JPH01240259A - 数値制御加工機 - Google Patents
数値制御加工機Info
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- JPH01240259A JPH01240259A JP63068552A JP6855288A JPH01240259A JP H01240259 A JPH01240259 A JP H01240259A JP 63068552 A JP63068552 A JP 63068552A JP 6855288 A JP6855288 A JP 6855288A JP H01240259 A JPH01240259 A JP H01240259A
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- JP
- Japan
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- axis direction
- amount
- workpiece
- axis
- rotary tool
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q15/00—Automatic control or regulation of feed movement, cutting velocity or position of tool or work
- B23Q15/007—Automatic control or regulation of feed movement, cutting velocity or position of tool or work while the tool acts upon the workpiece
- B23Q15/12—Adaptive control, i.e. adjusting itself to have a performance which is optimum according to a preassigned criterion
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Numerical Control (AREA)
- Automatic Control Of Machine Tools (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明はレンズ素材などのワークとこのワーりを加工す
る砥石などの回転工具との相対送り量を数値制御する数
値制御加工機に関するものである。
る砥石などの回転工具との相対送り量を数値制御する数
値制御加工機に関するものである。
従来の技術
レンズ素材などのワークを保持するテーブルとこのワー
クを研削する砥石を保持するテーブルとをＸ−Ｚ軸方向
において移動させる場合、テーブル七このテーブルを案
内支持する案内支持機構との間の機械的誤差によって各
テーブルにヨーイング及び横振れが生じるため、各テー
ブルの送り量のみによって精密な制御を行うことは困難
である。
クを研削する砥石を保持するテーブルとをＸ−Ｚ軸方向
において移動させる場合、テーブル七このテーブルを案
内支持する案内支持機構との間の機械的誤差によって各
テーブルにヨーイング及び横振れが生じるため、各テー
ブルの送り量のみによって精密な制御を行うことは困難
である。
このようなヨーイングや横振れを是正して精密な制御を
行うものとして、昭和６２年度精密工学会秋季大会学術
講演会論文集掲載の「超精密長尺直線運動機構」 （同
誌第５８３〜第５８４頁記載）が知られている。この従
来例は、第７図に示すように、ワーク又は砥石を保持す
るテーブルａと、このテーブルａを送り方向に案内支持
する左右１対のガイドレールｂ、ｂとの間に、テーブル
ａの送り方向に対する偏位量を計測する偏位量計測手段
Ｃを配設する一方、前記偏位量に応じて前記テーブルａ
のヨーイング及び横振れを補正するアクチュエータｄを
前後左右に４箇所配設している。
行うものとして、昭和６２年度精密工学会秋季大会学術
講演会論文集掲載の「超精密長尺直線運動機構」 （同
誌第５８３〜第５８４頁記載）が知られている。この従
来例は、第７図に示すように、ワーク又は砥石を保持す
るテーブルａと、このテーブルａを送り方向に案内支持
