JP3807257B2 - セラミック部品の製造方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、例えば半導体IC、チップ部品などを搭載し、かつそれらを相互配線するセラミック多層基板に代表されるセラミック部品の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、半導体IC、チップ部品等は小型、軽量化が進んでおり、これらを実装する配線基板も小型、軽量化が望まれている。このような要求に対して、セラミック多層基板は、要求される高密度配線が得られ、かつ薄膜化が可能なことより、今日のエレクトロニクス業界において重要視されている。
【0003】
このセラミック多層基板の従来の製造方法について説明する。
【0004】
一般に、セラミック多層基板は、
(1)セラミック材料の調合、混合工程
(2)セラミックグリーンシートの成形工程
(3)導体ペーストの作製工程
(4)グリーンシート層および導体層からなる複合積層体の焼成工程
によって作製される。
【0005】
この焼成工程において、セラミック多層基板は焼結に伴う収縮が生じる。この焼結に伴う収縮は、使用する基板材料、グリーンシート組成、粉体ロットなどにより異なる。これにより多層基板の作製においていくつかの問題が生じている。
【0006】
例えば、セラミック多層基板の作製において内層配線の焼成を行ってから最上層配線の形成を行うため、基板材料の収縮誤差が大きいと、最上層配線パターンと寸法誤差のため内層電極との接続が行えない。その結果、収縮誤差をあらかじめ許容するように最上層電極部に必要以上の大きい面積のランドを形成しなければならず、高密度の配線を必要とする回路には使用できない。
【0007】
そのため、収縮誤差に合わせて最上層配線のためのスクリーン版をいくつか用意しておき、基板の収縮率に応じて使用する方法が採られることもある。この方法ではスクリーン版を数多く用意しなければならず不経済である。また、最上層配線を内層焼成と同時に行えば大きなランドを必要としないが、この同時焼成法によっても基板そのものの収縮誤差はそのまま存在するので、最後の部品搭載時のクリーム半田印刷において、その誤差のために必要な部分に印刷できない場合が起こる。
【0008】
そこで特許2785544号公報においては、低温焼結ガラスセラミック混合粉体よりなるグリーンシートに電極パターンを形成したものを所望枚数積層し、この積層体の両面、もしくは片面に前記ガラスセラミック混合粉体の焼成温度では焼結しない無機組成物よりなる熱収縮抑制グリーンシート(以下、熱収縮抑制シートと呼ぶ)で挟み込むように積層し、前記積層体を焼成し、熱収縮抑制層を取り除くという発明がなされた。これによれば、基板材料の焼成が厚み方向に多く起こり、平面方向の収縮は抑制される基板が作製でき上記のような課題が解決できる。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
上記発明により平面方向の収縮が起こりにくい基板を得ることはできるが、ここには課題がある。それは基板収縮が厚み方向に多く起こるため、従来の製造方法では焼成後の基板において内部電極周辺にクラック等の欠陥が発生してしまうことである。
【0010】
この問題が生じる原因は、焼成過程において、導体ペーストとグーリンシート積層体との焼結タイミングあるいは熱収縮挙動のズレに大きな原因があるものと考えられる。グーリンシート積層体と導体ペーストとの焼結収縮挙動に大きなズレがあるために、焼成された基板と電極との間に過大な応力やひずみが生じて、前記したクラック等の欠陥の発生が生じる。
【0011】
通常の焼成方法であれば、焼成過程において三次元方向に収縮が起こり、発生したクラックは微小なものであれば焼成中に修復するが、本発明の製造方法では、焼成過程において平面方向に収縮が起こらないため、発生したクラック等の欠陥が修復しにくい。このクラック等の欠陥が基板に発生してしまうと、基板の信頼性が低下してしまい問題である。
