JP3879033B2 - 積層型半導体パッケージ及びその製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、複数の半導体チップを積層して形成した積層型半導体パッケージに関し、詳しくは、上記複数の半導体チップが積層形成されたパッケージ本体の周りに放熱用のヒートシンクを設け半導体チップの発生熱を外部に放出することができる積層型半導体パッケージ及びその製造方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来の積層型半導体パッケージの1例においては、図6(A)に示したように、半導体基板1の上面に複数の半導体チップ2が絶縁性接着部材3を介して接着積層され、前記各半導体チップ2のチップパッド5と前記半導体基板1とはループ状に湾曲する導線4により連結されていた。このような構造は、複数の半導体チップ2を半導体基板1の上面に順次積層して構成していたため、図6(B)に示したように、半導体チップ2の積層数が増大すると導線4のループの形状が大きくなり、その分だけパッケージの容積が増大され、半導体パッケージの軽薄短小化を図ることが難しかった。
【0003】
また、従来の積層型半導体パッケージの他の例においては、図7に示したように、所定間隔で並列された複数の半導体チップ10、10’の上下両面に夫々バンプ11が形成され、それらバンプ11に内部リード12が夫々接続され、それら内部リード12に外部リード13が連結して延長形成され、前記各半導体チップ10、10’、及び内部リード12を包含する所定部位がエポキシモールディング樹脂によりモールド成形されてパッケージ本体の成形部14が構成されていた。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、このような従来の積層型半導体パッケージにおいては、パッケージの動作時に、前記積層された半導体チップ10、10’から熱が発生するが、該発生熱が外部リード13側に十分に放出されるような構造とはされていないため、パッケージ本体の成形部14内に熱がこもることがあり、パッケージの内部に異状を起こして製品の信頼性が低下することがあった。
【0005】
そこで、本発明の第1目的は、複数の半導体チップが積層形成されたパッケージ本体の周りに放熱用のヒートシンクを備えて、熱の放出を良好にさせ、製品の信頼性を向上し得る積層型半導体パッケージ及びその製造方法を提供しようとするものである。
【0006】
また、本発明の第2目的は、半導体チップのチップパッドを、放熱用金属パターン化のタップテープに導線により連結して半導体パッケージの軽薄短小化を図り得る積層型半導体パッケージ及びその製造方法を提供しようとするものである。
【0007】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するため、本発明に係る積層型半導体パッケージは、上面に複数のチップパッドが夫々形成された複数の半導体チップと、それら各チップパッドから前記各半導体チップの上面縁部位まで夫々延長形成された導線と、前記複数の半導体チップが各半導体チップ間に第1接着部材を介して夫々接着して積層形成されたパッケージ本体と、該パッケージ本体の上下面及び一方側面に第3接着部材により接着された熱伝導性物質から成るヒートシンクと、前記パッケージ本体の前記導線の延長された側面に第2接着部材により接着されたタップテープと、該タップテープの下面に接着形成された複数のソルダーボールと、を備えて構成され、前記タップテープが、板状の金属パターン、該金属パターンの上下両面に所定間隔を置いて夫々形成されたビアホール、及びこれらビアホールに充填された電導性物質を有するものである。
【0008】
また、前記導線は、前記チップパッドとタップテープとを連結する電導性物質から成るものである。
【0009】
さらに、前記ヒートシンクは、銅、銅とニッケルとの合金又はアルミニウムのうち何れか一つを用いるものとすればよい。
【0011】
また、上記のように構成された本発明に係る積層型半導体パッケージの製造方法は、各半導体チップの上面に夫々形成された複数のチップパッドから該半導体チップの上面の一方側縁部位まで導線を夫々形成する工程と、このように形成された複数の半導体チップを各半導体チップ間に第1接着部材を介して相互接着し積層してパッケージ本体を形成する工程と、該パッケージ本体の前記導線の延長された側面に第2接着部材を用いてタップテープを接着する工程と、該パッケージ本体の前記タップテープが接着された側面を除いた他の3方側面に第3接着部材により熱伝導性物質から成るヒートシンクを夫々接着する工程と、該パッケージ本体の前記タップテープの下面にソルダーボールを夫々接着する工程とを順次行い、前記タップテープが、板状の金属パターン、該金属パターンの上下両面に所定間隔を置いて夫々形成されたビアホール、及びこれらビアホールに充填された電導性物質とを有する積層型半導体パッケージを製造するものである。
