JP3884374B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、不良部を救済するための救済回路を有する半導体装置に関するものであり、特にヒューズ素子による救済措置で使用されるものである。
【0002】
【従来の技術】
従来より、半導体装置には救済回路が設けられており、半導体装置内に不良が存在した場合、その不良部を救済部で置き換えるという手段がとられている。
【0003】
従来の救済回路の構成を図14に示す。救済対象101を救済するための救済部102が設けられ、さらにこの救済部102に対応するヒューズ素子103が設けられている。ヒューズ素子103には、救済対象101を救済部102で置き換えたとき、救済部102が置き換えに使用されていることを示す情報、及び置き換えられた救済対象101を特定する情報が記憶される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来は1つの救済部102に対して、1つのヒューズ素子103しか対応しておらず、そのヒューズ素子103が持つ救済方法を用いることででしか、救済対象101内の不良部を救済部102に置き換えることができない。このため、複数ある評価工程の中で1つの工程中でしか不良部を救済部102に置き換えることができないという問題がある。
【0005】
また、従来ではヒューズ素子103によって不良部が救済部102に置き換えられているか否かを、評価機器(テスタ)から確認することができない。すなわち、評価結果に従って評価工程で救済部102への置き換えを行う前に、救済部102がすでに使用されているか否かを評価機器から直接確認することができない。したがって、一度、不良部を救済部102に置き換えた半導体装置に対して、再度、評価結果に従って、不良部を救済部102に置き換えることが必要な場合であっても、一度目の救済部102への置き換えで使用されたヒューズ素子103を確認することができないため、再度、不良部を救済部102に置き換えることが困難であるという問題がある(図15参照)。
【0006】
そこでこの発明は、前記課題に鑑みてなされたものであり、救済部を複数のヒューズ素子で共有することにより、評価時おける不良部の救済部への置き換えが容易となり、さらに不良部の救済率を向上させることができる半導体装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
前記目的を達成するために、この発明の第1の実施態様の半導体装置は、所定の機能を実現する救済対象回路と、前記救済対象回路を救済するために設けられ、前記所定の機能を実現する救済回路と、前記救済対象回路を前記救済回路に置き換えるために前記救済回路に対応して設けられ、前記救済対象回路を前記救済回路に置き換え可能か否かを示す情報と、前記救済対象回路を前記救済回路に置き換える際に、前記救済対象回路を特定するための情報を記録する複数のヒューズ素子と、前記ヒューズ素子に記録された情報に基づいて、前記救済対象回路を前記救済回路に置き換えが可能か否かを判定する判定回路と、を具備し、前記複数のヒューズ素子の各々は、情報を記録するための複数のビットを有し、前記複数のビットの中には、前記救済回路が不良であることを示すビットが含まれていることを特徴とする。
この発明の第2の実施態様の半導体装置は、所定の機能を実現する救済対象回路と、前記救済対象回路を特定するための情報を、第1の方法によって記憶する第1のヒューズ素子と、前記救済対象回路を特定するための情報を、第2の方法によって記憶する第2のヒューズ素子と、前記第1のヒューズ素子及び第2のヒューズ素子に共有され、前記第1のヒューズ素子及び第2のヒューズ素子のいずれかに記録された情報により特定される前記救済対象回路に換わって、前記所定の機能を実現する救済回路と、前記救済対象回路を前記救済回路に置き換えが可能か否かを判定する判定回路とを具備し、前記第1のヒューズ素子及び第2のヒューズ素子は前記救済対象回路を前記救済回路に置き換え可能か否かを示す情報を記憶し、前記判定回路は前記第1のヒューズ素子及び第2のヒューズ素子のいずれかに記録された前記情報に基づいて、前記救済対象回路を前記救済回路に置き換えが可能か否かを判定し、前記第1、第2のヒューズ素子は、情報を記録するための複数のビットを有し、前記複数のビットの中には、前記救済回路が不良であることを示すビットが含まれていることを特徴とする。
この発明の第3の実施態様の半導体装置は、所定の機能を実現する複数の救済対象回路と、前記複数の救済対象回路のうち不良の救済対象回路を救済するために設けられ、前記所定の機能を実現する第1、第2の救済回路と、前記第1の救済回路に対応して設けられ、前記不良の救済対象回路を前記第1の救済回路に置き換え可能か否かを示す情報と、前記不良の救済対象回路を前記第1の救済回路に置き換える際に、前記不良の救済対象回路を特定するための情報を記録する第1のヒューズ素子と、前記第2の救済回路に対応して設けられ、前記不良の他の救済対象回路を前記第2の救済回路に置き換え可能か否かを示す情報と、前記不良の他の救済対象回路を前記第2の救済回路に置き換える際に、前記不良の他の救済対象回路を特定するための情報を記録する第2のヒューズ素子と、前記第1のヒューズ素子に記録された情報に基づいて、前記不良の救済対象回路を前記第1の救済回路に置き換えが可能か否か、及び前記第2のヒューズ素子に記録された情報に基づいて、前記不良の他の救済対象回路を前記第2の救済回路に置き換えが可能か否かを判定する判定回路とを具備し、前記第1、第2のヒューズ素子は、情報を記録するための複数のビットを有し、前記複数のビットの中には、前記救済回路が不良であることを示すビットが含まれていることを特徴とする。
