはり機械そのものの故障、制御系の異常が考えられるため、液晶パネル等のユーザインターフェースを通じてエラー表示を行い(ST5)、測定プログラムを終了する。
【0037】
そして、計測したU軸方向の位置ずれ量が所定値以内に収まっていると判断されるのであれば、次に、ワーク加工の際にU軸モータ14及びX軸モータ15に指令する加工移動量に対して計測したX軸方向及びU軸方向の位置ずれ量を加算し、かかる加工移動量の補正を行う(ST10)。ここで、加算する位置ずれ量には正負の符号が含められている。また、既に測定プログラムが実施され、初期の加工移動量が前回の測定プログラムで補正されているのであれば、測定制御部17は前回の測定プログラムの際に計測してメモリ内に格納している位置ずれ量を読み出して、これをワーク加工に用いている加工移動量から減算し、この後に今回の測定プログラムで計測した位置ずれ量を加算して、かかる加工移動量の補正をを行う。また、ST9〜10では、同様にして、砥石車Tをプログラム原点Oからドレッシング位置Dに設定する際に使用するドレス移動量も補正する。ここまでで、測定プログラムは終了する。
【0038】
これにより、測定プログラム実行後のワーク加工では、砥石台4に存在する送り量誤差分だけU−X平面の座標が変更されたことになり、補正後の加工移動量及びドレス移動量を用いて砥石車Tを移動設定すれば、かかる砥石車TをワークWの加工位置及びドレッシング位置Dに対して高精度に位置決めすることが可能となる。特に、本実施例では、測定ポイントSに対してY軸方向に重なっているドレッシング位置Dに対し、正確に砥石車Tを設定することができるようになるので、ロータリドレッサー7を道いた砥石車Tの形状修正を高精度に行うことができ、ワークWの加工精度を向上させることができるものである。また、砥石車Tをドレッシング位置Dに対して正確に位置決めすることができるので、ダイヤモンドホイール9に対する砥石車Tの切り込み量を微少量に抑えながらも、かかる砥石車Tの形状修正を的確に行うことが可能となり、砥石寿命が延命化する分、高価なCBNホイールを導入し、生産効率の向上をも図ることが可能となる。
【0039】
更に、このような測定プログラムは、従来の研削盤に対して変位量センサを備えた測定ポイントOを設けるのみで容易に実施することが可能であり、従来の定寸装置のように大がかりな装置を必要とせず、低コストでワークの加工精度を向上させることができるといったメリットもある。また、定寸装置を用いてマスターピースと加工後のワークとを比較する必要もないので、ワークの加工を短時間で終了することができ、この点においても生産効率を高めることが可能である。
【0040】
次に、図9は測定プログラムの他の系を示すフローチャートである。この測定プログラムも開始されるトリガーに関しては図8に示す測定プログラムと同一である。この測定プログラムが実行されると、上記測定制御部17はY軸モータ16に対して駆動信号を送出し、ワークテーブル2をテーブル原点に設定させると共に、メモリ内に格納されている測定ポイントSの座標を読み出し、これを測定移動量としてX軸モータ14及びU軸モータ15に指令する(ST11)。また、指令した初期移動量、すなわち測定ポイントSの座標として格納されているU軸及びX軸の座標を測定位置座標Cとしてメモリに格納しておく(ST12)。やはり、砥石台4による砥石車Tの送り量に誤差が存在しないのであれば、これによって砥石車Tは正確にプログラム原点から測定ポイントに設定される筈である。
【0041】
次に、測定制御部17はX軸センサ12の測定値をチェックし、砥石車TがX軸方向に関して測定ポイントからどの程度変位しているかを計測し(ST13)、その値をX軸方向の位置ずれ量としてメモリに格納する(ST14)。また、測定制御部は計測した位置ずれ量が所定値よりも大きいか否かをチェックし(ST15)、大きいと判断される場合(例えば、0.05mm以上)には、機械そのものの故障、制御系の異常が考えられるため、液晶パネル等のユーザインターフェースを通じてエラー表示を行い(ST16)、測定プログラムを終了する。一方、計測したX軸方向の位置ずれ量が所定値以内に収まっていると判断されるのであれば、次に、測定制御部17はU軸センサ11の測定値をチェックし、砥石車TがU軸方向に関して測定ポイントからどの程度変位しているかを計測し(ST17)、その値をU軸方向の位置ずれ量としてメモリに格納する(ST18)。また、測定制御部17は計測した位置ずれ量が所定値よりも大きいか否かをチェックし(ST19)、大きいと判断される場合には、やはり機械そのものの故障、制御系の異常が考えられるため、液晶パネル等のユーザインターフェースを通じてエラー表示を行い(ST16)、測定プログラムを終了する。このST13〜19までの手順は図8に示した測定プログラムのST2〜8までの手順と同一である。