【0012】
本発明は上述した問題点を解決するものであり、その目的は、ガラスセラミック積層体を熱収縮抑制シートで挟んで焼成する高寸法精度焼成工法において、電気特性を大きく劣化させることなく、焼成後の基板において内部電極周辺にクラック等の欠陥の発生を抑えた高信頼性で高寸法精度のセラミック部品を提供することである。
【0013】
【課題を解決するための手段】
この目的を達成するために本発明の請求項1に記載の発明は、ガラスセラミック混合粉体からなるグリーンシートを複数枚積層し焼成するセラミック部品の製造方法において、少なくとも銀粉末を含む導体粉末と有機ビヒクル、および酸化モリブデンを導体粉末全体に対しMoO3に換算して2.5〜5重量%の範囲で含む導体ペーストを作製する工程と、前記導体ペーストからなる内部電極層と前記グリーンシートを積層してなる積層体の両面もしくは片面に、ガラスセラミック混合粉体の焼成温度では焼結しない無機組成物よりなる熱収縮抑制グリーンシートを積層してなる複合積層体を得る工程と、前記複合積層体に含まれる樹脂成分を焼却する脱脂工程の後、積層体を一体焼成する工程と、前記熱収縮抑制層を焼成積層体から除去する工程を含むことを特徴とするセラミック部品の製造方法であり、高寸法精度で高信頼性のセラミック部品を得ることができる。
【0014】
請求項2に記載の発明は、導体ペースト中の銀粉末の平均粒径は3μm〜8μmの範囲である請求項1に記載のセラミック部品の製造方法であり、低抵抗な性能が実現できる。
【0015】
請求項3に記載の発明は、焼成工程において、脱脂工程後の焼成温度までの平均昇温速度が200℃/h〜5500℃/hである請求項1に記載のセラミック部品の製造方法であり、量産性に優れ均質なセラミック部品が得られる。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下本発明の実施の形態について説明する。
【0017】
まずガラスセラミック混合材料の作製方法について説明する。今回用いたガラスセラミック混合材料はAl2O3,MgO,Sm2O3(以下AMSと呼ぶ)およびガラス(SiO2−B2O3−CaO系ガラス粉体、軟化点780℃)を主成分とするものである。高純度のAl2O3,MgO,Sm2O3原料粉体をモル比で11:1:1の割合で秤量したものを、ボールミルに投入し20時間混合した後、乾燥する。この混合粉を1300℃で2時間仮焼し、この仮焼粉をボールミルで20時間粉砕したものが、AMS粉である。このAMS粉とSiO2−B2O3−CaO系ガラス粉末を重量比で50:50の割合で秤量し、ボールミルで20時間混合した後、乾燥することにより今回用いたガラスセラミック混合材料(以下、AMSG材と呼ぶ)が得られる。このAMSG材は880℃〜950℃の温度範囲で緻密に焼成するため、銀電極と一体同時焼成が可能である。また、比誘電率は7.5(1MHz)である。
【0018】
熱収縮抑制グリーンシート1の材料には、アルミナ粉(純度99.9%、平均粒径1.0μm)を用いた。
【0019】
上記AMSG材およびアルミナ粉に、バインダとしてPVB樹脂、可塑剤としてジブチルフタレートを添加し、酢酸ブチルを溶剤としてスラリーを作製して、周知のドクターブレード法により所望の厚みのガラスセラミックグリーンシート2(AMSGグリーンシート)、熱収縮抑制(アルミナ)グリーンシート1をそれぞれ作製した。
【0020】
次に、導体ペーストの作製方法について説明する。銀粉末100重量%に対して、添加物を任意の比率で混合し、有機ビヒクル(エチルセルロースのターピネオール溶解物)をペースト全体に対して20重量%加え、これらをセラミック3本ロールにより混練し、導体ペーストを得た。
【0021】
