JPS59224548A - 表面分析装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、真空容器を具備した表面分析装置に係υ、特
に分析操作直前に試料表面の有機物汚染を除去するのに
好適な表面分析装置に関する。

〔発明の背景〕

従来の表面分析装置は、油回転ポンプ、油拡散ポンプ等
からの有機物によシ試料表面が汚染される事を防ぐため
に種々の技術改良がなされている。

すなわち、排気系からの油蒸気を液体窒素等を用いたト
ラップに捕獲し、試料表面に到達しないようにする、あ
るいは、ターボモレキュラーポンプ。

クライオポンプ、イオンポンプ等油蒸気を出さない排気
系を使用するなどである。しかし、呪実には、試料野面
の有機物汚染は完全には除去できず分析に先だってＡｒ
等不活性ガスにより試料表面をスパッタリングして洗浄
する手法が用いられている。このような従来技術では、
表面に付着した有機物汚染のみならず、試料表面自体も
エツチングする事となシ、試料の最外側表面の分析がで
きない欠点があった。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、前記のような欠点を克服し、試料表面
に付着した有機物汚染のみを有効に除去する機構を具備
した表面分析装置を提供する事にある。

〔発明の概要〕

本発明は、分析試料をエツチングする事なく、表面に付
着した有機物汚染を有効に分解、除去するために、紫外
線とオゾンの相乗効果を利用するものである。すなわち
、低圧水銀灯から放射される１　８４．２５６　ｎｍの
紫外線を有機物に照射すると、有機物は励起９分解され
る。さらにこの時、雰囲気に１裳素を存在させるとより
高い洗浄効果が得られる。すなわち、酸素が１８４ｎｍ
紫外光により励起されてオゾンとなり、このオゾンが有
機物を酸化し、Ｈ２ＯおよびＣＯ２として試料表面から
除去される。

〔発明の実施例〕

以下本発明の一実施例を第１図により説明する。

第１図は、本発明を適用したオージェ電子分光装置の構
成図である。図のように分析試料１１に対向した位置に
低圧水銀灯１２と酸素供給ノズル１３どが設置されてい
る。

通常の操作に従って分析試料１１を試料台１４に取付け
、分析室内を真空排気した。ついで、低圧水銀灯１２を
点灯し、試料１１の表面に紫外線を照射した。ついで、
ノズル１３から酸素を微量リークさせ、試料表面に酸素
を供給した。以上の操作にエリ、試料表面近傍ではオゾ
ンが生成し、これが試料表面の有機物汚染を除去する。

３分間処理した後、酸素供給を停止し、低圧水銀灯１２
を消灯した。引続き２０分真空排気した後、連続して試
料の分析を行った。この結果の１例を第２図に示す。す
なわち、上記操作によって得られたスペクトルは、第２
図曲線２１で、同図に併せ示した従来操作によって得ら
れた曲線２２のスペクトルと比較すると、本発明の効果
が明白に確認できる。すなわち、本発明によるスペクト
ル２１には、表面の有機物汚染にもとづく、炭素に同定
される吸収が全く認められない。

なお、紫外線および酸素を試料に照射する処理は、発明
者らの実験によれば、試料の汚染度によシ異るが、通常
の脱脂処理等を施しだ試料の場合高々１０分根度で十分
であった。

〔発明の効果〕

上記説明から明らかなように、本発明によれば、分析試
料の表面を変化させる事なく、清浄化できると同時に、
分析室内で処理できるために、清浄化された試料表面が
再汚染される事がない。また、本発明で使用した低圧水
銀灯は、小型、軽量、安価であり、いかなる真空装置に
も具備できる。本発明では、オージェ電子分光装置に適
用した例を示したが、イオンマイクロアナライザ、Ｅ８
ＣＡ等他の分析装置度にも同様に適用できる事は明かで
ある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例を示す模式図、第２図の本発
明の効果で示す曲線図である。 １１・・・試料、１２・・・水銀灯、１３・・・ノズル
代理人　弁理士　高橋明夫 −２５： 第１図 Ｙ　ｚ　　図 ｔＪＬ了ＩＬ　”ｇ　”−（ｅｖ） 国分寺市東窪ケ窪１丁目２８０番 地株式会社日立製作所中央研究 所内 ■出　願　人　日立マイクロコンピュータエンジニアリ
ング株式会社 小平市上水本町１４７９番地

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、被分析試料を真空容器内において分析する表面分析
   装置において、真空容器内の試料と対向する位置に低圧
   水銀灯を具備し、かつ、試料表面に酸素を供給できる機
   構を具備した事を特徴・とする表面分析装置。