JP3810183B2 - 窒化珪素質焼結体 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ガスタービンエンジン用部品や自動車用部品、あるいはその他の構造用部品に好適な高強度、高靱性を有する窒化珪素質焼結体に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
窒化珪素質焼結体は、従来から高強度を有するとともに、耐熱性、耐熱衝撃性、耐酸化性に優れた材料として注目され、エンジニアリングセラミックス、特にガスタービンエンジン用部品や自動車用部品などの熱機関用部品として応用が進められていた。
【0003】
窒化珪素質焼結体は、主体をなす窒化珪素自体が難焼結材であることから、各種の焼結助剤を配合して焼結させることにより高密度でかつ高強度を有する特性が得られることが知られており、このような焼結助剤として、Yや希土類元素の酸化物(RE2 O3 )、酸化アルミニウム(Al2 O3 )、酸化マグネシウム(MgO)、二酸化珪素(SiO2 )などが用いられ、とりわけ、比較的低温下で容易に焼結させることが可能な助剤として、酸化イットリウム(Y2 O3 )と酸化アルミニウム(Al2 O3 )を併用した窒化珪素質焼結体が特公昭52−3649号や特公昭58−51910号に開示されている。
【0004】
【発明が解決しようとする問題点】
しかしながら、焼結助剤として酸化イットリウムと酸化アルミニウムを用いたほとんどの窒化珪素質焼結体は、粒界がガラス相のみからなるため、強度的にピストンピンやエンジンバルブなどのような高強度が要求される自動車用部品やガスタービンエンジン用部品としては十分ではなかった。
【0005】
そこで、粒界を結晶化させて強度を高めることも提案されているが、その反面破壊靱性値が低いといった問題点があった。
【0006】
また、窒化珪素質焼結体の主結晶相をなす窒化珪素粒子は、柱状晶あるいは針状晶をなし、これらが絡み合った組織構造をとることにより焼結体の破壊靱性値を高めることができ、理論的にはこの破壊靱性値を向上させることで強度も高められることが知られている。その為、従来より靱性を高める手法として、窒化珪素粒子の柱状化あるいは針状化を促進させることが行われているが、この手法では粒子の粗大化によって窒化珪素粒子が破壊源となり、焼結体の強度を低下させてしまうといった問題点があった。
【0007】
【問題点を解決するための手段】
そこで、本件発明者らは上記問題点を解消するために鋭意研究を重ねた結果、窒化珪素質焼結体を構成する主結晶相の粒成長を抑制し、特定の粒径に微細化するとともに、粒界にワラストナイト結晶相(RESiO2N)(K−phase)を主として析出させることにより高強度でかつ高靭性を有する窒化珪素質焼結体が得られることを知見した。
【0008】
即ち、本発明の窒化珪素質焼結体は、周期律表第3a族元素を酸化物換算で3.0〜11.4モル%、アルミニウムを酸化物換算で1.0〜9.5モル%、過剰酸素を二酸化珪素換算で2.0〜7.6モル%、窒化珪素を81〜90モル%の割合で含み、前記周期律表第3a族元素の酸化物に対する二酸化珪素のモル比が0.9未満で、かつ残部が実質的に窒化珪素からなり、焼結体中において窒化珪素が主結晶相をなし、その長径の最大値が10μm以下であるとともに、粒界にワラストナイト結晶相が主として存在することを特徴とするものである。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下、本発明について詳述する。
【0010】
本発明の窒化珪素質焼結体は、添加成分として周期律表第3a族元素酸化物(RE2O3)と酸化アルミニウム(Al2O3)及び過剰酸素を含み、残部が実質的に窒化珪素からなる。ここで、過剰酸素とは、焼結体中の全酸素量から焼結体中のSi以外の周期律表第3a族元素及びアルミニウムが化学量論的に酸化物を形成した時にその元素に結合している酸素を除いた残りの酸素量のことであり、その殆どが窒化珪素原料に含まれている酸素、あるいは焼結助剤として添加する二酸化珪素として混入するものであり、本発明では全て二酸化珪素(SiO2)として存在するものとして考慮する。
【0011】
