JP3805107B2 - Ｘ線を用いた計測装置 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、Ｘ線を用いた計測装置に関し、特に、平板状のＸ線画像検出器を有するＸ線計測装置に適用して有効な技術に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来のＸ線を用いた計測装置では、まず、測定対象を透過したＸ線像をＸ線Ｉ．Ｉ．（Ｘ線イメージインテンシファイア）で光学像に変換した後、この光学像をテレビカメラでアナログの画像信号に変換していた。この画像信号は、Ａ／Ｄ変換器でデジタルの画像信号（画像データ）に変換された後に、画像処理回路でフィルタ処理、輪郭強調等の周知の画像処理を施され、表示装置に出力されてＸ線像として表示されていた。
【０００３】
近年、Ｘ線を用いた計測装置の小型化が切望されており、Ｘ線源やその電源の改良によって装置の小型化がはかられてきた。一方、一度の撮影でより大きなＸ線像を撮像するために、Ｘ線Ｉ．Ｉ．とテレビカメラとからなる撮像系は大型化しており、特に、Ｘ線Ｉ．Ｉ．はその基本原理から小型化の大きな障害となっていた。
【０００４】
この問題を解決する手段として、近年、平板状のＸ線画像検出器の開発が精力的になされ、ＣｓＩ等のシンチレータでＸ線像を可視光（光学像）に変換し、該可視光をａ−Ｓｉ（アモルファスシリコン）等のフォトダイオードでアナログの電気信号に変換した後に、該電気信号をＴＦＴ（Ｔｈｉｎ Ｆｉｌｍ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）やＣＭＯＳ（Ｃｏｍｐｌｅｍｅｎｔｏｒｙ）回路で順次読み出す方法が開発されている。この平面状のＸ線画像検出器は、読み出し回路をＴＦＴで構成した場合には大画面化が可能であり、一方、ＣＭＯＳ回路で構成した場合にはＣＭＯＳのＸ線画像検出器を複数張り合わせることによって、大画面の平面状のＸ線画像検出器を構成することができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
本発明者は、前記従来技術を検討した結果、以下の問題点を見いだした。
【０００６】
従来の平板状Ｘ線画像検出器を用いた計測装置は、ダイナミックレンジが狭いと共に撮影速度が遅いという問題があった。
【０００７】
被検体の胸部撮影として、たとえば、図１３（ｃ）に示すように着目領域として、心臓と肺野との両方を含む斜線で示す領域Ｃを撮像する場合、従来の平板状Ｘ線画像検出器を用いた計測装置では、Ａ／Ｄ変換器の変換可能範囲に着目領域Ｃ内の検出器出力値の最小値および最大値を割り振ることによって、Ａ／Ｄ変換器の能力を最大限に使用していた。このときの検出器出力値の範囲（Ｃ１〜Ｃ２）とＡ／Ｄ変換器の入力可能範囲（ＬＳＢ〜ＭＳＢ）との関係を示したのが図１３（ｄ）の太線２０１である。
【０００８】
しかしながら、このように設定された従来の計測装置の場合、たとえば、図１３（ａ）に示すように、心臓に近い部分すなわち画素値が小さい部分（Ｃ１〜Ａ１）しか含まない領域Ａでは、最大値Ａ１より大きな値に対して無駄にアナログディジタル変換器の変換可能な範囲を割り振っていることとなっていた。同様に、図１３（ｂ）に示すように、肺野で画素値の大きい部分（Ｂ１〜Ｃ２）しか含まない領域Ｂにとっては、最小値Ｂ１より小さい値に対して無駄にアナログディジタル変換器の変換可能な範囲を割り振っていることとなっていた。このために、従来のＸ線を用いた計測装置では、各部分では検出器の検出可能範囲を有効に使用することができないという問題があった。
【０００９】
本発明の目的は、平板状Ｘ線画像検出装置を用いた計測装置のダイナミックレンジを拡大することが可能な技術を提供することにある。
【００１０】
本発明の他の目的は、平板状Ｘ線画像検出装置で高速撮影することが可能な技術を提供することにある。
【００１１】
本発明のその他の目的は、平板状Ｘ線画像検出装置のダイナミックレンジを有効に使用することが可能な技術を提供することにある。
【００１２】
本発明のその他の目的は、平板状Ｘ線画像検出装置を用いた計測画像の画質を向上することが可能なＸ線を用いた計測装置を提供することにある。
【００１３】
本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面によって明らかになるであろう。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
本願において開示される発明のうち、代表的なものの概要を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
【００１５】
（１）測定対象を透過したＸ線像を撮像するＸ線撮像手段の検出領域が検出器ユニットに分割されており、該検出器ユニットで検出した前記測定対象のＸ線像を順次撮像するＸ線を用いた計測装置において、前記検出器ユニットから読み出したアナログの画像信号をデジタルの画像データに変換する際に、各検出器ユニットごとに所定の変換条件で画像信号を画像データに変換し取り込む変換手段と、前記変換条件に基づいて、前記画像データを前記変換条件に対応した条件で変換する再変換手段とを具備し、各検出器ユニットごとに最適な変換条件で前記画像信号を画像データに変換する。
【００１６】
（２）測定対象を透過したＸ線像を撮像するＸ線撮像手段の検出領域が複数の検出器ユニットに分割され、各検出器ユニットで検出した前記測定対象のＸ線像に基づいて、次の撮像のＸ線条件を設定し、前記測定対象のＸ線像を順次撮像するＸ線を用いた計測装置において、前記検出器ユニットの分割線に近い画素から順次画像信号を読み出す。
【００１７】
（３）測定対象を透過したＸ線像を撮像するＸ線撮像手段の検出領域が複数の検出器ユニットに分割され、各検出器ユニットで検出した前記測定対象のＸ線像に基づいて、次の撮像のＸ線条件を設定し、前記測定対象のＸ線像を順次撮像するＸ線を用いた計測装置において、前記検出器ユニットの分割線に近い画素から順次画像信号を読み出したアナログの画像信号をデジタルの画像データに変換する際に、各検出器ユニットごとに所定の変換条件で画像信号を画像データに変換し取り込む手段と、前記変換条件に基づいて、前記画像データを前記変換条件に対応した条件で変換する再変換手段とを具備し、各検出器ユニットごとに最適な変換条件で前記画像信号を画像データに変換する。
