JP3725083B2 - メッキ設備における金属イオン供給源の有効保存を可能とする方法 - Google Patents
メッキ設備における金属イオン供給源の有効保存を可能とする方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3725083B2 JP3725083B2 JP2002044679A JP2002044679A JP3725083B2 JP 3725083 B2 JP3725083 B2 JP 3725083B2 JP 2002044679 A JP2002044679 A JP 2002044679A JP 2002044679 A JP2002044679 A JP 2002044679A JP 3725083 B2 JP3725083 B2 JP 3725083B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plating
- tank
- solution
- metal ion
- storage tank
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D21/00—Processes for servicing or operating cells for electrolytic coating
- C25D21/12—Process control or regulation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D21/00—Processes for servicing or operating cells for electrolytic coating
- C25D21/12—Process control or regulation
- C25D21/14—Controlled addition of electrolyte components
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25D—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PRODUCTION OF COATINGS; ELECTROFORMING; APPARATUS THEREFOR
- C25D21/00—Processes for servicing or operating cells for electrolytic coating
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Electroplating And Plating Baths Therefor (AREA)
- Electroplating Methods And Accessories (AREA)
- Chemically Coating (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は例えば銅メッキ装置における銅供給源の有効な保存に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来より、電気メッキにおいて操作停止中にあっても、メッキ反応を促進しメッキに光沢性をもたらすための添加剤たるブライトナー、例えば4,5-ジチアオクタン-1,8-ジスルホン酸[(SCH2CH2CH2SO3H)2]が銅アノード存在下で分解することが一般に知られている(例えばJ. Electroanal. Chem., 338(1992), 167〜177)。
【0003】
またA.Thies, H.Meyer, J.Helneder, M.Schwerd and T.Gebhart、Advanced Metallization Conference(1999)、69〜75頁でも言及されるように銅メッキに際して不溶解性アノードを用いる場合、銅イオン供給のために銅溶解槽を付加的にメッキ装置に備えるようになっている。この銅溶解槽は、銅ボールを入れ、カソード反応である基板上の銅析出量に対応させて銅イオンを当該銅ボールから溶解させるためのものである。
ここでカソード反応は
Cu2++2e− → Cu0………(1)
またアノード反応は
Fe2+ → Fe3++e−………(2)
である。また、銅溶解槽での銅イオンの補給は次の反応によって行われる。
Cu0+2Fe3+ → Cu2++2Fe2+……(3)
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
通常、このような不溶解性アノードを用いたシステムにおける銅溶解槽からの銅イオンは、収容した銅ボールから補給される。しかしながら、実際の銅溶解槽においては、銅ボールが存在するため、上記の最初の文献(J. Electroanal. Chem.)に述べられているとおり、メッキ装置を停止中でもブライトナーが分解する可能性がある。そのため、メッキ装置を再稼動させた場合に、この銅溶解槽内の液がメッキ反応槽に流入し、メッキ装置停止前と同条件のメッキを行うことができなくなるという問題がある。
【0005】
同様の現象は、溶解性アノードを用いたシステムでも生じ、メッキ装置をいったん停止後に再稼動して運転する場合、装置停止前のメッキ性能を得ることが困難になることが指摘されている(J. Electroanal. Chem., 338(1992), 167〜177)。またメッキ装置停止期間中に生成する分解物が不純物としてメッキ面に悪影響も及ぼす。
【0006】
そこで本発明は、メッキ装置の運転中断があってもメッキ液を変質させず、メッキ性能を変化させないことを課題とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記課題は、本発明によれば、金属イオン供給源に変質を生じさせない溶液を置換用液として収容する貯留槽を付設し、メッキ作業停止中に、メッキ液の少なくとも一部を上記置換用液と置き換えることによって解決される。
【0008】
不溶解性アノードを有したメッキ設備の場合、金属イオン供給源を含有した槽に上記貯留槽を付設し、メッキ作業終了後に、金属イオン供給源含有槽からメッキ液をすべて排出し、空になった金属イオン供給源含有槽へ貯留槽から置換用液を移し、メッキ作業再開時に置換用液を貯留槽へ戻し、しかる後にメッキ液を金属イオン供給源含有槽へ戻すようにする。