【0008】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照してこの発明の実施の形態について説明する。説明に際し、全図にわたり、共通する部分には共通する参照符号を付す。
【0009】
[第1の実施の形態]
まず、この発明の第1の実施の形態の半導体装置について説明する。
【0010】
図1は、第1の実施の形態の半導体装置の構成と評価機器を示す概略図である。
【0011】
図1に示すように、半導体装置(チップ)1は、救済対象11、救済部12、ヒューズ回路13、判定回路14、及びテスト回路15から構成されている。救済対象11は、所定の機能を実現するための回路、例えばDRAMを構成するメモリセル、またはワード線、カラム選択線などを含んでいる。救済部12は、救済対象11に不良部が存在した場合に、不良部と置き換えられる回路部分である。ヒューズ回路13は、救済対象11内の不良部を救済部12で置き換えたとき、救済部12が置き換えに使用されていることを示す情報、及び置き換えられた救済対象11内の不良部を特定する情報が記憶される。判定回路14は、救済部12及びこれに対応するヒューズ回路13が置き換えに使用されているか、あるいは救済部12を置き換えに使用できるかを判定する。テスト回路15は、判定回路14にて判定を行うヒューズ素子を選択するための選択信号を出力する。そして、判定回路14による判定結果は、評価機器(テスタ)2に出力される。
【0012】
図2は、第1の実施の形態の半導体装置における救済対象11、救済部12、及びヒューズ回路13の構成を示す図である。
【0013】
図2に示すように、救済対象11を救済するための救済部12には、この救済部12に対応するヒューズ回路13が設けられている。ヒューズ回路13は、複数のヒューズ素子13−1、13−2、…、13−M(M=2、3、…、M)から構成されている。すなわち、救済部12は、複数のヒューズ素子13−1〜13−Mを共有している。複数のヒューズ素子13−1〜13−Mの各々は、救済対象11内の不良部を救済部12で置き換えたとき、救済部12が置き換えに使用されていることを示す情報を記憶する1ビットのヒューズ(イネーブルビット)と、置き換えられた救済対象11内の不良部を特定するための情報を記憶するn+1ビットのヒューズ(Fuse<0:N>)を有している。
【0014】
次に、第1の実施の形態の半導体装置における救済方法のフローを図3、図4に示す。
【0015】
図3に示すように、ウェハ上の半導体装置には、救済対象11、救済部12、ヒューズ素子13−1〜13−M、及び判定回路14が形成される。その後、半導体装置の製造工程では、評価工程(1)、評価工程(2)、及び評価工程(3)の順序で救済対象11の評価が行われる。
【0016】
まず、評価工程(1)にて救済対象11の評価が行われる。この評価工程(1)において、救済対象11内に不良部が存在する場合、その不良部は救済部12に置き換えられる。これに伴って、救済部12に対応するヒューズ素子13−1には、救済部12が置き換えに使用されていることを示す情報と、置き換えられた救済対象11の不良部を特定するための情報が記憶される。
【0017】
その後、評価工程(2)を経て評価工程(3)において、再度、救済対象11の評価が行われる。この評価工程(3)において、救済対象11内に不良部が存在する場合、ヒューズ素子13−1を用いた救済部12はすでに置き換えに使用されているため、不良部を救済部12に置き換えることはできない。この実施の形態では、ヒューズ素子13−1に記憶された情報(イネーブルビット)を基に、判定回路14により救済部12がすでに置き換えに使用されているか否かが判定され、判定結果がテスタ2に出力される。
【0018】
これにより、評価工程(1)にて置き換えに使用された救済部12を確認できるため、評価工程(3)では救済対象11内の不良部を、使用されていない救済部に効率よく置き換えることができる。
【0019】
図4は、前記評価工程1にて救済対象11内に不良部が存在せず、救済部12への置き換えを行わない場合を示す。この場合は、その後の評価工程(3)にて救済部12が置き換えに使用されていないことが判定回路14により判定できる。これにより、評価工程(3)では救済対象11内の不良部を、使用されていない救済部に効率よく置き換えることができる。
【0020】
以上説明したようにこの第1の実施の形態では、救済部に複数のヒューズ素子を共有させることにより、複数の救済方法により救済対象内に存在する不良部を救済することができる。これにより、評価時において発見した不良部を救済できる割合(救済率)を向上させることができる。
【0021】
さらに、救済部を複数のヒューズ素子で共有しているため、救済部を複数持つ必要がなく、半導体装置(チップ)の面積の増大を抑制することができる。
【0022】
また、複数の評価工程を有する場合、すなわち2回以上、不良部を救済部に置き換える工程がある場合に、2回目の置き換え工程において、1回目の置き換え工程でどの救済部が使用されたかを判定回路の出力からテスタにより確認できる。これにより、2回目の置き換えが可能か否かを容易に判断することができる。この結果、2回目以降の置き換えに要する時間を短縮することができる。
【0023】