【0012】
上記積層型半導体パッケージの製造方法において、前記導線は、前記チップパッドとタップテープとを連結する電導性物質とされている。
【0013】
また、上記積層型半導体パッケージの製造方法において、前記ヒートシンクは、銅、銅とニッケルとの合金又はアルミニウムのうち何れか一つを用いるものとすればよい。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。
図1は本発明による積層型半導体パッケージの実施の形態を示す縦断面図である。図1において、この積層型半導体パッケージは、複数の半導体チップ20を積層して形成されており、各半導体チップ20の上面には、複数のチップパッド20aが夫々形成されている。そして、上記各チップパッド20aからは、前記各半導体チップ20の上面の一方側縁部位まで、導線21が夫々延長して形成されている。なお、この導線21は、例えば金属線などの電導性物質から成る。このような状態で、前記複数の半導体チップ20は、各半導体チップ20間に絶縁性物質から成る第1接着部材22を介して夫々接着され、複数層に積層してパッケージ本体23が形成されている。
【0016】
前記パッケージ本体23の導線21が延長された側面には、電導性物質から成る第2接着部材24によりタップテープ25が接着されている。このタップテープ25は、各半導体チップ20を後述の印刷回路基板29に接続させるためのもので、その構造は、中央部に形成された金属パターン25bと、この金属パターン25bの上下部に形成された接着層25aと、この接着層25a上に所定間隔をおいて形成されたビアホール25cとから成り、これらのビアホール25cは電導性物質25dで充填されている。
【0017】
前記パッケージ本体23の上下面及び一方側面、すなわち上記タップテープ25が接着された側面を除いた他の三方側面には、第3接着部材26により熱伝導性物質から成るヒートシンク27が接着されている。このヒートシンク27は、各半導体チップ20からの発生熱を外部に放出するためのもので、銅(Cu)、銅(Cu)とニッケル(Ni)との合金、又はアルミニウム(Al)のうち何れか一つを用いるようになっている。
【0018】
そして、前記タップテープ25の下面には、複数のソルダーボール28が接着されている。このソルダーボール28は、前記各半導体チップ20を後述の印刷回路基板29に接続させる際に実際に該印刷回路基板29の端子部と接続するもので、前記電導性物質25cの充填されたビアホール25bの下面に夫々接着されている。
【0019】
次に、このように構成された本発明に係る積層型半導体パッケージの製造方法について図2及び図3を参照して説明する。先ず、図2(A)に示したように、半導体チップ20の上面に複数のチップパッド20a を夫々形成し、それらチップパッド20a から半導体チップ20の上面の一方側縁部位まで導線(例えば、金属線)21を夫々延長形成する。
【0020】
次いで、図2(B)に示したように、上記のように形成された複数の半導体チップ20を各半導体チップ20間に絶縁性物質の第1接着部材22を介して相互接着し、積層してパッケージ本体23を形成する。これにより、前記各半導体チップ20のチップパッド20a からそれら半導体チップ20の上面の一方側のエッジまで各導線21が第1接着部材22中を通って延長形成された状態になる。
【0021】
次いで、図3(A)に示したように、前記パッケージ本体23の前記各導線21の延長された側面に電導性物質の第2接着部材24を用いてタップテープ25を接着形成する。このとき、該タップテープ25は、まず、中央部に金属パターン25b を形成し、該金属パターン25b の上下部に接着層25a を形成した後、該接着層25a 上に所定間隔を置いてビアホール25c を形成し、これらのビアホール25c 内に電導性物質25d を充填した後、前記パッケージ本体23の側面に接着する。
【0022】
次いで、図3(B)に示したように、前記タップテープ25が接着された一側面を除いた前記パッケージ本体23の他の3方側面に夫々第3接着部材26により熱伝導性物質のヒートシンク27を夫々接着する。このとき、該ヒートシンク27は、銅(Cu)、銅(Cu)とニッケル(Ni)との合金、又はアルミニウム(Al)のうち何れか一つを用いる。
【0023】
次いで、図3(C)に示すように、前記ビアホール25c に充填された電導性物質25d の下面にソルダーボール28を夫々接着して積層型半導体パッケージの製造を終了する。
【0024】
図4は、以上のようにして製造された積層型半導体パッケージを印刷回路基板29上に実装した状態を示す斜視図である。また、図5は、図4のA,B,C,D面及びこれと直交するA″,B″,C″,D″面で上記積層型半導体パッケージを切断して示す斜視図である。これにより、積層型半導体パッケージが前記タップテープ25によって印刷回路基板29に接続される状態がわかる。
