JP3787376B2 - 表面発光レーザ・ダイオード・アレイ - Google Patents
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Description
【産業上の利用分野】
本発明は、レーザに関するものであり、とりわけ、表面発光レーザ・ダイオード・アレイにおける個々のこうしたダイオードを分離するための改良式方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
半導体レーザ・ダイオードは、本来、半導体ウェーハの表面と平行なダイオード構造が得られるような方法で製造されていた。この構造の場合、光は、構造のエッジから放出されるので、光は、やはり、半導体ウェーハの表面に対して平行に放出された。あいにく、この構造は、2次元レーザ・ダイオード・アレイのコスト的に有効な製造には向いていない。
【0003】
第2クラスのレーザ・ダイオードは、レーザ構造が、半導体ウェーハの表面に対して垂直となり、光が表面に対して垂直に放出されるように製造される。これらのレーザ・ダイオードは、一般に、表面発光レーザ(SEL)として既知のところである。該レーザは、ディスプレイ、光源、光学スキャナ、及び、光学スキャナ用データ・リンクのためのレーザ・アレイの製造により適している。
【0004】
稠密レーザ・ダイオード・アレイの場合、熱的及び光学的分離は、重大な問題になる可能性がある。SELは、一般に、2つのミラー領域間に発光層を挟み込んで製造される。各ミラー領域は、屈折率の異なる層を交互に設けて、ブラッグ層を形成することによって、構成される。こうしたSELアレイの場合、個々のSELは、共通の発光層とミラー層から構成される。個々のSELの位置は、共通層の製造後に導入される、個々の電極及び注入領域によって決まる。発光層に隣接したブラッグ・ミラーの層は、SELの1つに発生した光を隣接するSELに運ぶ光パイプの働きをすることが可能である。この結合は、そのセル内にSELの1つと、SELの光出力についてモニタを行う対応するフォトダイオードを備えた、セル・アレイの場合、とりわけ厄介である。この場合、フォトダイオードは、隣接セルのSELからの光と、そのセルのSELによって生じた光を区別することができない。従って、隣接セルから漏れる光によって、間違ったモニタ信号を発生する可能性がある。SELの1つからの光が別のSELに結合すると、受光SELの性能が劣化する可能性もある。
【0005】
個々のSELにおいて生じるパワーは、隣接するSELの温度を上昇させるのに十分なものになる可能性がある。個々のSELの特性は、温度によって変動するので、SELは、できる限り、光学的にも、熱的にも分離するのが有利である。さらに、個々のSELから熱を取り除いて、アレイ全体の温度が、許容できないレベルに達するのを防ぐための手段を設けるのが有効である。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
一般に、本発明の目的は、改良形SELアレイを提供することにある。
【0007】
本発明のもう1つの目的は、個々のSELが光学的に分離された、SELアレイを提供することにある。
【0008】
本発明のさらにもう1つの目的は、個々のSELが熱的に分離された、SELアレイを提供することにある。
【0009】
本発明のさらにもう1つの目的は、個々のSELによって生じる熱がアレイから取り除かれる、SELアレイを提供することにある。
【0010】
本発明の以上の及びその他の目的については、下記の本発明に関する詳細な説明及び添付の図面から、当該技術の熟練者には明らかになるであろう。
【0011】
【課題を解決するための手段】
本発明は、発光層と、発光層を挟む第1と第2のミラー層から構成されるSELアレイである。第1と第2のミラーは、発光層から生じた光を発光層に向かって反射する。第1のミラーには、それぞれ、第1のミラーを通って延びる、複数の光分離領域が含まれている。光分離領域は、発光層を複数の領域に分割する。こうした各領域は、SELの1つに対応する。各光分離領域は、発光領域の1つにおいて生じた光が、近傍の発光領域内に伝搬するのを阻止するように配置される。本発明の実施例の1つでは、光分離領域は、SELアレイの表面から第1のミラーを通って延びるトレンチ(溝)を設けることによって、構成される。トレンチには、吸光材料を充填することができる。また、トレンチには、熱伝導材料を充填して、SELによって生じる熱に対する改良式熱放散経路を形成することも可能である。光分離領域は、SEL間にイオン注入領域を設けることによって、または、SEL間の領域においてミラーの1つを不規則化することによって形成することも可能である。
【0012】
【実施例】
本発明は、従来のSEL10の断面図である図1を参照することによって、より理解がしやすくなる。SELの構成は、レーザ技術の熟練者にとって周知のところであるため、ここでは、詳述しない。この論考のためには、SEL10が、上部ミラー領域18、発光領域14、及び、底部ミラー領域19を備えた、p−i−nダイオードとみなすことができるという点に言及すれば十分である。これらの領域は、基板12上に構成される。電極22と27の間には、電力が加えられる。エピタキシャル成長によって、各種層が形成される。