さらに、救済対象内の不良部を救済部に置き換えるために使用しているヒューズ素子を判定回路により判定できるため、評価工程において、どのヒューズ素子で置き換えているかを容易にテスタから確認することができる。これにより、救済部に不良があった場合でも、評価時の解析時間を短縮することができる。
【0024】
[第2の実施の形態]
次に、この発明の第2の実施の形態の半導体装置について説明する。ここでは、前記第1の実施の形態の半導体装置における救済対象11をワード線とした具体例を詳細に述べる。
【0025】
図5は、第2の実施の形態の半導体装置における救済対象11、救済部12、及びヒューズ回路13の構成を示す図である。
【0026】
図5に示すように、救済対象部11をワード線WL0、WL1、…、WL511(以下、WL<0:511>と記す)とし、ワード線WL<0:511>を救済するための救済部12をスペアワード線SWL0、SWL1、…、SWL7(以下、SWL<0:7>と記す)とする。スペアワード線SWL<0:6>の各々には、ヒューズ素子FU0、FU1、…、FU6(以下、FU<0:6>と記す)がそれぞれ設けられている。
【0027】
ヒューズ素子FU<0:6>の各々は、メタル材により形成された9ビットのメタルヒューズMF0、MF1、…、MF9(以下、MF<0:9>と記す)を有している。メタルヒューズMF<0:9>のうちのメタルヒューズMF<0:8>は、ワード線WL<0:511>の中で、不良であるワード線のアドレスを記憶し、またメタルヒューズMF<9>は、これらのヒューズ素子FU<0:6>に対応したスペアワード線SWL<0:6>が使用されているか否かを示す情報を記憶するイネーブルビットである。
【0028】
スペアワード線SWL<7>には、ヒューズ素子FU<7>とヒューズ素子FU<8>が設けられている。すなわち、スペアワード線SWL<7>は、ヒューズ素子FU<7>とヒューズ素子FU<8>を共有している。
【0029】
ヒューズ素子FU<7>は、メタル材により形成された9ビットのメタルヒューズMF<0:9>を有している。メタルヒューズMF<0:9>のうちのメタルヒューズMF<0:8>は、ワード線WL<0:511>の中で、不良であるワード線のアドレスを記憶する。メタルヒューズMF<9>は、このヒューズ素子FU<7>に対応したスペアワード線SWL<7>が使用されているか否かを示す情報を記憶するイネーブルビットである。
【0030】
ヒューズ素子FU<8>は、10ビットの電気ヒューズEF0、EF1、…、EF10(以下、EF<0:10>と記す)を有している。電気ヒューズEF<0:10>のうちの電気ヒューズEF<0:8>は、ワード線WL<0:511>の中で、不良であるワード線のアドレスを記憶する。電気ヒューズEF<9>は、このヒューズ素子FU<8>に対応したスペアワード線SWL<7>が使用されているか否かを示す情報を記憶するイネーブルビットである。さらに、電気ヒューズEF<10>は、スペアワード線SWL<7>自体に不良がないか否かを示す情報を記憶するディセイブルビットである。
【0031】
また、スペアワード線SWL<7>では、メタルヒューズから構成されたヒューズ素子FU<7>と電気ヒューズから構成されたヒューズ素子FU<8>のうち、どちらのヒューズ素子を用いて置き換えが行われているかを示すために、ヒューズ素子FU<7>、FU<8>のそれぞれのイネーブルビットを利用する。
【0032】
前記メタルヒューズは、チップ内の配線と同様の材質を用いて形成されている。このメタルヒューズには、レーザによって前記配線が切断されることにより、情報が記録される。このため、ウェハ上では配線を切断し情報を記録することができるが、パッケージ化した後(アセンブリ後)では配線を切断できないため、情報を記録することができない。電気ヒューズは、電気的に切断できる素子、あるいは電気的に短絡できる素子を用いて作成されている。この電気ヒューズには、外部からの高電圧の印加によって素子が切断あるいは短絡されることにより、情報が記録される。よって、ウェハ上でも、パッケージ化した後でも、素子を切断あるいは短絡して、情報を記録することができる。
【0033】
前記構成を有する半導体装置では、ワード線WL<0:511>の中に不良が存在した場合、7本の不良までは、メタルヒューズから構成されたヒューズ素子FU<0:6>を用いてスペアワード線SWL<0:6>に置き換えることができる。スペアワード線SWL<7>は、メタルヒューズから構成されたヒューズ素子FU<7>、または電気ヒューズから構成されたヒューズ素子FU<8>を用いて、不良のワード線WLと置き換えることができる。
【0034】
次に、第2の実施の形態の半導体装置が備える判定回路14について説明する。
【0035】
図6は、前記半導体装置が備える判定回路の構成を示す回路図である。この判定回路14は、ヒューズ素子FU<7>またはFU<8>が使用されているか、または使用可能か否かを判定する。なお、同等の構成により、ヒューズ素子FU<0:6>が使用されているか否かを判定することも可能である。
【0036】
図6に示すように、OR回路R1及びNAND回路N1の各々の第1入力端には、ヒューズ素子FU<7>のイネーブルビットに記憶された情報が入力される。OR回路R1の第2入力端及びNAND回路N2の第1入力端には、ヒューズ素子FU<8>のイネーブルビットに記憶された情報が入力される。OR回路R1の第3入力端及びNAND回路N3の第1入力端には、ヒューズ素子FU<8>のディセイブルビットに記憶された情報が入力される。さらに、OR回路R1の出力信号が、NAND回路N4の第1入力端に入力される。