する左右１対のガイドレールｂ、ｂとの間に、テーブル
ａの送り方向に対する偏位量を計測する偏位量計測手段
Ｃを配設する一方、前記偏位量に応じて前記テーブルａ
のヨーイング及び横振れを補正するアクチュエータｄを
前後左右に４箇所配設している。
発明が解決しようとする課題
しかし上記従来例ではヨーイングや横振れ自体を是正す
る構成となっているため、テーブルを送り方向に移動さ
せる駆動手段の他にアクチュエータが必要となって装置
全体のコストアンプを招くという問題がある。
る構成となっているため、テーブルを送り方向に移動さ
せる駆動手段の他にアクチュエータが必要となって装置
全体のコストアンプを招くという問題がある。
本発明は上記問題点に鑑み、ヨーイング及び横振れ自体
の是正を行わず、ヨーイングや横振れによって生じる回
転工具、ワーク間の誤差量に応してテーブルの送り量を
精密に制御し、所望の加工形状が精密に得られる数値制
御加工機を提供することを目的上する。
の是正を行わず、ヨーイングや横振れによって生じる回
転工具、ワーク間の誤差量に応してテーブルの送り量を
精密に制御し、所望の加工形状が精密に得られる数値制
御加工機を提供することを目的上する。
課題を解決するための手段
上記目的を達成する請求項１の発明は、回転工具を保持
しＺ軸に沿って移動するＸテーブルと、ワークを保持し
Ｚ軸に沿って移動するＸテーブルとを設ける一方、Ｘテ
ーブルのＸ軸方向での送り量を計測する回転工具移動量
計測手段とＸテーブルのＺ軸方向での偏位量を２箇所で
計測する回転工具移動量計測手段とを配設すると共に、
ＸテーブルのＺ軸方向での送り量を計測するワーク移動
量計測手段とＸテーブルのＸ軸方向での偏位量を２箇所
で計測するワーク移動量計測手段とを配設し、且つ回転
工具、ワーク間のズレ量に応じて各テーブルの送り量を
制御する制御手段を設けたことを特徴とする請求 対して、ワークを保持してＸ−Ｚ軸方向に移動するＸ−
Ｘテーブルを設ける一方、このテーブルのＺ軸又はＺ軸
方向での送り量を計測するワーク移動量計測手段と、前
記テーブルのＺ軸又はＸ軸方向での送り量及び偏位量を
２箇所で４測するワーク移動量計測手段とを配設し、且
つワークの回転工具に対するズレ量に応じてテーブルの
各送り量を制御する制御手段を設けたこ一４＝ とを特徴とする。尚、Ｘ−Ｘテーブルに回転工具を保持
させ、ワークを固定してもよい。
しＺ軸に沿って移動するＸテーブルと、ワークを保持し
Ｚ軸に沿って移動するＸテーブルとを設ける一方、Ｘテ
ーブルのＸ軸方向での送り量を計測する回転工具移動量
計測手段とＸテーブルのＺ軸方向での偏位量を２箇所で
計測する回転工具移動量計測手段とを配設すると共に、
ＸテーブルのＺ軸方向での送り量を計測するワーク移動
量計測手段とＸテーブルのＸ軸方向での偏位量を２箇所
で計測するワーク移動量計測手段とを配設し、且つ回転
工具、ワーク間のズレ量に応じて各テーブルの送り量を
制御する制御手段を設けたことを特徴とする請求 対して、ワークを保持してＸ−Ｚ軸方向に移動するＸ−
Ｘテーブルを設ける一方、このテーブルのＺ軸又はＺ軸
方向での送り量を計測するワーク移動量計測手段と、前
記テーブルのＺ軸又はＸ軸方向での送り量及び偏位量を
２箇所で４測するワーク移動量計測手段とを配設し、且
つワークの回転工具に対するズレ量に応じてテーブルの
各送り量を制御する制御手段を設けたこ一４＝ とを特徴とする。尚、Ｘ−Ｘテーブルに回転工具を保持
させ、ワークを固定してもよい。
作用
請求項１の発明によれば、ＸテーブルのＸ軸方向での送
り量とＺ軸方向での偏位量とを計測することができると
共に、ＸテーブルのＺ軸方向での送り量とＸ軸方向での
偏位量とを計測することができる。このように各テーブ
ルはＺ軸又はＺ軸方向での１箇所とＺ軸又はＸ軸方向で
の２箇所とで都合３箇所計測されるので、各テーブルの
位置とヨーイング姿勢とを特定することができる。
り量とＺ軸方向での偏位量とを計測することができると
共に、ＸテーブルのＺ軸方向での送り量とＸ軸方向での
偏位量とを計測することができる。このように各テーブ
ルはＺ軸又はＺ軸方向での１箇所とＺ軸又はＸ軸方向で
の２箇所とで都合３箇所計測されるので、各テーブルの
位置とヨーイング姿勢とを特定することができる。
従ってヨーイングや横振れによって生じる回転工具、ワ
ーク間のズレ量を各テーブルの送り量に加味することに
より、ヨーイングや横振れ自体を是正することなく回転