【0042】
そして、計測したU軸方向の位置ずれ量が所定値以内に収まっていると判断されるのであれば、次に、計測した砥石車TのU軸方向及びX軸方向の位置ずれ量が共に所定値(例えば、2μm)以下か否かをチェックする(ST20)。ここでの所定値とは機械的な構成上から排除しきれない程度に微細な位置ずれ量をいう。そして、所定値よりも大きいと判断される場合には、計測した位置ずれ量を用いてST11で指令した測定移動量を補正した後(ST21)、補正した測定移動量を用いてU軸モータ14及びX軸モータ15に駆動信号を送出し、砥石車Tをプログラム原点から測定ポイントへ再設定する。次に、ST13〜19までと全く同様にして、測定ポイントにおいて砥石車TのX軸方向及びU軸方向の位置ずれ量を計測する。計測が終了したならば、かかる計測によって得られた位置ずれ量が共に所定値以下か否かをチェックし(ST20)、所定値以下であると判断される場合には、ST21で使用した補正後の測定移動量から最後に計測を行った際の砥石車Tの測定位置座標dを算出し、これをメモリに格納する(ST22)。また、ST20でU軸位置ずれ量又はX軸位置ずれ量のいずれか一方でも所定値内に収まらなかった場合には、再度ST21へ進み、前回の計測の際に用いた測定移動量(既に1回は補正されている)を再補正した後、ST13〜19を繰り返す。
【0043】
測定位置座標dを記録したならば、ST12において格納しておいた最初の測定位置座標cを読み出し、座標cと座標dの差をU軸方向及びX軸方向について計算する(ST23)。この差は、最初の測定移動量によって砥石車Tが設定された測定座標cと測定ポイントSとの位置ずれ量に相当する。従って、次のST24では、数値制御部13のメモリから読み出されたワーク加工時の加工移動量をST23で計算された位置ずれ量を用いて補正し、更に、ST25では、砥石車をプログラム原点からドレッシング位置に設定する際に使用するドレス移動量をも上記位置ずれ量で補正する。これにより、測定プログラムは終了し、これ以降は補正された新たな加工移動量を使用してワークの研削加工が行われ、また、補正された新たなドレス移動量を使用して砥石車のドレッシングが行われる。
【0044】
そして、この図9に示す測定プログラムでは、U軸センサ及びX軸センサによって計測した位置ずれ量を用いて測定移動量を補正し、再度砥石車を測定ポイントに再設定することにより、補正が砥石台による砥石車の送りに対して正確に反映されるか否かを確認することができるので、図8の測定プログラムに比較し、砥石車TをワークWの加工位置及びドレッシング位置Dに対して更に高精度に位置決めすることが可能となり、その分だけワークの加工を高精度に行うことができるものである。
【0045】
【発明の効果】
以上説明してきたように、本発明の加工誤差補正方法によれば、環境温度の変動によって砥石台の送り量が変動したり、かかる砥石台を支えるコラムの膨張又は収縮する等しても、その影響を排除することができ、定寸装置によるマスターとの比較を行わずとも、高精度にワークを加工することが可能となり、生産効率を高めることが可能となる。
【0046】
また、本発明方法を研削盤に適用し、ツールをプログラム原点からドレッシング位置へ設定するために使用するドレス移動量を上記位置ずれ量で補正するように構成すれば、環境温度の変動によって砥石台の送り量が変動する等しても、ドレッサーによって砥石形状の修正を行う際に、このドレッサーに対するツールの実際の送り量の変動を排除し、砥石をドレッサーに対して正確に位置決めすることが可能となるので、砥石の形状修正を高精度に行うことができ、ひいてはワークを高精度に加工することが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明方法を適用した研削盤の実施例を示す側面図である。
【図2】 実施例に係る研削盤で加工される直線案内装置の例を示すものである。
【図3】 直線案内装置の摺動ブロックを総型砥石で研削加工する際の様子を示す断面図である。
【図4】 変位量センサが取り付けられたセンサベースを示す正面図である。
【図5】 図4のA部拡大図である。
【図6】 U−X−Y空間内におけるプログラム原点、測定ポイント、ドレッシング位置の位置関係を示す図である。
【図7】 実施例の研削盤における砥石台及びワークテーブルの制御系を示すブロック図である。
【図8】 測定プログラムの一例を示すフローチャートである。
【図9】 測定プログラムの他の例を示すフローチャートである。
【図10】 定寸装置を備えた従来の研削盤を示す側面図である。
【符号の説明】
1…ベース、2…ワークテーブル、3…コラム、4…砥石台(ツール移動手 段)、5…スピンドル、6…ワーク固定台、7…ドレッサー、11…U軸センサ、12…X軸センサ、13…数値制御部、17…測定制御部

