JP3854367B2 - 光吸収性ポリマー、光吸収膜形成性組成物及び光吸収膜とそれを用いた反射防止膜 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光を吸収する有機発色団をポリマーに化学的に結合した光吸収性ポリマー、この光吸収性ポリマーを含有する組成物及びこの組成物を用いた光吸収膜に関し、更に詳細にはリソグラフィ法によって集積回路素子を製造する際に良好な反射防止膜などの光吸収膜を形成することができる光吸収性ポリマー、この光吸収性ポリマーを含有する組成物及びこの組成物により形成される反射防止膜などの光吸収膜に関する。
【０００２】
【従来の技術】
集積回路素子の製造技術においては、より高い集積度を得るために、リソグラフィープロセスにおける加工サイズの微細化が進んでおり、近年では、クオーターミクロンオーダーでの微細加工を可能にする技術開発が進められている。このリソグラフィープロセスにおいては、レジストを基板上に塗布し、縮小投影露光装置を用いてマスクパターンをホトレジストに転写し、適当な現像溶液を用いて現像することによって、所望幅、所望形状のレジストパターンを得ている。しかしながら、集積回路素子の製造において用いられる基板の中には反射率の高いものも多く、露光時にホトレジスト層を通過した露光用の光が基板によって反射され、レジスト層に再入射され、光を照射してはならないレジスト部分にも光が到達するため、所望のパターンが得られ難い或いはパターン欠陥が生じるという問題がある。これは、定在波とか反射ノッチングなどと言われているものであるが、これら反射に起因する問題を解決するため従来より種々の方法が検討されている。例えば、レジスト中に露光用の光の波長領域に吸収を持つ色素を分散する方法、ＣＶＤ法、真空蒸着法等を用いて窒化チタン等の無機化合物膜を基板上に形成し、光吸収膜とする方法、有機ポリマー溶液に光吸収性色素を分散或いは溶解したものを基板に塗布して光吸収膜を形成する方法、更には、ポリマ−に発色団を化学的に結合させた光吸収性ポリマーを基板に塗布して光吸収膜を形成する方法などが挙げられる。上記方法のうちレジスト中に光吸収性色素を分散させる方法は、レジスト感度の低下、現像中におけるレジストの薄化、ベ−キング時の色素の昇華などの問題を有している。一方、無機の反射防止膜を用いる方法は、膜厚の正確な制御、膜圧の均一性、蒸着を行うための特殊な装置、レジスト膜との接着性の問題、ドライエッチングパターン転写を別工程とすることの必要性など種々の問題点を有している。また、反射防止膜中に光吸収性色素を分散させる方法では、反射防止膜をスピンコ−トにより形成する際の重合体と色素の分離、レジスト溶剤への色素の溶出、ベ−キング時におけるレジスト膜中への色素の昇華などの問題を有している。これに対し、光吸収性ポリマーを用いる方法は、このような欠点を有さないことから、近年この方法が注目されている。反射防止膜に光吸収性ポリマーを使用する方法及びこの方法に使用する材料は、例えば特開平６−７５３７８号、特開平６−１１８６５６号、ＷＯ第９４１２９１２号、米国特許第４９１０１２２号、米国特許第５０５７３９９号などに記載されている。そして、光吸収性ポリマーのうち特にポリマー骨格に光吸収性の発色団が化学的に結合された材料を用いる方法が最近最も有望視され、その研究及び一部ではその応用が検討されている。特にエキシマレ−ザ−の波長以下の光を用いたプロセスでは、反射防止膜は必須のものとされ、良好な特性を有する反射防止膜の提供が要望されている。
【０００３】
また一方では、レジスト膜を基板上に形成するにあたり、基板面の凹凸が大きい場合に下塗り層或いは中間層を塗布して、これらの層によりレジスト塗布面を平坦化し、寸法精度の高いレジスト画像を形成するという要求もあり、このような要求に対する検討も必要とされている。
【０００４】
なお、反射防止膜などレジストと基板との間に光吸収性中間膜を設けてレジストパターンを形成するには、一般的には、まず基板上に、反射防止膜形成性溶液等の光吸収膜形成性の組成物を塗布し、ベーキングしてレジスト溶媒に対し不溶化させた後、レジスト膜を反射防止膜等の光吸収膜上に塗布、形成し、露光、現像処理などのプロセスを経てレジストパターンを得、その後ドライエッチングなどにより、レジスト除去部の反射防止膜等の皮膜を除去する方法がとられる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、上記ポリマーに色素を化学的に結合させた光吸収性ポリマーは、一般にレジスト用の溶剤に対する溶解度が低いものが多く、シクロヘキサノンのようなレジスト用の溶剤と異なる溶剤を用いることが往々必要とされる。反射防止膜形成性の塗布溶媒等光吸収膜形成組成物に用いられる溶剤がレジスト用のものと異なる場合、集積回路の製造時に光吸収膜形成プロセスがより以上に増えたり、更にはレジストと異なる溶媒を用いることによって、レジスト自体の性能に影響が及ぶこともある。また、例えば反射防止膜の塗布がレジストと同じコート装置を用いて行われるような場合、反射防止膜材料がレジスト溶媒に可溶でないと、レジスト塗布時の廃液と反射防止膜溶液との混合により反射防止膜材料が析出し、廃液の配管が詰まったり、固体の粉末が発生し、パターンの欠陥ができるという問題が生じる。更に、基板の裏及び周辺部を洗浄するために新たに洗浄用溶剤の供給ラインを設置することも必要になる。上記したように光吸収膜として低分子色素をポリマー中に分散させるようなものも開発されているが、このようなものは段差のある基板上に塗布する場合に膜厚の不均一性が大きい、即ちカバレージ性が悪いものが多く、その改善が望まれている。また、一部の段差のある基板上でのレジストプロセスにおいては、段差のためにレジストの塗布が難しい或いはレジスト膜厚の均一化が難しいような場合があり、このような場合に段差を成膜材料で埋め込んで基板を平坦化し、その上に塗布されるレジスト膜の膜厚を均一化して、形成されるレジストパタ−ン精度を向上させるとともに反射防止をも併せて行いたいとの要求もあることから、高性能で、段差のある基板上でのカバレージ性がコントロール可能で、ベ−キングによる反射防止膜の変化がなく、かつレジスト用の溶剤に溶解可能な反射防止膜材料の提供が望まれている。
【０００６】
更に、近時レジストプロセスにおいて高解像度化への要求が高く、このためレジストの露光波長が短波長へとシフトし、ＫｒＦレ−ザ−（２４８ｎｍ）を用いるプロセスが実用化されている。しかし、現在使用されている基板はこのような短波長領域での反射が高く、また高解像度化とともにレジストの膜厚も減少していることから、ドライエッチングプロセスなどを考えた場合、薄い膜厚で良好な反射防止を行うことができる光吸収膜が望まれている。このため、使用される露光波長に対する吸収が高く、薄膜でも膜の欠陥がなく、しかも多種のレジストにマッチングする光吸収膜材料の開発が必要とされている。
【０００７】
本発明は、このような諸要求を満たす光吸収性ポリマー、この光吸収性ポリマーを含む組成物及びこの組成物を用いて形成された光吸収膜を提供するべくなされたものである。
すなわち、本発明の第１の目的は、上記諸要求を満たす、即ちレジスト用溶剤に対し溶解性が高く、段差のある基板に対し均一な膜厚の反射防止膜などの光吸収膜を形成することができるとともに場合によっては段差を埋めて基板を平坦化することもでき、しかも反射防止効果が高く、基板及びレジスト膜との接着性、ドライエッチング性、耐熱性も優れ、かつ解像度の優れたレジストパターンを形成することができる光吸収膜の形成に適した光吸収性ポリマ−を提供することである。
本発明の第２の目的は、上記諸特性を満たす光吸収膜を形成することのできる組成物を提供することである。
本発明の第３の目的は、上記諸特性を満たすことのできる光吸収膜を形成する方法を提供することである。
本発明の第４の目的は、上記諸特性を満たすことのできる光吸収膜及び反射防止膜を提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】
本発明者等は、鋭意研究した結果、光吸収性ポリマーの繰り返し単位として側鎖にケト基を有するモノマーを用いることにより上記諸特性を満たす光吸収性ポリマーを得ることができることを見いだして本発明をなしたものである。
【０００９】
即ち、本発明の請求項１記載の発明は、下記式１で表わされる、ケト基を側鎖に有する繰返し単位５〜９０モル％と、下記式２で表わされる、１８０〜４５０ｎｍの波長範囲にある光を吸収する有機発色団を側鎖に有する繰返し単位１０〜９５モル％とを少なくとも有する光吸収性ポリマーにおいて、上記式１で表わされる繰り返し単位が、下記式４で表わされる繰り返し単位、または下記式５で表わされる繰り返し単位であることを特徴とする光吸収性ポリマーである。
【００１０】
【化８】