工具とワークとを所望の相対位置関係で精密に接触させ
ることができる。
ーク間のズレ量を各テーブルの送り量に加味することに
より、ヨーイングや横振れ自体を是正することなく回転
工具とワークとを所望の相対位置関係で精密に接触させ
ることができる。
請求項２の発明によれば、Ｘ−ＸテーブルのＺ軸又はＺ
軸方向での送り量とＺ軸又はＸ軸方向での送り量及び偏
位量とを計測することにより、テーブルの位置とヨーイ
ング姿勢とを特定することができる。一方、回転工具は
固定されている。
軸方向での送り量とＺ軸又はＸ軸方向での送り量及び偏
位量とを計測することにより、テーブルの位置とヨーイ
ング姿勢とを特定することができる。一方、回転工具は
固定されている。
従ってヨーイングによって生しるワークの回転工具に対
するＸ−Ｚ軸方向でのズレ量をテーブルのＸ−Ｚ軸方向
の送り量に加味することにより、ヨーイングや横振れ自
体を是正することなくワークを回転工具に対して所望の
相対位置関係で精密に接触さセることかできる。尚、請
求項３の発明によっても同様の作用を営むことができる
。
するＸ−Ｚ軸方向でのズレ量をテーブルのＸ−Ｚ軸方向
の送り量に加味することにより、ヨーイングや横振れ自
体を是正することなくワークを回転工具に対して所望の
相対位置関係で精密に接触さセることかできる。尚、請
求項３の発明によっても同様の作用を営むことができる
。
実施例
本発明の第１実施例を、第１図ないし第３図に基き説明
する。
する。
砥石ａを保持するＸテーブル１をＸガイド２によってＸ
軸方向に移動可能に案内支持させると共に、レンズ素材
としてのワークｂを保持するＸテーブル３をＸガイド４
によってＺ軸方向に移動可能に案内支持させている。テ
ーブル１．３とガイｌ” ２．４との間には各テーブル
１．３を夫々の軸線方向に移動させるリニアモータ５を
配設している。これらリニアモータ５は、後述のマイク
ロコンピュータ２６によって制御されている。Ｘテーブ
ル１には砥石ａを水平面内で回転駆動する砥石スピンド
ル６を設けている。Ｘテーブル３にはワークｂを鉛直面
内で回転させるワークスピントルアを設けている。
軸方向に移動可能に案内支持させると共に、レンズ素材
としてのワークｂを保持するＸテーブル３をＸガイド４
によってＺ軸方向に移動可能に案内支持させている。テ
ーブル１．３とガイｌ” ２．４との間には各テーブル
１．３を夫々の軸線方向に移動させるリニアモータ５を
配設している。これらリニアモータ５は、後述のマイク
ロコンピュータ２６によって制御されている。Ｘテーブ
ル１には砥石ａを水平面内で回転駆動する砥石スピンド
ル６を設けている。Ｘテーブル３にはワークｂを鉛直面
内で回転させるワークスピントルアを設けている。
Ｘガイド２の近傍にレーザ発信器８を設げ、Ｘテーブル
１のＸ軸方向の一側にＺ軸と直交するＸ軸ミラー９を、
Ｘテーブル１のＺ軸方向の一側にＺ軸と直交するＺ軸ミ
ラー１０を夫々配設している。これらミラー９．１０は
前記レーザ発信器８からのレーザ光を、対向配置された
干渉計１１．１２．１３に反射する。Ｚ軸ミラー１０は
、第２図に示すように、Ｚ軸を中心としてＸ軸方向に所
定距離！離れた２つの干渉計１２．１３にレーザ光を反
射する。各干渉計１１．１２．１３には、夫々の干渉計
１１．１２．１３内の基準光と前記反射レーザ光との干
渉からミラー９．１０と干渉計１１、１２．１３との間
の各距＃ｘｏ、 Ｚｌ、２２（第２図）を検出する検出
器１４．１５．１６を付設している。
１のＸ軸方向の一側にＺ軸と直交するＸ軸ミラー９を、
Ｘテーブル１のＺ軸方向の一側にＺ軸と直交するＺ軸ミ
ラー１０を夫々配設している。これらミラー９．１０は
前記レーザ発信器８からのレーザ光を、対向配置された
干渉計１１．１２．１３に反射する。Ｚ軸ミラー１０は
、第２図に示すように、Ｚ軸を中心としてＸ軸方向に所
定距離！離れた２つの干渉計１２．１３にレーザ光を反
射する。各干渉計１１．１２．１３には、夫々の干渉計
１１．１２．１３内の基準光と前記反射レーザ光との干
渉からミラー９．１０と干渉計１１、１２．１３との間
の各距＃ｘｏ、 Ｚｌ、２２（第２図）を検出する検出
器１４．１５．１６を付設している。
Ｘガイド４の近傍にもレーザ発信器１７を設け、Ｘテー
ブル３のＺ軸方向の一側にＺ軸と直交するＺ軸ミラー１
８を、Ｘテーブル３のＸ軸方向の一例にＺ軸と直交する
Ｘ軸ミラー１９を夫々配設している。これらミラー１８
．１９は前記レーザ発信器１７からのレーザ光を、対向
