JP3795039B2 - ウエハ一括型バンプ付きメンブレンの製造方法 - Google Patents
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Description
本発明の参考例について図面を参照しながら説明する。
以下、本発明の参考例の一変形例に係るウエハ一括型バンプ付きメンブレンの製造方法を図面に基づいて説明する。
以下、本発明の第1の実施形態について図面を参照しながら説明する。
以下、本発明の第1の実施形態に係る製造方法の一変形例を図面に基づいて説明する。
11a パッド
11A 銅箔(金属膜)
11B 分割銅箔
12 ポリイミドフィルム(絶縁性フィルム)
12a バンプホール
13 積層シート
14 剛性リング
15 熱硬化性接着剤
16 メンブレン
17 保護膜
18 バンプ
19 導電性シート
Claims (2)
- ウエハ一括型プローブカードに用いられ、被検査基板上の検査用電極と接触するウエハ一括型バンプ付きメンブレンの製造方法であって、
絶縁性フィルムと金属膜とを貼り合わせて積層シートを形成し、形成した積層シートの一方の面上に剛性リングの開口面を固着することにより、メンブレンを形成する工程と、
前記メンブレンを形成した後、前記金属膜における前記剛性リングの内側の周縁部を除去する工程と、
前記絶縁性フィルムにおける前記検査用電極の位置と対応する領域に複数のバンプホールを形成する工程と、
前記金属膜における前記絶縁性フィルムの反対側の面上に保護材を貼り合わせた後、前記金属膜を下地層としてめっき処理を行なうことにより、前記各バンプホールが充填され且つ前記絶縁性フィルムの表面上に突き出す複数のバンプを形成する工程と、
前記保護材を除去した後、前記金属膜における前記各バンプと対応する領域をマスクして前記金属膜をパターニングすることにより、前記金属膜から複数のパッドを形成する工程とを備えていることを特徴とするウエハ一括型バンプ付きメンブレンの製造方法。 - ウエハ一括型プローブカードに用いられ、被検査基板上の検査用電極と接触するウエハ一括型バンプ付きメンブレンの製造方法であって、
絶縁性フィルムと金属膜とを貼り合わせて積層シートを形成し、形成した積層シートの一方の面上に剛性リングの開口面を固着することにより、メンブレンを形成する工程と、
前記メンブレンを形成した後、前記金属膜における前記剛性リングの内側を部分的に除去することにより、前記金属膜を平面積が互いに同等な複数の領域に分割する工程と、
前記絶縁性フィルムにおける前記検査用電極の位置と対応する領域に複数のバンプホールを形成する工程と、
分割された前記金属膜における前記絶縁性フィルムの反対側の面上に保護材を貼り合わせた後、前記金属膜を下地層としてめっき処理を行なうことにより、前記各バンプホールが充填され且つ前記絶縁性フィルムの表面上に突き出す複数のバンプを形成する工程と、
前記保護材を除去した後、前記金属膜における前記各バンプと対応する領域をマスクして前記金属膜をパターニングすることにより、前記金属膜から複数のパッドを形成する工程とを備えていることを特徴とするウエハ一括型バンプ付きメンブレンの製造方法。
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