この導体ペーストをスクリーン印刷機を使用して、前記AMSGグリーンシート2上に、電気抵抗測定用パターン(導体層3)として印刷した後、図1の構成となるように、AMSGグリーンシート2を必要枚数積層し、両面にアルミナグリーンシート1を積層する。この状態で熱圧着して積層体を形成した。熱圧着条件は、温度が80℃、圧力は500kg/cm2であった。この積層体を10×10mmの大きさに切断し、アルミナ製のさやの上に置き、箱型炉において500℃で10時間熱処理することにより樹脂成分を焼却した後、空気中で900℃まで昇温速度300℃/h(ただし、実施の形態3のみ昇温速度を変化させた)で昇温し、その後900℃で30分間保持する条件で焼成を行った。
【0022】
この焼成積層体の表面には、熱収縮抑制グリーンシート1のアルミナが焼成することなく残存しており、これを酢酸ブチル中で超音波洗浄することにより完全に除去した。
【0023】
(実施の形態1)
実施の形態1では導体ペーストに対する酸化モリブデンの添加の効果について検討する。(表1)に銀粉末(平均粒径4.0μm)に対する三酸化モリブデン(平均粒径2.5μm)の添加量と、それぞれ得られたセラミック多層基板を分析して評価した結果を(表1)に示す。
【0024】
【表1】
【0025】
評価項目中、「クラック等の欠陥のモード」は、基板11を研磨して断面を光学顕微鏡で観察し、内部電極12近傍の基板11に生じるクラック等の欠陥13を図2に示す各モードに分類した。
【0026】
「モードA」は欠陥なし、「モードB」は欠陥の最大長さが5μm未満の小さい場合、「モードC」は欠陥の最大長さが5μm以上の大きい場合である。シート抵抗値とは、内部導体層の側面に銀電極ペーストを塗布し焼き付けて端子電極を形成しデジタルマルチメータを用いて測定した直流抵抗値と、電極厚みの実測値から、電極面積1mm2、電極厚み10μm換算の抵抗値を算出した値である。
【0027】
三酸化モリブデンを全く添加しない試料番号1、添加量の少ない試料番号2では、導体層の近傍に大きな欠陥が発生した(モードC)のに対し、三酸化モリブデンを0.1重量%以上添加した試料番号3〜7では、クラック等の欠陥は観察されなかった(モードA)。これは三酸化モリブデン添加により、導体層の焼結を遅らせ、ガラスセラミック積層体の焼結挙動に近づけることができたためと考えられる。添加量が0.1重量%未満では導体ペーストの焼結を十分に遅らせることができない。しかし試料番号7のように添加量が6.0重量%と多くなりすぎると、導体層のシート抵抗値が急激に増大する不具合が生じる。
【0028】
欠陥の発生と低抵抗値の両者の必要性能を満たすためには、三酸化モリブデンの添加量は0.1重量%〜5.0重量%が望ましい。
【0029】
(実施の形態2)
実施の形態2では、導体ペーストを構成する銀粉末の粒径の影響について検討した。(表2)に示されるように平均粒径が2.2〜10.2μmの銀粉末を用い、それぞれの導体粉末100重量%に対し三酸化モリブデンを1.0重量%添加した導体ペーストを作製し評価した。
【0030】
【表2】
【0031】
銀粉末粒径が3μm〜8μmである試料番号4,8〜10では導体層近傍に欠陥は観察されなかったが、銀粉末粒径が2.2μmと細かい試料番号12、10.2μmと大きい試料番号11では内部電極の先端に欠陥がわずかに発生(モードB)していた。銀粉末の粒径が小さすぎる場合は銀粉末の表面が活性化するため銀粉末の焼成収縮開始温度が早くなり、また銀粉末の粒径が大きすぎる場合は、銀粉末の収縮開始温度が遅くなりすぎて、導体層とガラスセラミック積層体との収縮挙動差が大きく、電極近傍に欠陥を生じさせると考えられる。なお銀粉末の粒径による抵抗値の変化はほとんどなかった。
【0032】
以上の結果から導体層を構成する銀粉末の粒径は3μm〜8μmの範囲であることが望ましい。
【0033】
(実施の形態3)
実施の形態3では、焼成処理工程における昇温速度の影響について検討した。用いたペーストは、銀粉末粒径4.0μm、三酸化モリブデンの添加量1.0重量%の試料番号4のペーストである。
