JP3745016B2 - 交換可能な半導体チップ - Google Patents
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Description
【産業上の利用分野】
本発明は、一般には基板に取り付けられる半導体チップに関し、より詳細には基板に取り付けられた半導体チップを修理のため選択的に取外し、交換することができる技術に関する。
【0002】
【従来の技術】
文書イメージを走査する電荷結合素子(CCD)などのイメージセンサは、一般にシリコンチップ上に集積されたフォトセンサの列すなわち線形アレイと、適当な支援回路とを含んでいる。通常は、センサは、文書の横幅を横切って一行づつ走査するものとして使用され、文書はその走査と同期して文書の縦方向にステップ送りされる。そのようなセンサアレイのための典型的な構成が、たとえば米国特許第5,153,421号に記載されている。
【0003】
全ページ幅イメージスキャナの場合は、文書の全幅(例えば、11インチ)に延びる小形フォトセンサの線形アレイが配置されている。それらのフォトセンサは、好ましくは、各チップ上に1インチあたり600個もの細かさで間隔をおいて配置される。文書がフォトセンサの線形アレイのそばを通過すると、各フォトセンサは文書イメージから反射された光を電気信号へ変換する。文書イメージが線形アレイに対し垂直な方向に動くと、各フォトセンサから一連の信号が出力されてディジタルデータへ変換される。
【0004】
そのような長いフォトセンサの線形アレイを作成する今のところ好ましい技術は、各半導体チップの上にフォトセンサの線形アレイと付属回路デバイスが形成された一組の比較的小形の半導体チップを形成することである。これらのチップは一般に長さ約3/4インチであるが、そのようなチップを20個以上、端と端を突き合わせてフォトセンサの単一線形アレイを作ることにより、実際の全ページ幅のアレイを作成することができる。突き合わせたチップは一般に支持台の上に取り付けられる。支持台は、そのほかに実際のシステムのための個々のチップ上の回路素子に信号や電流を与えるプリント配線基板上の回路網を含んでいる。プリント配線基板上の比較的大規模の導体と半導体チップ上の比較的小さい接触パッドとの接続は、プリント配線基板の導体とチップ上の接触パッドの双方に超音波溶接したワイヤボンドで行うことが好ましい。
【0005】
米国特許第5,258,330号は、上面に接点を有し、上面の中央部分の上に横たわるインタポーザを有する半導体チップを開示している。周辺接点リード線は周辺接点からインタポーザ上の中央端子まで内側に延びている。チップおよび基板の熱膨張を補償するため、端子がチップ上の接点に対し動くことができるように、リード線とインタポーザは柔軟性がある。
【0006】
米国特許第5,272,113号は、複数の突き合わせたシリコンチップから成るフォトセンサのアレイを作る方法を開示している。この方法は、チップを未硬化エポキシで基板上に粘着した後、硬化工程の加熱の前に、アセンブリを低温にしている。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
高精度イメージ形成装置たとえば全ページ幅センサバーや、あるいはインクジェット印字ヘッドを形成する場合、大きな費用の原因は最初に製造するときの部品チップの「歩留り」に関係がある。フォトセンサチップのある種の応用においては、たとえば、一般的な歩留りは約75%に過ぎない。すなわち、シリコンウェーハから生成されたチップのすべてのバッチについて、チップの25%がチップアレイとして取り付けるには不満足なものであると判ることは珍しいことではない。さらに、チップをチップアレイとして取り付けたあと、特定のチップに致命的な欠陥が見つかることも珍しいことではない。仮に取り付けたチップにそのような欠陥が発見されても、1個の欠陥チップのためにチップアレイ全体を廃棄する必要がないことが望ましい。また、個々の欠陥チップをチップアレイから取り外し、交換することが可能であるのが好ましい。
【0008】
前から存在するチップアレイ内の個々のチップを交換することに伴う1つの実際問題は、熱または圧力などによるチップの取外しは、センサバーの中でチップアレイ内の完全に機能する他のチップを損傷させるかも知れない状態にさらすことである。従って、隣接するチップを損傷させる可能性が最少限度であるやり方でチップアレイから選択した1個の欠陥チップを取り外す技術を提供することが要望されている。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明によれば、機能的に同一の複数のチップ回路セットを個々のチップ領域に限定しており、該チップ領域は、エッチングした溝により、少なくとも2つの対向する境界に沿って限定されている半導体ウェーハが得られる。この半導体ウェーハにおいて、第1チップ領域は、第1の所定長さの間隔をおいて配置された2つの対向するエッチング溝によって限定され、第2チップ領域は、前記第1所定長さより短い第2の所定長の間隔をおいて配置された2つの対向するエッチング溝によって限定されている。
【0010】
【実施例】
図1は、複数の突き合わせたシリコンチップ12a,12b,...12zが上面に取り付けられた基板10を示す。図示したシリコンチップ12a〜12zは機能について明記していないが、それらの各チップがCCDの一部分、別形式の感光性半導体チップ、LED(発光ダイオード)印字バー、サーマルインクジェット技術に関連するチップ、あるいは一連の半導体チップを突き合わせて配列する必要があるその他の用途を表すことができることは理解されるであろう。基板10上の隣接するチップ12間の横境界面に、バックカット13を形成することが好ましい。バックカット13は基板10の表面に接して置かれる開いた溝であり、隣接するチップと基板10の間に狭い空洞を提供する役目を果たす。このようなバックカットは、たとえば米国特許第4,814,296号に記載されている。基板上の突き合わせたチップのある典型的な応用において、チップ12a〜12zの厚さは約17ミル(430μm)であり、バックカットの領域内の各チップの厚さが約6ミル(150μm)になるようにチップの縁にバックカットが形成されている。バックカット13によって形成された空洞は、数ある理由の中で、あとで説明するように、アレイの組立工程において基板10の上に置かれてチップの下から押し出された過剰なエポキシを受け入れる役目も果たす。
【0011】
さらに、各チップ12a,12b,...12zの上に、一組の繰り返し構造14が形成されている。用語「繰り返し構造」は、本書で使用するとき、各チップの上に規則的に間隔をおいて配置され、規則的パターンを形成するすべてのデバイスまたは構造を意味する。繰り返し構造の例としては、CCD、LED内のフォトサイト、あるいはサーマルインクジェット印字ヘッド内の毛管チャンネルまたは抵抗器があるが、それらに限定されない。上に述べたように、通常、そのような繰り返し構造の規則正しい間隔は、チップを突き合わせて状態で、詳細には隣接するチップ間のギャップ内で維持することが重要である。
【0012】
ほとんどの半導体の応用において、チップ12a〜12zの最もありふれた原材料は結晶シリコンである。基板10を作るための好ましい物質は、揖斐電株式会社から商標名 CERACOM で販売されているボードである。このボードは一般にセラミックコアにガラス繊維樹脂積層板を貼り合わせたものである。基板10に適した別の材料としては、“FR−4”として知られるプリント配線基板材料すなわち比較的薄いアルミナ基板がある。
【0013】
図2は、図1に示したチップアレイの詳細な正面図で、選択した半導体チップ(たとえば、12b)を取り外す本発明の方法を示す。図2から判るように、図示した典型的な各チップ12a,12b,12cは接着剤(たとえばエポキシ)の個々のビード16で基板10に接着されている。接着剤ビード16は、チップアレイに沿って連続してはいないので、隣接するチップの間、詳細にはバックカット13の領域に接着剤が殆ど又は全く残留しないことが好ましい。
【0014】
図2において、チップ取外し工程の一部として、基板10は凸状に少し曲げられていて、チップ12を保持している基板10の表面が引っ張り状態に、その反対側表面が圧縮状態であることに気づかれるであろう。この凸状曲げは、たとえば基板10を作業面(図示せず)に一様に押し当て、図示のように基板10を凸形に一致させることによって達成することができる。代わりに、たとえば締付けによって基板10の両端を押して所望の凸状曲げを得ることもできると考えられる。
【0015】
本発明の方法による凸状曲げの目的は、隣接するチップ12の間の間隔を広げることにある。図2に示すように、この凸状曲げにより、隣接するチップの上隅間の距離は(詳細には図2の正面図にチップ12の上面として示したもののまわりに)増大するであろう。この曲げによって生じた隣接するチップ間の余分の間隔は、取外し工程において隣接するチップを損傷させる機会を最少限度にすると同時に、選択したチップ12の取外しを可能にする。
【0016】
図3は、図1に示したチップアレイの一部の平面図で、エポキシで接着した部材を他の部材から除去する多くの類似した物理的方法によって、選択したチップ(ここでは12b)をどのように基板10から除去することができるかを示す。図3に示した具体的なケースでは、工具20でチップ12bを基板10の表面に平行に横方向に押すことによって基板10から取り外しているところである。さらに、この押しと接着剤を融解させるための加熱とを組み合わせてもよい。図2に示すように、基板10の凸状曲げは取外し中のチップとその隣接チップとを分離する特別な手段を提供するので、隣接するチップたとえば12aと12cを損傷させる可能性が少なくなる。
【0017】
図4は、図1に示したチップアレイの一部のもう1つの詳細な正面図で、選択した1個のチップをチップアレイから取り外す別の方法を示す。図4に示した方法は、単独で用いることもできるし、図2について説明した基板曲げ法と組み合わせて用いることもできる。図4に示すように、一連のチップ12a,12b,12cは隣接するチップ間のバックカット13に対応する領域内の過剰な接着剤の量を最少限度にするようなやり方で個々のエポキシビード16によって接着される。図4の方法に従って、取り外したい半導体チップ12bに2つのソーカット(ここでは30a,30b)が作られる。ソーカット30a,30bは、バックカット13のすぐそばのチップ12bの部分を有効に切除するため、チップ12bのバックカット13に比較的近い所に作ることが好ましい。
【0018】
バックカット13に近いチップ12bの部分を基板10に接着する接着剤が存在しないので、切断工程のあと、チップ12bの縁にある切断部分は簡単に遊離するであろう。チップ12bのこれらの遊離した部分は部分32a,32bとして示してある。一般に、ソーカット30a,30bは遊離した部分32a,32bの取外しを許す所定の厚さのダイヤモンド刃によって作られる。遊離した部分をブラシで払いのけるか、または吹き飛ばすかして、チップ12bの中央部分のみを残すことができる。このチップ12bの残部は隣接するチップ12aまたは12cのどちらからも十分な間隔があいているので、熱または圧力またはその両方を用いて取り外すことができ、そのとき隣接するチップを損傷させる危険は少ない。図5は、チップアレイからチップ12bを取り外す工程を示す平面図で、そのほかに、加熱工具および(または)加圧工具20でチップ12bの残部を取り外す工程の前に、遊離した部分32a,32bは簡単に外へ押し出すことができることを示す。
【0019】
相当に多数のチップ12を単一のウェーハに作って次に個々のチップにダイシングする製造工程を計画する場合、それらのチップをチップアレイに取り付けたあとチップを交換できるようにすることを設計段階で考慮に入れることが望ましい。前から存在しているチップアレイから取り外したチップと交換するチップの臨界的なチップ対チップ寸法が、標準チップより少し小さく作られていることが好ましい。すなわち、欠陥チップをチップアレイから取り外したあと、チップアレイ内の他のチップとその他の点で機能的に同一であり(すなわち、同じ数のフォトセンサと付属回路網を有する)、しかし長さが少し短くなるように事前に設計された交換用チップと置き換えることが好ましい。フォトセンサの線形アレイまたはインクジェット噴射器の一部分のような繰り返し構造であるから、その短いチップ長さが長いチップアレイ内の繰り返し構造の正しい配置に影響を及ぼすほど、交換用チップを標準チップより著しく短くしてはいけないことは言うまでもない。
【0020】
図6は、複数の実質上同一のチップに対応する回路セットが既知の手段によって作られ、最後に個々の実質上同一のチップにダイシングされるシリコンウェーハ100を示す平面図である。用語「回路セット」は、本書で使用するとき、関連回路網を有する一定の数のフォトセンサあるいはインクジェット印字ヘッド内の一定の数のインクジェット噴射器の一部分を提供するなど、所定の機能を有する一組の回路網を意味する。典型的なウェーハは、集合102としてまとめて示した一組のチップ12のための回路セットと、多数のチップ112から成る集合104として示した一組の回路セットを含んでいる。本発明に従って、集合104内のチップ112は集合102内のチップ12と機能的に同一であるが、重要な相違点はチップ112の有効長さがチップ12より少し短く設計されていることである。フォトセンサチップについて一例を挙げれば、そのフォトサイトの線形アレイに沿ったチップ12の典型的な長さは15.748mm(図6に示した長さA)であり、それより少し短いチップ112は15.743mm(図6に示した長さB)の有効長さをもつように計画されている。ウェーハ100の上にチップ12および112に対応する種々のチップセットを作るとき、これらの長さは、個々のチップの有効端の境界を定めるV形エッチング溝の存在によって限定される。ウェーハ100の溝106または108は、チップの有効端を限定するほか、切断刃(たとえば、ダイヤモンド刃)が個々のチップを作るためウェーハ100を切断する場所の役目を果たすことが意図されている。
【0021】
ウェーハ100内の長いチップ12より短いチップ112の相対的な数は、一般に、チップアレイに取り付けたあと、どれくらいの数のチップを交換する必要があるか経験的な研究に基づいて選定することができる。
【0022】
図7および図8は、本発明に係る典型的なチップ12,112のそれぞれの平面図である。各ケースにおいて、248個の繰り返し構造(この場合は、最大で63.5μmのピッチだけ離れているフォトサイト)14がチップ上に設けられている。図7に示した基本的全長のチップ12の場合、各フォトサイト14はチップ12の全長にわたって63.5μmの中心間距離だけ離れており、線形アレイの端のフォトサイトは前記ピッチの1/2すなわち31.75μmだけチップの端から離れている。一般に、複数のチップ12を突き合わせて全ページ幅アレイを作る場合でも、この繰り返し構造の配置により、一様なピッチ間隔が維持されるであろう。すなわち、端のフォトサイトの短いピッチが隣接するチップの端のフォトサイトの短いピッチに加わり、同じ63.5μm のピッチになる。
【0023】
図8に示した短いチップ112の場合は、同様にチップの端の間に248個のフォトサイトが設けられている。しかし、意義深いことに、チップの両端に向かう最後の5個のフォトサイトは、隣接するフォトサイトの中心が63.5μmの通常ピッチで配置されておらず、少し寄せられて63.0μmのピッチで配置されているが、248個のフォトサイトの大部分については、63.5μmの通常ピッチが維持されている。このようにチップの両端で5個の端フォトサイトを寄せる目的は、チップ12の15.748mmとは異なり、248個の適度に一様に間隔をおいて配置されたフォトサイトを少し短い15.743mmのチップ112の中に詰め込むためである。実際問題として、このように各チップにフォトサイトの比較的少さい部分集合を限定して詰めても、そのチップによるイメージの記録または生成にそれほど有害ではない。チップ112のような短いチップは、必要な短縮化を一組の繰り返し構造の全体にわたって分散させ、チップ112の端から端まで一様なピッチを維持することができる考えられる。しかし、チップの両端の所でチップの小さい部分集合のみを詰めても、満足できる結果が得られることが判った。それどころか、チップの端にあるフォトサイトの代わりに、中間のフォトサイトに向かって短いピッチにすることもできるであろう。
【0024】
上に述べたように、チップ12または112の有効長さは基本的に個々のチップを作るためウェーハ100にエッチングされた主V形溝の間隔で決まる。ウェーハ100を個々のチップをダイシングするとき切断刃のガイドの役目を果たす上記の溝は、この分野で知られたフォトリソグラフ・エッチングによってウェーハ100上に極めて高い精度で配置することができる。本発明に従って、短いチップ112の両端のV形溝は故意に標準チップ12の対応するV形溝より狭い間隔で配置される。しかし、ダイシング工程おいて、機械的切断刃の作用はチップ12または112の意図した長さが不確定になる原因を与える。この不正確さは統計的手法で考慮に入れることができる。
【0025】
図9は、たとえばウェーハ100から機械的にダイシングしたチップの実際に測定した長さの分布を示すグラフの例である。図示のように、図7に示したチップ12について決められた長さのチップの分布を示す分布(12)は、そのモードが15.748mmの意図した長さのまわりに中心を置く正規分布である。図8に示したチップ112の実際の長さの分布に対応する分布曲線(112)は、同様にそのモードが15.743mmの最適の長さのまわりに中心を置く正規分布である。ここでは、両チップ12と112に同じ機械的ダイシング工程が実施され、その結果各分布について同じ統計的分散が生じるものと仮定しているが、それぞれの分布曲線の実際の形状は最終的に機械的ダイシング工程の精度によって決まるであろう。