【0013】
活性領域は、一般に、それぞれ、スペーサ15及び16によって、ミラー領域18及び19から隔てられた、InGaAs、GaAs、AlGaAs、または、InAlGaAsによる1つ以上の量子井戸から構成される。材料の選択は、SELによって放出される光の所望の波長によって決まる。さらに、バルク活性領域に基づく装置が、当該技術において既知のところである。この層14は、p−i−nダイオードに順バイアスを加えることによって生じる電子及びホールの再結合を介した、自然放出及び誘発放出によって光を発生する発光層とみなすことが可能である。
【0014】
ミラー領域は、20及び21を典型的な例とする、交番層から構成される。これらの層は、屈折率が異なる。各層の厚さは、光の四分の一波長となるように選択される。このスタックが、ブラッグ・ミラーを形成する。該スタックは、一般に、AlAs及びGaAsまたはAlGaAsの交番層から構成される。所望の反射性を得るためには、一般に、20〜30対の層が必要とされる。上部ミラー領域18における層は、一般に、pタイプ半導体となるようにドープされ、下部ミラー領域19における層は、一般に、nタイプ半導体となるようにドープされる。基板12は、nタイプ接触が望ましい。底部電極27は、nオーム接触が望ましい。しかし、n−i−pダイオードは、p基板またはp層を付着させた半絶縁基板に、構造を成長させることによって、形成することも可能である。
【0015】
電極22と27の間の電流の流れは、領域25及び26を注入して、該領域を抵抗率の大きい領域に変換することによって、領域24に限定される。これは、一般に、水素イオンの注入によって実施される。
【0016】
留意すべきは、SEL10は、図1の縮尺率で示されていないということである。すなわち、ミラー領域及び活性領域は、図面において見やすくするため、拡大されている。実際には、領域12の厚さは、一般に、ミラー及び活性領域の約10μmに対して、150μmである。上部電極22のウインドウ30は、直径が約10μmであり、底部電極27は、基板底部をカバーしている。
【0017】
本発明によるSELアレイは、最初に、基板上に、底部ミラー領域、活性領域、及び、上部ミラー領域を構成する層を付着させ、次に、これらの層を個々のSELに分割することによって、構成することが可能である。図2は、このやり方で形成されたSELアレイの透視図である。アレイは、基板12上に形成され、さらに、SEL104を典型的な例とする、個々のSELに分割される。
【0018】
次に、図2に示されたライン101−102に沿ったアレイ100の断面図である、図3を参照する。アレイ100は、底部ミラー領域114、活性領域130、及び、上部ミラー領域115から構成される。基板112上に、これらの領域を形成してから、上部ミラー領域115に注入領域124のような注入領域が注入される。次に、上部ミラー領域115の表面に、上部電極123が設けられる。上部電極に連係して、連続底面電極122を用いることによって、装置に電力が供給される。
【0019】
電流を導くには、注入領域と、上部電極123の位置決めで十分であるが、これらは、電気的分離には不十分である。従来のSELアレイでは、追加注入領域を用いることによって、各種SELが互いに電気的に分離される。しかし、この追加注入領域を設けたとしても、あるSELの活性領域に生じた光が、近傍のSELに伝搬する可能性がある。ミラー領域に対して十分な斜角をなす方向に出ていく光子が、ミラー領域114と115の間に捕獲され、この結果、近傍領域に伝搬する可能性がある。実際、上部ミラー領域と底面ミラー領域は、発光領域において斜角をなして発生する光子を捕獲する光パイプの壁面を形成する。こうした光子が、図3に135で示されている。このタイプの光の伝搬を阻止するため、SEL間には、トレンチのエッチングが施される。図3には、典型的なトレンチが125−128で示されている。これらのトレンチは、ミラー領域の間で捕獲された光を遮断して、アレイをなすSEL間における光の伝搬を阻止する。さらに詳細に後述するように、これらのトレンチを利用して、熱をアレイ外に伝導することも可能である。
【0020】
トレンチの壁面が、十分に粗い場合、SELの光学的分離目的には、空のトレンチでも十分かもしれない。しかし、本発明の望ましい実施例の場合、トレンチには、活性領域によって生じる波長の光を吸収する色素を混合したポリイミドから成る不透明材料のような、不透明材料が充填される。可視範囲では、ローダミン6Gを利用することが可能である。フォトレジストを利用して、トレンチを充填することも可能である。トレンチの充填にとって望ましい材料は、パッシベーションが得られるので、スピン・オン・ガラスである。このガラスは、色素によるドーピングが可能である。多くの場合、光の透過を妨げるには、屈折率の変化で十分である。
【0021】
トレンチは、ヒート・パイプを形成して、アレイから熱を取り除くため、熱伝導材料を充填することが可能である。例えば、トレンチに、良好な熱伝導特性を有する誘電体材料である、炭化珪素のコーティングを施すことが可能である。金またはアルミニウムのような導電材料が、熱伝導材料として利用される場合、トレンチの壁面は、炭化珪素のような絶縁体によるコーティングを施さなければならない。図4には、充填されたトレンチの断面図が200で示されている。トレンチ200の壁面に誘電体層201を被着させてから、トレンチ200に熱伝導材料202が充填される。
【0022】
図3に示すトレンチは、光学的分離のため、両方のミラー領域を通って基板112内に延びるが、上部ミラー領域と底部ミラー領域の間の活性領域に捕獲される光の伝搬を阻止するには、活性領域までしか延びる必要はない。トレンチがさらに深くなると、電気的分離と光学的分離の両方が可能になるという利点がある。
【0023】
熱伝導層またはトレースを介して、図5に示すように、各種トレンチとオフ・チップ・ヒート・シンクを接続することが可能である。図5は、2つの充填トレンチ301及び302を示すSELアレイ300の一部に関する断面図である。トレンチは、トレンチ、及び、チップ表面からヒート・シンク304に熱を電導する熱伝導層303に接続されている。炭化珪素のような薄い誘電体層305を用いて、SELの上部電極のような、アレイ300表面における他の導電構造から熱伝導層303を分離することが可能である。当該技術の熟練者には明らかなように、SELのウインドウに重なる層303に、ウインドウを開けて、光がSELを出ることができるようにしなければならない。
【0024】
SELの上部表面の十分な部分が、層303と接触している場合、トレンチに熱伝導材料を充填する必要はない。この場合、SELアレイの表面に薄い誘電体層を被着させ、第2の熱伝導層によってカバーする。両方の層の上部電極及びウインドウの上に、バイアが開けられる。第2の誘電体層を利用して、熱伝導層と、上部電極との接続に利用されるメタライゼーション層との間を電気的に分離することが可能である。
【0025】
熱伝導トレンチを必要としない場合、上述のトレンチの代わりに、光を吸収するか、あるいは、光を捕獲して、捕獲した光をアレイ外に送り出す領域を設けることによって、光学的分離を実施することが可能である。次に、2つのSEL401及び402を通る、SELアレイ400の一部に関する断面図である図6を参照する。上部ブラッグ・ミラー415の領域440は、ミラー層間の境界を破壊するため、不規則化されている。ミラー層間に捕獲された、活性領域で生じた光が、領域440に入ると、不規則化によってミラーが破壊されているので、もはや、上部ミラーによって光が反射されることはない。こうして領域440に入った光は、領域440の側部から反射され、最終的には、408で示すように、SELアレイを出ることになる。
【0026】
領域を不規則化する方法は、当該技術において周知のところであり、従って、ここでは、詳述しない。本論述のためには、局部加熱を行うか、あるいは、領域にイオン拡散または注入を施すことによって、不規則化領域を形成することができるという点に言及すれば十分である。さらに、加熱とイオン注入または拡散の組み合わせを利用することも可能である。
【0027】
隣接するSEL間に領域にイオン注入を行って、表面から上部ミラー領域を通って延びる吸光領域を形成することによって、光分離機能を得ることも可能である。こうした領域は、SELアレイ外に光を導くのではなく、迷光を吸収する。イオン注入は、かなりの用量の、一般には、1015イオン/cm2を超える水素を注入して実施することが可能である。
【0028】
当該技術の熟練者には、以上の説明及び添付の図面から本発明に対するさまざまな修正が明らかになるであろう。
【0029】
以上、本発明の実施例について詳述したが、以下、本発明の各実施例毎に列挙する。
[例1]
光の通過に応答して、光を発生する発光層と、
前記発光層の一方の側に配置され、前記発光層において発生した光を前記発光層に向けて反射する第1のミラー手段と、
前記発光層の他方の側に配置され、前記発光層において発生した光を前記発光層に向けて反射する第2のミラー手段と、
それぞれ、前記第1のミラー手段を通って延びており、それらによって、前記発光層が複数の発光領域に分割され、それぞれが、SEL(表面発光レーザ)の1つに対応し、それぞれ、前記発光領域の1つにおいて発生した光が、近傍の発光領域内に伝搬するのを阻止するように配置されている、複数の光分離領域から構成される、
複数のSELから構成されるSELアレイ。
[例2]
前記分離領域の1つが、前記発光層を通って延びるトレンチから成ることを特徴とする、例1に記載のSELアレイ。
[例3]
前記トレンチに、吸光材料が充填されていることを特徴とする、例2に記載のSELアレイ。
[例4]
前記トレンチに、熱伝導材料が充填されていることを特徴とする、例3に記載のSELアレイ。
[例5]