（式中、Ｒ₁及びＲ₂は、互いに同一でも異なってもよく、水素原子又はアルキル基を示し、Ｒ₃は、少なくとも一つのカルボニル基を有する有機基を示す。）
【００１１】
【化９】

（式中、Ｒ₄及びＲ₅は、互いに同一でも異なってもよく、水素原子、アルキル基又はカルボキシル基を示し、Ｙは、

から選ばれた、１８０〜４５０ｎｍの波長範囲にある波長に吸収を持つ有機発色団を有する基を示す。）
【００１２】
また、本発明の他の発明は、上記本発明の光吸収性ポリマーを含有する光吸収膜形成性組成物である。
また、本発明の更に他の発明は、上記本発明の光吸収膜形成性組成物を基板上に塗布し、ベーキングすることにより光吸収膜を形成する方法及びこの方法により形成された光吸収膜及び反射防止膜である。
【００１３】
以下本発明を更に詳細に説明するが、これによって、本発明の範囲が限定されるものではない。まず、本発明の光吸収性ポリマーは、上記するように、式１で表わされる繰り返し単位と、式２で表わされる繰り返し単位とを少なくとも有する所定の波長の光を吸収する光吸収性ポリマーにおいて、式１で示される繰り返し単位として、下記式４又は５で示されるものが用いられる。下記式４又は５で示されるようにケト基を複数有する場合には、このケト基の存在によりこれら光吸収性ポリマーはレジストで通常用いられる溶剤への溶解性が向上し、またメチレン基に少なくとも１つの水素原子が結合している場合には、この水素原子の活性により架橋剤との反応がおこりやすいため、硬い皮膜になるという特徴がある。
【００１５】
【化１１】

（式中、Ｒ₁、Ｒ₂、Ｒ₈ 及びＲ ₉ は、互いに同一でも異なってもよく、水素原子又はアルキル基を示し、Ｒ ₁₀ は、水素原子、アルキル基又は芳香族基を示す。）
【００１６】
【化１２】

（式中、Ｒ₁、Ｒ₂、Ｒ₁₂及びＲ₁₃は、互いに同一でも異なってもよく、水素原子又はアルキル基を示し、Ｒ₁₄は、水素原子、アルキル基又は芳香族基を示し、Ｒ₁₁は、−ＯＲ ₁₅ Ｏ−基および−ＮＨＲ ₁₅ Ｏ−基（Ｒ ₁₅ は、置換されていてもよい直鎖、分枝鎖又は環状アルキレン基又は置換されていてもよいフェニレン基を示す。）から選ばれた２価の基を表す。）
【００１７】
上記式４で表される繰り返し単位を構成するためのモノマーとしては、具体的には例えば次のようなものが挙げられる。
【００１８】
【化１３】

【００１９】
また、上記式５で表される繰り返し単位としては、例えば式中Ｒ₁₁が−ＯＲ₁₅Ｏ−基或いは−ＮＨＲ₁₅Ｏ−基（Ｒ₁₅は、置換されていてもよい直鎖、分枝鎖又は環状アルキレン基又は置換されていてもよいフェニレン基を示す。）であるもの、好ましくはＲ₁₅がエチレンオキサイド基のようなアルキレン基であるものが挙げられる。式５で表される繰り返し単位を構成するためのモノマーとしては、具体的には例えば次のようなものが挙げられる。
【００２０】
【化１４】

