JP2003273261A - 気密封止方法およびその装置 - Google Patents
気密封止方法およびその装置Info
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Abstract
封止方法およびその装置を提供する。 【解決手段】 上蓋12を備えたチャンバー10内の回
動テーブル18上にリッド32を開口部に搭載した容器
31を位置決めし、上蓋12を閉じて該上蓋下面のロー
ラ電極191、192をリッド32の対向する2辺に当
接させ、ャンバー10内を真空排気する。次いでX−Y
直動機構20上の回動盤23をX軸方向に移動させるこ
とにより、磁力結合しているX−Yスライダ17上の回
動テーブル18を同方向に移動させながら通電してリッ
ド32の2辺をシーム溶接する。更に回動盤23を回動
させ、回動テーブル18を90度回動させてリッド32
の他の2辺にローラ電極191、192を当接させ、回
動テーブル18を復動させながら通電してリッド32の
他の2辺をシーム溶接する。
Description
する半導体素子、水晶振動子等のチップを収納したパッ
ケージの気密封止方法およびその装置に関するものであ
る。
器に気密に封止する方法としては、通電時に発生するジ
ュール熱を利用したマイクロパラレルシーム溶接法が広
く用いられている(例:特公平1−38373号公
報)。このシーム溶接法は、図5に示すようにセラミッ
ク製容器1の開口周縁上に金属製のシーリングフレーム
2をろう付けするか、あるいはセラミック製容器1の開
口周縁をろう材等でメタライズしたセラミック製(もし
くは全体が金属製)の容器3の内部に水晶振動子、半導
体素子等のチップ4を収納し、このチップ4と電極5を
ワイヤ6で電気的に接続した後、この容器3の開口部を
コバール、42アロイ等からなる金属製のリッド7で覆
う。
ローラ電極8a,8bを下降させてリッド7の対向する
2辺の端縁部に一定の加圧条件下で接触させ、容器3と
ローラ電極8a,8bを相対移動させると同時にローラ
電極8a,8bにパルセーション通電を行ない、この時
発生するジュール熱により2辺を溶融し容器3とリッド
7をシーム溶接する。この2辺のシーム溶接が終了する
と、ローラ電極8a,8bを一旦上昇させ移動させるこ
とにより電極間隔を調整すると共に容器3を水平面内で
90°回転させた後、再びローラ電極8a,8bを下降
させて他の対向する2辺を同様にシーム溶接し、もって
容器3を気密に封止する。
は一般的に、露点管理された窒素ガス雰囲気内で行わ
れ、従って気密封止されたパッケージ内には窒素ガスが
充填されている。しかしながら水晶振動子、水晶フィル
タ、水晶発振器等の水晶応用製品はいずれも水晶振動板
の表面に金属薄膜電極を形成し、この金属薄膜電極を外
気から保護するため気密封止されているが、最近の水晶
振動デバイスの超小型化に伴い、水晶振動板もより小型
化され、駆動時の抵抗を軽減するため真空雰囲気による
気密封止が要求されるようになった。ところがシーム溶
接を真空中で行うためには大型のチャンバーが必要とな
り、装置自体が大型化かつ高額になるという問題点を有
していた。
で、チャンバーの小型化が可能なパッケージの気密封止
方法と、小型かつ低廉な真空気密封止装置を提供するこ
とを目的としている。
めに、本発明になる気密封止方法は請求項1に示すよう
に、チップを収納した容器の開口部に金属製のリッドを
載置し、このリッドをシーム溶接によって前記容器に接
合する気密封止方法において、前記リッドを載置した容
器をチャンバー内に保持し、該チャンバー外から前記容
器を間接的に移動させることにより、前記リッドと前記
チャンバー内に設けたシーム溶接ヘッドの一対のローラ
電極とを相対移動させながら該ローラ電極間に通電して
前記容器にリッドを接合し、パッケージを気密封止する
ことを特徴としている。
ドを載置した容器を間接的に移動させて、リッドと一対
のローラ電極とを相対移動させながらシーム溶接するの