配置された干渉計２０．２１．２２に反則する。Ｘ軸ミ
ラー１９ば、Ｚ軸から所定距離ｎ離れた位置を中心にＺ
軸方向に所定距離！離れた２つの干渉計２１．２２にレ
ーザ光を反射する。各干渉計２０．２１．２２には、夫
々の干渉計２０．２１．２２内の基準光と前記反射レー
ザ光との干渉からミラー１８．１９と干渉計２０．２１
．２２との間の各距離Ｚ。、 Ｘ、、×２（第２図）を
検出する検出器２３．２４．２５を付設している。
ブル３のＺ軸方向の一側にＺ軸と直交するＺ軸ミラー１
８を、Ｘテーブル３のＸ軸方向の一例にＺ軸と直交する
Ｘ軸ミラー１９を夫々配設している。これらミラー１８
．１９は前記レーザ発信器１７からのレーザ光を、対向
配置された干渉計２０．２１．２２に反則する。Ｘ軸ミ
ラー１９ば、Ｚ軸から所定距離ｎ離れた位置を中心にＺ
軸方向に所定距離！離れた２つの干渉計２１．２２にレ
ーザ光を反射する。各干渉計２０．２１．２２には、夫
々の干渉計２０．２１．２２内の基準光と前記反射レー
ザ光との干渉からミラー１８．１９と干渉計２０．２１
．２２との間の各距離Ｚ。、 Ｘ、、×２（第２図）を
検出する検出器２３．２４．２５を付設している。
これらレーザ発信器８．１７と、ミラー９．１０．１８
．１９、干渉計１１．１２．１３．２０．２１．２２、
検出器１４．１５．１６．２３．２４．２５によって構
成されるレーザ測長システム２６により、第３図に示す
ように、Ｘテーブル１の送り量ΔＸ及びＸテーブル３の
送り量ΔＺが夫々測定される。そして制御装置２７が、
予めオフラインで計算しておいた送り量ΔＸｄ、ΔＺｄ
と、後述するテーブル１．３のヨーイングや横振れの補
正量が加味された送り量ΔＸ゛、△Ｚ゛に各テーブル１
．３を追従させるようにリニアモータ５を制御する。
．１９、干渉計１１．１２．１３．２０．２１．２２、
検出器１４．１５．１６．２３．２４．２５によって構
成されるレーザ測長システム２６により、第３図に示す
ように、Ｘテーブル１の送り量ΔＸ及びＸテーブル３の
送り量ΔＺが夫々測定される。そして制御装置２７が、
予めオフラインで計算しておいた送り量ΔＸｄ、ΔＺｄ
と、後述するテーブル１．３のヨーイングや横振れの補
正量が加味された送り量ΔＸ゛、△Ｚ゛に各テーブル１
．３を追従させるようにリニアモータ５を制御する。
次にヨーイング、横振れ補正量について説明する。第２
図において、ワークｂを保持するＸテーブル３のみが、 ｅ ＋、 −Ｃｅｔｘ−、ｅＬ２ｓ ｅｔｅ） ”ずれ
たとする。このとき、正常な加工状態を維持するために
砥石ａとワークｂとの所定の位置での接触を保持しよう
とすると、砥石ａの中心位置はＸテーブル３にヨーイン
グや横振れのない理想位置から、 ｅ９−［ｅ９Ｘ、、ｅ９ｚ、、ｅ９θ〕１ずらさなけれ
ばならない。一方、レーザ測長システム２Ｇによって計
測されるズレ量を、ｅ ｍ−Ｃｅｘ＋、 ｅｘ２−、
ｅｚｏ） ”とする。 ｅ、は通常微小量であるので
、ｅ ｇ−Ｊ ｇｍＸ ｅ ＩＩ’−’−’−’−’−
’−’−’−−−−−’−’−■という関係式が成り立
つ。但し、Ｊｇ。はヤコビ行列で、添字のＺはこれがＺ
軸に関するものであることを示し、ｇ、ｍはこれがｅ□
からｅｇへの変換であることを示す。０式は、Ｘテーブ
ル３を３点で計測することにより、砥石ａとワークｂと
が所定の接触を保つための砥石ａのあるべき中心位置を
特定できることを示している。
図において、ワークｂを保持するＸテーブル３のみが、 ｅ ＋、 −Ｃｅｔｘ−、ｅＬ２ｓ ｅｔｅ） ”ずれ
たとする。このとき、正常な加工状態を維持するために
砥石ａとワークｂとの所定の位置での接触を保持しよう
とすると、砥石ａの中心位置はＸテーブル３にヨーイン
グや横振れのない理想位置から、 ｅ９−［ｅ９Ｘ、、ｅ９ｚ、、ｅ９θ〕１ずらさなけれ
ばならない。一方、レーザ測長システム２Ｇによって計
測されるズレ量を、ｅ ｍ−Ｃｅｘ＋、 ｅｘ２−、
ｅｚｏ） ”とする。 ｅ、は通常微小量であるので
、ｅ ｇ−Ｊ ｇｍＸ ｅ ＩＩ’−’−’−’−’−
’−’−’−−−−−’−’−■という関係式が成り立
つ。但し、Ｊｇ。はヤコビ行列で、添字のＺはこれがＺ
軸に関するものであることを示し、ｇ、ｍはこれがｅ□
からｅｇへの変換であることを示す。０式は、Ｘテーブ
ル３を３点で計測することにより、砥石ａとワークｂと
が所定の接触を保つための砥石ａのあるべき中心位置を
特定できることを示している。
ヤコビ行列Ｊ９□は、