【００２４】
上記式２で表わされる繰り返し単位を構成するためのモノマーとしては、例えば次のようなものが挙げられる。
【００２５】
【化１７】

【００２６】
【化１８】

【００２７】
また、本発明の光吸収性ポリマーは、上記式４又は５及び式２の繰り返し単位の他に、重合体に高い光吸収性、高いエッチング速度、特定の溶剤に対する溶解性、良好な保存安定性、架橋（硬化）性或いはその他の好ましい特性を付与するために、式４又は５及び式２以外の繰り返し単位を有していてもよい。これらその他の繰り返し単位を構成するためのモノマーとしては、例えば重合体に可溶性を付与するものとしては通常アクリレ−ト類、メタクリレ−ト類などが、またＴｇの上昇のためにはスチレン類が用いられる。式４又は５及び式２以外の繰り返し単位として好ましい特性を付与するその他のコモノマーの例を具体的に示すと、メチルメタクリレート、メチルアクリレート、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、エチルメタクリレート、２−（メタクリロイルオキシ）エチルメタクリレート、ブチルメタクリレート、tert−ブチルメタクリレート、グリシジルメタクリレート、メタクリル酸、アクリル酸、アクリロニトリル、アクリルアミド、ヒドロキシメチルアクリルアミド、２−イソシアナトエチルメタクリレ−ト、４−アセトキシスチレン、３−メチル−４−ヒドロキシスチレン、スチレン、ビニルクロライド、エチルビニルエーテル、ブチルビニルエーテル、イソブチルビニルエーテル、シクロヘキシルビニルエ−テル、メチルビニルエーテル、無水マレイン酸、マレイミド、Ｎ−置換マレイミド、酢酸ビニル、２−イソシアナトエチルアクリレートなどが挙げられる。これらの中でメチルメタクリレート、メタクリル酸、メチルアクリレート、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、ヒドロキシメチルアクリルアミド、ブチルメタクリレート、tert−ブチルメタクリレート、グリシジルメタクリレート、メチルビニルエーテル、ブチルビニルエ−テルなどが好ましいものとして挙げられる。
【００２８】
これらコモノマーが有する主たる付与特性を特性別に例示すると、有機発色団とともに用いる場合に更に光吸収性を高めるものとしては、例えば２−イソシアナトエチルアクリレート、無水マレイン酸、マレイミド、Ｎ−置換マレイミド、２−イソシアナトエチルメタクリレ−トなどが、エッチング速度を高めるものとしては、例えばメチルメタクリレート、メチルアクリレート、２−ヒドロキシエチルメタクリレート、エチルメタクリレート、ブチルメタクリレート、ｔｅｒｔ−ブチルメタクリレート、アクリル酸、ビニルクロライドなどが、ＰＧＭＥＡ、エチルラクテートなど通常ホトレジストの溶剤として用いられる溶剤に対する溶解性を改善するものとしては、例えば２−（メタクリロイルオキシ）エチルメタクリレート、アクリル酸、４−アセトキシスチレン、３−メチル−４−ヒドロキシスチレン、エチルビニルエーテル、ブチルビニルエーテル、イソブチルビニルエーテル、シクロヘキシルビニルエ−テル、メチルビニルエーテル、酢酸ビニルなどが、架橋（硬化）性を改善するものとしては、例えば２−イソシアナトエチルアクリレート、２−イソシアナトエチルメタクリレ−ト、メタクリル酸、グリシジルメタクリレート、ヒドロキシメチルアクリルアミドなどが、Ｔｇを上昇させるためには、例えばスチレン、３−メチル−４−ヒドロキシスチレンなどが挙げられる。しかし、上記具体的コモノマー及びこのコモノマーの付与特性の例示は、単に例として挙げたにすぎないものでコモノマーが、これら具体的に挙げられたものに限定されるわけではないし、付与特性も同様に具体的に示したものに限定されるわけではない。
【００２９】
また、１８０〜４５０ｎｍの波長範囲にある波長の光を吸収する有機発色団を側鎖に有する繰り返し単位を構成するモノマーとしては、例えば主鎖に存在する酸無水物基やカルボキシル基に水酸基又はアミノ基を含有する有機発色団を化学的に結合させたものが挙げられる。
【００３０】
本発明の光吸収性ポリマーの分子量及び繰り返し単位の割合は広範囲で変わり得るものの、光吸収膜の材料として用いる場合には、１、０００〜５００、０００程度の分子量、また式４又は５で表わされる繰返し単位が全繰返し単位の少なくとも５モル％、式２で表わされる繰返し単位が全繰返し単位の少なくとも１０モル％含むものが好ましい。式４又は５及び式２で表わされる繰り返し単位の更に好ましい範囲は、全繰り返し単位の１５モル％以上である。
【００３１】
本発明の光吸収性ポリマーは溶剤に溶解され、例えば集積回路製造時のボトム反射防止膜として利用することができる。本発明の光吸収性ポリマーを集積回路の製造時に用いる場合で、露光光源として紫外ないし遠紫外光が用いられるときには、１８０〜４５０ｎｍの波長範囲内に強い吸収域を有するものを用いることが好ましい。このため、光吸収性ポリマーとしてこのような波長範囲の吸収特性を有するものが得られるように上記式２で示される繰り返し単位或いは必要であれば式４又は５更には式４又は５及び式２で表わされる繰り返し単位以外の繰り返し単位が選択される。このように露光波長に対し強い吸収域を有する式２で表わされる繰り返し単位を用いることにより、露光に用いられた波長の光を光吸収膜で強く吸収することができ、基板からの照射光の反射が防止されて、欠陥のないレジストパターンを形成することが可能となる。
【００３２】
一方、本発明の光吸収膜形成性組成物は、上記した光吸収性ポリマーを含有するものであり、これらポリマーに更に必要であれば添加成分が各種の溶剤に溶解されたものからなる。本発明の組成物で用いられる溶剤は、従来皮膜を形成するための組成物で用いられているもので、本発明の光吸収ポリマー及び添加成分を溶解することができるものであればいずれのものもよい。好ましい溶剤の例としては、γ−ブチロラクトン、シクロヘキサノン、ジメチルアセトアミド、ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、Ｎ−メチルピロリドン、乳酸エチル（ＥＬ）、メトキシプロパノール（ＰＧＭＥ）、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）、メチルアミルケトン（ＭＡＫ）、またはこれらの任意の混合物が挙げられる。これらの中でも特に好ましい溶剤は、γ−ブチロラクトン、シクロヘキサノン、ＥＬ、ＰＧＭＥ、ＰＧＭＥＡおよびＰＧＭＥとＰＧＭＥＡの混合溶媒である。
また、組成物中の光を吸収するポリマーの好ましい濃度は、組成物の使用目的、光吸収膜の膜厚により広範囲で変わりうる。例えば反射防止膜として用いる場合には、通常２０重量％以下の濃度とされる。
【００３３】
また、本発明の光吸収膜形成性組成物を作成する場合の添加成分としては、例えば従来公知の光吸収性化合物、或いは基板への接着性および塗布特性などを改善するための界面活性剤やシラン系のレベリング剤などが挙げられる。また、膜形成時の架橋密度をあげるために、一般に知られている架橋剤および架橋助剤を添加することもできる。これら架橋剤或いは架橋助剤は、具体的には、メラミン系、置換尿素系、熱または、光により酸を発生し、架橋を加速する酸発生剤、ビスブロックイソシアネート、ブロックイソシアネート又はエポキシ基を含有するポリマーなどが例示される。これらの架橋剤或いは架橋助剤は、低分子化合物あるいはポリマーのいずれでもよい。これらの架橋剤或いは架橋助剤の添加量は、光吸収ポリマーに対して、０．１〜５０重量％であることが望ましい。また、光吸収膜形成性組成物には、上記光吸収性ポリマーのほかに、皮膜形成性を改善するため、必要に応じて低分子化合物又は、本発明のポリマー以外のポリマーを含有させることもできる。
