JP3711410B2 - X線分析装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、試料表面をクリーニングすることにより分析精度を高めるX線分析装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来、X線分析装置による試料の分析時に、分析精度を高めることを目的として、試料表面のクリーニングが行われていた。このクリーニングには、2つの方法がある(特開平5ー288695号公報参照)。第1の方法は、試料を収納した分析室内を大気に開放し、その内部の酸素に紫外線を照射してオゾンを発生させる。そして、このオゾンと紫外線により試料の分析表面に付着した炭素系物質を炭酸ガスや水などに分解・揮発させて、分析表面をクリーニングする。この後、分析室内を密閉して、内部を真空ポンプによりX線分析時の所定圧力に真空引きし、クリーンな分析表面にX線を照射して分析を行う。
【0003】
第2の方法は、分析室の内部を真空ポンプなどにより1Torr程度に減圧し、この減圧状態下で紫外線を照射してオゾンを発生させ、試料をクリーニングする。この後、試料にX線を照射して分析を行う。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、第1の方法によれば、紫外線照射により試料をクリーニングした後、分析室を密閉してポンプで所定圧力に真空引きするとき、ポンプの潤滑油のベーパや、ゴム製のシールリングからの有機系物質のガスが分析室内に拡散し、試料の分析表面に付着する。このような有機系物質(炭素系物質)が試料表面に付着すると、炭素のX線強度が増大して分析誤差となる。また、第2の方法による場合、分析室内に紫外線を照射するとき、その内部が減圧状態とされて酸素量が少ないために、紫外線照射によるオゾンの発生量も少ないので、充分なクリーニング効果が得られない。
【0005】
本発明は、試料の分析表面に付着する炭素系物質を確実に除去して、分析の正確さおよび分析精度をさらに向上させることを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項1のX線分析装置は、試料を収納する真空室と、分析時の圧力に減圧された真空室内で紫外線を紫外線照射位置で試料の分析表面に照射する紫外線照射装置と、紫外線照射中に酸素を含むガスを試料の分析表面に噴射するガス噴射手段と、前記試料に1次X線を照射するX線源と、試料からの2次X線を検出する検出装置と、前記試料を前記紫外線照射位置から1次X線照射位置に移送する移送機構とを備え、前記試料の分析表面に前記紫外線照射装置の下部が近接して配置され、前記ガス噴出手段が、前記試料の分析表面と前記紫外線照射装置の下部の紫外線を放出する開口との間にガスを噴射する。
【0007】
試料のX線分析時には、試料を収納した真空室内が分析時の所定圧力に減圧され、この減圧状態下でガス噴射手段により酸素を含むガスが試料の分析表面に噴射されて、分析表面周りの酸素密度が高められる。この状態で紫外線照射装置から紫外線が照射されることにより、多量のオゾンが発生し、この多量のオゾンと紫外線により試料の分析表面に付着した炭素系物質が除去される。したがって、真空室内をポンプにより所定圧力に真空引きするとき、オイルベーパや有機系ガスによる炭素系物質が試料に付着することがあっても、この炭素系物質は、真空引き後に行うガス噴射と紫外線照射により確実に除去して分析表面をクリーンにできるので、その後のX線による試料の分析の正確さおよび分析精度が高められる。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
図1は、X線分析装置の一例として、蛍光X線分析装置を示している。同図においては、シリコンウエハなどの試料1を収納する真空ケース2の上壁部に、紫外線照射装置3、X線源としてX線管4、およびX線分析装置5を、それぞれ真空ケース2内の真空室20に臨ませて装着している。なお、真空ケース2の上壁部には、真空室20内に試料1を出し入れするための開口窓(図示せず)を設けている。
【0010】
真空室20の内部は、切換弁21をもつ排気管22を介して、モータで駆動されるロータリポンプからなる真空ポンプ23に接続されている。上記排気管22の途中には、圧力ゲージ24を取付けている。
【0011】
紫外線照射装置3は、ケーシング31の内部に、たとえば低圧水銀灯や重水素ランプのような紫外光源32を配置し、ケーシング31の下部開口30に、紫外線の透過率の高い石英ガラス33を設けている。上記ケーシング31は、その外周のゴム製のシールリング34を介して、真空ケース2の挿入孔26に気密に挿入されている。この紫外線照射装置3は、真空室20の内部がX線分析時の圧力に減圧された状態下で、紫外光源32から紫外線を照射する。
【0012】
X線分析装置5は、X線管4から試料1の分析表面10に1次X線aを照射したとき、この分析表面10から発生する2次X線(この場合蛍光X線)bを検出する。このX線分析装置5は、内部に分光器50を収容する収納ケース51と、収納ケース51から真空室20内に延び、試料1からの2次X線bを分光器50に案内する導出管52と、この分光器50で回折された2次X線bを検出するX線検出器53とを備えている。前記導出管52は、ゴム製のシールリング54を介して真空ケース2の周壁部に気密に接続されている。
【0013】