【0026】
本発明によれば、フォトリソグラフ法によってウェーハに形成されたエッチングしたV形溝の場所に対応する長いチップ12および短いチップ112に対するそれぞれのモードは、実際の長いチップと短いチップの正規分布が与えられたとして、短いチップの上方(上位側)3σ(標準偏差)が長いチップの分布の下方(下位側)3σより大きくないように選定すべきである。所望モードの選定は、本質的に、特定の機械的ダイシング技術で作られるチップ長さの分散に依存しており、そのモードの選定が、長いチップ及び短いチップのためのV形溝の意図した間隔を決定する。
【0027】
短いチップの上方3σを長いチップの場合の分布の下方3σに等しいか、それ以下にすべきである特別の理由は、1つの意図した長さのチップが存在する基本的なケースでも、モードから3σ以上逸脱しているチップはチップアレイ内のチップの間隔を破壊し過ぎるので、いずれにせよ廃棄されるからである。図9に示すように、長いチップのモードと短いチップのモードを分離することによって、少なくともモードから3σ以上ずれているという理由で、最少限度の数のチップを廃棄すれば済む。
【0028】
以上、開示した構造に関して説明したが、本発明は説明した詳細に限定されるものではなく、特許請求の範囲に入ると思われるすべての修正物または変更物を包含するものとする。
【図面の簡単な説明】
【図1】基板上に突き合わせたシリコンチップが取り付けられている、全ページ幅フォトセンサアレイまたはインクジェット印字ヘッドなどに使用されるチップアレイの斜視図である。
【図2】基板が凸状そりをもつ作業面に押しつけられた状態のチップアレイの正面図である。
【図3】基板から取外し中のチップを示すチップアレイの平面図である。
【図4】本発明の一特徴による工程を示すチップアレイの正面図である。
【図5】基板から取外し中のチップを示すチップアレイの平面図である。
【図6】本発明の方法に従って作られたウェーハを示す平面図である。
【図7】本発明の一特徴に従って作られた相対的に長いチップの平面図である。
【図8】本発明の一特徴に従って作られた相対的に短いチップの平面図である。
【図9】本発明の一特徴に従って作られた相対的に長いチップと短いチップの統計的分布を示すグラフである。
【符号の説明】
10 基板
12a〜12z 突き合わせたシリコンチップ
13 バックカット
14 一組の繰り返し構造
16 接着剤のビード
20 工具
30a,30b ソーカット
32a,32b 遊離した部分
100 シリコンウェーハ
102 長いチップ12の集合
104 短いチップ112の集合
106,108 エッチング溝
112 短いチップ
Claims (3)
- 機能的に同一の複数のチップ回路のセットを個々のチップ領域内に限定しており、該チップ領域は少なくとも2つの対向する境界線に沿ってエッチングした溝により限定されている半導体ウェーハにおいて、
第1の所定長さの間隔をおいて配置された2つの対向するエッチング溝によって限定された第1チップ領域と、
前記第1所定長さより短い第2の所定長さの間隔をおいて配置された2つの対向するエッチング溝によって限定された第2チップ領域とを備え、
前記第1チップ領域と第2チップ領域とが、それぞれ、前記2つの対向する境界線間のチップ長さが前記第1所定長さおよび第2所定長さに等しいモードを持つ正規分布で分布したチップを生ずるように、ダイシング処理されたとき、該第2チップ長さの上方3σが、前記第1チップ長さの下方3σ以下になるように、前記第1所定長さが前記第2所定長さより大きいことを特徴とする半導体ウェーハ。 - 請求項1に記載の半導体ウェーハにおいて、各チップ回路セットは、2つのエッチング溝の間に延びている線形アレイとして配列された複数の繰り返し構造を含んでいることを特徴とする半導体ウェーハ。
- 請求項2に記載の半導体ウェーハにおいて、前記第2チップ領域内の繰り返し構造のサブセットは、前記第1チップ領域内の繰り返し構造の対応するサブセットより、近接した間隔で配置されていることを特徴とする半導体ウェーハ。
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