また、本発明の窒化珪素質焼結体は、主結晶相が窒化珪素、特にβ−窒化珪素からなるものである。なお、添加成分である酸化アルミニウムの一部が焼成時に上記β−窒化珪素の結晶中に固溶し、β−サイアロンを構成することもあるが、本発明において上記酸化アルミニウムの含有量は微量であり、また、主結晶相のβ−窒化珪素と同一の結晶構造を有するものであり、ここで言う窒化珪素とは上記β−サイアロンを含むものとして考える。
【0012】
そして、本発明の窒化珪素質焼結体は、主結晶相をなす窒化珪素粒子の長径の最大値が10μm以下と微細な組織から構成されていることを特徴とする。
即ち、窒化珪素粒子は通常、柱状晶あるいは針状晶をなし、これらが絡み合った組織構造をとることにより高靱性が得られるものの、窒化珪素粒子の柱状化あるいは針状化を促進させると、粒子の粗大化により窒化珪素粒子が破壊源となって焼結体の強度を高めることができない。
【0013】
そこで、本発明は、焼結助剤として周期律表第3a族元素酸化物(RE2 O3 )及び酸化アルミニウム(Al2 O3 )を含有させて焼成温度を下げることにより、柱状晶あるいは針状晶の窒化珪素粒子における長径の最大値を10μm以下、好ましくは4〜8μmに微細化したものであり、その結果、焼結体をより緻密化して強度を大幅に高めることができる。なお、主結晶相をなす窒化珪素粒子の短径に対する長径の比(アスペクト比)は平均で2〜7が適当である。
【0014】
一方、主結晶相を微細化すると、主結晶相同士の絡み具合が弱くなり、破壊靱性値が低下することになるが、本発明によれば、焼結体の粒界にワラストナイト結晶相(RESiO2N)(K−phase)を主として存在させることで、微細な組織構造のまま高靱性を達成したものである。
【0015】
このように、粒界にワラストナイト結晶相を主として存在させることで焼結体の高強度を維持したまま、破壊靱性値を向上させることができる理由としては、ワラストナイト結晶の熱膨張率が主結晶相の窒化珪素に比べて大きいことから、焼成後の冷却時に窒化珪素粒子との収縮差を生じ、窒化珪素粒子に圧縮の残留応力が残るため、焼結体に外部応力が加わりクラックが進展しても、このクラックは窒化珪素粒子で偏向される結果、焼結体の破壊靱性値が向上するものと考えられる。
【0016】
その為、従来のように窒化珪素粒子の柱状化あるいは針状化を促進させることなく、微細な窒化珪素粒子のまま靱性値を高めることができるため、強度と靱性の両方を向上させることができ、その結果、窒化珪素質焼結体の強度を4点曲げ強度で1100MPa以上、より高くは1200MPa以上を達成することができるとともに、破壊靱性値を7MPam1/2 以上、より高くは8MPam1/2 以上とすることができる。
【0017】
なお、ワラストナイト結晶相が粒界に主として存在するとは、粒界がガラス相とワラストナイト結晶相とからなるか、ガラス相とワラストナイト結晶相及びN−アパタイト結晶相(RE5 Si3 O12N)(H−phase)とからなるか、あるいはその全部がワラストナイト結晶相からなるものを言う。
【0018】
即ち、粒界の全てがガラス相であると、焼結体の破壊靭性値を高めることができず、また、粒界にN−アパタイト結晶相(RE5 Si3 O12N)(H−phase)のみやその他の酸窒化物結晶相のみが析出すると、粒界の抜けたようなポーラスな部分が形成され易くなり、焼結体の強度及び破壊靭性値を大きく低下させてしまうからである。
【0019】
ところで、焼結体の粒界にワラストナイト結晶相を主として存在させるには、焼結体中における周期律表第3a族元素の酸化物に対する二酸化珪素(過剰酸素分)のモル比、即ち、Si02 /RE2 O3 で表されるモル比を0.9未満とすることが必要であり、このモル比が0.9より大きくなると、粒界にワラストナイト結晶相以外のN−アパタイト結晶相やその他の酸窒化物結晶相が析出し、ワラストナイト結晶相を主として析出させることができなくなるとともに、粒界にポーラス部分ができるため、焼結体の強度及び破壊靭性を高めることができない。
【0020】
また、窒化珪素質焼結体の強度及び破壊靱性値を向上させるためには、焼結体中における周期律表第3a族元素を酸化物換算で3.0〜11.4モル%、好ましくは4.0〜8.0モル%とするとともに、アルミニウムを酸化物換算で1.0〜9.5モル%、好ましくは2.5〜6.0モル%とし、かつ過剰酸素を二酸化珪素換算で2.0〜7.6モル%、好ましくは3.5〜5.5モル%とすることが必要である。