【００３４】
本発明の光吸収性ポリマーを含有する光吸収膜を例えば基板上に形成するには、光吸収性ポリマー及び必要により添加成分を溶剤に溶解して得た光吸収膜形成性組成物を基板上に塗布する、或いは場合によっては上記ポリマーの形成反応を基板上で行い直接反応生成物の膜を基板上に形成する方法等によることができる。
【００３５】
光吸収膜形成性組成物は、基板上にその使用目的に応じ適宜の膜厚となるように塗布される。例えば反射防止膜を形成する場合には、基板上に乾燥膜厚が３００〜５０００Åとなるように、スピンコート、流延塗布、ロール塗布などにより塗布される。塗布後、塗布膜はホットプレート上あるいは、オーブン中でベーキングされて、レジスト溶媒に対し不溶化される。ベーキング温度は、９０〜２６０℃程度、好ましくは、１６０℃以上である。
【００３６】
基板上に形成された反射防止膜等光吸収膜上には所定の膜厚のレジストが塗布された後、プレベークされて、レジスト膜が形成される。レジストとしては、ポジ型、ネガ型のいずれのものをも用いることができる。使用可能なレジストの代表的な例を挙げると、ノボラック樹脂とキノンジアジド系感光剤とからなるポジ型レジスト、化学増幅型レジストなどであるが、レジストがこれらに限定されるものではない。また、レジストの溶剤としては、通常ＥＬ、ＰＧＭＥ、ＰＧＭＥＡ、ケトン類などが用いられる。また、プレベークの温度は使用するレジストにより変わり、通常３０〜２００℃程度の範囲である。また、レジストの露光は、使用されるレジストにより、可視光、紫外線、遠紫外線、ＫｒＦエキシマレ−ザ−光、アルゴンフロライド（ＡｒＦ）レーザー光（１９３ｎｍ）、Ｘ線、又は電子線など種々選択され得る。反射防止のために光吸収膜に用いられる光吸収性ポリマーは、上記したごとく露光に用いられる照射波長領域に吸収を持つものが適宜選択される。露光後、必要に応じアフターベーキングが行われた後、現像液により現像されて、レジストパターンが形成される。その後酸素プラズマなどのガスプラズマを用いて反射防止膜等光吸収膜のドライエッチングが行われる。このようにして、基板を加工あるいは処理するための欠陥のないレジストパターンが形成される。なお、現像液としては、金属の水酸化物、有機アミン類などを溶解したアルカリ水性溶液など従来公知の現像液を用いることができる。
【００３７】
また、本発明の光吸収膜形成性組成物は、プロセス条件によっては、光の反射を防止する機能と、更には基板とレジストとの相互作用の防止或いはレジストに用いられる材料又はレジストへの露光時に生成する物質の基板への悪作用を防ぐ機能とを有する膜、更には、パターンが既に形成されている段差のある基板（段差基板）上にレジストなどを塗布する際に、基板の段差を埋めて平坦化し、その上に塗布されるレジストなどの塗布膜の膜厚均一性を上げるための平坦化膜としても使用可能である。
【００３８】
なお、本発明の光吸収膜を平坦化膜として用いる場合には、光吸収性ポリマーのガラス転移温度（Ｔｇ）を少し低くして、ベ−キングを行うときに幾分流動が起こり、完全に固まった後ではレジスト溶剤に対し不溶となるようにする方法が挙げられる。このためには、光吸収性ポリマーの熱による架橋機能を少し減らすことが一方法として考えられる。このような平坦化の機能を達成するには、光吸収性ポリマーの重合度、組成物中での光吸収性ポリマーの濃度、式４又は５或いは式２で表わされる繰り返し単位の置換基の選択、式４又は５で表わされる繰り返し単位及び式２で表わされる繰り返し単位のポリマ−中での割合、式４又は５或いは式２以外のコモノマ−の選択、添加成分の選択など種々の方法が考えられる。
【００３９】
本発明の光吸収膜形成性組成物は、フォトレジスト用の溶媒に溶けるため、レジストと同じコート装置および廃液装置ならびにリンス溶液を使用することができ、また、本発明の光吸収性ポリマーを用いた反射防止膜においては、特にＤＵＶ（２４８ｎｍ）波長に対する吸収性の高い皮膜を形成することができるため、ＤＵＶに対し感応性の化学増幅型レジスト用の反射防止膜として好ましく用いることができる。更に、本発明の光吸収膜はレジスト依存性が少ないため、ＩＣ製造時のレジストの変更などにおいて反射防止膜材料の変更を必要としないため、プロセス変更の検討の必要がなくなり、使用者にとっては非常にメリットになるという特徴を有する。例えば、現在市販の反射防止膜用材料で、ヘキスト社のｉ−線（３６５ｎｍ）を光源とするレジスト用のＡＺ−ＢＡＲＬｉは、シクロヘキサノンを良溶媒とし、レジスト溶剤に溶けにくいことから、反射防止膜塗布時やエッジリンスする時に、レジストと同じコート装置を使用しにくいという欠点がある。また、ＡＺ−ＢＡＲＬｉそのもの自体は、ＤＵＶに対し吸収を持っているが、レジスト依存性があり、場合によっては、レジストのプロファイルにフッティングまたはアンダーカットが見られる。また、本発明の光吸収性ポリマーはレジスト溶媒に溶解するが、基板上に塗布後に適切な温度で加熱することにより膜を形成しレジスト溶媒に不溶となり、更にレジスト用の水性アルカリ性現像液にも不溶になるという特徴を有する。したがって、本発明の反射防止膜などの光吸収膜上にレジスト膜をコートするとき、および露光後のレジストの湿式現像するときに反射防止膜など光吸収膜が溶解することはない。更に、本発明の光吸収膜はレジスト像をエッチングマスクとして使用する場合、乾式エッチングによって容易に除去することができるという特徴をも有している。
【００４０】
なお、本発明の光吸収性ポリマーは、既知の種々の合成方法により得ることができる。その一例としては、側鎖にケト基を有する前記式４又は５の繰り返し単位に対応するモノマ−と、有機発色団を有する前記式２の繰り返し単位に対応するモノマ−との共重合による方法が挙げられる。また、有機発色団を有するモノマ−は、たとえば、ヒドロキシやアミノ基をもつ有機発色団化合物をそのアクリル酸エステルまたは、アミドによる既知の方法により容易に得ることができる。光吸収性ポリマ−を得る方法としては上記共重合による方法がもっとも一般的であるが、反応性基を持つポリマーとヒドロキシやアミノ基などをもつ有機発色団化合物との反応により、ポリマーに光吸収性基を導入する方法も可能である。
【００４１】
本発明では、重合は、フリーラヂカル又はイオン反応開始剤を用い適当な溶剤中で行うことができる。共重合体は、ランダム共重合体、ブロック共重合体等種々の構成を採ることができる。重合を行う際の好ましい溶剤としては、トルエン、テトラヒドロフラン、ベンゼン、ジメチルホルムアミド、ジメチルスルホキシド、エチルラクテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート（ＰＧＭＥＡ）、シクロペンタノン、シクロヘキサノン、ブチロラクトン、２−ヘプタノン、エチル−３−エトキシプロパネート、エチレングリコールモノエチルアセテート、メチル−３−メトキシプロパネートなどが挙げられる。これらの溶剤は、単独でも２種以上の組み合わせで用いてもよい。
【００４２】