【0009】
溶解性アノードを有したメッキ設備の場合、メッキ槽に上記貯留槽とメッキ液保存槽とをそれぞれ付設し、メッキ作業終了時に、メッキ液保存槽へメッキ槽からメッキ液を移し、空になったメッキ槽へ貯留槽から置換用液を移し、メッキ作業再開時に置換用液を貯留槽へ戻し、しかる後にメッキ液をメッキ槽へ戻すようにする。
【0010】
上記置換用液が、メッキ作業停止中に分解反応を起こし得るブライトナーを含有しないメッキ液であれば、好適である。メッキが銅メッキである場合、上記ブライトナーとしては、3-(ベンゾチアゾリル-2-チオ)プロピルスルホン酸及びそのナトリウム塩、3-メルカプトプロパン-1-スルホン酸及びそのナトリウム塩、エチレンジチオジプロピルスルホン酸及びそのナトリウム塩、ビス-(p-スルホフェニル)-ジスルファイド及びその2ナトリウム塩などを挙げることができる。メッキが銅メッキである場合、置換用液を具体的には硫酸銅及び硫酸を含む溶液、硫酸銅、硫酸及び塩素を含む溶液、さらには硫酸溶液とすることができる。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を例示的な実施態様において詳細に説明する。
【0012】
(例1)
本発明を、不溶解性アノードを用いたメッキ装置に適用した場合の構成を図1に示す。メッキ装置本体であるメッキ槽(図示せず)に付設された銅溶解槽4には、銅ボール5が充填されており、銅溶解槽4と不図示のメッキ槽とは配管2,3を介して連結されていて、それぞれに銅メッキ液が満たされている。銅メッキ液の組成は、例えば銅イオン濃度35g/リットル、硫酸濃度180g/リットル、鉄イオン濃度12g/リットル、塩素イオン濃度50mg/リットルであり、ブライトナー、レベラーなどと称される添加剤も含有している。当該銅メッキ液を、置換用メッキ液と区別するため、以下「実用メッキ液」と表現する。
【0013】
銅溶解槽4の他に、更に置換用液貯留槽7が設けられており、これら両槽はポンプ6を備えた配管でつながれている。ポンプ6は正逆転可能な構造を有している。置換用液貯留槽7には、置換用メッキ液が収容されている。置換用メッキ液はブライトナーのような添加剤を含有していない液(メッキベース液)である。ただし銅ボールによって分解を起こさない物質や銅表面の変質を生じさせない物質であれば、そのような物質でなる添加剤は置換用メッキ液に含まれていてもよい。添加剤を含有しないメッキベース液を用いる場合、銅表面への添加剤の吸着を少なくでき、メッキを再開した際に銅表面からのメッキ液への放出を抑制することが期待できる。また置換用液として、ブライトナーの他に更に鉄イオンを含まないようなメッキ液を用いたり、硫酸銅を含まないよう、実用メッキ液中の硫酸濃度と同程度の濃度を有した硫酸溶液を用いることも可能である。
【0014】
メッキ装置を稼動させる場合には、配管2,3におけるバルブ15,16を開き、実用メッキ液をメッキ槽と銅溶解槽4の間で循環する。その際、ポンプ6は停止しておき、貯留槽7内の置換用メッキ液を銅溶解槽4へ移動しないようにしている。
【0015】
メッキ作業を終了して装置を停止する際、配管2,3におけるバルブ15,16を閉じ、銅溶解槽4中の実用メッキ液を、配管1を介してメッキ槽若しくは別のタンクへ排出し、銅溶解槽4内をいったん銅ボールのみとする。しかる後、実用メッキ液を排出した銅溶解槽4へ、ポンプ6を稼動して置換用メッキ液を導入する。このように置換用メッキ液を導入するのは、銅ボール表面の乾燥、酸化等の表面状態の変化を防いで、メッキ再開時の特性を安定させるためである。
【0016】
メッキ装置を再び稼働させるときには、銅溶解槽4中の置換用メッキ液を貯留槽7に排出して銅溶解槽を銅ボールのみとした後、バルブ15、16を開けて配管3を介してメッキ槽より実用メッキ液を導入して、メッキ作業を開始する。
【0017】
(例2)
溶解性アノードを用いたメッキ装置に本発明を適用した場合の構成を図2に示す。カソード(基板)11と溶解性アノード(含リン銅アノード)12を備えたメッキ槽10と、置換用液貯留槽14と、不図示のメッキ液保存タンクとを基本構成としている。メッキ槽10と置換用液貯留槽14とはポンプ13を備えた配管でつながれており、メッキ槽10と保存タンクとは配管15を介して連結可能となっている。ポンプ13も正逆転可能な構造を有している。メッキ槽10に満たされた銅メッキ液の組成は、例1のものから鉄イオンを除いたものであり、添加剤の含有も同様である。カソード11の基板としてはプリント基板や半導体ウエハなどを挙げることができるが、特に限定されるものではない。
【0018】
メッキ装置を稼動させる場合、ポンプ13は停止しておき、貯留槽14内の置換用メッキベース液をメッキ槽10へ移動しないようにする。メッキ作業を終了して装置を停止する際、メッキ槽10内の実用銅メッキ液を、配管15を介して保存タンクへ排出し、メッキ槽10内をいったん空とする。そして、実用メッキ液を排出したメッキ槽10へ、ポンプ13を稼動して置換用メッキベース液を導入する。このように置換用メッキベース液を導入することで、アノード表面に形成されたブラックフィルムの乾燥等の表面状態変化を防ぐことができ、メッキ再開時の特性を安定化できる。
【0019】
メッキ装置を再び稼動させるときには、メッキ槽10内の置換用メッキベース液を貯留槽14に排出してメッキ槽10を空とした後、配管1を介して保存タンクより実用メッキ液を導入して、メッキ作業を開始する。
【0020】
なお上記二例とも、メッキ対象物としては、プリント基板、半導体ウエハなど限定されるものではない。
【0021】
【発明の効果】
本発明によれば、金属イオン供給源に変質を生じさせない溶液を置換用液として収容する貯留槽を付設し、メッキ作業停止中に、メッキ液の少なくとも一部を上記置換用液と置き換えるので、メッキ作業を中断しても中断前後でメッキ性能に変化を生じないようにすることができる。
【0022】
不溶解性アノードを有したメッキ設備の場合、金属イオン供給源を含有した槽に貯留槽を付設し、また溶解性アノードを有したメッキ設備の場合、メッキ槽に貯留槽とメッキ液保存槽とをそれぞれ付設することで、メッキ作業停止中に、金属イオン供給源であるアノードなどの表面を変質させず、またメッキ液に含有されたブライトナーが分解することでメッキ特性が変わる事態を回避することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】不溶解性アノードを用いたメッキ装置に本発明を適用する場合の主要構成部分を示す概略図である。