という関係が成り立ち、Ｊ９ｔ、Ｊ、、ｔは幾何学的に
容易に求められる。第２図に示す例ではとなる。
容易に求められる。第２図に示す例ではとなる。
■、０式より、
上
ｅ ９ｘ−２Ｘ （ｅ ｘＩ十ｅ Ｘ２）ｅ ｇ ｏ−
１−’−’−−−−−−−’−’−−−−−’−”−−
−−−’−’−”−−−−−■となる。この場合、砥石
ａが円形でその回転誤差はワークｂの加工形状に何ら影
響を与えないので、０式は無視できる。又０式のｅｚｌ
ｌは、制御系が閉ループであるので自動的に補正される
。従って、 ΔＸ゛−ΔＸｄ＋ ２ Ｘ （ｅ ＸＩ ＋ ｅ Ｘ２
）十丁Ｘ（ｅ、、 −ｅｘ□＞ −−−−−−−−−−
−−−■ハ ΔＺ゛−Δｚａ −ｐ、 ｘ ＜ ｅ ＸＩ −ｅ Ｘ
２ ） −−−−−−−−−−−−−（ｆＤを新たな指
令値とすることにより、Ｘテーブル３のヨーインク及び
横振れの加工に対する影響を完全に除去することができ
る。
１−’−’−−−−−−−’−’−−−−−’−”−−
−−−’−’−”−−−−−■となる。この場合、砥石
ａが円形でその回転誤差はワークｂの加工形状に何ら影
響を与えないので、０式は無視できる。又０式のｅｚｌ
ｌは、制御系が閉ループであるので自動的に補正される
。従って、 ΔＸ゛−ΔＸｄ＋ ２ Ｘ （ｅ ＸＩ ＋ ｅ Ｘ２
）十丁Ｘ（ｅ、、 −ｅｘ□＞ −−−−−−−−−−
−−−■ハ ΔＺ゛−Δｚａ −ｐ、 ｘ ＜ ｅ ＸＩ −ｅ Ｘ
２ ） −−−−−−−−−−−−−（ｆＤを新たな指
令値とすることにより、Ｘテーブル３のヨーインク及び
横振れの加工に対する影響を完全に除去することができ
る。
砥石ａを保持するＸテーブル１のみのヨーイングや横振
れについてもＸテーブル３の場合と同様の考え方で新た
な指令値ΔＸ゛、Δ２゛を算出できる。
れについてもＸテーブル３の場合と同様の考え方で新た
な指令値ΔＸ゛、Δ２゛を算出できる。
第２図に示す例では、
ΔＸ１−ΔＸ ｄ−−−−−〜−−−−−−−−−−−
−−−−−−−−−一−−−−−−−−−−−−−−−
−−一＝−−−−−〜−−−−■上 Δｚ’−ΔＺｄ’ｌ Ｘ （ｄｚ＋ ＋ ｄｚｚ）狂 ｐｘ （ｄｚ＋ ｄｚ□）−一−−−−−−−。
−−−−−−−−−一−−−−−−−−−−−−−−−
−−一＝−−−−−〜−−−−■上 Δｚ’−ΔＺｄ’ｌ Ｘ （ｄｚ＋ ＋ ｄｚｚ）狂 ｐｘ （ｄｚ＋ ｄｚ□）−一−−−−−−−。
（但し、ｄＺｌ、ｄ２□はＺｌ、Ｚ２の変化量）なる新
たな指令値により、Ｘテーブル１のヨーインクや横振れ
の加工形状に対する影響を完全に除去することができる
。
たな指令値により、Ｘテーブル１のヨーインクや横振れ
の加工形状に対する影響を完全に除去することができる
。
そして通常はＸテーブル１及びＸテーブル３に同時にヨ
ーイングと横振れとが生しるので、■〜＠の補正量を重
ね合せ、 八Ｘ’−ΔＸｄ＋ ’ｌ Ｘ （ｅ ＸＩ 十ｅ Ｘ２
）十ｆ！、 Ｘ （ｅ ｘ＋ ｅ Ｘ２） −””
”−’−”−■上 ΔＺ゛−ΔＺｄ ２Ｘ （ｄｚ＋＋ｄｚｚ）バ ーＥ ｘ （ｅｘ＋ −ｅｘｚ＋ｄｚ＋ −ｄｚ□）
−＠なるΔＸ′、ΔＺ′を新たな指令値とすればよい
。
ーイングと横振れとが生しるので、■〜＠の補正量を重
ね合せ、 八Ｘ’−ΔＸｄ＋ ’ｌ Ｘ （ｅ ＸＩ 十ｅ Ｘ２
）十ｆ！、 Ｘ （ｅ ｘ＋ ｅ Ｘ２） −””
”−’−”−■上 ΔＺ゛−ΔＺｄ ２Ｘ （ｄｚ＋＋ｄｚｚ）バ ーＥ ｘ （ｅｘ＋ −ｅｘｚ＋ｄｚ＋ −ｄｚ□）
−＠なるΔＸ′、ΔＺ′を新たな指令値とすればよい
。
第４図ないし第６図は、本発明の第２実施例を示してい
る。
る。
ワークｂを保持するＸ−Ｘテーブル３１は上下１対のテ
ーブル３２．３３を備え、Ｘテーブル３２をＸテーブル
３３に対してＸ軸方向に移動可能に案内支持させている
。これらテーブル３２．３３間に図示しないリニアモー
タを配設し、Ｘテーブル３２をＸテーブル３３に対して
Ｘ軸方向に移動させるようにしている。又Ｘテーブル３
３をガイド３４によってＸ軸方向に移動可能に案内支持
させている。３５はＸテーブル３３をＸ軸方向に移動さ
せるリニアモータである。これらリニアモータ３５は、
後述の制御装置４２によって制御されている。又Ｚテー
ブル３２には、ワークｂを鉛直面内で回転させるワーク
スピンドル３６を設けている。
ーブル３２．３３を備え、Ｘテーブル３２をＸテーブル
３３に対してＸ軸方向に移動可能に案内支持させている
。これらテーブル３２．３３間に図示しないリニアモー