また反応開始剤の具体例としては、２，２’−アゾビス（イソブチロニトリル）（ＡＩＢＮ）、２，２’−アゾビス（４−メトキシ−２，４−ジメチルバレロニトリル）、２，２’−アゾビス（２−シクロプロピルプロピオニトリル）、２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルバレロニトリル）、２，２’−アゾビス（２，４−ジメチルペンタンニトリル）、１，１’−アゾビス（シクロヘキサンカーボニトリル）、ベンゾイルパーオキシド、ｔ−ブチルパーオキシベンゾエート、ジ−ｔ−ブチルジパーオキシフタレート、ｔ−ブチルパーオキシ−２−エチルヘキサノエート、ｔ−ブチルパーオキシピバレート、ｔ−アミルパーオキシピバレート、ブチルリチウムなどが挙げられるが、開始剤がこれらに限定されるわけではない。
【００４３】
これら、重合体は、溶剤から分離された後再度適当な溶剤に溶解させて反射防止膜又は光吸収膜用組成物とすることができるし、合成の際に用いた溶剤が反射防止膜又は光吸収膜用組成物の溶剤として利用することができるものであれば、重合体を分離することなく直接反射防止膜又は光吸収膜用組成物として用いることもでき、反応終了後の溶液を直接ウエハなどの基板に塗布することもできる。なお、反射防止膜又は光吸収膜用組成物は、例えば０．５、０．２及び０．１などのミクロンフィルターを用いてろ過することにより、不溶性の微粒子を除去することが望ましい。更に、ろ過した溶液は、例えば直接ウエハ等の基板上に塗布することもできる。
【００４４】
得られる重合体の分子量は、重合時間、反応温度、使用単量体及び開始剤濃度、反応媒体などに左右され、これらのパラメターを適宜選択或いは調整することにより、得られる重合体の分子量を容易に制御することができる。またイオン重合を選ぶことにより、狭い分子量分布を有する重合体を得ることもできる。
【００４５】
光吸収ポリマー中のコモノマーのモル比は、各モノマーの反応速度、使用される反応条件により決定される。所望の波長に対する光吸収性及び最終重合体の屈折率の値は、その重合体が底面反射防止膜等として使用できるかどうかを決定する上で重要な意味を有している。膜の光吸収は、１ミクロン厚当たり２〜４０の範囲の吸収が好ましく、５〜２５が更に好ましい。また３元以上の共重合体にあってもこの吸収性を有する必要がある。吸収は強すぎても、また弱すぎても反射防止膜として好ましい結果を得ることはできない。また反射防止膜材料に要求される光吸収特性は、その上に塗布されるホトレジスト材料の光吸収特性及び屈折率にも依存する。反射防止膜の屈折率は、その上に塗布されるレジスト層の屈折率と一致するのが最も良いが、少なくともできるだけ近いものを用いるのが好ましい。反射防止膜材料の光吸収特性は、発色団を含む単量体の分子光吸収特性及びモル比により決定されるため、発色団を含む単量体のモルパーセントは、反射防止膜材料にとって重要である。本発明においては、有機発色団を有するモノマーの仕込み割合を調節することにより容易に制御でき、また意図した値の重合体を製造することができる。
【００４６】
以下、本発明を実施例により更に詳細に説明するが、実施例は単に説明のための例示であって、本発明の範囲を限定するものではない。
【００４７】
合成例１ （９−メタアクリロイルオキシメチルアントラセンの合成）
室温で、９−ヒドロキシメチルアントラセン８７．５ｇ（０．４２モル）を５００ｍＬの酢酸エチルに加える。これに更に７．３ｇ（６０ミリモル）の４−ジメチルアミノピリジンを加えた後、攪拌しながら、無水メタアクリル酸８３ｇ（０．５４モル）を滴下した。その後、反応混合溶液を６０℃で約４時間、反応が終了するまで攪拌した。反応終了後、反応物を室温まで冷却し、酢酸エチルを加え、有機層をアルカリ水、次いで水により洗滌した後、有機溶剤を減圧蒸留して、固体状の目的生成物を得た。収量は、８０ｇ（７３％）であった。この生成物を、メタノール中での紫外吸収測定及びＮＭＲにより同定した。紫外吸収測定による結果は、２４８ｎｍでのモル吸光係数が１．０５×１０⁵ であった。また、 ¹Ｈ−ＮＭＲ（ＤＭＳＯ−ｄ６），（４００ＭＨｚ）は、１．８２（ｓ，３Ｈ），５．５９（ｓ，１Ｈ），５．９（ｓ，１Ｈ），６．２（ｓ，２Ｈ），７．４９−７．７（ｍ，４Ｈ），８．１２（ｍ，２Ｈ），８．４（ｍ，２Ｈ），８．６７（ｓ，１Ｈ）に、シグナルを示した。
【００４８】
合成例２ （１−メタアクリロイルアミノアントラセンの合成）
室温で、１−アミノアントラセン２５ｇ（０．１３モル）を１２０ｍＬの酢酸エチルに溶解し、これに０．６１ｇ（５ミリモル）の４−ジメチルアミノピリジンを加え、攪拌しながら、無水メタアクリル酸２４．６ｇ（０．１６モル）と酢酸エチル３０ｍＬとの混合溶液を約５分間かけて滴下した。その後、反応混合溶液を５０℃で３時間、攪拌した後、室温まで冷却し、析出した沈殿物を濾過した。酢酸エチルで沈殿物を２回洗滌し、真空乾燥することにより、目的の１−メタアクリロイルアミノアントラセンを得た。収量は、１８．６ｇ（６０％）であった。更に濾液からの回収により、約９ｇの目的物を得た。メタノール中での紫外吸収測定の結果は、２４８ｎｍでのモル吸光係数が４．１×１０⁴ であった。
【００４９】
実施例１
室温で、９−メタアクリロイルオキシメチルアントラセン５５．２ｇ（０．２モル）及びアセチルアセトキシエチルメタアクリレート４２．８ｇ（０．２モル）をテトラヒドロフラン（ＴＨＦ）５００ｍＬに溶解した後、ラジカル開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル（ＡＩＢＮ）３．２８ｇ（２０ミリモル）をこれに加え、室温で、窒素を導入しながら１５分間攪拌し、次いで反応混合溶液を還流温度で１０時間加熱した。その後、反応溶液を室温に冷却した後、イソプロパノール（ＩＰＡ）に沈殿させ、沈殿物を濾過し、更にＩＰＡで洗滌し、５０℃で真空乾燥することによりポリマー（以下「ポリマーＡ」という。）を得た。収量は、７８ｇ（８２％）であった。 ¹Ｈ−ＮＭＲ（ＤＭＳＯ−ｄ６）で、アントラセンの芳香族環上プロトン（６．５−８．３ｐｐｍ）及びアントラセンに置換しているメチレンプロトン（５．２−６．３ｐｐｍ）を確認した。更にアセチルアセトキシエチルメタアクリレート由来のエチルのプロトン（−ＯＣＨ₂ ＣＨ₂ Ｏ−，３−４ｐｐｍ）の積分比から、ポリマー中での９−メタアクリロイルオキシメチルアントラセンモノマーとアセチルアセトキシエチルメタアクリレートとのモル比は、約１．０６：１であることがわかった。また、移動層をジメチルホルムアミド、ポリエチレンオキシドを標準物質として用いたＧＰＣ分析では、ポリマーＡは、重量平均分子量Ｍｗが１７，０００、数平均分子量Ｍｎが８，４３０、分散度Ｍｗ／Ｍｎが２．０３であった。また、スピンコートでシリコンウェハー上に約１００ｎｍの膜厚でコートできる濃度でポリマーＡをＰＧＭＥＡに溶かし、シリコンウェハー上に成膜し、２００℃で６０秒ベーキングして得た膜を分光エリプソメーターにより測定した結果、２４８ｎｍでの膜の光学吸収係数（ｋ値）は、０．５８であった。また、ポリマーＡを溶液中に１０重量％になるようにＰＧＭＥＡに混ぜて、室温で攪拌したところ、ポリマーは全部溶解した。
【００５０】
実施例２
９−メタアクリロイルオキシメチルアントラセン（ＭＡＯＭＡ）とアセチルアセトキシエチルメタアクリレート（ＡＡＥＭ）の仕込み比を表１に記載された合成番号１〜２に記載の値に変えた以外は実施例１と同様にしてポリマーを合成した。得られたポリマーのＭＡＯＭＡとＡＡＥＭの共重合比（モル比）をＮＭＲにより測定、確認した。また、分光エリプソメーターを用いてのポリマー膜の２４８ｎｍでの光学吸収係数ｋを測定した。各々の測定結果を表１に示す。更に、溶解性試験を行ったところ、いずれのポリマーもＰＧＭＥＡのようなレジスト溶媒に溶解しやすいことがわかった。以上の結果から、本発明では、高吸収で、レジスト溶媒に可溶なポリマーを再現性よく提供できることがわかる。
【００５１】
【表１】

