JP3748416B2 - 気密封止方法およびその装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、気密封止を必要とする半導体素子、水晶振動子等のチップを収納したパッケージの気密封止方法およびその装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
半導体素子、水晶振動子等のチップを容器に気密に封止する方法としては、通電時に発生するジュール熱を利用したマイクロパラレルシーム溶接法が広く用いられている(例:特公平1−38373号公報)。このシーム溶接法は、図5に示すようにセラミック製容器1の開口周縁上に金属製のシーリングフレーム2をろう付けするか、あるいはセラミック製容器1の開口周縁をろう材等でメタライズしたセラミック製(もしくは全体が金属製)の容器3の内部に水晶振動子、半導体素子等のチップ4を収納し、このチップ4と電極5をワイヤ6で電気的に接続した後、この容器3の開口部をコバール、42アロイ等からなる金属製のリッド7で覆う。
【0003】
次に、シーム溶接ヘッドを構成する一対のローラ電極8a,8bを下降させてリッド7の対向する2辺の端縁部に一定の加圧条件下で接触させ、容器3とローラ電極8a,8bを相対移動させると同時にローラ電極8a,8bにパルセーション通電を行ない、この時発生するジュール熱により2辺を溶融し容器3とリッド7をシーム溶接する。この2辺のシーム溶接が終了すると、ローラ電極8a,8bを一旦上昇させ移動させることにより電極間隔を調整すると共に容器3を水平面内で90°回転させた後、再びローラ電極8a,8bを下降させて他の対向する2辺を同様にシーム溶接し、もって容器3を気密に封止する。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、シーム溶接は一般的に、露点管理された窒素ガス雰囲気内で行われ、従って気密封止されたパッケージ内には窒素ガスが充填されている。しかしながら水晶振動子、水晶フィルタ、水晶発振器等の水晶応用製品はいずれも水晶振動板の表面に金属薄膜電極を形成し、この金属薄膜電極を外気から保護するため気密封止されているが、最近の水晶振動デバイスの超小型化に伴い、水晶振動板もより小型化され、駆動時の抵抗を軽減するため真空雰囲気による気密封止が要求されるようになった。ところがシーム溶接を真空中で行うためには大型のチャンバーが必要となり、装置自体が大型化かつ高額になるという問題点を有していた。
【0005】
本発明は、上記問題点に鑑みなされたもので、チャンバーの小型化が可能なパッケージの気密封止方法と、小型かつ低廉な真空気密封止装置を提供することを目的としている。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記問題点を解決するために、本発明になる気密封止方法は請求項1に示すように、チップを収納した容器の開口部に金属製のリッドを載置し、このリッドをシーム溶接によって前記容器に接合する気密封止方法において、前記リッドを載置した容器をチャンバー内に保持し、該チャンバー外から前記容器を間接的に移動させることにより、前記リッドと前記チャンバー内に設けたシーム溶接ヘッドの一対のローラ電極とを相対移動させながら該ローラ電極間に通電して前記容器にリッドを接合し、パッケージを気密封止することを特徴としている。
【0007】
請求項1によれば、チャンバー外からリッドを載置した容器を間接的に移動させて、リッドと一対のローラ電極とを相対移動させながらシーム溶接するので、チャンバーを小型化できると共にチャンバー内の排気を短時間で行うことができ低コストの気密封止が可能になる。また、装置自体を小型化できるので低廉な気密封止装置を得ることができる。
【0008】
また、請求項2に示すように、請求項1記載の気密封止方法において、少なくともシーム溶接中はチャンバー内が真空排気した状態である構成としてもよい。
請求項2によれば、チャンバーが小型のためチャンバー内の排気を短時間で行うことができ真空気密封止作業のタクトを短縮することができる。