Claims (2)

  1. 加工対象物であるワークが固定されると共に一軸方向へ移動可能なワークテーブルと、このワークテーブルの移動方向と直交する平面内においてツールである砥石をワークに対する加工位置へ設定するツール移動手段と、前記ワークテーブルに搭載されて前記砥石の形状を修正するドレッサーと、前記ワーク及びドレッサーに対するツールの移動量がプログラム入力されると共に該ツール移動手段の駆動信号を生成する数値制御部とを備え、
    前記砥石の移動平面内で且つ前記ワークテーブルの移動方向に関して前記ドレッサーによる砥石のドレッシング位置と重なる位置には、プログラム原点とは別個に測定ポイントを設ける一方、所定のタイミング毎に砥石をプログラム原点から前記測定ポイントへ移動設定させるよう前記ツール移動手段に対して指令する測定制御部を設け、
    前記測定制御部は、測定ポイントに移動設定された筈のツールと測定ポイントとの位置ずれ量を変位量センサによって計測し、かかる位置ずれ量を用いて前記数値制御部に設定されている加工移動量及び前記砥石をドレッシング位置に設定するためのドレス移動量を補正することを特徴とする数値制御工作機械。
  2. 前記変位量センサは、前記砥石の移動平面を構成する2軸方向に関して該砥石の位置ずれ量を計測する一対の近接センサから構成され、一方の変位量センサは砥石の回転軸の先端に対向する一方、他方の変位量センサは砥石の回転軸の周面と対向していることを特徴とする請求項1記載の数値制御工作機械。
JP2002127193A 2002-04-26 2002-04-26 数値制御工作機械における加工誤差補正方法及びこれを用いた研削盤 Expired - Lifetime JP3910482B2 (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002127193A JP3910482B2 (ja) 2002-04-26 2002-04-26 数値制御工作機械における加工誤差補正方法及びこれを用いた研削盤
DE10314199.5A DE10314199B4 (de) 2002-04-26 2003-03-28 Numerisch gesteuerte Schleifmaschine
US10/405,813 US6732009B2 (en) 2002-04-26 2003-04-03 Machining error correction method adapted for numerically controlled machine tool and grinding machine using the same
KR1020030026239A KR100976899B1 (ko) 2002-04-26 2003-04-25 수치 제어 공작 기계에 있어서의 가공 오차 보정 방법 및이를 이용한 연삭반

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2002127193A JP3910482B2 (ja) 2002-04-26 2002-04-26 数値制御工作機械における加工誤差補正方法及びこれを用いた研削盤