【００１８】
前述した（１）の手段によれば、たとえば、複数の検出器ユニットを隣接配置して見かけ上１つのＸ線撮像手段として構成された、あるいは、Ｘ線撮像手段の画像信号の読み出しを制御して検出領域が複数の検出器ユニットから構成されているように撮像可能なＸ線撮像手段で測定対象のＸ線像を撮像する場合に、まず、変換手段が各検出器ユニットの検出（撮像）した範囲のＸ線像に適した変換条件で画像信号を画像データに変換し、次に、再変換手段が変換条件に基づいて検出器ユニットごとに異なるアナログの画像信号とデジタルの画像データとの対応関係を、予め設定された画像信号と画像データとの対応関係に再変換することによって、アナログ信号をデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換器の限られた入力可能電圧範囲すなわち各検出器ユニットのダイナミックレンジを有効に使用することができるので、限られた入力可能電圧範囲のＡ／Ｄ変換器を用いた場合であっても、画像の分解能を低下させることなく、装置としてのダイナミックレンジを広げることが可能となる。したがって、Ｘ線像すなわち計測画像の画質を向上することができる。さらに、一つの画像を分割して読み出すことにより、読み出しの高速化が可能となり、高速撮影が可能となる。
【００１９】
前述した（２）の手段によれば、複数に分割されたＸ線撮像手段ではその分割線がＸ線撮像手段の中心付近に設定されることが一般的である。一方、検者がＸ線像に関心領域を設定する場合もＸ線像の中心付近に設定する場合が多いことが知られている。したがって、Ｘ線撮像手段から画像信号を読み出すに際して、中心付近の分割線に近い画素から順次画像信号を読み出すことによって、不要となる関心領域外の画像信号の読み出しを減らすことができるので、高速撮影が可能となる。
【００２０】
前述した（３）の手段によれば、たとえば、複数の検出器ユニットを隣接配置して見かけ上１つのＸ線撮像手段として構成された、あるいは、Ｘ線撮像手段の画像信号の読み出しを制御して検出領域が複数の検出器ユニットから構成されているように撮像可能なＸ線撮像手段で測定対象のＸ線像を撮像する場合に、変換手段が画像信号を隣接する検出器ユニットの分割線に近い画素から順次読み出し、この画像信号を各検出器ユニットの検出（撮像）した範囲のＸ線像に適した変換条件で変換することによって、画像データとして不要となる関心領域外の画像信号の読み出しをを減らすことができるので、Ｘ線像の高速撮影が可能となる。
【００２１】
次に、再変換手段が変換条件に基づいて検出器ユニットごとに異なるアナログの画像信号とデジタルの画像データとの対応関係を、予め設定された画像信号と画像データとの対応関係に再変換することによって、アナログ信号をデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換器の限られた入力可能電圧範囲すなわち各検出器ユニットのダイナミックレンジを有効に使用することができるので、限られた入力可能電圧範囲のＡ／Ｄ変換器を用いた場合であっても、画像の分解能を低下させることなく、装置としてのダイナミックレンジを広げることが可能となる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下、本発明について、発明の実施の形態（実施例）とともに図面を参照して詳細に説明する。
【００２３】
なお、発明の実施の形態を説明するための全図において、同一機能を有するものは同一符号を付け、その繰り返しの説明は省略する。
【００２４】
（実施の形態１）
《全体構成》
図１は本発明の一実施の形態のＸ線を用いた計測装置の概略構成を説明するための図であり、１０１はＸ線発生装置、１０２は平板状Ｘ線画像検出装置、１０３は撮影データ収集装置、１０４はデータ処理装置、１０５は画像表示装置、１０６は被検体、１０７は移動装置、１０８は撮像系の回転軌道を示す。
【００２５】
図１に示すように、本実施の形態のＸ線を用いた計測装置（以下、「計測装置」と略記する）は、Ｘ線発生装置１０１と平板状Ｘ線画像検出装置１０２とが被検体１０６を挟んで対向配置されており、Ｘ線発生装置１０１から被検体１０６にＸ線を照射し、該被検体１０６を透過したＸ線を平板状Ｘ線画像検出装置１０２で検出してＸ線像を撮像する。図示しない検者は、たとえば、隣接する制御室から被検体１０６を設定（搭載）した移動装置１０７の位置、および、Ｘ線発生装置１０１と平板状Ｘ線画像検出装置１０２とからなる撮像系の位置をそれぞれ制御することによって、被検体１０６と撮像系との相対的な位置関係を変更し、Ｘ線像の撮像位置を種々変更することができる。ただし、本実施の形態では、被検体１０６の移動装置１０７への設定体位を仰臥位としたが、立位や横臥位等の他の体位でもよい。
【００２６】
平板状Ｘ線画像検出装置１０２で撮像されたＸ線像は、撮影データ収集装置１０３によって読み出されデジタル信号に変換された後に、当該撮影データ収集装置１０３に格納されると共に、データ処理装置１０４に出力される。また、撮影データ収集装置１０３は、複数個のＸ線画像検出器ユニットから構成される平板状Ｘ線画像検出装置１０２からの撮像画像の読み出し制御を行うと共に、図示しない操作卓から入力された撮影条件に基づいたＸ線発生装置１０１のＸ線制御、並びに、Ｘ線発生装置１０１、移動装置および平板状Ｘ線画像検出装置の位置制御（撮影位置の制御）も行う。なお、撮影データ収集装置１０３による平板状Ｘ線画像検出装置１０２からの読み出し制御については、後述する。
【００２７】
データ処理装置１０３では、入力されたＸ線画像データに対して、輪郭強調、濃度補正等の周知の画像処理を行った後に、処理後のＸ線画像データをビデオ信号に変換し、画像表示装置１０５に表示させる。
【００２８】