【0037】
前記NAND回路N1、N2の出力信号は、AND回路A1の第1、第2入力端にそれぞれ入力される。前記NAND回路N3、N4の出力信号は、AND回路A2の第1、第2入力端にそれぞれ入力される。さらに、AND回路A1、A2の出力信号は、NAND回路N5の第1、第2入力端にそれぞれ入力される。そして、NAND回路N5の出力信号は、テスタ2に入力される。
【0038】
前記NAND回路N1〜N4の各々の第2入力端には、テスト回路15から出力される選択信号S1が入力され、NAND回路N1〜N4の各々の第3入力端にはテスト回路15から出力される選択信号S2が入力される。
【0039】
このように構成された判定回路14では、選択信号(S1、S2)が(1、1)のとき、ヒューズ素子FU<7>のイネーブルビットが“1”か“0”かが判定される。ここで、イネーブルビットが“1”のとき、ヒューズ素子FU<7>を用いてスペアワード線SWL<7>が使用されていることを示し、イネーブルビットが“0”のとき、ヒューズ素子FU<7>が使用されていないことを示すものとする。ヒューズ素子FU<7>のイネーブルビットが“1”で、選択信号(S1、S2)が(1、1)のとき、NAND回路N5の出力端子から“1”がテスタ2へ出力される。これにより、テスタ2へ“1”が出力された場合、ヒューズ素子FU<7>を用いてスペアワード線SWL<7>が使用されていることが判定できる。
【0040】
また、選択信号(S1、S2)が(1、0)のとき、ヒューズ素子FU<8>のイネーブルビットが“1”か“0”かが判定される。ここで、イネーブルビットが“1”のとき、ヒューズ素子FU<8>を用いてスペアワード線SWL<7>が使用されていることを示し、イネーブルビットが“0”のとき、ヒューズ素子FU<8>が使用されていないことを示すものとする。ヒューズ素子FU<8>のイネーブルビットが“1”で、選択信号(S1、S2)が(1、0)のとき、NAND回路N5の出力端子から“1”がテスタ2へ出力される。これにより、テスタ2へ“1”が出力された場合、ヒューズ素子FU<8>を用いてスペアワード線SWL<7>が使用されていることが判定できる。
【0041】
また、選択信号(S1、S2)が(0、1)のとき、ヒューズ素子FU<8>のディセイブルビットが“1”か“0”かが判定される。ここで、ディセイブルビットが“1”のとき、スペアワード線SWL<7>自体に不良が存在することを示し、ディセイブルビットが“0”のとき、スペアワード線SWL<7>自体に不良が存在しないことを示すものとする。ヒューズ素子FU<8>のディセイブルビットが“1”で、選択信号(S1、S2)が(0、1)のとき、NAND回路N5の出力端子から“1”がテスタ2へ出力される。これにより、テスタ2へ“1”が出力された場合、スペアワード線SWL<7>自体に不良が存在することが判定できる。
【0042】
また、選択信号(S1、S2)が(0、0)のとき、ヒューズ素子FU<7>のイネーブルビット、ヒューズ素子FU<8>のイネーブルビット、またはヒューズ素子FU<8>のディセイブルビットのうち、少なくともいずれかが“1”か否かが判定される。これらのうち少なくともいずれかが“1”で、選択信号(S1、S2)が(0、0)のとき、NAND回路N5の出力端子から“1”がテスタ2へ出力される。これにより、テスタ2へ“1”が出力された場合、スペアワード線SWL<7>が置き換えに使用できないことが判定できる。
【0043】
前述したように、前記判定回路14を用いれば、評価工程において不良部を救済部に置き換える際に、ヒューズ素子により不良部が救済部に置き換えられているか否かの確認、複数のヒューズ素子の中でどのヒューズ素子により不良部が救済部に置き換えられているか否かの確認、救済部自体が使用できるか否かの確認を行うことができる。
【0044】
次に、図7、図8、及び図9を用いて、第2の実施の形態の半導体装置の動作について説明する。
【0045】
図7、図8、及び図9は、前記半導体装置における救済方法のフローを示す図である。
【0046】
図7に示すように、ウェハ上の半導体装置には、救済対象11としてのワード線WL<0:511>、救済部12としてのスペアワード線SWL<7>、ヒューズ素子FU<7>、FU<8>、及び判定回路14が形成される。その後、半導体装置の製造工程では、第1評価工程であるダイソート及び救済工程(Pre-D/S R/D)P1、アセンブリ工程P2、第2評価工程であるダイソート及び救済工程(Final D/S R/D)P3の順序で工程が進められる。
【0047】
まず、第1評価工程P1にて、ワード線WL<0:511>の評価が行われる。この第1評価工程P1において、ワード線WL<0:511>内に不良のワード線が存在する場合、不良のワード線はスペアワード線SWLに置き換えられる。このとき、スペアワード線SWLは、スペアワード線SWL<0>からSWL<7>へと昇順に置き換えに使用されていく。例えば、不良のワード線が8本存在する場合、その不良のワード線の7本はスペアワード線SWL<0:6>に置き換えられ、不良のワード線の8本目はスペアワード線SWL<7>に置き換えられる。これに伴って、スペアワード線SWL<0:7>に対応するヒューズ素子FU<0:7>には、スペアワード線SWL<0:7>が置き換えに使用されていることを示す情報と、置き換えられた不良のワード線を特定するための情報が記憶される。
【0048】