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2003311585A JP2003311585A (ja) 2003-11-05
JP3910482B2 true JP3910482B2 (ja) 2007-04-25

Family

ID=29208171

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2002127193A Expired - Lifetime JP3910482B2 (ja) 2002-04-26 2002-04-26 数値制御工作機械における加工誤差補正方法及びこれを用いた研削盤

Country Status (4)

Country Link
US (1) US6732009B2 (ja)
JP (1) JP3910482B2 (ja)
KR (1) KR100976899B1 (ja)
DE (1) DE10314199B4 (ja)

Families Citing this family (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005246499A (ja) * 2004-03-01 2005-09-15 Toyoda Mach Works Ltd ツルーイング方法及び装置
US7784183B2 (en) * 2005-06-09 2010-08-31 General Electric Company System and method for adjusting performance of manufacturing operations or steps
JP4235210B2 (ja) * 2006-02-16 2009-03-11 ファナック株式会社 サーボモータの制御装置
JP5372320B2 (ja) * 2006-08-04 2013-12-18 シチズンホールディングス株式会社 ワーク加工機の制御プログラム及びこの制御プログラムを実行するワーク加工機の制御装置
US20090069926A1 (en) * 2007-09-11 2009-03-12 Awea Mechantronic Co., Ltd. CNC apparatus with mechanism for controlling length variation of lead screw due to thermal expansion and method therefor
KR200449315Y1 (ko) * 2008-10-15 2010-06-30 왕-링 황 부품 가공기의 측량보상장치
US9063533B2 (en) * 2009-03-27 2015-06-23 Mitsubishi Electric Corporation Multi-spindle translation control for multiple coordinate systems
TW201201951A (en) * 2010-07-09 2012-01-16 Hon Hai Prec Ind Co Ltd Ultra-precision machining system and machining method
JP5962242B2 (ja) * 2012-06-15 2016-08-03 日本精工株式会社 研削加工装置
US9235206B2 (en) * 2013-10-02 2016-01-12 Beneficial Photonics, Inc. Apparatus for finding a machine tool origin
DE102015100374A1 (de) 2015-01-13 2016-07-14 Klingelnberg Ag Verfahren zum Kompensieren von temperaturbedingten Abweichungen in einer Schleifmaschine und entsprechend ausgestattete Schleifmaschine
DE102015012603A1 (de) * 2015-09-28 2017-03-30 Liebherr-Verzahntechnik Gmbh Verfahren zum Entgraten eines Zahnradrohlings
KR102583003B1 (ko) 2016-05-24 2023-09-27 주식회사 디엔솔루션즈 머시닝 센터
CN109597352B (zh) * 2017-09-30 2022-07-08 西门子公司 数控机床及其控制系统与方法
CN109521729B (zh) * 2018-11-14 2020-05-29 内蒙古工业大学 一种三轴数控机床可补偿及不可补偿几何误差分离方法
KR102129865B1 (ko) * 2019-06-25 2020-08-05 주식회사 인성이엔지 금형 연마 장치
CN112099437B (zh) * 2020-09-07 2023-10-10 西京学院 一种数控机床误差补偿周期测算系统和方法
CN115365829A (zh) * 2022-08-15 2022-11-22 北京航天时代激光导航技术有限责任公司 激光陀螺槽片浅槽自动加工生产线、精度保证方法及系统

