JPH03240969A - 無電解銅めっきの銅イオン補給液保存方法 - Google Patents
無電解銅めっきの銅イオン補給液保存方法Info
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- JPH03240969A JPH03240969A JP3611490A JP3611490A JPH03240969A JP H03240969 A JPH03240969 A JP H03240969A JP 3611490 A JP3611490 A JP 3611490A JP 3611490 A JP3611490 A JP 3611490A JP H03240969 A JPH03240969 A JP H03240969A
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、無電解銅めっきの銅イオン補給液の保存方法
に関する。
に関する。
無電解めっきでは、めっき浴中で無通電状態での化学反
応を利用し、めっき金属を基板上に析出させてめっき層
を形成するため、めっき反応が進行するにつれ、めっき
浴中の成分が減少する。すなわち、電気めっきでは基板
上に析出させるめっき金属は通常陽極から溶は出してめ
っき浴中に供給され、常にめっき浴中の成分は一定の濃
度に保たれるが、無電解めっきでは、めっき層形成の進
行に伴って、めっき浴中に存在するめっき金属源となる
金属イオンが消耗する。そのため、−船釣に無電解めっ
きではめっき反応の主成分となる金属イオンとその還元
剤並びにｐＨａ）１整剤をめっき反応の進行に応じて外
部より補給することにより濃度を一定に保っている。
応を利用し、めっき金属を基板上に析出させてめっき層
を形成するため、めっき反応が進行するにつれ、めっき
浴中の成分が減少する。すなわち、電気めっきでは基板
上に析出させるめっき金属は通常陽極から溶は出してめ
っき浴中に供給され、常にめっき浴中の成分は一定の濃
度に保たれるが、無電解めっきでは、めっき層形成の進
行に伴って、めっき浴中に存在するめっき金属源となる
金属イオンが消耗する。そのため、−船釣に無電解めっ
きではめっき反応の主成分となる金属イオンとその還元
剤並びにｐＨａ）１整剤をめっき反応の進行に応じて外
部より補給することにより濃度を一定に保っている。
無電解銅めっきでは、銅イオンとなる塩化銅や硫酸銅、
還元剤となるホルマリン、ｐＨ調整剤となる苛性ソーダ
は、通常、めっき浴中の濃度より、かなり濃い補給液に
よって外部から補給される。
還元剤となるホルマリン、ｐＨ調整剤となる苛性ソーダ
は、通常、めっき浴中の濃度より、かなり濃い補給液に
よって外部から補給される。
その中でも特に銅イオンの補給は、重要であり、通常、
銅塩とその錯化剤とで銅イオン補給液を作り、補給して
いる。（錯化剤は、めっき浴中のｐＨが１０以上なので
、銅イオンの沈殿を防ぐために用いられる。）しかしな
がら、錯化剤として特に、ロッシェル塩やトリエタノー
ルアミンを用いた場合銅イオン補給液中で何らかの反応
が起こり、スラッジが発生する。このスラッジは、酸化
銅もしくは、亜酸化銅と考えられ、補給液に混ざってめ
っき浴中に混入した場合、異常析出や浴分解を弓き起こ
すという問題があった。
銅塩とその錯化剤とで銅イオン補給液を作り、補給して
いる。（錯化剤は、めっき浴中のｐＨが１０以上なので
、銅イオンの沈殿を防ぐために用いられる。）しかしな
がら、錯化剤として特に、ロッシェル塩やトリエタノー
ルアミンを用いた場合銅イオン補給液中で何らかの反応
が起こり、スラッジが発生する。このスラッジは、酸化
銅もしくは、亜酸化銅と考えられ、補給液に混ざってめ
っき浴中に混入した場合、異常析出や浴分解を弓き起こ
すという問題があった。
本発明は、保存中のスラッジ発生を防止した無電解銅め
っきの銅イオン補給液保存方法を提供することを目的と
する。
っきの銅イオン補給液保存方法を提供することを目的と
する。
上記の目的は、本発明によれば、還元力を有する錯化剤
を含有する銅イオン補給液中に、酸素含有気体を気泡状
にして吹き込むことを特徴とする無電解銅めっきの銅イ
オン補給液保存方法によって達成される。
を含有する銅イオン補給液中に、酸素含有気体を気泡状
にして吹き込むことを特徴とする無電解銅めっきの銅イ
オン補給液保存方法によって達成される。
本発明者は、銅イオン補給液中にロッシェル塩、トリエ
タノールアミンのような弱いながらも還元力を有する錯
化剤が存在すると、その還元反応によりスラッジが発生
することを見出した。
タノールアミンのような弱いながらも還元力を有する錯
化剤が存在すると、その還元反応によりスラッジが発生
することを見出した。
本発明の保存方法においては、補給液中に酸素含有気体
を気泡状にして吹き込んで酸化反応を生ぜしめ、錯化剤
による還元反応を相殺することにより、保存中のスラッ
ジの発生を防止する。
を気泡状にして吹き込んで酸化反応を生ぜしめ、錯化剤
による還元反応を相殺することにより、保存中のスラッ
ジの発生を防止する。
酸素含有気体としては、一般に空気を用いることが適当
である。他の気体として、例えば酸素・窒素混合気体等
を用いてもよい。
である。他の気体として、例えば酸素・窒素混合気体等
を用いてもよい。
酸素含有気体の吹込量は、補給液中の銅の濃度および還
元力を有する錯化剤の量に応じて空気量換算で１〜１０
００ｃｃ／ｍｉｎとすることが望ましい。
元力を有する錯化剤の量に応じて空気量換算で１〜１０
００ｃｃ／ｍｉｎとすることが望ましい。
吹込量をｌｅｅ／ｍｉｎ以上とすることによりスラッジ
発生防止効果が顕著になるが、１０００ｃｃ／ｍｉｎを
超えると水分の蒸発が激しくなり、補給液濃度が変化す
ることがある。
発生防止効果が顕著になるが、１０００ｃｃ／ｍｉｎを
超えると水分の蒸発が激しくなり、補給液濃度が変化す
ることがある。
以下に、実施例により本発明を更に詳しく説明する。
まず、酸素含有気体の吹込みを行なわずに、錯化剤の種