ただし、本実施の形態において、Ｘ線発生装置１０１と平板状Ｘ線画像検出装置１０２とを一体に構成し、この撮像系を被検体１０６の周囲に回転させる回転機構を設け、データ処理装置１０４に断層像の再構成手段あるいは／および３次元再構成手段を設けることによって、いわゆるコーンビームＣＴ装置を構成できる。このとき、移動装置１０７に周知の回転機構を設け、撮像系を固定した場合であっても、コーンビームＣＴ装置を構成できる。さらには、撮像系および移動装置１０７に回転機構を設けてもよいことはいうまでもない。
【００２９】
《読み出し制御》
図２は本実施の形態のＸ線画像検出器と撮影データ収集装置との概略構成を説明するための図であり、２０１はＸ線画像検出器ユニット、２０２は検出素子部、２０３は検出器アンプ部、２０４は信号出力部、２０５は制御部、２１０は撮影データ収集ユニット、２１１は入力アンプ部、２１２はＡ／Ｄ変換部、２１３はフレームメモリ部、２１４はユニットＤＳＰ演算部、２２０は統括撮影制御ユニット、２２１は外部機器制御部、２２２は統括ＤＳＰ演算部を示す。
【００３０】
図２に示すように、本実施の形態では、各Ｘ線画像検出器ユニット２０１ａ，２０１ｂ，２０１ｃ毎にそれぞれ独立した撮影データ収集ユニット２１０ａ，２１０ｂ，２１０ｃが設けらており、各撮影データ収集ユニット２１０がそれぞれ独立して各Ｘ線画像検出器ユニット２１０が検出したＸ線像のデジタルデータへの変換を行う。
【００３１】
以下、本実施の形態のＸ線画像検出器ユニット２０１と撮影データ収集ユニット２１０との構成および動作を詳細に説明する。
【００３２】
各Ｘ線画像検出器ユニット２０１は、被検体１０６を透過してきたＸ線を可視光（光学像）を介して電気信号（画像信号）に変換する検出素子部２０２と、該画像信号を増幅する検出器アンプ部２０３と、増幅後の画像信号を送り出す信号出力部２０４と、検出素子部２０２における信号の読み出し（出力）を制御する制御部２０５とから構成される。検出素子部２０２は、たとえば、ＣｓＩ等からなりＸ線像を可視光に変換するシンチレータ部と、アモルファスシリコン（ａ−Ｓｉ）やアモルファスセシウム（ａ−Ｓｅ）等からなり可視光を画像信号に変換する複数のフォトダイオード部と、各フォトダイオードが検出した画像信号の読み出しを制御するための薄膜トランジスタで形成されるスイッチ部とから構成されている。各フォトダイオードからの画像信号の読み出し制御は、直接的には、各ユニットに対応する撮影データ収集ユニット２１０から出力される制御信号に基づいて、各Ｘ線画像検出器ユニット２０１の制御部２０５が行う。検出素子部２０２から読み出された画像信号は、検出器アンプ２０３で増幅された後に、信号出力部２０４から撮影データ収集ユニット２０１の入力アンプ部２１１に出力される。
【００３３】
各撮影データ収集ユニット２１０は、入力された画像信号を増幅すると共にその入出力特性を変化させる線形アンプである入力アンプ部２１１と、増幅されたアナログの画像信号をディジタルの画像信号（画像データ）に変換するＡ／Ｄ変換部２１２と、変換された画像データを格納するフレームメモリ部２１３と、フレームメモリ部２１３に格納される画像データに基づいて入力アンプ部２１１の入出力特性を決定する演算の一部を行うと共に、Ｘ線画像検出器ユニット２０１からの画像信号の読み出しを制御するユニットＤＳＰ演算部等２１４とから構成される。
【００３４】
統括撮影制御ユニット２２０は、各Ｘ線画像検出器ユニットの撮影制御および撮影データ収集ユニット２１０のユニットＤＳＰ演算部２１４から出力されるデータを受けて入出力特性を決定する演算を行うＤＳＰ演算部２２２と、Ｘ線発生装置や移動装置等を制御する外部機器制御部２２１とから構成される。
【００３５】
Ｘ線画像検出器ユニット２０１においては、前述するように、検出素子部２０２から出力された信号は、検出器アンプ部２０３にて増幅され、信号出力部２０４から撮影データ収集ユニット２１０へ出力される。入力アンプ部２１１に入力された画像信号は、ユニットＤＳＰ演算部２１４で設定された入出力特性に従って線形増幅され、Ａ／Ｄ変換部２１２でデジタルの画像信号に変換された後に、順次、フレームメモリ部２１３のフレームメモリに格納される。このとき、ユニットＤＳＰ演算部２１４は、制御部２０５からの信号とフレームメモリ部２１３に格納された画像データとを用いて所定の演算を行い、その演算結果を統括撮影制御ユニット２２０に出力する。統括撮影制御ユニット２２０では、統括ＤＳＰ演算部２２が入力された演算結果に対して所定の演算を行い、その演算結果をユニットＤＳＰ演算部２１４に出力する。ユニットＤＳＰ演算部２１４は、統括ＤＳＰ演算部２２２の演算結果を元に入力アンプ部２１１の入出力特性（増幅率）を制御することによって、次の撮影に対する撮影条件を変更する。このように、本実施の形態では、入力アンプ部２１１の入出力特性の制御は、各Ｘ線画像検出器ユニット２０１に対応する撮影データ収集ユニット２１０と、各撮影データ収集ユニット２１０を統合する統括撮影制御ユニット２２０とによって行われる。
【００３６】
次に、図３に本実施の形態の撮影データ収集装置の動作を説明するための図を示し、以下、図３に基づいて、本実施の形態の撮影データ収集装置の動作を説明する。ただし、図３（ａ）は各Ｘ線画像検出器ユニットの検出範囲と着目領域との位置関係を説明するための図であり、図３（ｂ）は各Ｘ線画像検出器ユニットで撮像されたＸ線像の着目領域内の画素値の換算後の最大値と最小値との位置関係を示す図であり、図３（ｃ）は本実施の形態の撮影データ収集装置の動作アルゴリズムである。なお、以下に示す動作説明では、説明を簡単にするためにＸ線画像検出器ユニット２０１および撮影データ収集ユニット２１０がそれぞれ４個の場合について説明するが、１以上のＸ線画像検出器ユニット２１０からなる平板状Ｘ線画像検出装置１０２を用いる計測装置に適用可能なことはいうまでもない。
【００３７】
まず、検者が着目領域を設定する（ステップ３０１）と、統括ＤＳＰ演算部２２２が各ユニットＤＳＰ演算部２１４に対して、それぞれのユニットＤＳＰ演算部２１４が配置される撮影データ収集ユニット２１０毎の着目領域３１０の範囲を出力する。ただし、このときの検者による着目領域３１０の設定位置は、平板状Ｘ線画像検出装置１０２の検出器範囲（撮像範囲）３１１上の特定の位置で固定することとするが、後述するように、その位置を撮影毎に変化させることも可能である。