タを配設し、Ｘテーブル３２をＸテーブル３３に対して
Ｘ軸方向に移動させるようにしている。又Ｘテーブル３
３をガイド３４によってＸ軸方向に移動可能に案内支持
させている。３５はＸテーブル３３をＸ軸方向に移動さ
せるリニアモータである。これらリニアモータ３５は、
後述の制御装置４２によって制御されている。又Ｚテー
ブル３２には、ワークｂを鉛直面内で回転させるワーク
スピンドル３６を設けている。
一方、ガイド３４の近傍（Ｘ−Ｚ座標の原点）に、前記
ワークｂを切削する砥石ａを水平面内で回転させる砥石
スピンドル３７を立設している。
ワークｂを切削する砥石ａを水平面内で回転させる砥石
スピンドル３７を立設している。
ガイド３４の近傍にレーザ発信器（図示せず）を設ける
と共に、Ｚテーブル３２上にＬ形ミラー３８を設け、こ
のミラー３８の各面がＸ軸又はＺ軸に直交するようにし
ている。そしてＬ形ミラー３８は前記レーザ発信器から
のレーザ光を、第５図に示すように、対向配置された３
つの干渉計３９．４０．４１に反射する。Ｌ形ミラー３
８のＺ軸と直交する面に対向配置された干渉計３９は、
Ｚ軸上に位置している。この干渉計３９には検出器（図
示せず）が付設され、Ｌ形ミラー３８の前記面との間の
距離Ｚを検出する。Ｌ形ミラー３８のＸ軸と直交する面
に対向配置された２つの干渉計４０．４１は、Ｘ軸方向
に所定距Ｍｉ！、離れており、且つＸ軸側の干渉計４０
はＸ軸から所定距離ｎ離れている。これら干渉計４０．
４１には検出器（図示せず）が夫々付設され、Ｌ形ミラ
ー３日の前記面との間の距離Ｘ。、Ｘ、を検出する。こ
れらレーザ発信器、Ｌ形ミラー３８、干渉計３９．４０
．４１、検出器によって構成されるレーザ測長システム
４２により、ワークｂのＸ−Ｚ座標での位置と姿勢とを
３点計測で特定できる。そして、第５図に示すように、
制御装置４３は、予めオフラインで計算された指令値Δ
Ｘｄ、ΔＺｄ、検出器からの測定信号を基に各リニアモ
ータ３５を制御する。
と共に、Ｚテーブル３２上にＬ形ミラー３８を設け、こ
のミラー３８の各面がＸ軸又はＺ軸に直交するようにし
ている。そしてＬ形ミラー３８は前記レーザ発信器から
のレーザ光を、第５図に示すように、対向配置された３
つの干渉計３９．４０．４１に反射する。Ｌ形ミラー３
８のＺ軸と直交する面に対向配置された干渉計３９は、
Ｚ軸上に位置している。この干渉計３９には検出器（図
示せず）が付設され、Ｌ形ミラー３８の前記面との間の
距離Ｚを検出する。Ｌ形ミラー３８のＸ軸と直交する面
に対向配置された２つの干渉計４０．４１は、Ｘ軸方向
に所定距Ｍｉ！、離れており、且つＸ軸側の干渉計４０
はＸ軸から所定距離ｎ離れている。これら干渉計４０．
４１には検出器（図示せず）が夫々付設され、Ｌ形ミラ
ー３日の前記面との間の距離Ｘ。、Ｘ、を検出する。こ
れらレーザ発信器、Ｌ形ミラー３８、干渉計３９．４０
．４１、検出器によって構成されるレーザ測長システム
４２により、ワークｂのＸ−Ｚ座標での位置と姿勢とを
３点計測で特定できる。そして、第５図に示すように、
制御装置４３は、予めオフラインで計算された指令値Δ
Ｘｄ、ΔＺｄ、検出器からの測定信号を基に各リニアモ
ータ３５を制御する。
本実施例において、Ｚテーブル３２に第５図に示すよう
なヨーイングｄ８が発生したとする七、所定の加工形状
を得るためには、第１実施例と同様の考え方に基きＸ軸
方向に、 −ｎＸｄ。
なヨーイングｄ８が発生したとする七、所定の加工形状
を得るためには、第１実施例と同様の考え方に基きＸ軸
方向に、 −ｎＸｄ。
なるΔＸ゛を新たな指令値とする（第６図）ことにより
、Ｚテーブル３２のヨーイングがワークｂの加工形状に
与える影響を完全に除去することができる。
、Ｚテーブル３２のヨーイングがワークｂの加工形状に
与える影響を完全に除去することができる。
尚、本実施例において、砥石ａをＸ−Ｚ−ｆ；−−プル
３１に保持させ、ワークｂを固定してもよい。
３１に保持させ、ワークｂを固定してもよい。
本発明は上記実施例に示す外、種々の態様に構成するこ
とができる。
とができる。
例えば移動量計測手段の具体的構成、配設箇所などは上
記実施例に示すものに限定されず、任意に設計すること
ができる。又各テーブルの案内支持機構やその駆動手段
なども、公知技術を適宜用いることができる。更に本発
明は上記実施例に示す砥石の外、ミルなど他の回転工具
を用いた加工機にも適用することができる。