【図2】溶解性アノードを用いたメッキ装置に本発明を適用する場合の主要構成部分を示す概略図である。
【符号の説明】
4 銅溶解槽
5 銅ボール
6、13 正逆転可能なポンプ
7、14 置換用液貯留槽
10 メッキ槽
11 カソード
12 アノード
Claims (6)
- 金属イオン供給源に変質を生じさせない溶液を置換用液として収容する貯留槽を付設し、メッキ作業停止中に、メッキ液の少なくとも一部を上記置換用液と置き換えることを特徴とする、メッキ設備における金属イオン供給源の有効保存方法。
- 不溶解性アノードを有したメッキ設備にして、金属イオン供給源を含有した槽に上記貯留槽を付設し、メッキ作業終了後に、金属イオン供給源含有槽からメッキ液をすべて排出し、空になった金属イオン供給源含有槽へ貯留槽から置換用液を移し、メッキ作業再開時に置換用液を貯留槽へ戻し、しかる後にメッキ液を金属イオン供給源含有槽へ戻すことを特徴とする、請求項1に記載の保存方法。
- 溶解性アノードを有したメッキ設備にして、メッキ槽に上記貯留槽とメッキ液保存槽とをそれぞれ付設し、メッキ作業終了時に、メッキ液保存槽へメッキ槽からメッキ液を移し、空になったメッキ槽へ貯留槽から置換用液を移し、メッキ作業再開時に置換用液を貯留槽へ戻し、しかる後にメッキ液をメッキ槽へ戻すことを特徴とする、請求項1に記載の保存方法。
- 上記置換用液が、メッキ作業停止中に分解反応を起こし得るブライトナーを含有しないメッキ液であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の保存方法。
- 上記メッキが銅メッキであることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の保存方法。
- 上記置換用液が、硫酸溶液であることを特徴とする請求項4に記載の保存方法。
Priority Applications (11)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002044679A JP3725083B2 (ja) | 2002-02-21 | 2002-02-21 | メッキ設備における金属イオン供給源の有効保存を可能とする方法 |
TW092103019A TWI263703B (en) | 2002-02-21 | 2003-02-13 | Method enabling effective storage of metal ion supply source in plating equipment |
US10/502,557 US20050139477A1 (en) | 2002-02-21 | 2003-02-17 | Method for storage of a metal ion supply source in a plating equipment |
CA002473054A CA2473054A1 (en) | 2002-02-21 | 2003-02-17 | Method for storage of a metal ion supply source in a plating equipment |
KR1020047011656A KR100858503B1 (ko) | 2002-02-21 | 2003-02-17 | 도금장치에서 금속이온 공급원의 저장방법 |
DE60315422T DE60315422T2 (de) | 2002-02-21 | 2003-02-17 | Verfahren zur verhinderung einer verschlechterung einer plattierungsloesung, wenn der betrieb der plattierungsausruestung unterbrochen wird |
AT03717186T ATE369446T1 (de) | 2002-02-21 | 2003-02-17 | Verfahren zur verhinderung einer verschlechterung einer plattierungsloesung, wenn der betrieb der plattierungsausruestung unterbrochen wird |
CN038042835A CN1636086B (zh) | 2002-02-21 | 2003-02-17 | 在电镀装置中贮存金属离子供应源的方法 |
PCT/EP2003/001588 WO2003071010A1 (en) | 2002-02-21 | 2003-02-17 | Method for storage of a metal ion supply source in a plating equipment |
EP03717186A EP1476590B1 (en) | 2002-02-21 | 2003-02-17 | Method for preventing deterioration of a plating solution when the operation of the plating equipment is interrupted |
MYPI20030580A MY132672A (en) | 2002-02-21 | 2003-02-19 | Method enabling effective storage of metal ion supply source in plating equipment |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002044679A JP3725083B2 (ja) | 2002-02-21 | 2002-02-21 | メッキ設備における金属イオン供給源の有効保存を可能とする方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003253497A JP2003253497A (ja) | 2003-09-10 |
JP3725083B2 true JP3725083B2 (ja) | 2005-12-07 |
Family
ID=27750561