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5338876A (en) 1976-09-21 1978-04-10 Okamoto Kougiyou Kikai Seisaku Position correction method and apparatus for numerical control machine
US5871391A (en) * 1980-03-27 1999-02-16 Sensor Adaptive Machine Inc. Apparatus for determining dimensions
US4382215A (en) * 1981-07-16 1983-05-03 General Electric Company System and method of precision machining
JPS6033006A (ja) 1983-08-02 1985-02-20 Toyoda Mach Works Ltd 円筒型砥石車のツル−イング装置
JPS6085867A (ja) 1983-10-17 1985-05-15 Mitsubishi Heavy Ind Ltd Nc研削盤の熱変位補正方法
JPH01240259A (ja) * 1988-03-22 1989-09-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd 数値制御加工機
JPH02205476A (ja) 1989-02-01 1990-08-15 Hitachi Seiko Ltd 成形研削盤
EP0443552A3 (en) * 1990-02-21 1992-07-29 Toyoda Koki Kabushiki Kaisha Numerical controller
US5297055A (en) * 1990-04-20 1994-03-22 The Gleason Works Multi-functional measurement system
CH684250A5 (de) * 1991-10-17 1994-08-15 Kellenberger & Co Ag L Verfahren zur numerisch steuerbaren Bearbeitung eines Werkstückes an einer Schleifmaschine.
JPH06114731A (ja) 1992-09-30 1994-04-26 Toyoda Mach Works Ltd 砥石修正装置
JP3327655B2 (ja) 1993-12-27 2002-09-24 ブラザー工業株式会社 Nc工作機械の変位補正装置
JPH10217068A (ja) 1997-01-30 1998-08-18 Shinetsu Quartz Prod Co Ltd ワーク加工機における熱変位補正装置
US6385502B1 (en) * 1998-03-31 2002-05-07 Ntn Corporation Race groove machining system and method therefor
JP2000218469A (ja) 1999-02-02 2000-08-08 Yaskawa Electric Corp ボールねじの熱変位補正方法およびその工作機械

Also Published As

Publication number Publication date
KR100976899B1 (ko) 2010-08-18
DE10314199A1 (de) 2003-11-06
JP2003311585A (ja) 2003-11-05
KR20030084749A (ko) 2003-11-01
US20030204287A1 (en) 2003-10-30
US6732009B2 (en) 2004-05-04
DE10314199B4 (de) 2019-02-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3910482B2 (ja) 数値制御工作機械における加工誤差補正方法及びこれを用いた研削盤
CN100506480C (zh) 带有同心度修正的研磨机
JP4051872B2 (ja) 加工部の測定方法及び加工方法
JP5962242B2 (ja) 研削加工装置
US7850406B2 (en) Method for setting working origin and machine tool for implementing the same
CN113518690B (zh) 切削装置以及接触位置确定程序
JPS6033006A (ja) 円筒型砥石車のツル−イング装置
JPH1158179A (ja) 工作機械の熱変位補正方法および装置
JP2000198047A (ja) 工作機械
KR20170094248A (ko) 중심 공작물 영역을 지지 및 측정하기 위한 측정 스테디 레스트, 이 측정 스테디 레스트를 갖는 연삭기, 및 중심 공작물 영역을 지지 및 측정하기 위한 방법
JPH0253557A (ja) 非球面形状物体の加工方法及び加工装置
JP2009214217A (ja) 砥石先端位置補正方法及び装置
JP6803043B2 (ja) 工作機械の幾何誤差測定方法
JP6168396B2 (ja) 工作機械
JP2013255982A (ja) 工作機械とその熱変形の補正方法
JP6675548B2 (ja) Nc研削装置及びワークの研削方法
JP2003039282A (ja) 自由曲面加工装置および自由曲面加工方法
JP2002052444A (ja) 平面研削装置およびワ−クの研削方法
JP5846400B2 (ja) 工作機械とその熱変形の補正方法
JP2021091091A (ja) 切削装置
JP4545501B2 (ja) 工具芯出し方法および工具測定方法
WO1994004310A1 (en) Clamp method for preventing deformation of workpiece
JPH0852640A (ja) インプロセス形状測定兼用力制御型加工装置。
JP2003236748A (ja) 研削装置
US20230302595A1 (en) Turning method, machining system, and non-transitory computer readable storage medium

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20050422

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20060712

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20060725

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20060921

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20061024

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20061222

A911 Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20070105

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20070123

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20070124

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 3910482

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100202

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110202

Year of fee payment: 4

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120202

Year of fee payment: 5

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120202

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130202

Year of fee payment: 6

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140202

Year of fee payment: 7

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

EXPY Cancellation because of completion of term