記実施例に示すものに限定されず、任意に設計すること
ができる。又各テーブルの案内支持機構やその駆動手段
なども、公知技術を適宜用いることができる。更に本発
明は上記実施例に示す砥石の外、ミルなど他の回転工具
を用いた加工機にも適用することができる。
発明の効果
本発明によれば、ヨーイングや横振れ自体の是正を行わ
ずにテーブルの送り量を精密に制御し、所望の加工形状
が精密に得られる数値制御加工機を提供することができ
る。
ずにテーブルの送り量を精密に制御し、所望の加工形状
が精密に得られる数値制御加工機を提供することができ
る。
第１図は本発明の第１実施例の全体斜視図、第２図は作
用説明図、第３図は制御系を示すブロック図、第４図は
本発明の第２実施例の斜視図、第５図は作用説明図、第
６図は制御系を示すブロック図、第７図は従来例の要部
の平面図である。 １−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−
−−−−−−−−−−−−−Ｘテーブル３−−−−−−
−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−
−− Ｚテーブル９．１０．１８．１９−−−−−−−
−−−−ミラー２６−−−−−−−−−−−−−−、−
−−−−−−−−−−−レーザ測長システム２７’−−
−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−、−
一−−制御装置３Ｌ−−−−−−−−−−−−−−−−
−−一・−−−−−−一一一一一−Ｘ −Ｚテーブル３
８−一〜−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−・
−−−−−−−−−−Ｌ形ミラー４２−−−−−−−−
−−−−−−−−−−−−−−−−レーザ測長システム
４３＝−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−
−−−−−−一制御装置ａ −一−−−−−−−−−−
−−−−−−−−−−−−−−−−砥石ｂ−−−−−−
−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−ワーク。 代理／４弁理士 中尾 敏男 はか１名第５図 第６図 η 一 ×子−ブレ Ｘ。 才 ）” １゜ １ 子 ′７ス
用説明図、第３図は制御系を示すブロック図、第４図は
本発明の第２実施例の斜視図、第５図は作用説明図、第
６図は制御系を示すブロック図、第７図は従来例の要部
の平面図である。 １−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−
−−−−−−−−−−−−−Ｘテーブル３−−−−−−
−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−
−− Ｚテーブル９．１０．１８．１９−−−−−−−
−−−−ミラー２６−−−−−−−−−−−−−−、−
−−−−−−−−−−−レーザ測長システム２７’−−
−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−、−
一−−制御装置３Ｌ−−−−−−−−−−−−−−−−
−−一・−−−−−−一一一一一−Ｘ −Ｚテーブル３
８−一〜−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−・
−−−−−−−−−−Ｌ形ミラー４２−−−−−−−−
−−−−−−−−−−−−−−−−レーザ測長システム
４３＝−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−
−−−−−−一制御装置ａ −一−−−−−−−−−−
−−−−−−−−−−−−−−−−砥石ｂ−−−−−−
−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−−ワーク。 代理／４弁理士 中尾 敏男 はか１名第５図 第６図 η 一 ×子−ブレ Ｘ。 才 ）” １゜ １ 子 ′７ス
Claims (3)
- （１）回転工具を保持しＸ軸に沿って移動するＸテーブ
ルと、ワークを保持しＺ軸に沿って移動するＺテーブル
とを設ける一方、ＸテーブルのＸ軸方向での送り量を計
測する回転工具移動量計測手段とＸテーブルのＺ軸方向
での偏位量を２箇所で計測する回転工具移動量計測手段