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002044679A Expired - Fee Related JP3725083B2 (ja) | 2002-02-21 | 2002-02-21 | メッキ設備における金属イオン供給源の有効保存を可能とする方法 |
Country Status (11)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20050139477A1 (ja) |
EP (1) | EP1476590B1 (ja) |
JP (1) | JP3725083B2 (ja) |
KR (1) | KR100858503B1 (ja) |
CN (1) | CN1636086B (ja) |
AT (1) | ATE369446T1 (ja) |
CA (1) | CA2473054A1 (ja) |
DE (1) | DE60315422T2 (ja) |
MY (1) | MY132672A (ja) |
TW (1) | TWI263703B (ja) |
WO (1) | WO2003071010A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11352710B2 (en) * | 2019-09-30 | 2022-06-07 | Abdurrahman Ildeniz | Leak free brush electroplating system |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4469546A (en) * | 1981-12-16 | 1984-09-04 | Cooper Tire & Rubber Company | Transfer ring for a tire building machine |
US4469564A (en) * | 1982-08-11 | 1984-09-04 | At&T Bell Laboratories | Copper electroplating process |
JPH0559598A (ja) * | 1991-08-30 | 1993-03-09 | Kawasaki Steel Corp | Zn−Ni電気めつきにおける金属イオンの供給方法及び装置 |
DE4344387C2 (de) * | 1993-12-24 | 1996-09-05 | Atotech Deutschland Gmbh | Verfahren zur elektrolytischen Abscheidung von Kupfer und Anordnung zur Durchführung des Verfahrens |
WO1999054527A2 (en) * | 1998-04-21 | 1999-10-28 | Applied Materials, Inc. | Electro-chemical deposition system and method of electroplating on substrates |
RO119838B1 (ro) * | 1998-05-16 | 2005-04-29 | Blasberg Oberflachentechnik Gmbh | Procedeu pentru placarea galvanică, cu cupru, a substraturilor |
US6200436B1 (en) * | 1999-04-27 | 2001-03-13 | Advanced Micro Devices, Inc. | Recycling consistent plating system for electroplating |
JP3523555B2 (ja) * | 2000-02-28 | 2004-04-26 | 古河電気工業株式会社 | メッキ装置 |
TW501277B (en) * | 2000-03-29 | 2002-09-01 | Sanyo Electric Co | Plating device |
US6575111B2 (en) * | 2001-05-01 | 2003-06-10 | Drillmar, Inc. | Method for tendering |
-
2002
- 2002-02-21 JP JP2002044679A patent/JP3725083B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2003
- 2003-02-13 TW TW092103019A patent/TWI263703B/zh not_active IP Right Cessation
- 2003-02-17 KR KR1020047011656A patent/KR100858503B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2003-02-17 DE DE60315422T patent/DE60315422T2/de not_active Expired - Lifetime
- 2003-02-17 CA CA002473054A patent/CA2473054A1/en not_active Abandoned
- 2003-02-17 WO PCT/EP2003/001588 patent/WO2003071010A1/en active IP Right Grant
- 2003-02-17 EP EP03717186A patent/EP1476590B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2003-02-17 AT AT03717186T patent/ATE369446T1/de active
- 2003-02-17 CN CN038042835A patent/CN1636086B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2003-02-17 US US10/502,557 patent/US20050139477A1/en not_active Abandoned