その後、アセンブリ工程P2を経て第2評価工程P3において、再度、ワード線WL<0:511>の評価が行われる。この第2評価工程P3において、ワード線WL<0:511>内に、再度、不良のワード線が存在する場合、ヒューズ素子FU<0:7>を用いたスペアワード線SWL<0:7>はすでに置き換えに使用されているため、不良のワード線をスペアワード線SWL<7>に置き換えることはできない。なお、アセンブリ工程後の第2評価工程P3では、不良のワード線を、電気ヒューズから構成されたヒューズ素子FU<8>を用いてスペアワード線SWL<7>に置き換えることしかできない。
【0049】
第2評価工程P3では、ヒューズ素子FU<7>、FU<8>に記憶された情報(イネーブルビット及びディセイブルビット)を基に、判定回路14によりスペアワード線SWL<7>がすでに置き換えに使用されているか否か、またスペアワード線SWL<7>自体に不良がないか否かが判定され、判定結果がテスタ2に出力される。これにより、第1評価工程P1にてスペアワード線SWL<7>がすでに置き換えに使用されていることが確認できるため、第2評価工程P3ではワード線WL<0:511>内の不良のワード線を、スペアワード線SWL<7>に置き換えできないことがわかる。
【0050】
図8は、前記第1評価工程P1にて、ワード線WL<0:511>内に不良のワード線が7本以下しか存在せず、スペアワード線SWL<7>が置き換えに使用されていない場合を示す。この場合は、その後の第2評価工程P3にて、スペアワード線SWL<7>が置き換えに使用されていないこと、及びスペアワード線SWL<7>自体に不良がないか否かが判定回路14により判定できる。これにより、第2評価工程P3ではワード線WL<0:511>内の不良のワード線を、使用されていないスペアワード線SWL<7>に効率よく置き換えることができる。
【0051】
図9は、前記第1評価工程P1にて、ワード線WL<0:511>内に不良のワード線が8本以上存在するが、スペアワード線SWL<7>自体に不良があるため、スペアワード線SWL<7>を置き換えに使用できない場合を示す。
【0052】
第1評価工程P1において、スペアワード線SWL<7>自体に不良があることがわっかた場合、ヒューズ素子FU<8>のディセイブルビットに“1”を記録しておく。具体的には、ディセイブルビットに相当する配線をレーザにより切断する。
【0053】
このようにしておけば、その後の第2評価工程P3にて、ディセイブルビットに記録された情報に基づいて判定回路14により、スペアワード線SWL<7>自体に不良があることが判定できる。これにより、第2評価工程P3ではワード線WL<0:511>内の不良のワード線を、スペアワード線SWL<7>に置き換えできないことがわかる。
【0054】
以上により、アセンブリ工程前後の2つの評価工程で、ワード線WL<0:511>内の不良のワード線を、スペアワード線SWL<7>に置き換える救済手段が効率よく実行できる。
【0055】
また、図10、図11、及び図12に、ウェハ上の半導体装置に対して第1、第2評価工程を行う場合、すなわちアセンブリを行ってパッケージ化する前に、不良のワード線をスペアワード線に置き換える救済工程を2回行う例を示す。
【0056】
すなわち、図7〜図9には、ウェハ上の半導体装置に対して第1評価工程を行い、その後、アセンブリを行ってパッケージ化した後、さらに第2評価工程を行う例を示したが、図10〜図12に示す例は、ウェハ上の半導体装置に対して1回目の第1評価工程を行い、その後、バーンイン(burn-in)試験などを行った後、アセンブリを行う前(パッケージ化する前)に、さらに2回目の第2評価工程を行う場合である。
【0057】
図10〜図12は、前記半導体装置における他の救済方法のフローを示す図である。
【0058】
図10に示すように、ウェハ上の半導体装置には、救済対象11としてのワード線WL<0:511>、救済部12としてのスペアワード線SWL<7>、ヒューズ素子FU<7>、FU<8>、及び判定回路14が形成される。その後、半導体装置の製造工程では、第1評価工程であるダイソート及び救済工程(1st D/S R/D)P11、バーンイン試験P12、第2評価工程であるダイソート及び救済工程(2nd D/S R/D)P13、アセンブリ工程P14の順序で工程が進められる。
【0059】
まず、第1評価工程P11にて、ワード線WL<0:511>の評価が行われる。この第1評価工程P11において、ワード線WL<0:511>内に不良のワード線が存在する場合、その不良のワード線はスペアワード線SWLに置き換えられる。このとき、例えば不良のワード線が8本存在する場合、その不良のワード線の7本はスペアワード線SWL<0:6>に置き換えられ、不良のワード線の8本目はスペアワード線SWL<7>に置き換えられる。これに伴って、スペアワード線SWL<0:7>に対応するヒューズ素子FU<0:7>には、スペアワード線SWL<0:7>が置き換えに使用されていることを示す情報と、置き換えられた不良のワード線を特定するための情報が記憶される。
【0060】
その後、バーンイン試験P12が行われた後、第2評価工程P13において、再度、ワード線WL<0:511>の評価が行われる。この第2評価工程P13において、ワード線WL<0:511>内に、再度、不良のワード線が存在する場合、ヒューズ素子FU<0:6>を用いたスペアワード線SWL<0:6>、及びヒューズ素子FU<7>を用いたスペアワード線SWL<7>はすでに置き換えに使用されているため、不良のワード線をスペアワード線SWL<7>に置き換えることはできない。