【００３８】
次に、各撮影データ収集ユニット２１０のユニットＤＳＰ演算部２１４が、フレームメモリ部２１３から画像データを読み出し（ステップ３０２）、指定された着目領域３１０の領域内における画素値の最大値と最小値とを抽出する。このとき、各ユニットＤＳＰ演算部２１４は、読み出した最大値と最小値をそれぞれ標準のＸ線条件およびアンプ条件に換算した最大値ＭＡＸと最小値ＭＩＮとを演算し、その換算値を統括ＤＳＰ演算部２２０に出力する（ステップ３０３）。このときの各撮影データ収集ユニット毎の最大値ＭＡＸおよび最小値ＭＩＮを示したのが図３（ｂ）であり、図３（ｂ）中の添字１〜４はそれぞれの撮影データ収集ユニットに対応する。
【００３９】
次に、統括ＤＳＰ演算部２２２は、各ユニットＤＳＰ演算部２１４の最大値ＭＡＸ１〜ＭＡＸ４と最小値ＭＩＮ１〜ＭＩＮ４とから、たとえば、着目領域３１０における最も大きい最大値ＭＡＸ’と最も小さい最小値ＭＩＮ’とを算出する。この後、統括ＤＳＰ演算部２２２は、最大値ＭＡＸ’と最小値ＭＩＮ’とから、次の撮像での着目領域３１０における画素値の最大値と最小値とを推定する（ステップ３０４）。ただし、最大値ＭＡＸ’および最小値ＭＩＮ’の決定法としては、これに限定されることはなく、たとえば、特に着目するＸ線画像検出器ユニット２０１の最大値（例えば、ＭＡＸ２）および最小値（例えば、ＭＩＮ２）を選択しても良いことは言うまでもない。なお、次の撮像での最大値および最小値の推定は、たとえば、前の撮像によって得られた値を用いて多項式近似により行う。これは、一般的な予測法であるため、その説明は省略するものとする。
【００４０】
次に、統括ＤＳＰ演算部２２２は、推定後の最大値と最小値とに基づいて、次の撮像におけるＸ線条件を演算し、そのＸ線条件を各ユニットＤＳＰ演算部２１４に出力すると共に、外部機器制御部２２１に出力してＸ線発生条件を変更させる（ステップ３０５）。この演算は、たとえば、最小値のルートの逆数に比例する配分となるようにＸ線条件を決める。あるいは、最小値が一定となるようにＸ線条件を決める。
【００４１】
統括ＤＳＰ演算部２２２からＸ線条件を入力された各ユニットＤＳＰ演算部２１４は、まず、入力されたＸ線条件に基づいて、それぞれのユニットでの次の撮像における画素値の最大値と最小値とを演算する。次に、各ユニットＤＳＰ演算部２１４は、その画素値から各ユニットのＡ／Ｄ変換器２１２の入力範囲と入力アンプ２１１の出力範囲とを一致させるための増幅率を演算し、その増幅率に基づいて入力アンプ２１１の入出力特性を変更させる（ステップ３０６）。この後、Ｘ線像の撮像が行われることによって、撮像データが再びフレームメモリ部２１３に取り込まれることとなる。
【００４２】
以上に説明するステップ３０１〜３０６の撮像動作を順次行うことによって、各撮影データ収集ユニット２１０では、Ａ／Ｄ変換器２１２のダイナミックレンジを有効に使用した画像データの変換が可能となる。
【００４３】
このとき、表示用の画像データは、次の撮影が開始される前に図示しない画像データ読み出し部によってフレームメモリ部２１３から順次読み出され、前述するステップ３０３と同様に、標準条件に基づいた画像データへの換算がなされた後に、図示しない画像データ格納部に格納されると共に、この画像データがデータ処理装置１０４に出力されて画像処理後に表示される。
【００４４】
《アンプ入出力特性の設定法》
図４は２つのＸ線画像検出器ユニットにおける着目領域内データを最適化する入力アンプ部の入出力特性の一例を示す図であり、各Ｘ線画像検出器ユニット２０１で撮像されたＸ線像における画素値の最大値および最小値をＡ／Ｄ変換部２１２の入力可能範囲（変換可能範囲）（ＬＳＢ〜ＭＳＢ）に設定した場合のアンプの入力値と出力値との関係を示している。ただし、入力される画素値がＭＩＮ１からＭＡＸ１までの直線４０１は第１のＸ線画像検出器ユニット２０１ａに対応する入力アンプ部２１１ａの入出力特性を示し、入力される画素値がＭＩＮ２からＭＡＸ２までの直線４０２は第２のＸ線画像検出器ユニット２０１ｂに対応する入力アンプ部２１１ｂの入出力特性を示す。
【００４５】
図４から明らかなように、本実施の形態の計測装置では、同一の画素値であってもアンプの入出力特性が異なるため、Ａ／Ｄ変換部２１２に入力される値が各ユニットおよび撮影毎に異なる。したがって、たとえば、同一の画素値Ｄ０におけるデジタル変換後の値が△（白抜きの三角）印で示すように異なることとなる。本実施の形態の計測装置では、ユニットＤＳＰ演算部２１４および画像データ変換部が、たとえば、予め設定された標準のアンプ入出力特性（入出力特性が図中の太線４０３で示す比例関係となる関数）へ、各ユニットおよび撮影毎のデジタル変換後の画像データを換算する。すなわち、○（白抜きの丸）印で示したＡ／Ｄ変換の限界値を●（黒丸）印で示した値へと換算することができる。これにより、ディジタル画像データのダイナミックレンジを拡大するすなわち計測装置のダイナミックレンジを容易に拡大することができる。すなわち、比較的安価なビット数が少ないＡ／Ｄ変換器でＡ／Ｄ変換部２１２で構成した場合であっても、計測装置のダイナミックレンジを向上できる。
【００４６】
ただし、図４に示す入出力特性４０１，４０２を設定する方法としては、入力アンプ部２１１の入出力特性を特徴づけるパラメータとして、入力がゼロのときの出力レベルすなわちオフセット出力と、入力の単位増加分に対応する出力の増加分すなわちゲインとの２個のパラメータの値を決定することによって、実現可能である。
【００４７】
《Ｘ線画像検出器ユニット毎の読み出し走査》
図５は本実施の形態の計測装置におけるＸ線画像検出器ユニット毎の画像信号の読み出し走査方向を説明するための図であり、特に、図５（ａ），（ｂ）は正方形の４個のＸ線画像検出器ユニットを正方配列して構成される平面状Ｘ線画像検出装置１０２における画像信号の読み出し方法を示しており、図５（ｃ）は正方形の４個のＸ線画像検出器ユニットを一列に配列して構成される平面状Ｘ線画像検出装置における画像信号の読み出し方法を示しており、図５（ｄ）は撮像系の回転面と平板状Ｘ線画像検出装置との位置関係を示している。ただし、図５において、斜線で示す領域は注目領域３１０を示す。