【0021】
これは、周期律表第3a族元素が酸化物換算で3.0モル%未満、又は過剰酸素が二酸化珪素換算で2.0モル%未満であると、いずれも焼結性が低下するために実用的な焼結体を得ることができないからであり、逆に、周期律表第3a族元素が酸化物換算で11.4モル%より多くなるか、又は過剰酸素が二酸化珪素換算で7.6モル%より多くなると、粒界の占める割合が多くなるために、焼結体の強度及び破壊靱性値が低下するからである。
【0022】
また、アルミニウムが酸化物換算で1.0モル%より少なくなると、焼成温度を下げる効果が小さく、主結晶相をなす窒化珪素粒子の長径の最大値を10μm以下に微細化することができないからであり、逆に、9.5モル%より多くなると、粒界に結晶相を析出させることができなくなるとともに、焼結体の破壊靱性値が低下する傾向にあるからである。
【0023】
なお、残部は実質的に窒化珪素からなり、焼結体中における窒化珪素量は、焼結体中の全Si量より過剰酸素量から算出した二酸化珪素に基づくSi分を差し引いた残りのSiを窒化物換算することで求めることができ、この算出方法によれば、81〜90モル%であることが重要であり、特に84〜87モル%であることが望ましい。
【0024】
次に、本発明に係る窒化珪素質焼結体の製造方法を説明する。
【0025】
まず、出発原料として窒化珪素(Si3 N4 )、周期律表第3a族元素酸化物(RE2 O3 )、酸化アルミニウム(Al2 O3 )の粉末を用意し、これらを窒化珪素(Si3 N4 )81〜90モル%、周期律表第3a族元素酸化物(RE2 O3 )3.0〜11.4モル%、窒化珪素原料に含まれている過剰酸素(SiO2 )2.0〜7.6モル%、酸化アルミニウム(Al2 O3 )1.0〜9.5モル%、SiO2 /RE2 O3 のモル比が0.9未満となるように調製する。
【0026】
なお、窒化珪素原料に含まれている過剰酸素(SiO2 )が少ない時には、上記組成に対してさらに二酸化珪素粉末を焼結助剤として添加すれば良く、この時の過剰酸素(SiO2 )量は、窒化珪素に含まれている酸素を二酸化珪素に換算した量と添加した二酸化珪素粉末との合量である。
【0027】
そして、上記のように所定の割合で調製した混合粉末を、公知の成形手段、例えば金型プレス成形、鋳込み成形、押出成形、射出成形、冷間静水圧プレス成形等により任意の形状に成形する。
【0028】
しかるのち、得られた成形体を公知の焼成手段、例えば常圧焼成法、窒素ガス圧焼成法、ホットプレス法により1650〜1800℃の温度で焼成したあと、1000℃まで8℃/min以下の冷却速度で徐冷することで本発明の窒化珪素質焼結体を得ることができる。
【0029】
ここで、焼成温度を1650〜1800℃としたのは、1650℃未満であると、焼結性が不十分であるからであり、1800℃より高くなると、主結晶相をなす窒化珪素粒子の粒成長により、長径の最大値を10μm以下に微細化することができないからである。また、1000℃までの冷却速度が8℃/minより速いと、粒界にワラストナイト結晶相を析出させることができないからである。
【0030】
なお、上述のように製作した窒化珪素質焼結体にHIP又はガラスシールHIPを施すことでさらに緻密化することもできる。
【0031】
(実施例)
出発原料として窒化珪素粉末(BET比表面積9m2 /g,α率95%、酸素量1.0重量%)と、各種の周期律表第3a族元素酸化物(RE2 O3 )、酸化アルミニウム(Al2 O3 )、酸化珪素(SiO2 )の粉末を用い、焼結体中における組成が表1に示す割合となるように調合し、溶媒とともに窒化珪素ボールにて混合粉砕したあと、スプレードライヤーで乾燥造粒して顆粒を製作し、該顆粒を金型に充填して1t/cm2 の圧力で金型プレス成形することにより成形体を作製した。そして、得られた成形体を炭化珪素質のこう鉢に入れて、カーボンヒーターを用い、常圧窒素雰囲気中にて1750℃の温度まで昇温し、この温度にて5時間保持したあと、表1に示す条件で冷却するか、あるいは9kg/cm2 の圧力下で1850℃まで昇温し、この温度にて3時間保持したあと、表1に示す条件で冷却することにより窒化珪素質焼結体を製作した。