【0061】
第2評価工程P13では、ヒューズ素子FU<7>、FU<8>に記憶された情報(イネーブルビット及びディセイブルビット)を基に、判定回路14によりスペアワード線SWL<7>がすでに置き換えに使用されているか否か、またスペアワード線SWL<7>自体に不良がないか否かが判定され、判定結果がテスタ2に出力される。これにより、第1評価工程P11にてスペアワード線SWL<7>がすでに置き換えに使用されていることが確認できるため、第2評価工程P13ではワード線WL<0:511>内の不良のワード線を、スペアワード線SWL<7>に置き換えできないことがわかる。
【0062】
図11は、前記第1評価工程P11にてワード線WL<0:511>内に不良のワード線が7本以下しか存在せず、スペアワード線SWL<7>が置き換えに使用されていない場合を示す。この場合は、その後の第2評価工程P13にて、スペアワード線SWL<7>が置き換えに使用されていないこと、及びスペアワード線SWL<7>自体に不良がないか否かが判定回路14により判定できる。これにより、第2評価工程P13ではワード線WL<0:511>内の不良のワード線を、使用されていないスペアワード線SWL<7>に効率よく置き換えることができる。
【0063】
なお、アセンブリ工程前の第2評価工程P13では、メタルヒューズから構成されたヒューズ素子FU<7>、または電気ヒューズから構成されたヒューズ素子FU<8>のいずれを用いても、不良のワード線をスペアワード線SWL<7>に置き換えることが可能である。
【0064】
図12は、前記第1評価工程P11にてワード線WL<0:511>内に不良のワード線が8本以上存在するが、スペアワード線SWL<7>自体に不良があるため、スペアワード線SWL<7>を置き換えに使用できない場合を示す。
【0065】
この場合は、第1評価工程P11において、ヒューズ素子FU<8>のディセイブルビットに“1”を記録しておく。
【0066】
こうしておけば、その後の第2評価工程P13にて、ディセイブルビットに記録された情報に基づいて判定回路14により、スペアワード線SWL<7>自体に不良があることが判定できる。これにより、第2評価工程P13ではワード線WL<0:511>内の不良のワード線を、スペアワード線SWL<7>に置き換えできないことがわかる。
【0067】
以上により、アセンブリ工程前の2つの評価工程で、ワード線WL<0:511>内の不良のワード線を、スペアワード線SWL<7>に置き換える救済手段が効率よく実行できる。
【0068】
この第2の実施の形態では、スペアワード線に、メタルヒューズから構成されたヒューズ素子と、電気ヒューズから構成されたヒューズ素子を共有させることにより、レーザ照射による配線切断、または高電圧印加による素子切断の複数の救済方法により、不良のワード線を救済することができる。これにより、評価時において発見した不良のワード線を救済できる割合(救済率)を向上させることができる。
【0069】
さらに、スペアワード線を、メタルヒューズから構成されたヒューズ素子と電気ヒューズから構成されたヒューズ素子で共有しているため、スペアワード線を複数持つ必要がなく、半導体装置(チップ)の面積の増大を抑制することができる。
【0070】
また、複数の評価工程が存在し、2回以上、不良のワード線をスペアワード線に置き換える工程がある場合に、2回目の置き換え工程において、1回目の置き換え工程でどのスペアワード線が使用されたかを判定回路の出力からテスタにより確認できる。これにより、2回目の置き換えが可能か否かを容易に判断することができる。この結果、2回目以降の置き換えに要する時間を短縮することができる。
【0071】
さらに、不良のワード線をスペアワード線に置き換えるために使用しているヒューズ素子を判定できるため、評価工程において、どのヒューズ素子で置き換えを行っているかを容易にテスタから確認することができる。これにより、スペアワード線に不良があった場合でも、評価時の解析時間を短縮することができる。
【0072】
[第3の実施の形態]
次に、この発明の第3の実施の形態の半導体装置について説明する。図5に示した前記第2の実施の形態では、1つの救済部(スペアワード線SWL<7>)12に、メタルヒューズから構成されたヒューズ素子FU<7>と、電気ヒューズから構成されたヒューズ素子FU<8>を設けた例を示したが、この第3の実施の形態では、1つの救済部にメタルヒューズから構成されたヒューズ素子を設け、他の救済部に電気ヒューズから構成されたヒューズ素子を設けた例を示す。
【0073】
図13は、第3の実施の形態の半導体装置における救済対象、救済部、ヒューズ回路、及び判定回路の構成を示す図である。
【0074】
図13に示すように、救済対象11内の不良部を救済するための救済部12には、この救済部12に対応する、メタルヒューズから構成されたヒューズ素子16が設けられている。また、救済対象11内の不良部を救済するための救済部17には、この救済部17に対応する、電気ヒューズから構成されたヒューズ素子18が設けられている。さらに、救済部12、17が置き換えに使用されているか否かを判定する判定回路14を備えている。
【0075】
前記ヒューズ素子16は、9ビットのメタルヒューズMF<0:9>を有している。メタルヒューズMF<0:9>のうちのメタルヒューズMF<0:8>は、救済対象11内の不良部を特定するための情報を記憶する。メタルヒューズMF<9>は、このヒューズ素子16に対応した救済部12が置き換えに使用されているか否かを示す情報を記憶するイネーブルビットである。