【００４８】
４個のＸ線画像検出器ユニット２０１を正方配列して平面状Ｘ線画像検出装置１０２を構成する場合であって、図５（ａ）に示すように、撮像系の回転面と垂直をなす接合線５０１を挟んで隣接する画素から同時に回転面と平行となる方向に画像信号を読み出すことによって、接合線５０２を挟んで隣接する画素が同時に読み出されるので、画像信号が読み出される時間が異なることによる信号減衰率の差の発生を避けることができる。これにより、Ｘ線画像検出器ユニットの接合部における感度補正の精度の低下を避けることができる。また、この場合には視野中心軸上から読み出しが行われるので、一般的に中心軸に近い位置に設定される着目領域３１０の画質の低下を回避できる。さらには、着目領域３１０の画像信号は読み出しフレーム時間内の早い時間内に読み出されるので、前述するステップ３０３における最大値および最小値を早く得ることができる。その結果、次の撮影条件の演算が早く実行でき、連続撮影の時間間隔を短縮することができるという効果がある。したがって、Ｘ線像の撮像効率を向上できるという効果がある。
【００４９】
同様に、４個のＸ線画像検出器ユニット２０１を正方配列して平面状Ｘ線画像検出装置１０２を構成する場合、図５（ｂ）に示すように、撮像系の回転面と平行な接合線５０２を挟んで隣接する画素から同時に回転面に垂直となる方向に画像信号を読み出すことによって、Ｘ線画像検出器ユニット２０１の接合線５０１を挟んで隣接する画素も同時に読み出されるので、図５（ａ）と同様に、画像信号の読み出される時間が異なることによる信号減衰率の差の発生を避けることができる。したがって、感度補正の精度の低下を避けることができる。
【００５０】
一方、４個のＸ線画像検出器ユニット２０１を直線配列して構成される平面状Ｘ線画像検出装置１０２では、図５（ｃ）に示すように、平面状Ｘ線画像検出装置１０２の中心に位置する接合線５０３に接する画素から同時に回転面に平行な方向に画像信号を読み出すことによって、前述する図５（ａ）の場合と同様に、読み出しフレーム時間内の早い時間内に着目領域３１０の画像信号を読み出すことができるので、Ｘ線画像検出器ユニットを直線配列して撮像幅を広げた場合であっても、前述するステップ３０３における最大値および最小値を早く得ることができる。その結果、次の撮影条件の演算が早く実行でき、連続撮影の時間間隔を短縮することができるという効果がある。
【００５１】
図５（ｄ）に示す撮像系において、Ｘ線発生装置１０１と平面状Ｘ線画像検出装置１０２とからなる撮像系を一体化し、該撮像系を被検体の周囲に回転させるいわゆるコーンビームＣＴ装置に前述の図５（ａ），（ｂ），（ｃ）を適用した場合には、平面状Ｘ線画像検出装置１０２からの画像信号の読み出しによる感度補正の精度の低下を避けることができるので、再構成された断層画像上でリングアーチファクトの発生を避けることができるという効果が得られる。特に、図５（ｂ）に示す画像信号の読み出しを適用した場合には、再構成時のおけるミッドプレーン近傍上から読み出しが行われるので、このミッドプレーンに近い位置に設定される着目領域は、読み出しフレーム時間内の早い時間内に読み出すことができる。その結果、着目領域内の画素値の最大値および最小値を早く得ることができるので、次の撮影条件の演算が早く実行でき、連続撮影の時間間隔を短縮することができる。また、図５（ｃ）に示す画像信号の読み出しを適用した場合には、各Ｘ線画像検出器ユニット２０１を回転面に平行な方向に並べることにより、横長の視野を作り出すことができるので、再構成像（ＣＴ像）の視野を拡大できるという効果がある。
【００５２】
《平板状Ｘ線画像検出装置の構成》
図６は本実施の形態の平板状Ｘ線画像検出装置の概略構成を説明するための図であり、特に、図６（ａ）はＸ線画像検出器ユニットの平面図であり、図６（ｂ）はＡ−Ａ線による断面図であり、図６（ｃ）は図６（ａ）を用いて構成した平面状Ｘ線画像検出装置の平面図である。ただし、本実施の形態の平板状Ｘ線画像検出装置では、１以上のＸ線画像検出器ユニットから構成される。
【００５３】
図６（ａ）に示すように、Ｘ線画像検出器ユニット２０１は、複数の受光素子をＸ軸およびＹ軸方向に配列した受光素子アレイ部６０１と、各受光素子アレイに蓄積された光を読み出す制御読出回路６０３と、受光素子の動作を制御する制御回路６０２とからなる。
【００５４】
Ｘ線画像検出ユニット２０１は、図６（ｂ）に示すように、基板６０４の受光面側（図中の上側）には受光素子アレイ６０１と、該受光素子アレイ６０１の動作を制御する制御回路６０２とが搭載（形成）されている。この受光素子アレイ６０１の受光面側には、Ｘ線像を光学像に変換する周知のシンチレータ６０５が形成されいる。一方、制御回路６０２の受光面側には、Ｘ線が直接制御回路６０２に照射されるのを防止するためのＸ線シールド６０６が形成されている。同様に、制御読出回路６０３が搭載される領域の受光面側にも、Ｘ線シールド６０６が形成されている。
【００５５】
このようなＸ線画像検出ユニット２０１を複数配列して平板状Ｘ線画像検出装置１０２を構成する場合には、図６（ｃ）に示すように、Ｘ線の検出が不可能となる制御回路６０２および制御読出回路６０３が搭載される領域を４辺の端部に配置することによって、この回路部分の不感領域に入射するＸ線に伴うＸ線画像の一部の情報が欠落してしまう等の問題を解消することができる。ただしこの場合には、１枚の平板状Ｘ線画像検出装置１０２の大きさが使用するＸ線画像検出器ユニット２０１の大きさで制限されることとなる。ただし、本実施の形態の計測装置では、受光素子破損やシンチレータ欠損等に伴う軽微なＸ線画像情報の欠落に対しては、たとえば、両側の画素を用いた補間あるいは代入により画素を埋める等の処理を行うことにより、表示されるＸ線画像への影響を避けることができる。
【００５６】