【００５２】
実施例３
室温で、１−メタアクリロイルアミノアントラセン５２．２ｇ（０．２モル）及びアセチルアセトキシエチルメタアクリレート４２．８ｇ（０．２モル）をテトラヒドロフラン（ＴＨＦ）５００ｍＬに溶解し、更にラジカル開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル（ＡＩＢＮ）３．２８ｇ（２０ミリモル）を加え、室温で、窒素を導入しながら１５分間攪拌した後、反応混合溶液を還流温度で１０時間加熱した。その後、反応溶液を室温に冷却し、イソプロパノール（ＩＰＡ）に沈殿させ、沈殿物を濾過し、更にＩＰＡで洗滌し、５０℃で真空乾燥することによりポリマー生成物を得た。収量は、８２ｇ（８９％）であった。 ¹Ｈ−ＮＭＲ（ＤＭＳＯ−ｄ６）による、アントラセン部分のプロトンとアセチルアセトキシエチルメタアクリレート由来のエチルのプロトン（−ＯＣＨ₂ ＣＨ₂ Ｏ−）の積分比より、ポリマー中の二つのモノマー比がほぼ１：１であることを確認した。また、流動層をジメチルホルムアミド、ポリエチレンオキシドを標準物質として用いたＧＰＣ分析では、得られたポリマーの重量平均分子量Ｍｗは３５，０００、数平均分子量Ｍｎは１５，２００、分散度Ｍｗ／Ｍｎは２．３であった。このポリマーを２００℃で６０秒ベーキングして得られた膜を分光エリプソメーターで測定した結果、２４８ｎｍでの光学吸収係数ｋは０．４であった。
【００５３】
実施例４
室温で、ＭＡＯＭＡ ４１．４ｇ（０．１５モル）、ＡＡＥＭ ３２．１ｇ（０．１５モル）及びメチルメタアクリレート１５ｇ（０．１５モル）をテトラヒドロフラン（ＴＨＦ）５００ｍＬに溶解し、更にラジカル開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル（ＡＩＢＮ）３．２８ｇ（２０ミリモル）を加え、室温で、窒素を導入しながら、１５分間攪拌した後、反応混合溶液を還流温度で１０時間加熱した。その後、反応溶液を室温に冷却し、イソプロパノール（ＩＰＡ）に沈殿させ、沈殿物を濾過し、更にＩＰＡで洗い、５０℃で真空乾燥することによりポリマー（以下「ポリマーＢ」という。）を得た。収量は、６８．８ｇ（８０％）であった。流動層をジメチルホルムアミド、ポリエチレンオキシドを標準物質として用いたＧＰＣ分析では、得られたポリマーの重量平均分子量Ｍｗは３０，０００、数平均分子量Ｍｎは１４，３００、分散度Ｍｗ／Ｍｎは２．１であった。このポリマーを２００℃で６０秒ベーキングして得た膜を分光エリプソメーターで測定した結果、２４８ｎｍでの光学吸収係数ｋは０．５３であった。また、溶解性試験の結果から、ＰＧＭＥＡ、ＰＧＭＥ、ＥＬなどのレジスト溶剤に高い溶解性を持つことがわかった。
【００５４】
実施例５ 光吸収性組成物の作成
上記実施例１で得られたポリマーＡ ６ｇを、ＰＧＭＥＡ １００ｇに室温で撹拌しながら溶解し、ポリマーが完全に溶解した後、この溶液を０．１ミクロンのフィルターで濾過して、光吸収膜形成性組成物Ｃを得た。次にこの光吸収膜形成性組成物Ｃにヘキサメトキシメチルメラミン（ポリマーＡに対してその２０重量％）及び２，４−ビストリクロロメチル−６−スチリル−ｓ−トリアジン（ポリマーＡに対してその２重量％）を溶解し、０．１ミクロンのフィルターで濾過することにより、光吸収膜形成性組成物Ｄを得た。
また、実施例４で得られたポリマーＢ ５ｇを、ＰＧＭＥＡ １００ｇに室温で撹拌しながら溶解し、更に日本ポリウレタン社製のコロネート２５０７（ビスイソシアネートのブロックされたもの）をポリマーに対してその１５重量％となるように混合し、しばらく攪拌した後、０．１ミクロンのフィルターで濾過して、光吸収膜形成性組成物Ｅを得た。
【００５５】
比較例１
ヘキスト社より市販される反射防止膜用ＡＺ−ＢＡＲＬｉ溶液を４インチシリコンウエハーに適切な条件でスピンコートし、得られたものを比較実験に用いた。
【００５６】
実施例６
上記実施例５で作成された光吸収膜形成性組成物Ｃ、Ｄ、Ｅをそれぞれ４インチシリコンウエハー上に適切な条件でスピンコートし、得られたものを以下の比較実験に用いた。
【００５７】
実施例７ ベーキング前のリンス比較実験
スピンコーター上において８００ｒｐｍの回転数で回転されるシリコンウエーハー上のベーキング前の光吸収膜形成性組成物に、リンス液（ＰＧＭＥ：ＰＧＭＥＡ＝７０：３０（重量比））を１０秒、２０秒、３０秒間滴下することにより、光吸収膜のリンス状態をみた。その結果、本発明の光吸収膜形成性組成物Ｃ、Ｄ及びＥから形成された実施例６の光吸収膜は、１０秒間のリンスにより完全に除去されたが、比較例１のＡＺ−ＢＡＲＬｉのフィルムは、３０秒のリンス時間でも一部しか溶解除去できなかった。
【００５８】
実施例８ カバレージ比較実験
あらかじめ、シリコンウエハーにレジストのパターンを形成し、約２５０℃の高温ベーキングによりレジストパターンをレジスト溶剤に対して不溶化させ、レジストパターンと光吸収膜形成性組成物の相互作用を防ぎ、かつ走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）での観察を容易にするため更にその上に白金を蒸着した後、この段差のあるシリコンウエーハー上に上記実施例５の光吸収膜形成性組成物Ｃ、Ｄ及びＥをそれぞれコートした。一方、比較のためヘキスト社製のＡＺ−ＢＡＲＬｉをコートした。これらを、１００℃、９０秒間ホットプレート上でベークした後、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）によるパターンの断面観察を行った。その結果、本発明の光吸収性ポリマーから得られたフィルムはパターン形状に沿った形で塗布されており、ＡＺ−ＢＡＲＬｉのフィルムと同様のカバレージ性があることがわかった。
また、モノマー比率を更に変えてＴｇを低下させたポリマーから得られた本発明の光吸収膜形成性組成物を、ある適切な温度、例えば架橋温度を下まわる温度条件でベーキングすることにより、ポリマー層が流動しその後ポリマーが架橋するようにベーキング温度を上昇させ、レジストパターンの段差を埋めるような形で塗布できるものがあることが分かった。このような特性を持つものは一般に平坦化膜として利用することができる。
【００５９】
実施例９ ベーク後の反射防止膜のレジスト溶剤への溶出実験
本発明の光吸収性組成物Ｅをシリコンウエハー上に乾燥後の膜厚が１０００Åとなるようにコートし、１８０℃、２００℃、２２０℃の温度でベークした後、この膜上にレジスト溶媒であるＥＬ、ＰＧＭＥＡ、及びＭＡＫを滴下し、２分後に皮膜上の液を拭き、膜減り量を測定した。結果を表２に示す。表２の結果から、レジスト溶剤に可溶の光吸収性ポリマーを用い、適切な温度でベークすることによって形成された本発明の光吸収膜は、レジスト膜を形成する時、レジスト組成物に溶解する等膜自体に変化が生じることはないことがわかる。また、これらの膜に現像液（水酸化テトラメチルアンモニウム２．３８重量％水溶液）を滴下して、同様に膜減り量を測定したところ同様に優れた結果を得ることができた。
【００６０】
【表２】