また、上記真空室20の内底部には、試料1を紫外線照射装置3からX線管4の位置へと移送する移送機構6を配置する。この移送機構6としては、図のように、たとえば、図示しないモータにより駆動される回転軸60を備えた円盤状のターレット61を用いる。このターレット61上の所定位置に、試料1を保持した試料ホルダ62を載置する。
【0014】
さらに、上記真空ケース2には、紫外線照射装置3から試料1への紫外線照射中に、酸素を含むガスを試料1の分析表面10に噴射するガス噴射手段7を設ける。このガス噴射手段7として、図示の実施形態では、一端がガスボンベ(図示せず)に連結され、途中に絞り弁70が介装されたガス噴出管71を用いている。そして、ガス噴出管71を真空室20の外部から内部へと挿入し、その先端ノズル部72を、上記ホルダ62にセットされた試料1の分析表面10と紫外線照射装置3の下部開口30との間に臨ませる。
【0015】
このとき、ガス噴出管71からの噴射ガスとしては、たとえばCO2、O2、その他酸素化合物からなるガスを用いるのが好ましいが、空気を用いることもできる。
【0016】
次に、以上のX線分析装置を用いて、試料1をX線分析する場合の手順について説明する。
先ず、試料1をセットした試料ホルダ62を真空ケース1の開口窓から内部に挿入し、ターレット61上の所定位置に載置する。この後、回転軸60の駆動によりターレット61を回転させて、試料1を紫外線照射装置3のケーシング31に設けた下部開口30と対向する位置、つまり紫外線照射装置に設定する。
【0017】
他方、開口窓を閉じた状態で真空ポンプ23を駆動させ、真空室20の内部をX線分析時の所定圧力(たとえば0.01〜0.1Torr)になるまで真空引きする。この真空室20内が所定圧力となったとき、ガス噴出管71のノズル部72から酸素を含むガスを、上記ケーシング31の開口30と試料1の分析表面10との間に噴射し、その周りの酸素密度を高めながら、紫外光源32から紫外線を照射する。これにより、分析表面10の周りに多量のオゾンが発生し、つまり、分析表面10の周囲がオゾン環境下となり、このオゾンと紫外線によって分析表面10に付着した炭素系物質が分解・揮発して除去され、クリーンな分析表面10となる。
【0018】
以上のように、真空ポンプ23により真空室20の内部を予めX線分析時の所定圧力となるまで真空引きし、この後、ガス噴出管71からのガス噴射と紫外光源32からの紫外線照射を行うので、たとえポンプ23の駆動に伴い真空室20内にオイルベーパが発生し、また、真空引き時にシールリング34,54や他の高分子材料などから有機系ガスが発生して、これらによる炭素系物質が試料1の分析表面10に付着することがあっても、これらの炭素系物質は、真空引き後に行うガス噴射と紫外線照射により確実に除去される。
【0019】
また、上記試料1の分析表面10と開口30の間は、できるだけ狭い隙間とすることが好ましい。このようにすると、ノズル部72からのガスが狭い空間で高い濃度に保たれて分析表面10を覆うから、この分析表面10に沿って多量のオゾンが発生し易くなるので、さらに確実な炭素系物質の除去が行える。また、ノズル部72からのガスが分析表面10に沿って流れ易くするために、開口30と分析表面10の隙間の周囲を覆うガス案内用のフードを設けてもよい。
【0020】
次に、図の仮想線で示すように、ターレット61を回転させて試料1の分析表面10をX線管4と対向する1次X線照射位置に設定する。そして、X線管4から分析表面10に1次X線aを照射し、この分析表面10からの2次X線bをX線分析装置5の導出管52を介して分光器50に導き、単色化された2次X線bをX線検出器53で検出する。
【0021】
なお、前記実施形態では、試料1の上面に1次X線を照射する上面照射タイプであったが、試料の下面に1次X線を照射する下面照射タイプにも本発明を適用できる。その場合、紫外線照射装置3とX線源4は真空ケース2の下部壁に取り付けられ、試料1は試料ホルダ62の下部に保持されて、ターレット61に設けた開口から下方に露出する。また、X線検出装置5としては、分光器50を用いない、半導体検出器(SSD)のようなエネルギー分散型の検出装置を使用することもできる。
【0022】
【発明の効果】
以上のように、本発明によれば、試料を収納する真空室の内部を分析時の圧力に減圧し、この減圧状態下で酸素を含むガスを試料の分析表面に噴射し、このガスの噴射中に紫外線照射を行うので、試料の分析面に付着する炭素系物質を確実に除去できて、X線による試料の分析の正確さおよび分析精度を向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態を示す蛍光X線分析装置の縦断面図である。
【符号の説明】
1…試料、10…分析表面、2…真空ケース、20…真空室、3…紫外線照射装置、4…X線源、5…X線検出装置、6…移送機構、7…ガス噴射手段。
Claims (1)
- 試料を収納する真空室と、分析時の圧力に減圧された真空室内で紫外線を紫外線照射位置で試料の分析表面に照射する紫外線照射装置と、紫外線照射中に酸素を含むガスを試料の分析表面に噴射するガス噴射手段と、前記試料に1次X線を照射するX線源と、試料からの2次X線を検出する検出装置と、前記試料を前記紫外線照射位置から1次X線照射位置に移送する移送機構とを備え、
前記ガス噴出手段が、前記試料の分析表面と前記紫外線照射装置の下部の紫外線を放出する開口との間にガスを噴射するX線分析装置。
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