図７は平板状Ｘ線画像検出装置の他の構成例を示す図であり、特に、図７（ａ）はＸ線画像検出器ユニットの平面図であり、図７（ｂ）はＢ−Ｂ線による断面図であり、図７（ｃ）および図７（ｄ）は図７（ａ）を用いて構成した平面状Ｘ線画像検出装置の平面図である。ただし、本実施の形態の平板状Ｘ線画像検出装置では、１以上のＸ線画像検出器ユニットで構成できることはいうまでもない。
【００５７】
図７（ｂ）に示すように、基板６０４の受光面側に受光素子アレイ６０１が形成され、該受光素子アレイ６０１の受光面側にシンチレータ６０５が形成されている。一方、制御回路６０２は基板６０４の裏面側すなわち受光面と対向する側の面に搭載されており、基板６０４の側面に信号線（配線）７０１を形成することによって、制御回路６０２と受光素子アレイ６０１とが接続される。同様に、制御読出回路６０３も基板６０４の裏面側に搭載することによって、図７（ａ）に示すように、受光素子アレイ６０１を当該Ｘ線画像検出器ユニット２０１の全面に形成することが可能となる。すなわち、Ｘ線が検出できない部分をなくすことが可能となる。
【００５８】
したがって、Ｘ線画像検出器ユニット２０１を隣接して配置する際に、図７（ｃ）や図７（ｄ）に示すように、４個以上のＸ線画像検出器ユニット２０１を隣接して配列して平板状Ｘ線画像検出装置を構成することが可能となる。図７（ｃ）に示すように、Ｘ線画像検出器ユニット２０１を正方配置した場合には、平板状Ｘ線画像検出装置を視野を大きくすることができ、一方、図７（ｄ）に示すように、Ｘ線画像検出器ユニット２０１を一列に配置した場合には、散乱線の影響を受け難くすることができ、Ｘ線画像の画質の劣化を防止することができる。なお、Ｘ線画像検出器ユニット２０１をさらに多数個使用することによって、さらに平板状Ｘ線画像検出装置１０２の視野角を大きくすることができることはいうまでもない。
【００５９】
図８は平板状Ｘ線画像検出装置のその他の構成例を示す図であり、特に、図８（ａ）はＸ線画像検出器ユニットの平面図であり、図８（ｂ）はＢ−Ｂ線による断面図であり、図８（ｃ）はより小さい受光素子アレイを用いた場合のＸ線画像検出器ユニットの断面図である。ただし、本実施の形態の平板状Ｘ線画像検出装置では、１以上のＸ線画像検出器ユニットで構成できることはいうまでもない。
【００６０】
図８（ｂ）に示すように、このＸ線画像検出器ユニット２０１は、基板６０４の受光面側に受光素子アレイ６０１が形成されると共に、基板６０４の端部に制御回路６０２が搭載される。受光素子アレイ６０１の受光面側にはファイバープレート８０１が形成されており、該ファイバープレート８０１の受光面側にはシンチレータ６０５が基板６０４と同じ大きさで形成されている。また、制御回路６０２の受光面側には、Ｘ線シールドが形成されている。ただし、ファイバープレート８０１の受光面側すなわちシンチレータ６０５と接する側は、該シンチレータと同じ面積となり、他方の側すなわち受光素子アレイ６０１と接する側は、シンチレータ６０５に接する各ファイバーが受光素子アレイ６０１上に全て接するように配置される。このように、ファイバープレート８０１を形成することによって、制御回路６０２の搭載領域に入射したＸ線像を受光素子アレイ６０１導くことができるので、前述の図７に示すＸ線画像検出器ユニットと同様に、受光面すなわちシンチレータ６０５に入射したＸ線を全て検出することが可能となる。したがって、前述の図７（ｃ）および図７（ｄ）に示すように、Ｘ線画像検出ユニットを４以上隣接して配置することが可能となる。
【００６１】
このとき、受光素子アレイをシンチレータ６０５よりも小さく形成した場合であっても、図８（ｃ）に示すように、ファイバープレート８０１の各ファイバーが接することとなるシンチレータ６０５の側と、受光素子アレイ６０１の側とを一致させるようにファーバープレート８０１を形成することによって、受光素子アレイ６０１を小さく形成した場合であっても、前述の効果を得ることが可能である。
【００６２】
《受光素子構造》
図９は本実施の形態の受光素子アレイ１画素分の受光素子の構造を説明するための上面図であり、図１０は図９のＡ−Ａ線による断面図である。
【００６３】
図９に示すように、本実施の形態の受光素子はフォトダイオード部と、フォトダイオード部の一端側に接続される共通電極と、フォトダイオード部の他端側がソース電極に接続されるＴＦＴスイッチ部と、該ＴＦＴスイッチ部のゲート電極が接続されるゲート線と、ＴＦＴスイッチ部のドレイン電極が接続される信号線とからなり、この受光素子がゲート線および信号線の延在方向にそれぞれ複数配列されて本実施の形態の受光素子アレイを形成している。ただし、各受光素子のゲート線および信号線は、それぞれ隣接配置された受光素子のゲートおよび信号線に接続され、受光素子アレイの端部に配置される制御回路および制御読み出し回路に接続される。同様に、共通電極も隣接配置された受光素子の共通電極に接続されている。また、前述するように、本実施の形態では、ＴＦＴスイッチ部がＸ線によって誤動作することを防止するために、特に、ゲート電極部分を覆うように遮光層が形成されている。
【００６４】
次に、図１０に基づいて、本実施の形態の受光素子の詳細構造について説明する。
【００６５】
まず、ＴＦＴスイッチ部について説明すると、基板６０４の材料として周知のガラス基板を使用しており、このガラス基板の一方の面（受光面側）に周知のフォトリソグラフィ技術によって、可視光をアナログの電気信号に変換するフォトダイオード部、該電気信号の信号線への出力をスイッチングするＴＦＴスイッチ部および該ＴＦＴスイッチのスイッチングを制御するゲート線等を形成している。
【００６６】
ＴＦＴスイッチ部では、ガラス基板６０４上にアルミ合金（ＡｌＴｉＴａ）からなるゲート電極１３０３が形成されており、このゲート電極１３０３を覆うようにして、窒化シリコン（ＳＩＮ）のゲート絶縁膜１３０６が形成されている。このゲート絶縁膜１３０６上には、アモルファスシリコン（ａ−Ｓｉ：Ｈ）のチャネル層１３０２が形成されており、このチャネル層１３０２上にアルミ合金（ＡｌＴｉＴａ／Ｃｒ）のドレイン電極１３０１およびソース電極１３０４が形成されている。これらの電極１３０１，１３０４上には窒化シリコン（ＳＩＮ）の絶縁膜１３１２が形成されており、その上に遮光膜６０６が形成されている。