【００６１】
実施例１０ レジストパターン実験
本発明の光吸収膜形成性組成物Ｄ及びＥをそれぞれシリコンウエハー上に乾燥後の膜厚が約６００Åとなるようコートし、２２０℃で６０秒間ベークして反射防止膜を形成した後、ヘキスト社のＤＵＶ用レジストＡＺ ＤＸ１１００Ｐを０．７５ミクロンの膜厚でコートし、所定の条件で露光、現像することにより、反射防止膜上にレジストパターンを作成した。また、比較のために１２００Å膜厚のＡＺ−ＢＡＲＬｉからなる反射防止膜上に同様にレジストパターンを形成した。得られたレジストパターンの断面をＳＥＭで観察したところ、本発明の反射防止膜を用いたものは、より高解像度でレジストパターンができ、レジストのフッティング及びアンダーカットがないことが確認された。一方、ＡＺ−ＢＡＲＬｉを用いたものは、レジストパターンにフッティングが観察された。フッティング現象が発生したのは、レジストの露光部分に発生した酸がＡＺ−ＢＡＲＬｉの反射防止膜と相互作用をおこしたためと考えられる。
また、本発明で得られた反射防止膜上での他のＤＵＶレジストを用いたパターン試験の結果、いずれも良好なパターンを得ることができた。
【００６２】
実施例１１ エッチング比較実験
本発明の光吸収性組成物から得られた反射防止膜フィルムとＡＺ−ＢＡＲＬｉから得られた反射防止膜フィルムを同じ厚みで作製し、２２０℃でベークした後、ドライエッチング装置を用いてエッチング比較テストを行った。それぞれの膜のエッチングされる速度を比較した結果、本発明のポリマーフィルムは、ＡＺ−ＢＡＲＬｉと同程度のエッチング速度を有し、中には、ＡＺ−ＢＡＲＬｉよりも若干エッチング速度が高いものがあることが分かった。
【００６３】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明の光吸収性ポリマーは、吸収波長の異なる色素を適切に組み込むことにより、所定の光の波長に対し良好な光吸収性を有するものが得られ、また接着性の良好な反射防止膜を形成することができ得る上、レジストの溶媒として用いられる溶剤に溶解するため、レジストプロセスを実施する際に、レジストと同じ塗布装置及び廃液装置ならびにリンス液を使用することができ、不必要なプロセスあるいは設備を省くことができるという効果を有する。
また、本発明の光吸収性ポリマーは、皮膜の形成が容易である上、塗布後適切な温度で加熱することにより、レジスト溶剤に不溶となり、レジスト膜の形成中あるいは現像中にレジスト組成物や現像液に対して溶解しない反射防止膜などの光吸収膜を形成することができ、また、ドライエッチングにより容易に除去可能であるという、レジストプロセスにおける好ましい皮膜特性を有する。
しかも、本発明の光吸収膜形成用組成物は、反射防止膜を形成する基板に段差がある場合においても、良好なカバレージ特性を有し、解像度の高いマスクパターンを段差のある基板上に容易に形成することができるという効果をも有するものである。更に、レジストプロセスにおいては、段差基板上の段差を平坦化し、レジストのプロセスマージンをよくすることが必要な場合もあるが、本発明の光吸収性皮膜組成物では、ポリマーの共重合比、コモノマーの選択、組成、ベーク温度等を適宜調整することによって段差を平坦化することもできることから、レジストプロセスにおいて、広範囲の応用が可能となるという効果をも有する。
また、基板に対しての要求が厳しいＤＵＶレジストの場合でも、本発明の光吸収膜はレジストに対する依存性が少なく、異なるレジストを用いる場合においても、同じ反射防止膜が使用できるという効果もある。