とを配設すると共に、ＺテーブルのＺ軸方向での送り量
を計測するワーク移動量計測手段とＺテーブルのＸ軸方
向での偏位量を２箇所で計測するワーク移動量計測手段
とを配設し、且つ回転工具、ワーク間のズレ量に応じて
各テーブルの送り量を制御する制御手段を設けたことを
特徴とする数値制御加工機。 - （２）固定された回転工具に対して、ワークを保持して
Ｘ−Ｚ軸方向に移動するＸ−Ｚテーブルを設ける一方、
このテーブルのＸ軸又はＺ軸方向での送り量を計測する
ワーク移動量計測手段と、前記テーブルのＺ軸又はＸ軸
方向での送り量及び偏位量を２箇所で計測するワーク移
動量計測手段とを配設し、且つワークの回転工具に対す
るズレ量に応じてテーブルの各送り量を制御する制御手
段を設けたことを特徴とする数値制御加工機。 - （３）固定されたワークに対して、回転工具を保持して
Ｘ−Ｚ軸方向に移動するＸ−Ｚテーブルを設ける一方、
このテーブルのＸ軸又はＺ軸方向での送り量を計測する
回転工具移動量計測手段と、前記テーブルのＺ軸又はＸ
軸方向での送り量及び偏位量を２箇所で計測する回転工
具移動量計測手段とを配設し、且つ回転工具のワークに
対するズレ量に応じてテーブルの各送り量を制御する制
御手段を設けたことを特徴とする数値制御加工機。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63068552A JPH01240259A (ja) | 1988-03-22 | 1988-03-22 | 数値制御加工機 |
| KR1019890003504A KR930011855B1 (ko) | 1988-03-22 | 1989-03-21 | 수치제어가공기 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63068552A JPH01240259A (ja) | 1988-03-22 | 1988-03-22 | 数値制御加工機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01240259A true JPH01240259A (ja) | 1989-09-25 |
Family
ID=13377039
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63068552A Pending JPH01240259A (ja) | 1988-03-22 | 1988-03-22 | 数値制御加工機 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01240259A (ja) |
| KR (1) | KR930011855B1 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3910482B2 (ja) * | 2002-04-26 | 2007-04-25 | Ｔｈｋ株式会社 | 数値制御工作機械における加工誤差補正方法及びこれを用いた研削盤 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61131854A (ja) * | 1984-11-28 | 1986-06-19 | Hitachi Ltd | 旋盤加工物測定装置 |
-
1988
- 1988-03-22 JP JP63068552A patent/JPH01240259A/ja active Pending
-
1989
- 1989-03-21 KR KR1019890003504A patent/KR930011855B1/ko not_active IP Right Cessation
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61131854A (ja) * | 1984-11-28 | 1986-06-19 | Hitachi Ltd | 旋盤加工物測定装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR930011855B1 (ko) | 1993-12-21 |
| KR890014208A (ko) | 1989-10-23 |
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