【００６７】
一方、フォトダイオード部では、ガラス基板６０４上に窒化シリコン（ＳＩＮ）のゲート絶縁膜１３０６と一体に形成された絶縁膜が形成されており、この絶縁膜１３０６上にアルミ合金（ＡｌＴｉＴａ／Ｃｒ）の共通電極１３０８が形成されている。この共通電極１３０８上にはアモルファスシリコン（ａ−Ｓｉ：Ｈ）の光導電膜１３０９が形成されており、この光導電膜１３０９の上面にＩＴＯからなる透明電極１３０７が形成されている。この共通電極１３０８、光導電膜１３０９および透明電極１３０７は窒化シリコン（ＳＩＮ）の絶縁膜１３０５で覆われている。フォトダイオード部の端部では、絶縁膜１３０５上に接続膜１３１０がソース電極１３０４の領域に至って形成されており、絶縁膜１３０５に設けられたコンタクトホールによって、接続膜１３１０の一端が透明電極１３０７と接続されると共に、接続膜１３１０の他端がソース電極１３０４に接続されている。受光素子の受光面側には、ＣｓＩからなり、Ｘ線を可視光に変換する変換蛍光体が配置されている。
【００６８】
（実施の形態２）
図１１は本発明の実施の形態２のＸ線を用いた計測装置の概略構成を説明するための図であり、特に、図１１（ａ）は被検体上に着目領域を設定した場合の撮像系と着目領域との位置関係を説明するための図であり、図１１（ｂ）は撮像系が図１１（ａ）の位置から１８０度回転したときの撮像系と着目領域との位置関係を説明するための図であり、図１１（ｃ）は撮像系の回転に伴う平面状Ｘ線画像検出装置と該平板状Ｘ線画像検出装置面に投影される着目領域との位置関係を説明するための図である。ただし、本実施の形態２の計測装置は、Ｘ線発生装置１０１と平板状Ｘ線画像検出装置１０２とを固定した撮像系を、被検体１０６の周囲に回転させる構成とし、被検体１０６の周囲３６０度から撮像したＸ線像に基づいてその断層像を再構成するコーンビームＸ線ＣＴ装置である。したがって、本実施の形態においては、前述する実施の形態１の計測装置とその構成が異なる平板状Ｘ線画像検出装置上における着目領域の設定手順についてのみ説明する。
【００６９】
なお、本実施の形態２の計測装置における着目領域の設定法としては、たとえば、撮像系の回転角が０（ゼロ）の時に被検体のＸ線像を撮像し、このＸ線像に基づいて、着目領域９０１の設定を行うものとする。ただし、着目領域９０１の設定法は、これに限定されることはなく、たとえば、予め撮像したＸ線像における着目領域９０１の位置と撮像系の位置とから統括ＤＳＰ演算部２２２が演算によってその位置を求めてもよいことはいうまでもない。
【００７０】
図１１において、９０１は被検体に設定した着目領域、９０２は平面状Ｘ線画像検出装置の受光面に投影される投影領域を示す。
【００７１】
本実施の形態２の計測装置では、図１１（ａ）に示すように、被検体１０６に設定した着目領域９０１は、撮像系の回転角が０（ゼロ）度のときには、平面状Ｘ線画像検出装置１０２の受光面上の第１および第３のＸ線画像検出器ユニット２０１ａ，２０１ｃの側すなわち図１１（ｃ）の斜線で示す投影領域に位置する。
【００７２】
次に、Ｘ線像の撮像を開始すなわち撮像系を回転させるにしたがって、投影領域９０２は平面状Ｘ線画像検出装置の受光面上を、回転面と平行な方向に移動し、図１１（ｂ）に示すように、撮像系の回転角が１８０度の時に、図１１（ｃ）に点線で示す位置に到達する。このときには、平板状Ｘ線画像検出装置１０２の受光面上の投影領域は、第１および第３のＸ線画像検出器ユニット２０１ａ，２０１ｃと、第２および第４のＸ線画像検出器ユニット２０１ｂ，２０１ｄとの接合線９０３に対して、斜線で示す領域と線対称の位置にまで移動する。
【００７３】
したがって、本実施の形態２では、各ユニットＤＳＰ演算部２１４が撮像系の回転角に基づいて、Ｘ線画像検出器ユニット２０１に設定した着目領域３１０の位置を移動させながらＸ線像の撮像を行うことによって、前述する実施の形態１の計測装置と同様の効果を得ることができる。ただし、被検体１０６に着目領域９０１を設定してＸ線像の撮像を行うことは、コーンビームＣＴ装置に限定されることはなく、Ｘ線透視およびＸ線撮影と称される一般のＸ線計測にも適用可能なことはいうまでもなく、この場合においても、被検体１０６の着目領域９０１に対して最適な条件で撮影を行うことができるという効果を得ることが可能となる。
【００７４】
さらには、例えば、カテーテル術に代表されるＩＶＲ透視では、カテーテルという特定の対象物に着目領域９０１を固定することにより、常にカテーテルを見易い画像を得ることができる。したがって、検者（術者）はカテーテル操作を容易に行うことができることとなるので、カテーテル術に要する時間を短縮することが可能となり、患者である被検体１０６および検者の負担を軽減することが可能となる。
【００７５】
（実施の形態３）
図１２は本発明の実施の形態３の計測装置の入力アンプの入出力特性を示す図である。ただし、本実施の形態３の計測装置は、入力アンプの入出力特性を除く他の構成は、前述した実施の形態１あるいは実施の形態２の計測装置と同じ構成となるので、本実施の形態においては、その構成の異なる入力アンプについてのみ説明する。
【００７６】
図１２に示すように、本実施の形態３の計測装置では、それぞれの入力アンプ部２１１ａ，ｂの入出力特性が非線形特性１２０１，１２０２となっている。このときの非線形特性としては、たとえば、対数変換がある。
【００７７】
本実施の形態３の入力アンプ部２１１が対数アンプの場合、入出力特性１２０１，１２０２を特徴づけるパラメータとしては、対数スロープ、インターセプト（対数オフセット）およびオフセット電圧があり、この３個のパラメータをユニットＤＳＰ演算部２１４が決定することによって、本実施の形態３の入力アンプ部２１１の入出力特性すなわちＡ／Ｄ変換部２１２による変換特性を図１２に示す非線形の特性とすることが可能となる。
【００７８】