Claims (6)

1. 下記式１で示される繰り返し単位５〜９０モル％及び下記式２で表わされる繰返し単位１０〜９５モル％を少なくとも有し、
   

   

   （式中、Ｒ₁及びＲ₂は、互いに同一でも異なってもよく、水素原子又はアルキル基を示し、Ｒ₃は、少なくとも一つのカルボニル基を有する有機基を示す。）
   

   

   （式中、Ｒ₄及びＲ₅は、互いに同一でも異なってもよく、水素原子、アルキル基又はカルボキシル基を示し、Ｙは、
   

   

   から選ばれた、１８０〜４５０ｎｍの波長範囲にある波長の光を吸収する有機発色団を有する基を示す。）
   上記式１で表わされる繰り返し単位が、下記式４で表わされる繰り返し単位、あるいは、下記式５で表わされる繰り返し単位であることを特徴とする光吸収性ポリマー。
   

   

   （式中、Ｒ₁、Ｒ₂、Ｒ₈及びＲ₉は、互いに同一でも異なってもよく、水素原子又はアルキル基を示し、Ｒ₁₀は、水素原子、アルキル基又は芳香族基を示す。）
   

   

   （式中、Ｒ₁、Ｒ₂、Ｒ₁₂及びＲ₁₃は、互いに同一でも異なってもよく、水素原子又はアルキル基を示し、Ｒ₁₄は、水素原子、アルキル基又は芳香族基を示し、Ｒ₁₁は−ＯＲ ₁₅ Ｏ−基および−ＮＨＲ ₁₅ Ｏ−基（Ｒ ₁₅ は、置換されていてもよい直鎖、分枝鎖又は環状アルキレン基又は置換されていてもよいフェニレン基を示す。）から選ばれた２価の基を表す。）
2. 請求項１記載の光吸収性ポリマーにおいて、Ｒ₁₅がエチレン基であることを特徴とする光吸収性ポリマー。
3. 請求項１または２に記載の光吸収性ポリマーを含有する光吸収膜形成性組成物。
4. 請求項３に記載の光吸収膜形成性組成物を基板上に塗布し、ベーキングすることにより光吸収膜を形成することを特徴とする光吸収膜の形成方法。
5. 請求項４に記載の方法により形成された光吸収膜。
6. 光吸収膜が反射防止膜である請求項５に記載の光吸収膜。