類とスラッジの発生との関係についての実験を行なった
。結果を第１表に示す。
類とスラッジの発生との関係についての実験を行なった
。結果を第１表に示す。
第１表
第１表の結果から、錯化剤としてトリエタノールアミン
またはロッシェル塩を用いた場合にスラッジの発生が認
められた。そこで、これら２種類の錯化剤の各々につい
て、補給液中の銅イオン濃度、錯化剤濃度、添加剤濃度
を種々に変えて、本発明の空気吹込（エアレーション）
の効果を調べた。試験条件を第２表に示す。エアレーシ
ョンは、第１図に示すように保存タンク１に貯溜した銅
イオン補給液２中に、流量調整機能付エアーポンプ系（
図示せず）により、ホース３を介し気泡４状にして行な
った。空気吹込量は１００ｃｃ／ｍｉｎであった。
またはロッシェル塩を用いた場合にスラッジの発生が認
められた。そこで、これら２種類の錯化剤の各々につい
て、補給液中の銅イオン濃度、錯化剤濃度、添加剤濃度
を種々に変えて、本発明の空気吹込（エアレーション）
の効果を調べた。試験条件を第２表に示す。エアレーシ
ョンは、第１図に示すように保存タンク１に貯溜した銅
イオン補給液２中に、流量調整機能付エアーポンプ系（
図示せず）により、ホース３を介し気泡４状にして行な
った。空気吹込量は１００ｃｃ／ｍｉｎであった。
試験結果を、トリエタノールアミンについて第３表に、
ロッシェル塩について第４表に示す。
ロッシェル塩について第４表に示す。
（注）
○：スラッジ発生なし
×：スラッジ発生あり
第
３
表
（注）○：スラッジ発生なし
×：スラッジ発生あり
ンを用いた場合には保存期間３日経過後、錯化剤として
ロッシェル塩を用いた場合には保存期間１日経過後にい
ずれもスラッジの発生が認められた。
ロッシェル塩を用いた場合には保存期間１日経過後にい
ずれもスラッジの発生が認められた。
これに対して、本発明に従って空気吹込を行なった場合
（偶数Ｎｏ、のサンプル）には、いずれの錯化剤を用い
た場合にも、補給液中の銅イオン濃度、錯化剤の種類・
濃度、添加剤の濃度によらず、保存期間９３日経過後に
もスラッジ発生は全くＳ忍められなかった。
（偶数Ｎｏ、のサンプル）には、いずれの錯化剤を用い
た場合にも、補給液中の銅イオン濃度、錯化剤の種類・
濃度、添加剤の濃度によらず、保存期間９３日経過後に
もスラッジ発生は全くＳ忍められなかった。
（注〉Ｏ：スラッジ発生なし
×：スラッジ発生あり
エアレーションを行なわない場合（奇数Ｎαのサンプル
〉には、錯化剤としてトリエタノールアミ〔発明の効果
〕 以上説明したように、本発明によれば長期間の保存中に
も補給液中に全くスラッジが発生しないため、めっき浴
の分解や異常析出を起さずに極めて高品位のめっきを安
定して行なうことができる。
〉には、錯化剤としてトリエタノールアミ〔発明の効果
〕 以上説明したように、本発明によれば長期間の保存中に
も補給液中に全くスラッジが発生しないため、めっき浴
の分解や異常析出を起さずに極めて高品位のめっきを安
定して行なうことができる。
第１図は、本発明に従って銅イオン補給液中に空気を気
泡状に吹き込む例を示す正面図である。 １・・・保存タンク、 ２・・・銅イオン補給液、
３・・・ホース、 ４・・・気泡。
泡状に吹き込む例を示す正面図である。 １・・・保存タンク、 ２・・・銅イオン補給液、
３・・・ホース、 ４・・・気泡。
Claims (4)
- １．還元力を有する錯化剤を含有する銅イオン補給液中
に、酸素含有気体を気泡状にして吹き込むことを特徴と
する無電解銅めっきの銅イオン補給液保存方法。 - ２．前記酸素含有気体として空気を用いることを特徴と
する請求項１記載の方法。 - ３．前記補給液が錯化剤としてロッシェル塩またはトリ
エタノールアミンを含有することを特徴とする請求項１
または２に記載の方法。 - ４．前記酸素含有気体を空気量換算で１〜１０００ｃｃ
／ｍｉｎの量で吹き込むことを特徴とする請求項１〜３
のいずれか一項に記載の方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3611490A JPH03240969A (ja) | 1990-02-19 | 1990-02-19 | 無電解銅めっきの銅イオン補給液保存方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3611490A JPH03240969A (ja) | 1990-02-19 | 1990-02-19 | 無電解銅めっきの銅イオン補給液保存方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03240969A true JPH03240969A (ja) | 1991-10-28 |
Family
ID=12460752
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3611490A Pending JPH03240969A (ja) | 1990-02-19 | 1990-02-19 | 無電解銅めっきの銅イオン補給液保存方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03240969A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103495728A (zh) * | 2013-10-14 | 2014-01-08 | 自贡长城硬面材料有限公司 | 硬质合金球的压制方法 |
-
1990
- 1990-02-19 JP JP3611490A patent/JPH03240969A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103495728A (zh) * | 2013-10-14 | 2014-01-08 | 自贡长城硬面材料有限公司 | 硬质合金球的压制方法 |
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