【0025】
【発明の効果】
本発明は以上のように構成されたので、複数の半導体チップが積層形成されたパッケージ本体の3方の側面に熱伝導性物質から成るヒートシンクが接着形成されていることから、各半導体チップの発生熱を前記ヒートシンクを介して外部に放出することができる。
【0026】
また、各半導体チップ上に形成されたチップパッドとタップテープとが、パッケージ本体のエッジまで形成された導線により連結されるため、半導体パッケージを軽薄短小化することができる。
【0027】
さらに、前記パッケージ本体に形成され熱放出を行うヒートシンクの物質を、銅、銅とニッケルとの合金又はアルミニウムのうち何れか一つを用いれば良いため、原価を低減することができる。
【0028】
さらにまた、複数の半導体チップが積層形成されたパッケージ本体の一側面にタップテープとソルダーボールを形成したことにより、該パッケージ本体を前記タップテープとソルダーボールにより印刷回路基板に連結することができ、半導体パッケージの軽薄短小化を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る積層型半導体パッケージの実施の形態を示す縦断面図である。
【図2】本発明に係る積層型半導体パッケージの製造方法を示す工程図である。
【図3】同じく本発明に係る積層型半導体パッケージの製造方法を示す工程図である。
【図4】本発明に係る積層型半導体パッケージが印刷回路基板上に実装された状態を示す斜視図である。
【図5】図4に示す積層型半導体パッケージをA,B,C,D面及びA″,B″,C″,D″面で切断して示す斜視図である。
【図6】従来の積層型半導体パッケージの1例を示した縦断面図である。
【図7】従来の積層型半導体パッケージの他の例を示した縦断面図である。
【符号の説明】
20…半導体チップ
20a…チップパッド
21…導線
22…第1接着部材
23…パッケージ本体
24…第2接着部材
25…タップテープ
25a…接着層
25b…金属パターン
25c…ビアホール
25d…電導性物質
26…第3接着部材
27…ヒートシンク
28…ソルダーボール
29…印刷回路基板
Claims (6)
- 上面に複数のチップパッドが夫々形成された複数の半導体チップと、
それら各チップパッドから前記各半導体チップの上面縁部位まで夫々延長形成された導線と、
前記複数の半導体チップが各半導体チップ間に第1接着部材を介して夫々接着して積層形成されたパッケージ本体と、
該パッケージ本体の上下面及び一方側面に第3接着部材により接着された熱伝導性物質から成るヒートシンクと、
前記パッケージ本体の前記導線の延長された側面に第2接着部材により接着されたタップテープと、
該タップテープの下面に接着形成された複数のソルダーボールと、を備えて構成され、
前記タップテープが、板状の金属パターン、該金属パターンの上下両面に所定間隔を置いて夫々形成されたビアホール、及びこれらビアホールに充填された電導性物質を有することを特徴とする積層型半導体パッケージ。 - 前記導線は、前記チップパッドとタップテープとを連結する電導性物質から成ることを特徴とする請求項1記載の積層型半導体パッケージ。
- 前記ヒートシンクは、銅、銅とニッケルとの合金又はアルミニウムのうち何れか一つを用いることを特徴とする請求項1又は2記載の積層型半導体パッケージ。
- 各半導体チップの上面に夫々形成された複数のチップパッドから該半導体チップの上面の一方側縁部位まで導線を夫々形成する工程と、
このように形成された複数の半導体チップを各半導体チップ間に第1接着部材を介して相互接着し積層してパッケージ本体を形成する工程と、
該パッケージ本体の前記導線の延長された側面に第2接着部材を用いてタップテープを接着する工程と、
該パッケージ本体の前記タップテープが接着された側面を除いた他の3方側面に第3接着部材により熱伝導性物質から成るヒートシンクを夫々接着する工程と、
該パッケージ本体の前記タップテープの下面にソルダーボールを夫々接着する工程と、を順次行い、
前記タップテープが、板状の金属パターン、該金属パターンの上下両面に所定間隔を置いて夫々形成されたビアホール、及びこれらビアホールに充填された電導性物質とを有することを特徴とする積層型半導体パッケージの製造方法。 - 前記導線は、前記チップパッドとタップテープとを連結する電導性物質であることを特徴とする請求項4記載の積層型半導体パッケージの製造方法。
- 前記ヒートシンクは、銅、銅とニッケルとの合金又はアルミニウムのうち何れか一つを用いることを特徴とする請求項4又は5記載の積層型半導体パッケージの製造方法。
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