【0076】
前記ヒューズ素子18は、10ビットの電気ヒューズEF<0:10>を有している。電気ヒューズEF<0:10>のうちの電気ヒューズEF<0:8>は、救済対象11内の不良部を特定するための情報を記憶する。電気ヒューズEF<9>は、このヒューズ素子18に対応した救済部17が置き換えに使用されているか否かを示す情報を記憶するイネーブルビットである。また、電気ヒューズEF<10>は、救済部17自体に不良が存在しないか否かを示す情報を記憶するディセイブルビットである。
【0077】
なお、図13にはメタルヒューズから構成されたヒューズ素子を設けた救済部と、電気ヒューズから構成されたヒューズ素子を設けた救済部とを1つずつ示したが、メタルヒューズから構成されたヒューズ素子を設けた救済部を複数個備えていてもよいし、電気ヒューズから構成されたヒューズ素子を設けた救済部を複数個備えていてもよい。さらに、双方の救済部を複数個ずつ備えていてもよい。
【0078】
この第3の実施の形態では、メタルヒューズから構成されたヒューズ素子を設けた救済部の他に、電気ヒューズから構成されたヒューズ素子を設けた救済部を有している。このため、アセンブリを行った後(パッケージ化した後)においても、救済対象11内の不良部を、電気ヒューズから構成されたヒューズ素子を設けた救済部によって置き換えることができる。これにより、評価時における不良部の救済率が向上する。
【0079】
また、救済部が置き換えに使用されているか否かを判定する判定回路を備えているため、2回目以降の評価工程において、救済対象中に存在する不良部を救済部へ置き換えるという救済作業を効率よく実行することが可能である。
【0080】
なお、前述した各実施の形態はそれぞれ、単独で実施できるばかりでなく、適宜組み合わせて実施することも可能である。
【0081】
さらに、前述した各実施の形態には種々の段階の発明が含まれており、各実施の形態において開示した複数の構成要件の適宜な組み合わせにより、種々の段階の発明を抽出することも可能である。
【0082】
【発明の効果】
以上述べたようにこの発明によれば、救済部を複数のヒューズ素子で共有することにより、評価時おいて不良部の救済部への置き換えが容易となり、さらに不良部の救済率を向上させることができる半導体装置を提供することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の第1の実施の形態の半導体装置の構成と評価機器を示す概略図である。
【図2】前記第1の実施の形態の半導体装置における主要部の構成を示す概略図である。
【図3】前記第1の実施の形態の半導体装置における救済方法のフローを示す図である。
【図4】前記第1の実施の形態の半導体装置における他の救済方法のフローを示す図である。
【図5】この発明の第2の実施の形態の半導体装置における主要部の構成を示す概略図である。
【図6】前記第2の実施の形態の半導体装置が備える判定回路の構成を示す回路図である。
【図7】前記第2の実施の形態の半導体装置における第1の救済方法のフローを示す図である。
【図8】前記第2の実施の形態の半導体装置における第2の救済方法のフローを示す図である。
【図9】前記第2の実施の形態の半導体装置における第3の救済方法のフローを示す図である。
【図10】前記第2の実施の形態の半導体装置における第4の救済方法のフローを示す図である。
【図11】前記第2の実施の形態の半導体装置における第5の救済方法のフローを示す図である。
【図12】前記第2の実施の形態の半導体装置における第6の救済方法のフローを示す図である。
【図13】この発明の第3の実施の形態の半導体装置における主要部の構成を示す概略図である。
【図14】従来の救済回路の構成を示す概略図である。
【図15】従来の救済回路おける救済方法のフローを示す図である。
【符号の説明】
1…半導体装置(チップ)、2…評価機器(テスタ)、11…救済対象、12…救済部、13…ヒューズ回路、13−1、13−2、…、13−M…ヒューズ素子、14…判定回路、15…テスト回路、16…ヒューズ素子、17…救済部、18…ヒューズ素子、P1…第1評価工程、P2…アセンブリ工程、P3…第2評価工程、P11…第1評価工程、P12…バーンイン試験、P13…第2評価工程、P14…アセンブリ工程
Claims (16)
- 所定の機能を実現する救済対象回路と、
前記救済対象回路を救済するために設けられ、前記所定の機能を実現する救済回路と、
前記救済対象回路を前記救済回路に置き換えるために前記救済回路に対応して設けられ、前記救済対象回路を前記救済回路に置き換え可能か否かを示す情報と、前記救済対象回路を前記救済回路に置き換える際に、前記救済対象回路を特定するための情報を記録する複数のヒューズ素子と、
前記ヒューズ素子に記録された情報に基づいて、前記救済対象回路を前記救済回路に置き換えが可能か否かを判定する判定回路と、
を具備し、前記複数のヒューズ素子の各々は、情報を記録するための複数のビットを有し、前記複数のビットの中には、前記救済回路が不良であることを示すビットが含まれていることを特徴とする半導体装置。 - 前記複数のビットの中には、前記救済対象回路が前記救済回路に置き換えられていることを示すビットが含まれていることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。