で、チャンバーを小型化できると共にチャンバー内の排
気を短時間で行うことができ低コストの気密封止が可能
になる。また、装置自体を小型化できるので低廉な気密
封止装置を得ることができる。
載の気密封止方法において、少なくともシーム溶接中は
チャンバー内が真空排気した状態である構成としてもよ
い。請求項2によれば、チャンバーが小型のためチャン
バー内の排気を短時間で行うことができ真空気密封止作
業のタクトを短縮することができる。
または請求項2記載の気密封止方法において、チャンバ
ー外から前記容器を間接的に移動させるのに磁力を用い
る構成としてもよい。請求項3によれば、チャンバー内
の容器を磁力により間接的に移動させるので、チャンバ
ーを小型化できると共に簡略化することができる。
すように、チップを収納した容器の開口部に金属製のリ
ッドを載置し、このリッドをシーム溶接ヘッドによって
前記容器に接合する気密封止装置において、開閉自在な
上蓋を有する非磁性体のチャンバーと、該チャンバー内
に水平に設けたX−Yスライダと、このX−Yスライダ
上部に回動自在に設けたパッケージ載置用回動テーブル
と、前記パッケージ載置用回動テーブルが設けられたス
ライダの摺動方向に直交するスライダの下部に前記チャ
ンバー底部と離間させて垂設した第1の永久磁石と、前
記パッケージ載置用回動テーブルの下面に前記チャンバ
ー底部と離間させて垂下させると共に該テーブルの回動
軸を挟んで対向配置した一対の第2の永久磁石と、前記
上蓋下面に垂設した一対のローラ電極を有するシーム溶
接ヘッドと、前記チャンバー内を真空排気する排気装置
と、前記チャンバーの下方に設けられそれぞれ駆動源を
備えたX−Y直動機構と、このX−Y直動機構上部に回
動自在に設けられ駆動源を備えた回動盤と、前記X−Y
直動機構の前記回動盤が設けられた側の直動機構の上部
に前記第1永久磁石に対向させると共に前記チャンバー
底部と離間させて立設した第3の永久磁石と、前記回動
盤の上面に該回動盤の回動軸を挟んで対向させると共に
前記チャンバー底部と離間させて前記第2永久磁石にそ
れぞれ対向させて立設した一対の第4の永久磁石とを備
えてなることを特徴としている。
直動機構と回動盤を設けて、チャンバー外からリッドを
載置した容器を間接的にX、Y、θ方向に移動させるこ
とにより、リッドと一対のローラ電極とを相対移動させ
ながらシーム溶接することができ、チャンバーを小型化
できると共にチャンバー内の排気を短時間で行うことが
できる小型で低廉な気密封止装置を得ることができる。
載の気密封止装置において、第3および第4の永久磁石
を電磁石とすることができる。請求項5によれば、第1
および第2の永久磁石との磁力結合を強固にして、チャ
ンバー内のパッケージを正確かつ迅速に間接移動させる
ことができる。
たは請求項5記載の気密封止装置において、パッケージ
載置用回動テーブルは少なくとも180度回動すること
ができる。請求項6によれば、方形の容器と一対のテー
パ付きローラ電極を相対移動させて2辺をシーム溶接し
た後、容器を水平面内で90°回転させて他の対向する
2辺を同様にシーム溶接することによりパッケージを気
密封止することができる。また円形の容器を180度回
転させながら一対のテーパ付きローラ電極と相対移動さ
せて、容器の周縁をシーム溶接することによりパッケー
ジを気密封止することができる。
ら6のいずれかに記載の気密封止装置において、一対の
ローラ電極は、円錐状のテーパーローラ電極とすること
ができる。請求項7によれば、テーパ付きローラ電極を
比較的長い円錐状としたので、容器がが矩形、多角形、
楕円形であっても容器を180度回転させながら一対の
テーパ付きローラ電極と相対移動させて、容器の周縁を
シーム溶接することによりパッケージを気密封止するこ
とができる。
第1の実施の形態を詳細に説明する。図1は本実施の形
態に用いる気密封止装置の縦断面図であり、図2は図1
の上蓋を除去した状態の平面図である。
て開閉自在な上蓋12を有する非磁性体のチャンバーで