【0034】
【表3】
【0035】
(表3)に示されるように平均昇温速度が200℃/h〜5500℃/hの範囲内とした試料番号4,14〜17では導体層近傍に欠陥は観察されなかったが、平均昇温速度が100℃/hと遅い試料番号13では欠陥がわずかに発生(モードB)していた。また9000℃/hと非常に速い試料番号18にも欠陥が観察された。これは、昇温速度を遅くすると、焼成時において導体層とガラスセラミック積層体の収縮挙動の時間差が大きくなるため欠陥が生じたと考えられる。また昇温速度が速くなりすぎると、導体層近傍に急激な収縮力が作用するため、欠陥が生じたものと推定される。
【0036】
焼成処理工程における平均昇温速度は、200℃/h〜5500℃/hであるのが望ましい。
【0037】
なお、ガラスセラミック材料として本発明の実施の形態ではAl2O3−MgO−Sm2O3+ガラス系材料を用いているが、Sm2O3の代わりにLnOx(LnはLa,Ce,Nd,Sm,Eu,Gd,Tbから選ばれる少なくとも一種類、Xは前記Lnの価数に応じて化学量論的に定まる数値)としてもその焼結収縮挙動は変化がないため、同等の効果が得られることを確認している。
【0038】
なお、ガラスセラミック材料としてAl2O3−MgO−LnOx+ガラス系材料系以外でも、その目的効果に反しない限り、適宜組成のものを用いることができる。
【0039】
【発明の効果】
本発明のセラミック部品の製造方法によれば、ガラスセラミック積層体を熱収縮抑制シートで挟んで焼成する高寸法精度焼成工法において、電気特性を大きく劣化させることなく、焼成後の基板において内部電極周辺にクラック等の欠陥の発生を抑えた高信頼性で高寸法精度のセラミック部品を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】セラミック積層体を熱収縮抑制シートで挟んで焼成する、高寸法精度焼成工法を説明する断面図
【図2】導体層近傍の欠陥の発生箇所を説明する断面図
【符号の説明】
1 熱収縮抑制グリーンシート
2 ガラスセラミックグリーンシート
3 導体層
11 セラミック多層基板
12 内部電極
13 クラック等の欠陥
Claims (4)
- ガラスセラミック混合粉体からなるグリーンシートを複数枚積層し焼成するセラミック部品の製造方法において、少なくとも銀粉末を含む導体粉末と有機ビヒクル、および酸化モリブデンを導体粉末全体に対しMoO3に換算して2.5〜5重量%の
範囲で含む導体ペーストを作製する工程と、前記導体ペーストからなる内部電極層と前記グリーンシートを積層してなる積層体の両面もしくは片面に、ガラスセラミック混合粉体の焼成温度では焼結しない無機組成物よりなる熱収縮抑制グリーンシートを積層してなる複合積層体を得る工程と、前記複合積層体に含まれる樹脂成分を焼却する脱脂工程の後、積層体を一体焼成する工程と、前記熱収縮抑制層を焼成積層体から除去する工程を含むことを特徴とするセラミック部品の製造方法。 - 導体ペースト中の銀粉末の平均粒径が3μm〜8μmであることを特徴とする請求項1に記載のセラミック部品の製造方法。
- 焼成工程において、脱脂工程後の焼成温度までの平均昇温速度が200℃/h〜5500℃/hであることを特徴とする請求項1に記載のセラミック部品の製造方法。
- ガラスセラミック混合粉体の主成分は、Al2O3,MgO,LnOx(
LnはLa,Ce,Nd,Sm,Eu,Gd,Tbから選ばれる少なくとも一種類、Xは前記Lnの価数に応じて化学量論的に定まる数値である)、およびガラスであることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載のセラミック部品の製造方法。
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