- 前記救済回路が不良であることを示すビットは、前記複数のヒューズ素子の中のいずれか1つのヒューズ素子に含まれていることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体装置。
- 前記判定回路は、さらに前記救済対象回路が前記救済回路に置き換えられているか否かを判定することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1つに記載の半導体装置。
- 前記判定回路は、さらに前記救済対象回路の前記救済回路への置き換えが、前記複数のヒューズ素子の中のいずれのヒューズ素子を使用して行われているかを判定することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1つに記載の半導体装置。
- 前記判定回路は、さらに前記救済回路が不良であるか否かを判定することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1つに記載の半導体装置。
- 前記複数のヒューズ素子は、レーザにより切断されることで情報を記録するメタルヒューズから構成されたヒューズ素子を含むことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1つに記載の半導体装置。
- 前記複数のヒューズ素子は、電圧印加により電気的に切断されることで情報を記録する電気ヒューズから構成されたヒューズ素子を含むことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1つに記載の半導体装置。
- 所定の機能を実現する救済対象回路と、
前記救済対象回路を特定するための情報を、第1の方法によって記憶する第1のヒューズ素子と、
前記救済対象回路を特定するための情報を、第2の方法によって記憶する第2のヒューズ素子と、
前記第1のヒューズ素子及び第2のヒューズ素子に共有され、前記第1のヒューズ素子及び第2のヒューズ素子のいずれかに記録された情報により特定される前記救済対象回路に換わって、前記所定の機能を実現する救済回路と、
前記救済対象回路を前記救済回路に置き換えが可能か否かを判定する判定回路とを具備し、
前記第1のヒューズ素子及び第2のヒューズ素子は前記救済対象回路を前記救済回路に置き換え可能か否かを示す情報を記憶し、前記判定回路は前記第1のヒューズ素子及び第2のヒューズ素子のいずれかに記録された前記情報に基づいて、前記救済対象回路を前記救済回路に置き換えが可能か否かを判定し、
前記第1、第2のヒューズ素子は、情報を記録するための複数のビットを有し、前記複数のビットの中には、前記救済回路が不良であることを示すビットが含まれていることを特徴とする半導体装置。 - 所定の機能を実現する複数の救済対象回路と、
前記複数の救済対象回路のうち不良の救済対象回路を救済するために設けられ、前記所定の機能を実現する第1、第2の救済回路と、
前記第1の救済回路に対応して設けられ、前記不良の救済対象回路を前記第1の救済回路に置き換え可能か否かを示す情報と、前記不良の救済対象回路を前記第1の救済回路に置き換える際に、前記不良の救済対象回路を特定するための情報を記録する第1のヒューズ素子と、
前記第2の救済回路に対応して設けられ、前記不良の他の救済対象回路を前記第2の救済回路に置き換え可能か否かを示す情報と、前記不良の他の救済対象回路を前記第2の救済回路に置き換える際に、前記不良の他の救済対象回路を特定するための情報を記録する第2のヒューズ素子と、
前記第1のヒューズ素子に記録された情報に基づいて、前記不良の救済対象回路を前記第1の救済回路に置き換えが可能か否か、及び前記第2のヒューズ素子に記録された情報に基づいて、前記不良の他の救済対象回路を前記第2の救済回路に置き換えが可能か否かを判定する判定回路と、
を具備し、前記第1、第2のヒューズ素子は、情報を記録するための複数のビットを有し、前記複数のビットの中には、前記救済回路が不良であることを示すビットが含まれていることを特徴とする半導体装置。 - 前記第1のヒューズ素子は、レーザにより切断されることで情報を記録するメタルヒューズから構成されたヒューズ素子を含み、
前記第2のヒューズ素子は、電圧印加により電気的に切断されることで情報を記録する電気ヒューズから構成されたヒューズ素子を含むことを特徴とする請求項9または10に記載の半導体装置。 - 前記複数のビットの中には、前記救済対象回路が前記救済回路に置き換えられていることを示すビットが含まれていることを特徴とする請求項9乃至11のいずれか1つに記載の半導体装置。
- 前記救済回路が不良であることを示すビットは、前記第1、第2のヒューズ素子のうちいずれか1つのヒューズ素子に含まれていることを特徴とする請求項9乃至12のいずれか1つに記載の半導体装置。
- 前記判定回路は、さらに前記救済対象回路が前記救済回路に置き換えられているか否かを判定することを特徴とする請求項9乃至13のいずれか1つに記載の半導体装置。
- 前記判定回路は、さらに前記救済対象回路の前記救済回路への置き換えが、前記第1、第2のヒューズ素子のいずれのヒューズ素子を使用して行われているか否かを判定することを特徴とする請求項9乃至13のいずれか1つに記載の半導体装置。
- 前記判定回路は、さらに前記救済回路が不良であるか否かを判定することを特徴とする請求項9乃至13のいずれか1つに記載の半導体装置。
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