あり、このチャンバー10は装置基台13上に立設され
た支柱14にて支持されている。このチャンバー10に
は該チャンバー10の側壁に設けた排気管15を介し
て、チャンバー10内を真空排気するためのクライオ・
ポンプ161およびロータリー・ポンプ162等からな
る排気装置16が付設されている。またこのチャンバー
10内には、水平に設けたX−Yスライダ17と、この
X−Yスライダ17上部に回動自在に設けたパッケージ
載置用回動テーブル18と、上蓋12下面に垂設した一
対のローラ電極191,192を有するシーム溶接ヘッ
ド19とが設けられている。
底部121に固定されたスライドガイド171上に、一
端がこのスライドガイド171に直交させて摺動自在に
設けられて該スライドガイド171上を摺動するスライ
ダ(以下、Y軸スライダという。)172と、このY軸
スライダ172の上部に摺動自在に設けられて該Y軸ス
ライダ172上をY軸と直交する方向、即ちX軸方向に
摺動するスライダ(以下、X軸スライダという。)17
4とからなり、Y軸スライダ172の他端下部には、チ
ャンバー10の底部121と間隙を設けて第1の永久磁
石173が垂設されている。
は、該X軸スライダ174に勘入された軸受け181に
回動自在に嵌合させた回動軸182を備えたパッケージ
載置用回動テーブル18が設けられており、このパッケ
ージ載置用回動テーブル18の下面には、該テーブル1
8の回動軸182を挟んで一対の第2の永久磁石183
aおよび183bがやはりチャンバー12の底部121
と間隙を設けて対向させて配置されている。
挟んで一対の第2の永久磁石183a、183bが設け
られているが、この構成の場合にはパッケージ載置用回
動テーブル18はY軸スライダ172による制限を受け
て180度回動することができない。パッケージ載置用
回動テーブル18を180度回動させるには、図3に示
すごとく、Y軸スライダ172に直交させてスライドガ
イド172aおよび172bを間隔をおいて固定し、こ
の一対のスライドガイド172a、172bにX軸スラ
イダ174をX軸方向に摺動自在に掛け渡し、該X軸ス
ライダ174内にパッケージ載置用テーブル18を回動
自在に装着する構造とすれば、Y軸スライダ172によ
る制限を受けずに自在に回動させることができる。
モータ等の駆動源を備えたX−Y直動機構20が配設さ
れている。このX−Y直動機構20は、前記スライドガ
イド171の軸線と平行に基台13上に固定された直動
機構(以下、Y軸直動機構という。)21と、一端がこ
のY軸直動機構21上に直交させて設けられてY軸と直
交方向に摺動する直動機構(以下、X軸直動機構とい
う。)22とからなり、X軸直動機構22の他端上部に
は、前記第1永久磁石173に対向させると共にチャン
バー12の底部121と間隙を設けて該磁石173と引
き合う極性に第3の永久磁石221が立設されている。
222に螺合されたナット223上部には、ダイレクト
ドライブ型サーボモータ231を介して回動盤232が
回動自在に設けられており、この回動盤232の上面に
は前記第2永久磁石183にそれぞれ対向させて該磁石
183と引き合う極性に一対の第4の永久磁石233a
および233bがやはりチャンバー10の底部121と
間隙を設けて対向させて立設されている。
て説明する。まずチャンバー10の上蓋12を開けてパ
ッケージ載置用回動テーブル18上に、開口部に金属製
のリッド(蓋)32を載置した容器31を位置決めす
る。次いで上蓋12を閉じると、上蓋12内面に設けら
れている溶接ヘッド19の一対のローラ電極191、1
92がリッド32の対向する縁辺の端部に当接する。パ
ッケージ30のサイズは各種存在するので、図では省略
しているが、溶接ヘッド19の一対のローラ電極19
1、192の間隔調整機構および昇降機構をそれぞれ設
けてマニュアル調整可能にしておくと好都合である。
駆動させてチャンバー10内を真空排気することによ
り、パッケージ30内の空気を除去する。この状態でシ
ーム溶接を開始すると容器31とリッド32が位置ずれ