Ａ／Ｄ変換部２１２による変換特性を非線形特性とすることによって、特に、検者は着目する画素値付近の画像信号を広くデジタル変換可能範囲内に割り伏すことができるので、図１２に示す区間α，βのように、所定の画素値部分の濃度分解能を向上させることが可能となる。
【００７９】
このとき、Ａ／Ｄ変換時の分解能が高い区間α，βにおける分解能を基準として、装置（システム）の画像データの分解能を設定しておくことによって、この区間α，βにおける分解能は非線形特性によって決定される画素値の分解能を有することとなるので、所定の画素値部分の濃度分解能を向上させることが可能となる。
【００８０】
なお、本実施の形態のＸ線を用いた計測装置では、Ｘ線画像検出器ユニット２０１と撮影データ収集ユニット２１０とを一対一で設ける構成としたが、これに限定されることはなく、１個のＸ線画像検出器ユニット２０１で平板状Ｘ線画像検出装置１０２を構成し、画像信号の読み出し時において複数のＸ線画像検出器ユニット２０１から成るようにみなし、撮影データ収集ユニット２１０が画像信号を取り込む場合であっても、前述する効果を得ることができることはいうまでもない。
【００８１】
以上、本発明者によってなされた発明を、前記発明の実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は、前記発明の実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能であることは勿論である。
【００８２】
【発明の効果】
本願において開示される発明のうち代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下記の通りである。
【００８３】
（１）平板状Ｘ線画像検出装置を用いた計測装置のダイナミックレンジを拡大することができる。
【００８４】
（２）平板状Ｘ線画像検出装置で高速撮影することができる。
【００８５】
（３）平板状Ｘ線画像検出装置のダイナミックレンジを有効に使用することができる。
【００８６】
（４）平板状Ｘ線画像検出装置を用いた計測画像の画質を向上することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施の形態のＸ線を用いた計測装置の概略構成を説明するための図である。
【図２】本実施の形態のＸ線画像検出器と撮影データ収集装置との概略構成を説明するための図である。
【図３】本実施の形態の撮影データ収集装置の動作を説明するための図である。
【図４】２つのＸ線画像検出器ユニットにおける着目領域内データを最適化する入力アンプ部の入出力特性の一例を示す図である。
【図５】本実施の形態の計測装置におけるＸ線画像検出器ユニット毎の画像信号の読み出し走査方向を説明するための図である。
【図６】本実施の形態の平板状Ｘ線画像検出装置の概略構成を説明するための図である。
【図７】平板状Ｘ線画像検出装置の他の構成例を示す図である。
【図８】平板状Ｘ線画像検出装置のその他の構成例を示す図である。
【図９】本実施の形態の受光素子アレイ１画素分の受光素子の構造を説明するための上面図である。
【図１０】図９のＡ−Ａ線による断面図である。
【図１１】本発明の実施の形態２のＸ線を用いた計測装置の概略構成を説明するための図である。
【図１２】本発明の実施の形態３の計測装置の入力アンプの入出力特性を示す図である。
【図１３】従来のＸ線を用いた計測装置の概略構成を説明するための図である。
【符号の説明】
１０１…Ｘ線発生装置、１０２…平板状Ｘ線画像検出装置、１０３…撮影データ収集装置、１０４…データ処理装置、１０５…画像表示装置、１０６…被検体、１０７…移動装置、１０８…撮像系の回転軌道、２０１…Ｘ線画像検出器ユニット、２０２…検出素子部、２０３…検出器アンプ部、２０４…信号出力部、２０５…制御部、２１０…撮影データ収集ユニット、２１１…入力アンプ部、２１２…Ａ／Ｄ変換部、２１３…フレームメモリ部、２１４…ユニットＤＳＰ演算部、２２０…統括撮影制御ユニット、２２１…外部機器制御部、２２２…統括ＤＳＰ演算部、３１０…着目領域、３１１…検出可能範囲、５０１，５０２…接合線、６０１…受光素子アレイ部、６０２…制御回路、６０３…制御読出回路、６０４…基板、６０５…シンチレータ、６０６…Ｘ線シールド、７０１…配線、８０１…ファイバープレート、１３０１…ドレイン電極、１３０２…チャネル層、１３０３…ゲート電極、１３０４…ソース電極、１３０５…絶縁膜、１３０６…ゲート絶縁膜、１３０７…透明電極、１３０８…共通電極、１３０９…光導電膜、１３１０…接続膜。

Claims (3)

1. 検出領域が複数のＸ線検出器ユニットに分割され、検査対象を透過したＸ線を検出し、前記検査対象の関心領域のＸ線像を撮像するＸ線撮像手段と、前記Ｘ線検出器ユニットから読み出したアナログの画像信号を、前記各Ｘ線検出器ユニット毎にデジタルの画像データに変換する変換手段と、前記Ｘ線検出器ユニット毎に変換されたデジタルの画像データを予め設定された入出力特性へ変換する演算手段とを具備し、前記変換手段は、Ａ／Ｄ変換器と、前記Ｘ線検出器ユニットにより検出される信号を、線形増幅する線形増幅手段又は非線形増幅する非線形増幅手段とを有し、前記演算手段は、前記関心領域における変換された前記別のデジタルの画像データの値に基づいて算出された前記線形増幅手段のゲイン及びオフセットである第１のパラメータ、前記非線形増幅手段のゲイン及び非線形性のパラメータである第２のパラメータの何れか、又は、前記第１、第２のパラメータの組み合わせにより、前記線形増幅手段又は前記非線形増幅手段の出力範囲と前記Ａ／Ｄ変換器の入力範囲とが一致するように入出力特性を変化させることを特徴とするＸ線を用いた計測装置。
2. 前記関心領域を、前記検査対象を撮像する方向毎に変化させる手段を有することを特徴とする請求項１に記載のＸ線を用いた計測装置。
3. 前記複数のＸ線検出器ユニットのうち、隣接する２つのＸ線検出器ユニットが接する位置に近い、前記Ｘ線検出器ユニットの検出素子からアナログの画像信号を順次読み出す手段を有することを特徴とする請求項１に記載のＸ線を用いた計測装置。

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