【0009】
さらに、請求項3に示すように、請求項1または請求項2記載の気密封止方法において、チャンバー外から前記容器を間接的に移動させるのに磁力を用いる構成としてもよい。
請求項3によれば、チャンバー内の容器を磁力により間接的に移動させるので、チャンバーを小型化できると共に簡略化することができる。
【0010】
本発明になる気密封止装置は請求項4に示すように、チップを収納した容器の開口部に金属製のリッドを載置し、このリッドをシーム溶接ヘッドによって前記容器に接合する気密封止装置において、開閉自在な上蓋を有する非磁性体のチャンバーと、該チャンバー内に水平に設けたX−Yスライダと、このX−Yスライダ上部に回動自在に設けたパッケージ載置用回動テーブルと、前記パッケージ載置用回動テーブルが設けられたスライダの摺動方向に直交するスライダの下部に前記チャンバー底部と離間させて垂設した第1の永久磁石と、前記パッケージ載置用回動テーブルの下面に前記チャンバー底部と離間させて垂下させると共に該テーブルの回動軸を挟んで対向配置した一対の第2の永久磁石と、前記上蓋下面に垂設した一対のローラ電極を有するシーム溶接ヘッドと、前記チャンバー内を真空排気する排気装置と、前記チャンバーの下方に設けられそれぞれ駆動源を備えたX−Y直動機構と、このX−Y直動機構上部に回動自在に設けられ駆動源を備えた回動盤と、前記X−Y直動機構の前記回動盤が設けられた側の直動機構の上部に前記第1永久磁石に対向させると共に前記チャンバー底部と離間させて立設した第3の永久磁石と、前記回動盤の上面に該回動盤の回動軸を挟んで対向させると共に前記チャンバー底部と離間させて前記第2永久磁石にそれぞれ対向させて立設した一対の第4の永久磁石とを備えてなることを特徴としている。
【0011】
請求項4によれば、チャンバー外にX−Y直動機構と回動盤を設けて、チャンバー外からリッドを載置した容器を間接的にX、Y、θ方向に移動させることにより、リッドと一対のローラ電極とを相対移動させながらシーム溶接することができ、チャンバーを小型化できると共にチャンバー内の排気を短時間で行うことができる小型で低廉な気密封止装置を得ることができる。
【0012】
また、請求項5に示すように、請求項4記載の気密封止装置において、第3および第4の永久磁石を電磁石とすることができる。
請求項5によれば、第1および第2の永久磁石との磁力結合を強固にして、チャンバー内のパッケージを正確かつ迅速に間接移動させることができる。
【0013】
また、請求項6に示すように、請求項4または請求項5記載の気密封止装置において、パッケージ載置用回動テーブルは少なくとも180度回動することができる。
請求項6によれば、方形の容器と一対のテーパ付きローラ電極を相対移動させて2辺をシーム溶接した後、容器を水平面内で90°回転させて他の対向する2辺を同様にシーム溶接することによりパッケージを気密封止することができる。また円形の容器を180度回転させながら一対のテーパ付きローラ電極と相対移動させて、容器の周縁をシーム溶接することによりパッケージを気密封止することができる。
【0014】
また、請求項7に示すように、請求項4から6のいずれかに記載の気密封止装置において、一対のローラ電極は、円錐状のテーパーローラ電極とすることができる。
請求項7によれば、テーパ付きローラ電極を比較的長い円錐状としたので、容器がが矩形、多角形、楕円形であっても容器を180度回転させながら一対のテーパ付きローラ電極と相対移動させて、容器の周縁をシーム溶接することによりパッケージを気密封止することができる。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下図面を参照して本発明による第1の実施の形態を詳細に説明する。図1は本実施の形態に用いる気密封止装置の縦断面図であり、図2は図1の上蓋を除去した状態の平面図である。
【0016】
これらの図において、10は軸11を介して開閉自在な上蓋12を有する非磁性体のチャンバーであり、このチャンバー10は装置基台13上に立設された支柱14にて支持されている。このチャンバー10には該チャンバー10の側壁に設けた排気管15を介して、チャンバー10内を真空排気するためのクライオ・ポンプ161およびロータリー・ポンプ162等からなる排気装置16が付設されている。またこのチャンバー10内には、水平に設けたX−Yスライダ17と、このX−Yスライダ17上部に回動自在に設けたパッケージ載置用回動テーブル18と、上蓋12下面に垂設した一対のローラ電極191,192を有するシーム溶接ヘッド19とが設けられている。
【0017】
X−Yスライダ17は、チャンバー10の底部121に固定されたスライドガイド171上に、一端がこのスライドガイド171に直交させて摺動自在に設けられて該スライドガイド171上を摺動するスライダ(以下、Y軸スライダという。)172と、このY軸スライダ172の上部に摺動自在に設けられて該Y軸スライダ172上をY軸と直交する方向、即ちX軸方向に摺動するスライダ(以下、X軸スライダという。)174とからなり、Y軸スライダ172の他端下部には、チャンバー10の底部121と間隙を設けて第1の永久磁石173が垂設されている。
【0018】
また、このX軸スライダ174の上部には、該X軸スライダ174に勘入された軸受け181に回動自在に嵌合させた回動軸182を備えたパッケージ載置用回動テーブル18が設けられており、このパッケージ載置用回動テーブル18の下面には、該テーブル18の回動軸182を挟んで一対の第2の永久磁石183aおよび183bがやはりチャンバー12の底部121と間隙を設けて対向させて配置されている。
【0019】
図1および図2ではY軸スライダ172を挟んで一対の第2の永久磁石183a、183bが設けられているが、この構成の場合にはパッケージ載置用回動テーブル18はY軸スライダ172による制限を受けて180度回動することができない。パッケージ載置用回動テーブル18を180度回動させるには、図3に示すごとく、Y軸スライダ172に直交させてスライドガイド172aおよび172bを間隔をおいて固定し、この一対のスライドガイド172a、172bにX軸スライダ174をX軸方向に摺動自在に掛け渡し、該X軸スライダ174内にパッケージ載置用テーブル18を回動自在に装着する構造とすれば、Y軸スライダ172による制限を受けずに自在に回動させることができる。
【0020】
前記装置基台13上には、各軸にそれぞれモータ等の駆動源を備えたX−Y直動機構20が配設されている。このX−Y直動機構20は、前記スライドガイド171の軸線と平行に基台13上に固定された直動機構(以下、Y軸直動機構という。)21と、一端がこのY軸直動機構21上に直交させて設けられてY軸と直交方向に摺動する直動機構(以下、X軸直動機構という。)22とからなり、X軸直動機構22の他端上部には、前記第1永久磁石173に対向させると共にチャンバー12の底部121と間隙を設けて該磁石173と引き合う極性に第3の永久磁石221が立設されている。
【0021】
また、このX軸直動機構22のボールねじ222に螺合されたナット223上部には、ダイレクトドライブ型サーボモータ231を介して回動盤232が回動自在に設けられており、この回動盤232の上面には前記第2永久磁石183にそれぞれ対向させて該磁石183と引き合う極性に一対の第4の永久磁石233aおよび233bがやはりチャンバー10の底部121と間隙を設けて対向させて立設されている。
【0022】
次にパッケージを気密封止する手順について説明する。まずチャンバー10の上蓋12を開けてパッケージ載置用回動テーブル18上に、開口部に金属製のリッド(蓋)32を載置した容器31を位置決めする。次いで上蓋12を閉じると、上蓋12内面に設けられている溶接ヘッド19の一対のローラ電極191、192がリッド32の対向する縁辺の端部に当接する。パッケージ30のサイズは各種存在するので、図では省略しているが、溶接ヘッド19の一対のローラ電極191、192の間隔調整機構および昇降機構をそれぞれ設けてマニュアル調整可能にしておくと好都合である。
【0023】
上蓋12を閉じたならば、排気装置16を駆動させてチャンバー10内を真空排気することにより、パッケージ30内の空気を除去する。この状態でシーム溶接を開始すると容器31とリッド32が位置ずれを起こし易いので、ローラ電極191、192がリッド32の縁辺の略中央に当接するようにパッケージ載置用回動テーブル18の初期位置を定め、ローラ電極191、192がリッド32の縁辺に当接したときに溶接電流を流してリッド32を容器31にスポット溶接してリッド32を仮止めするようにしてもよい。仮止めをした場合には、一旦ローラ電極191、192をリッド32の縁辺の端部まで移動させてシーム溶接を開始する。
【0024】
リッド32の縁辺の端部にローラ電極191、192を当接させたならば、X−Y直動機構20のX軸直動機構22を駆動させて回動盤232を図上左方向に移動させると、Y軸スライダ172上のパッケージ載置用回動テーブル18に設けられている第2永久磁石183と回動盤232の第4永久磁石233が磁気結合しているので、パッケージ載置用回動テーブル18も同方向に移動し、ローラ電極191、192とリッド32が相対移動する。この相対移動時にローラ電極191、192間に溶接電流を流すことによって、リッド32のX軸方向の2辺がシーム溶接される。
【0025】
リッド32のX軸方向の2辺のシーム溶接が完了したならば、X軸直動機構22上のモータ231を駆動して回動盤232を90度回転させると、X−Yスライダ17のパッケージ載置用回動テーブル18に設けられている第2永久磁石183と回動盤232の第4永久磁石233との磁気結合により、パッケージ載置用回動テーブル18も同方向に90度回転し、ローラ電極191、192がリッド32の他の対向する縁辺の端部に移動する。
【0026】
この状態でX−Y直動機構20のX軸直動機構22を駆動させて回動盤232を図上右方向に移動させると、パッケージ載置用回動テーブル18も同方向に移動し、ローラ電極191、192とリッド32が相対移動するので、この相対移動時にローラ電極191、192間に溶接電流を流すことによって、リッド32の他の2辺がシーム溶接されてパッケージ30の気密封止が完了する。気密封止が完了したならば排気装置16を停止させて、チャンバー10内に空気を導入して上蓋12を開けてパッケージ30を取り出す。
【0027】
上記実施の形態では、パッケージ30の4辺を2度に分けてシーム溶接したが、リッド32が円形の場合には図3に示したX−Yスライダ機構を備えた気密封止装置を用いることにより、リッド32の中心を挟んだ縁辺にローラ電極191、192を当接させ、パッケージ載置用回動テーブル18を180度回転させながら溶接電流を流すことによって、パッケージ30を気密封止することができる。
【0028】
また、本発明による他の実施の形態を図4と共に説明する。基本構成は第1の実施の形態と同じ構成であるが、この例ではローラ電極191、192に代えて円錐状のテーパーローラ電極を用いて、気密封止している。
図4から明らかなように、一対のテーパーローラ電極193、194をパッケージ30のリッド32の縁辺に当接し、パッケージ載置用回動テーブル18を180度回転させると、テーパーローラ電極193および194の稜線(母線)が長いため、リッド32の縁辺とテーパーローラ電極193および194の稜線との接触点はテーブル18の回転と共にテーパーローラ電極193および194の稜線上を移動して行くが、テーパーローラ電極193および194の稜線から外れることはなく、リッド32が長方形であっても良好な気密封止をすることができる。
なお、このテーパーローラ電極193、194を用いて円形のリッド32を気密封止できることはいうまでもない。
【0029】
【発明の効果】
本発明の気密封止方法によれば、チャンバー外からリッドを載置した容器を間接的に移動させて、リッドと一対のローラ電極とを相対移動させながらシーム溶接するので、チャンバー内に設置するシーム溶接機構を簡素化でき、チャンバーを小型化できると共に容器内の排気を短時間で行うことができ、真空気密封止作業のタクトを短縮することができて低コストの気密封止が可能になる。
【0030】