- 2003-02-19 MY MYPI20030580A patent/MY132672A/en unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE60315422D1 (de) | 2007-09-20 |
TW200303937A (en) | 2003-09-16 |
EP1476590B1 (en) | 2007-08-08 |
KR20040083096A (ko) | 2004-09-30 |
EP1476590A1 (en) | 2004-11-17 |
MY132672A (en) | 2007-10-31 |
CA2473054A1 (en) | 2003-08-28 |
US20050139477A1 (en) | 2005-06-30 |
DE60315422T2 (de) | 2008-04-30 |
KR100858503B1 (ko) | 2008-09-12 |
WO2003071010A1 (en) | 2003-08-28 |
JP2003253497A (ja) | 2003-09-10 |
TWI263703B (en) | 2006-10-11 |
ATE369446T1 (de) | 2007-08-15 |
CN1636086B (zh) | 2010-04-28 |
CN1636086A (zh) | 2005-07-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9617648B2 (en) | Pretreatment of nickel and cobalt liners for electrodeposition of copper into through silicon vias | |
JP4651906B2 (ja) | 基体上に金属層を堆積させるためのメッキ浴および方法 | |
CN104651893B (zh) | 用于电镀的碱预处理 | |
JP2009167531A (ja) | 基体上に金属層を堆積させるためのメッキ浴および方法 | |
JP2009242940A (ja) | 連続電気銅めっき方法 | |
JP2003113491A (ja) | 基体上に金属層を堆積させるためのメッキ浴および方法 | |
JP2003105584A (ja) | 微細配線埋め込み用銅メッキ液及びそれを用いた銅メッキ方法 | |
US20080087549A1 (en) | Additive For Copper Plating And Process For Producing Electronic Circiut Substrate Therewith | |
JP2009079247A (ja) | 電気めっき方法 | |
US6267863B1 (en) | Electroplating solution for electroplating lead and lead/tin alloys | |
JP3725083B2 (ja) | メッキ設備における金属イオン供給源の有効保存を可能とする方法 | |
US7918983B2 (en) | Substrate plating method and apparatus | |
JP2000248397A (ja) | 硫酸銅めっき液及びそれを用いた電解めっき方法 | |
US6726827B2 (en) | Electroplating solution for high speed plating of tin-bismuth solder | |
US20080067076A1 (en) | Method of reducing oxygen content in ECP solution | |
JP2833393B2 (ja) | 無電解銅メッキ法 | |
JP3737268B2 (ja) | 電解銅めっき液及びそれを用いた電解銅めっき方法 | |
JPH03240969A (ja) | 無電解銅めっきの銅イオン補給液保存方法 | |
JPS6229517B2 (ja) | ||
EP1420087A2 (en) | Method for supplying zinc ions to alkaline zinc plating solution | |
JPH04193977A (ja) | 電気めっき方法 | |
JPH04103795A (ja) | 電解メッキ方法 | |
JPH0336288A (ja) | 電気スズめっきのスラッジ発生防止方法 | |
JP2002339080A (ja) | 化学めっき液の成分補充方法 | |
JP2005256016A (ja) | 電気メッキ方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20040611 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050818 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050823 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050920 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090930 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100930 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100930 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110930 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110930 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120930 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120930 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130930 Year of fee payment: 8 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |