JP3760445B2 - 反射型液晶表示素子およびその製造方法、ならびに液晶表示装置 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の一実施の形態に係る反射型液晶表示素子の全体構造を示している。この反射型液晶表示素子は、互いに対向配置された一対の透明電極基板30および画素電極基板40と、これらの基板間に注入された垂直配向液晶45とを備えている。
次に、図1に示した構成の反射型液晶表示素子を使用した液晶表示装置の例について説明する。ここでは、図7に示したように、反射型液晶表示素子をライトバルブとして使用した反射型液晶プロジェクタの例について説明する。
以下、比較例1,2について、まとめて説明する。比較例となる反射型液晶表示素子の試料を以下のように作製した。まず、透明電極が成膜されたガラス基板と反射型画素電極としてアルミニウム電極が形成されたシリコン駆動基板とを洗浄後、蒸着装置に導入し、配向膜として酸化珪素膜を、基板への蒸着角度50〜55°の範囲で斜め蒸着して形成した。配向膜の膜厚は50nmとした。液晶のプレティルト角は約2.5°になるように配向制御した。その後、配向膜が形成された各基板を対向配置して、その間に2μm径のガラスビーズを適当な数だけ散布して、張り合わせ、さらに、メルク社製の誘電異方性Δεが負の垂直液晶材料を注入し、これにより反射型液晶表示素子の試料を作製した。シリコン駆動基板上のアルミニウム電極の画素ピッチは9μm、画素間の溝幅は0.6μmとした。また、アルミニウム電極の上に、画素電極を保護するためのSiO2系のパッシベーション膜を、CVD(Chemical Vapor Deposition)成膜により45nmの厚さでオーバコートしたものに関しても同様な方法で作製した。
以下、実施例1,2について、まとめて説明する。基本的に、配向膜以外については、上記比較例と同じ方法・仕様で、反射型液晶表示素子の試料を作製した。すなわち、透明電極が成膜されたガラス基板と反射型画素電極としてアルミニウム電極が形成されたシリコン駆動基板とを洗浄後、配向膜を以下に述べる方法で蒸着形成し、その後、それら一対の基板間に、メルク社製の誘電異方性Δεが負の垂直液晶材料を注入した反射型液晶表示素子を作製した。シリコン駆動基板の仕様も上記比較例と同じにし、画素ピッチは9μmで、画素間の溝幅を、0.6μmとした。アルミニウム電極の上に、パッシベーション膜が設けられたものも同様に作製した。
Claims (7)
- 透明電極基板と、金属膜により形成された複数の反射型の画素電極を有する画素電極基板とが垂直配向液晶を介して互いに対向配置された反射型液晶表示素子であって、
前記画素電極基板と前記透明電極基板とのそれぞれの前記垂直配向液晶に接する面側に、少なくとも、
基板面に対して垂直方向から蒸着形成された垂直蒸着膜と、
前記垂直蒸着膜の上に、基板面に対して斜め方向から蒸着形成された斜方蒸着配向膜と
が順に積層形成され、
前記画素電極基板にはさらに、前記垂直蒸着膜の下地層として、前記画素電極全体および隣接する前記画素電極間の溝部分全体に、前記画素電極の厚みよりも膜厚の薄いパッシベーション膜が形成されており、
前記パッシベーション膜および前記垂直蒸着膜が前記画素電極の上面に対し前記溝部の底面が低く膜形成された状態において前記斜方蒸着配向膜が蒸着形成されている
ことを特徴とする反射型液晶表示素子。 - 前記垂直蒸着膜および前記斜方蒸着配向膜、ならびに前記パッシベーション膜は、すべて同じSiO 2 による膜である
ことを特徴とする請求項1に記載の反射型液晶表示素子。 - 反射型液晶表示素子を備え、この反射型液晶表示素子によって変調された光を用いて映像表示を行う液晶表示装置であって、
前記反射型液晶表示素子が、
金属膜により形成された複数の反射型の画素電極を有する画素電極基板と、
前記画素電極基板に対向するように配置された透明電極基板と、
前記画素電極基板と前記透明電極基板との間に注入された垂直配向液晶と
を備え、
前記画素電極基板と前記透明電極基板とのそれぞれの前記垂直配向液晶に接する面側に、少なくとも、
基板面に対して垂直方向から蒸着形成された垂直蒸着膜と、
前記垂直蒸着膜の上に、基板面に対して斜め方向から蒸着形成された斜方蒸着配向膜と
が順に積層形成され、
前記画素電極基板にはさらに、前記垂直蒸着膜の下地層として、前記画素電極全体および隣接する前記画素電極間の溝部分全体に、前記画素電極の厚みよりも膜厚の薄いパッシベーション膜が形成されており、
前記パッシベーション膜および前記垂直蒸着膜が前記画素電極の上面に対し前記溝部の底面が低く膜形成された状態において前記斜方蒸着配向膜が蒸着形成されている
ことを特徴とする液晶表示装置。 - 光源と、
前記光源から発せられ、前記反射型液晶表示素子によって変調された光をスクリーンに投射する投射手段と
を備え、
反射型液晶プロジェクタとして構成されている
ことを特徴とする請求項3に記載の液晶表示装置。 - 透明電極基板と、金属膜により形成された複数の反射型の画素電極を有する画素電極基板とが垂直配向液晶を介して互いに対向配置された反射型液晶表示素子を製造する方法であって、
前記画素電極基板の製造工程と前記透明電極基板の製造工程とのそれぞれについて、
前記垂直配向液晶に接する面側に、基板面に対して垂直方向から垂直蒸着膜を蒸着形成する工程と、
前記垂直蒸着膜を形成した後、前記垂直蒸着膜の上に、基板面に対して斜め方向から斜方蒸着配向膜を蒸着形成する工程と
を含み、
前記画素電極基板の製造工程について、前記垂直蒸着膜の下地層として、前記画素電極全体および隣接する前記画素電極間の溝部分全体に、前記画素電極の厚みよりも膜厚の薄いパッシベーション膜を積層形成する工程をさらに含み、前記パッシベーション膜を積層形成する工程、前記垂直蒸着膜を蒸着形成する工程、および前記斜方蒸着配向膜を蒸着形成する工程を順に行い、前記パッシベーション膜および前記垂直蒸着膜を膜形成する工程において、前記画素電極の上面に対し前記溝部の底面が低くなるように前記パッシベーション膜および前記垂直蒸着膜を膜形成し、前記斜方蒸着配向膜を蒸着形成する工程において、前記画素電極の上面に対し前記溝部の底面が低くなっている状態で前記斜方蒸着配向膜を蒸着形成する
ことを特徴とする反射型液晶表示素子の製造方法。 - 前記画素電極基板の製造工程と前記透明電極基板の製造工程とのそれぞれについて、
基板面の法線方向と蒸着源からの蒸着物質の入射方向とを一致させ、真空状態で前記垂直蒸着膜の形成を行い、その後、真空状態を維持した状態で、前記基板面の法線方向が前記蒸着物質の入射方向に対して所定の角度となるように前記各基板を傾けることで、前記基板面に対して斜め方向から前記斜方蒸着配向膜を蒸着形成する
ことを特徴とする請求項5に記載の反射型液晶表示素子の製造方法。 - 前記垂直蒸着膜および前記斜方蒸着配向膜は、酸化珪素による蒸着膜である
ことを特徴とする請求項5に記載の反射型液晶表示素子の製造方法。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003309876A JP3760445B2 (ja) | 2003-09-02 | 2003-09-02 | 反射型液晶表示素子およびその製造方法、ならびに液晶表示装置 |
US10/925,480 US7193671B2 (en) | 2003-09-02 | 2004-08-25 | Reflective liquid crystal display device having obliquely evaporated alignment film on vertically evaporated film, method of manufacturing the same, and vertically aligned liquid crystal display unit |
EP04020572A EP1513004A1 (en) | 2003-09-02 | 2004-08-30 | Reflective liquid crystal display device, method of manufacturing the same, and liquid crystal display unit |
CNB2004100921915A CN1333299C (zh) | 2003-09-02 | 2004-09-02 | 反射型液晶显示装置、制造其的方法及液晶显示单元 |
TW093126572A TW200519499A (en) | 2003-09-02 | 2004-09-02 | Reflective liquid crystal display devices, fabricating method thereof and liquid crystal display device |
KR1020040069851A KR101150652B1 (ko) | 2003-09-02 | 2004-09-02 | 반사형 액정 표시 소자 및 그 제조 방법, 및 액정 표시 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003309876A JP3760445B2 (ja) | 2003-09-02 | 2003-09-02 | 反射型液晶表示素子およびその製造方法、ならびに液晶表示装置 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005306058A Division JP4022832B2 (ja) | 2005-10-20 | 2005-10-20 | 反射型液晶表示素子およびその製造方法、ならびに液晶表示装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005077901A JP2005077901A (ja) | 2005-03-24 |
JP2005077901A5 JP2005077901A5 (ja) | 2005-06-23 |
JP3760445B2 true JP3760445B2 (ja) | 2006-03-29 |
Family
ID=34411907
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003309876A Expired - Fee Related JP3760445B2 (ja) | 2003-09-02 | 2003-09-02 | 反射型液晶表示素子およびその製造方法、ならびに液晶表示装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3760445B2 (ja) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4329738B2 (ja) | 2005-07-14 | 2009-09-09 | セイコーエプソン株式会社 | 液晶装置の製造装置、液晶装置の製造方法 |
JP2007033588A (ja) * | 2005-07-25 | 2007-02-08 | Sony Corp | 液晶表示素子および液晶プロジェクタ |
JP5241141B2 (ja) * | 2006-05-31 | 2013-07-17 | キヤノン株式会社 | アクティブマトリクス基板、液晶表示装置、液晶プロジェクタ及びリアプロジェクション装置 |
JP4974683B2 (ja) * | 2007-01-11 | 2012-07-11 | 株式会社アルバック | 液晶表示装置の製造方法 |
JP4846603B2 (ja) * | 2007-01-11 | 2011-12-28 | 株式会社アルバック | 配向膜の製造方法 |
JP2010078998A (ja) * | 2008-09-26 | 2010-04-08 | Citizen Finetech Miyota Co Ltd | 液晶表示素子およびその製造方法 |
JP5396224B2 (ja) * | 2009-10-13 | 2014-01-22 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 液晶表示装置 |
JP5515631B2 (ja) * | 2009-10-30 | 2014-06-11 | 株式会社Jvcケンウッド | 液晶表示装置及びその製造方法 |
JP5663883B2 (ja) | 2010-01-27 | 2015-02-04 | セイコーエプソン株式会社 | 液晶装置、液晶装置の製造方法 |
JP2014026141A (ja) * | 2012-07-27 | 2014-02-06 | Seiko Epson Corp | 液晶装置、液晶装置の製造方法、及び電子機器 |
JP2014059498A (ja) | 2012-09-19 | 2014-04-03 | Seiko Epson Corp | 液晶装置、液晶装置の製造方法及びプロジェクター |
JP6263944B2 (ja) * | 2013-10-09 | 2018-01-24 | セイコーエプソン株式会社 | 液晶装置、液晶装置の製造方法、及び電子機器 |
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2003
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JP2005077901A (ja) | 2005-03-24 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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A521 | Written amendment |
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