【0032】
そして、得られた窒化珪素質焼結体の主結晶相及び粒界を構成する結晶相について、X線回折により分析するとともに、JISR1601の形状に加工して試験片を作製し、これらの試料を用いて、JISR1601に基づく室温の4点曲げ強度及び破壊靭性値の測定を行った。
【0033】
なお、焼結体の組成及び焼成条件は表1に、焼結体の主結晶相及び粒界を構成する結晶相の種類及び焼結体の強度と破壊靭性値は表2にそれぞれ示す通りである。
【0034】
【表1】
【0035】
【表2】
【0036】
この結果、試料No.17のようにSiO2 /RE2 O3 が0.9以上で、かつ粒界にN−アパタイト結晶相のみが析出したものでは、焼結体中に粒界の抜けたようなポーラス部分が生成しているため、焼結体の強度及び破壊靭性値の両方が極端に低かった。
【0037】
また、試料No.15,16のように8℃/minより速い速度で急冷して粒界がガラス相のみからなるもの、及び試料No.18のように周期律表第3a族元素酸化物の含有量を少なくして粒界がガラス相のみからなるものでは、焼結体の強度及び破壊靭性値をそれほど高めることができなかった。
【0038】
さらに、試料No.19,20のように1800℃より高い温度で焼成したものでは、粒界にワラストナイト結晶相が存在し、破壊靱性値を高めることができたものの、主結晶相をなす窒化珪素粒子の粗大化のために、長径の最大値を10μm以下とすることができず、焼結体の強度を高めることができなかった。
【0039】
また、試料No.21は、助剤成分であるY2 O3 、Al2 O3 、SiO2 の割合が少ないことから、1750℃の温度では焼結させることができず、焼結体を得ることができなかった。
【0040】
さらに、試料No.22では、助剤成分であるY2 O3 、Al2 O3 、SiO2 の割合が多いことから焼結体中における粒界の占める割合が多くなりすぎ、焼結体の強度及び破壊靱性値を高めることができなかった。
【0041】
これに対し、試料No.1〜14は、周期律表第3a族元素酸化物(RE2 O3 )が3.0〜11.4モル%、酸化アルミニウム(Al2 O3 )が1.0〜9.5モル%、二酸化珪素(SiO2 )が2.0〜7.6モル%の範囲にあり、前記周期律表第3a族元素酸化物に対する二酸化珪素のモル比が0.9未満であるとともに、焼結体中において窒化珪素が主結晶相をなし、その長径の最大値が10μm以下であるとともに、粒界相にワラストナイト結晶相が主として析出していることから、焼結体の強度を1100MPa以上、破壊靱性性を7MPam1/ 2 以上と、高強度、高靱性を有する窒化珪素質焼結体とすることができた。
【0042】
【発明の効果】
以上のように、本発明の窒化珪素質焼結体は、周期律表第3a族元素を酸化物換算で3.0〜11.4モル%、アルミニウムを酸化物換算で1.0〜9.5モル%、過剰酸素を二酸化珪素換算で2.0〜7.6モル%、窒化珪素を81〜90モル%の割合で含み、前記周期律表第3a族元素の酸化物に対する二酸化珪素のモル比が0.9未満で、かつ残部が実質的に窒化珪素からなり、焼結体中において窒化珪素が主結晶相をなし、その長径の最大値が10μm以下であるとともに、粒界にワラストナイト結晶相を主として存在させてあることから、窒化珪素質焼結体の強度及び靭性を大幅に向上させることができ、その結果、高強度高靭性が要求されるガスタービンエンジン用部品や自動車用部品、あるいはその他の構造用部品として信頼性の高いものとすることができる。
Claims (1)
- 周期律表第3a族元素を酸化物換算で3.0〜11.4モル%、アルミニウムを酸化物換算で1.0〜9.5モル%、過剰酸素を二酸化珪素換算で2.0〜7.6モル%、窒化珪素を81〜90モル%の割合で含み前記周期律表第3a族元素の酸化物に対する二酸化珪素のモル比が0.9未満で、かつ残部が実質的に窒化珪素からなり、焼結体中において窒化珪素を主結晶相とし、その長径の最大値が10μm以下であるとともに、粒界にワラストナイト結晶相が主として存在することを特徴とする窒化珪素質焼結体。
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