また本発明の気密封止装置によれば、チャンバー外にX、Y、θ方向に駆動するアクチュエータを設けてチャンバー外からリッドを載置した容器を間接的にX、Y、θ方向に移動させることにより、パッケージと一対のローラ電極とを相対移動させながらシーム溶接することができ、チャンバーを小型化できると共に容器内の排気を短時間で行うことができる小型で低廉な気密封止装置を得ることができる。
【0031】
この場合、180度回動するパッケージ載置用回動テーブルを用いれば、円形のリッドを容器に気密封止することができる。更に、一対のテーパローラ電極を用いれば、方形および円形のリッドを容器に気密封止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は本発明の一実施の形態に用いる気密封止装置の縦断面図である。
【図2】図2は図1の上蓋を除去した状態の平面図である。
【図3】図3は本発明を構成するパッケージ載置用回動テーブルの他の実施の形態を示す平面図である。
【図4】図4は本発明を構成するローラ電極の他の実施形態たるテーパローラ電極を示す模式図である。
【図5】図5はシーム溶接方法を示す模式図である。
【符号の説明】
10 チャンバー
12 上蓋
16 排気装置
17 X−Yスライダ
18 パッケージ載置用回動テーブル
19 溶接ヘッド
20 X−Y直動機構
23 回動盤
173 第1永久磁石
183 第2永久磁石
191、192 ローラ電極
193、194 テーパーローラ電極
221 第3永久磁石(電磁石)
233 第4永久磁石(電磁石)
Claims (7)
- チップを収納した容器の開口部に金属製のリッドを載置し、このリッドをシーム溶接によって前記容器に接合する気密封止方法において、
前記リッドを載置した容器をチャンバー内に保持し、該チャンバー外から前記容器を間接的に移動させることにより、前記リッドと前記チャンバー内に設けたシーム溶接ヘッドの一対のローラ電極とを相対移動させながら該ローラ電極間に通電して前記容器にリッドを接合することを特徴とする気密封止方法。 - 少なくともシーム溶接中は前記チャンバー内が真空排気した状態であることを特徴とする請求項1記載の気密封止方法。
- 前記チャンバー外から前記容器を間接的に移動させるのに磁力を用いることを特徴とする請求項1または請求項2記載の気密封止方法。
- チップを収納した容器の開口部に金属製のリッドを載置し、このリッドをシーム溶接ヘッドによって前記容器に接合する気密封止装置において、
開閉自在な上蓋を有する非磁性体のチャンバーと、該チャンバー内に水平に設けたX−Yスライダと、このX−Yスライダ上部に回動自在に設けたパッケージ載置用回動テーブルと、前記パッケージ載置用回動テーブルが設けられたスライダの摺動方向に直交するスライダの下部に前記チャンバー底部と離間させて垂設した第1の永久磁石と、前記パッケージ載置用回動テーブルの下面に前記チャンバー底部と離間させて垂下させると共に該テーブルの回動軸を挟んで対向配置した一対の第2の永久磁石と、前記上蓋下面に垂設した一対のローラ電極を有するシーム溶接ヘッドと、前記チャンバー内を真空排気する排気装置と、前記チャンバーの下方に設けられそれぞれ駆動源を備えたX−Y直動機構と、このX−Y直動機構上部に回動自在に設けられ駆動源を備えた回動盤と、前記X−Y直動機構の前記回動盤が設けられた側の直動機構の上部に前記第1永久磁石に対向させると共に前記チャンバー底部と離間させて立設した第3の永久磁石と、前記回動盤の上面に該回動盤の回動軸を挟んで対向させると共に前記チャンバー底部と離間させて前記第2永久磁石にそれぞれ対向させて立設した一対の第4の永久磁石とを備えてなることを特徴とする気密封止装置。 - 前記第3および第4の磁石が電磁石であることを特徴とする請求項4記載の気密封止装置。
- 前記パッケージ載置用回動テーブルは、少なくとも180度回動することを特徴とする請求項4または請求項5記載の気密封止装置。
- 前記一対のローラ電極は、円錐状のテーパーローラ電極であることを特徴とする請求項4から6のいずれかに記載の気密封止装置。
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