前記第1のミラーが、隣接層の屈折率が異なる、複数の層を備えたブラッグ・ミラーから構成されることと、前記光分離領域が、前記第1のミラーの、前記層が同じ屈折率を有する領域から構成されることを特徴とする、例1に記載のSELアレイ。
[例6]
前記分離領域の1つが、前記第1のミラー手段の、入射光を吸収する領域から構成されることを特徴とする、例1に記載のSELアレイ。
[例7]
さらに、前記SELアレイの表面と接触した誘電体層と、前記誘電体層と接触した熱伝導層が設けられていることを特徴とする、例1に記載のSELアレイ。
[例8]
さらに、ヒート・シンクが設けられていることと、前記熱伝導層が、前記ヒート・シンクと熱的に接続されていることを特徴とする、例7に記載のSELアレイ。
【0030】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明を用いることにより、個々のSELを光学的に、また、熱的に容易に分離することができる。さらに、個々のSELによって生じた熱をアレイから容易に取り除くこともできる。
【図面の簡単な説明】
【図1】従来のSELの断面図である。
【図2】本発明によるSELアレイの実施例の1つに関する透視図である。
【図3】図2に示すアレイの断面図である。
【図4】本発明による光学分離領域を形成するために用いられるトレンチの断面図である。
【図5】熱伝導層を利用して、SELアレイからヒート・シンクに熱を伝達する本発明の実施例の断面図である。
【図6】本発明のもう1つの実施例の断面図である。
【符号の説明】
10、104:SEL
12、112:基板
14:発光領域
15、16:スペーサ
18、115:上部ミラー領域
19、114:底部ミラー領域
22、27:電極
30:ウインドウ
100:アレイ
122:連続底面電極
123:上部電極
124:注入領域
125、126、127、128、200、301、302:トレンチ
130:活性領域
201、305:誘電体層
303:熱伝導層
400:SELアレイ
401、402:SEL領域
415:上部ブラッグ・ミラー
440:領域
Claims (5)
- 複数のSEL(表面発光レーザ)を含む表面発光レーザアレイ(100、200、300)であって、
光の通過に応答して、光を発生する発光層(130)と、
前記発光層(130)で発生した光を前記発光層(130)へ向けて反射する第1のミラー手段(115)と、
前記発光層(130)で発生した光を前記発光層へ向けて反射する第2のミラー手段(114)であって、前記第1のミラー手段と前記第2のミラー手段(114)が前記発光層(130)の両側に配置されるように構成された、第2のミラー手段(114)と、
複数の分離領域(202、301、302)であって、該分離領域(202、301、302)のそれぞれが、前記第1のミラー手段(115)を通って延び、前記発光層(130)を複数の発光領域に分割し、該発光領域のそれぞれが前記複数のSELのうちの1つに対応し、各分離領域(202、301、302)がトレンチを有し、該トレンチが、光の通過を妨げるとともに熱を伝達する材料で充填され、該材料がヒートシンク手段(303、304)に熱的に結合され、前記複数の発光領域のうちの1つにおいて生成された光及び熱が隣接する発光領域へ伝搬することを防止するように構成された、複数の分離領域(202、301、302)と
からなる表面発光レーザアレイ(100、200、300)。 - 前記ヒートシンク手段は、前記トレンチ(301、302)から熱を伝達する熱伝導層(303)を含む、請求項1に記載の表面発光レーザアレイ。
- 前記第1のミラー手段(115)を覆う誘電体層(305)を更に含み、前記熱伝導層(303)は該誘電体層(305)に接触するように構成される、請求項2に記載の表面発光レーザアレイ(100、200、300)。
- 前記熱伝導層はヒートシンク(304)に熱的に結合される、請求項2又は請求項3に記載の表面発光レーザアレイ。
- 複数のSEL(表面発光レーザ)を含む表面発光レーザアレイであって、
光の通過に応答して、光を発生する発光層と、
前記発光層で発生した光を前記発光層へ向けて反射する第1のミラー手段と、
前記発光層で発生した光を前記発光層へ向けて反射する第2のミラー手段であって、前記第1のミラー手段と前記第2のミラー手段が前記発光層の両側に配置されるように構成された、第2のミラー手段と、
複数の光分離領域であって、該光分離領域のそれぞれが、前記第1のミラー手段を通って延び、前記発光層を複数の領域に分割し、該領域のそれぞれが前記複数のSELのうちの1つに対応し、前記光分離領域のそれぞれが、前記発光層の前記複数の領域のうちの1つで発生した光が隣接する領域へと伝搬するのを防止するように構成された、複数の光分離領域と
からなり、前記第1のミラー手段は複数の層を含むブラッグ・ミラーからなり、該複数の層において隣接する層は異なる屈折率を有し、前記複数の光分離領域のうちの1つは前記第1のミラー手段の一領域からなり、該領域において前記層は同じ屈折率を有する、表面発光レーザアレイ。
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