を起こし易いので、ローラ電極191、192がリッド
32の縁辺の略中央に当接するようにパッケージ載置用
回動テーブル18の初期位置を定め、ローラ電極19
1、192がリッド32の縁辺に当接したときに溶接電
流を流してリッド32を容器31にスポット溶接してリ
ッド32を仮止めするようにしてもよい。仮止めをした
場合には、一旦ローラ電極191、192をリッド32
の縁辺の端部まで移動させてシーム溶接を開始する。
1、192を当接させたならば、X−Y直動機構20の
X軸直動機構22を駆動させて回動盤232を図上左方
向に移動させると、Y軸スライダ172上のパッケージ
載置用回動テーブル18に設けられている第2永久磁石
183と回動盤232の第4永久磁石233が磁気結合
しているので、パッケージ載置用回動テーブル18も同
方向に移動し、ローラ電極191、192とリッド32
が相対移動する。この相対移動時にローラ電極191、
192間に溶接電流を流すことによって、リッド32の
X軸方向の2辺がシーム溶接される。
が完了したならば、X軸直動機構22上のモータ231
を駆動して回動盤232を90度回転させると、X−Y
スライダ17のパッケージ載置用回動テーブル18に設
けられている第2永久磁石183と回動盤232の第4
永久磁石233との磁気結合により、パッケージ載置用
回動テーブル18も同方向に90度回転し、ローラ電極
191、192がリッド32の他の対向する縁辺の端部
に移動する。
機構22を駆動させて回動盤232を図上右方向に移動
させると、パッケージ載置用回動テーブル18も同方向
に移動し、ローラ電極191、192とリッド32が相
対移動するので、この相対移動時にローラ電極191、
192間に溶接電流を流すことによって、リッド32の
他の2辺がシーム溶接されてパッケージ30の気密封止
が完了する。気密封止が完了したならば排気装置16を
停止させて、チャンバー10内に空気を導入して上蓋1
2を開けてパッケージ30を取り出す。
辺を2度に分けてシーム溶接したが、リッド32が円形
の場合には図3に示したX−Yスライダ機構を備えた気
密封止装置を用いることにより、リッド32の中心を挟
んだ縁辺にローラ電極191、192を当接させ、パッ
ケージ載置用回動テーブル18を180度回転させなが
ら溶接電流を流すことによって、パッケージ30を気密
封止することができる。
と共に説明する。基本構成は第1の実施の形態と同じ構
成であるが、この例ではローラ電極191、192に代
えて円錐状のテーパーローラ電極を用いて、気密封止し
ている。図4から明らかなように、一対のテーパーロー
ラ電極193、194をパッケージ30のリッド32の
縁辺に当接し、パッケージ載置用回動テーブル18を1
80度回転させると、テーパーローラ電極193および
194の稜線(母線)が長いため、リッド32の縁辺と
テーパーローラ電極193および194の稜線との接触
点はテーブル18の回転と共にテーパーローラ電極19
3および194の稜線上を移動して行くが、テーパーロ
ーラ電極193および194の稜線から外れることはな
く、リッド32が長方形であっても良好な気密封止をす
ることができる。なお、このテーパーローラ電極19
3、194を用いて円形のリッド32を気密封止できる
ことはいうまでもない。
バー外からリッドを載置した容器を間接的に移動させ
て、リッドと一対のローラ電極とを相対移動させながら
シーム溶接するので、チャンバー内に設置するシーム溶
接機構を簡素化でき、チャンバーを小型化できると共に
容器内の排気を短時間で行うことができ、真空気密封止
作業のタクトを短縮することができて低コストの気密封
止が可能になる。
ンバー外にX、Y、θ方向に駆動するアクチュエータを
設けてチャンバー外からリッドを載置した容器を間接的
にX、Y、θ方向に移動させることにより、パッケージ
と一対のローラ電極とを相対移動させながらシーム溶接
することができ、チャンバーを小型化できると共に容器
内の排気を短時間で行うことができる小型で低廉な気密
封止装置を得ることができる。
置用回動テーブルを用いれば、円形のリッドを容器に気
密封止することができる。更に、一対のテーパローラ電
極を用いれば、方形および円形のリッドを容器に気密封
止することができる。
装置の縦断面図である。
る。
テーブルの他の実施の形態を示す平面図である。
形態たるテーパローラ電極を示す模式図である。
Claims (7)
- 【請求項1】 チップを収納した容器の開口部に金属製
のリッドを載置し、このリッドをシーム溶接によって前
記容器に接合する気密封止方法において、 前記リッドを載置した容器をチャンバー内に保持し、該
チャンバー外から前記容器を間接的に移動させることに
より、前記リッドと前記チャンバー内に設けたシーム溶
接ヘッドの一対のローラ電極とを相対移動させながら該
ローラ電極間に通電して前記容器にリッドを接合するこ
とを特徴とする気密封止方法。 - 【請求項2】 少なくともシーム溶接中は前記チャンバ
ー内が真空排気した状態であることを特徴とする請求項
1記載の気密封止方法。 - 【請求項3】 前記チャンバー外から前記容器を間接的
に移動させるのに磁力を用いることを特徴とする請求項
1または請求項2記載の気密封止方法。 - 【請求項4】 チップを収納した容器の開口部に金属製
のリッドを載置し、このリッドをシーム溶接ヘッドによ
って前記容器に接合する気密封止装置において、 開閉自在な上蓋を有する非磁性体のチャンバーと、該チ
ャンバー内に水平に設けたX−Yスライダと、このX−
Yスライダ上部に回動自在に設けたパッケージ載置用回
動テーブルと、前記パッケージ載置用回動テーブルが設
けられたスライダの摺動方向に直交するスライダの下部
に前記チャンバー底部と離間させて垂設した第1の永久
磁石と、前記パッケージ載置用回動テーブルの下面に前
記チャンバー底部と離間させて垂下させると共に該テー
ブルの回動軸を挟んで対向配置した一対の第2の永久磁
石と、前記上蓋下面に垂設した一対のローラ電極を有す
るシーム溶接ヘッドと、前記チャンバー内を真空排気す
る排気装置と、前記チャンバーの下方に設けられそれぞ
れ駆動源を備えたX−Y直動機構と、このX−Y直動機
構上部に回動自在に設けられ駆動源を備えた回動盤と、
前記X−Y直動機構の前記回動盤が設けられた側の直動
機構の上部に前記第1永久磁石に対向させると共に前記
チャンバー底部と離間させて立設した第3の永久磁石
と、前記回動盤の上面に該回動盤の回動軸を挟んで対向
させると共に前記チャンバー底部と離間させて前記第2
永久磁石にそれぞれ対向させて立設した一対の第4の永
久磁石とを備えてなることを特徴とする気密封止装置。 - 【請求項5】 前記第3および第4の磁石が電磁石であ
ることを特徴とする請求項4記載の気密封止装置。 - 【請求項6】 前記パッケージ載置用回動テーブルは、
少なくとも180度回動することを特徴とする請求項4
または請求項5記載の気密封止装置。 - 【請求項7】 前記一対のローラ電極は、円錐状のテー
パーローラ電極であることを特徴とする請求項4から6
のいずれかに記載の気密封止装置。
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Publication Number | Publication Date |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014217846A (ja) * | 2013-05-01 | 2014-11-20 | アキム株式会社 | 溶接方法及び設備 |
-
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- 2002-03-14 JP JP2002069665A patent/JP3748416B2/ja not_active Expired - Fee Related
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