JP3682727B2 - 表面に欠陥のないガラスシートの製造方法 - Google Patents
表面に欠陥のないガラスシートの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3682727B2 JP3682727B2 JP16537894A JP16537894A JP3682727B2 JP 3682727 B2 JP3682727 B2 JP 3682727B2 JP 16537894 A JP16537894 A JP 16537894A JP 16537894 A JP16537894 A JP 16537894A JP 3682727 B2 JP3682727 B2 JP 3682727B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass
- strain point
- range
- sro
- bao
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C3/00—Glass compositions
- C03C3/04—Glass compositions containing silica
- C03C3/062—Glass compositions containing silica with less than 40% silica by weight
- C03C3/064—Glass compositions containing silica with less than 40% silica by weight containing boron
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C23/00—Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments
- C03C23/008—Other surface treatment of glass not in the form of fibres or filaments comprising a lixiviation step
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B17/00—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres
- B32B17/06—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres comprising glass as the main or only constituent of a layer, next to another layer of a specific material
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/02—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with glass
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C3/00—Glass compositions
- C03C3/04—Glass compositions containing silica
- C03C3/076—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight
- C03C3/083—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing aluminium oxide or an iron compound
- C03C3/085—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing aluminium oxide or an iron compound containing an oxide of a divalent metal
- C03C3/087—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing aluminium oxide or an iron compound containing an oxide of a divalent metal containing calcium oxide, e.g. common sheet or container glass
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C3/00—Glass compositions
- C03C3/04—Glass compositions containing silica
- C03C3/076—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight
- C03C3/089—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing boron
- C03C3/091—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing boron containing aluminium
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Glass Compositions (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
Description
【産業上の利用分野】
本発明は、精密な平面度のガラスシートを必要とする用途に使用するために高い歪点を示すガラスから調製され、表面に欠陥のないガラスシートの製造方法に関するものである。本発明のある特定の用途は、液晶ディスプレー(LCD)デバイスに使用するガラス基体の製造にある。その基体としてガラスが選択されるのは、第1に透明であること、第2にディスプレーの加工中に暴露される化学的条件および物理的条件(熱的条件を含む)に耐えられること、そして第3に精密に制御された寸法を有する薄いシートに手ごろな費用で製造できることのためである(米国特許第5,116,787 号を参照のこと)。
【0002】
【従来の技術】
固有アドレスを有する液晶ディスプレーは比較的低温、すなわち、≦350 ℃で製造される。したがって、Na+ イオンの移行を防ぐためにその面上にシリカバリア層を有するソーダ石灰ケイ酸塩ガラスシートが液晶ディスプレー用基体として広く用いられている。固有アドレスを有する液晶ディスプレーの高性能型である「スーパーツイストネマティック」には、極めて精密な平面度を有する基体が必要である。このことは、それらのディスプレーに使用されるソーダ石灰ケイ酸塩ガラスを研磨するか、あるいはダウン・ドロー溶融により製造しなければならないことを意味している(米国特許第3,338,696 号および第3,682,609 号を参照のこと)。
【0003】
多結晶質シリコン(ポリ−Si)から形成したディスプレーは非晶質(a−Si)薄膜トランジスタに用いられる温度より実質的に高い温度で加工されるので、加工中にシートが熱変形しないようになおかつ応力が蓄積しないように、ソーダ石灰ケイ酸塩ガラスおよびコーニングコード7059ガラス(593 ℃の歪点)より高い歪点を有するガラス組成物が要求されており、そのようにして、約600 ℃より高い温度での加工中に生じる寸法変化を最小限にする。600 ℃を超える歪点を有するガラスを使用することにより、比較的低温でのa−Siデバイスの製造に使用する際に注意深くアニーリングを行なう必要をなくすことができる。さらに、アルカリ金属がガラス表面から移行することによる薄膜トランジスタの汚染が心配事となっており、その心配事の結果として、基体上にバリア層を設けるためにコーティングを使用している。したがって、最近のガラス組成物の研究は、600 ℃より高い、好ましくは625 ℃より高い、そして最も好ましくは650 ℃より高い歪点を有し、好ましくはダウン・ドロー溶融により形成された精密さを有する、アルカリ金属を含まないガラス組成物の使用に向けられている。これらの基準を満たすガラスは、実質的にアルカリ金属酸化物を含まず、望ましくは酸化ホウ素を含有するアルカリ土類金属アルミノケイ酸塩系において開発されている。
【0004】
米国特許第4,824,808 号、第5,116,787 号、第5,116,788 号、第5,116,789 号、および1993年1月23日に出願され本出願人に譲渡された米国特許出願第08/8,560号を引用する。そこには、アルカリ金属酸化物を実質的に含まず、モルパーセントで表して、64%−70%のSiO2 、9.5 %−12%のAl2 O3 、5%−10%のB2 O3 、0%−5%のTiO2 、0%−5%のTa2 O5 、0%−5%のMgO、3%−13%のCaO、0%−5.5 %のSrO、2%−5.5 %のBaO、ここでMgO+CaO+SrO+BaOの合計が10%−20%、から実質的になるガラス組成物が記載されている。そのガラスは、650 ℃より高い歪点、32×10-7/℃から46×10-7/℃までの範囲にある熱膨張係数(0℃から300 ℃)、および95℃で5%のHCl中における24時間後での2mg/cm2 未満の重量損失を示す。
【0005】
1993年5月17日に出願され本出願人に譲渡された米国特許特許第08/61,459 号には、実質的にアルカリ金属酸化物を含まず、モルパーセントで表して、65%−76%のSiO2 、7%−11%のAl2 O3 、12%−19%のBaO、0%−5%のB2 O3 、0%−5%のMgO、0%−10%のCaO、0%−10%のSrO、ここでMgO+CaO+SrOの合計が0%−15%、0%−2.5 %のZrO2 、0%−3%のTiO2 、0%−3%のTa2 O5 、ここでZrO2 +TiO2 +Ta2 O5 の合計が0.5 %−5%のから実質的になるガラス組成物が記載されている。そのガラスは、660 ℃より高い歪点、約45×10-7/℃から約55×10-7/℃までの範囲にある熱膨張係数(0℃から300 ℃)、および95℃で5%のHCl中における24時間後での0.5 mg/cm2 未満の重量損失を示す。
【0006】
ダウン・ドロー溶融パイプを用いて形成したガラスシートには引き出すときの表面研磨は必要ないが、続いての取扱いや運送の結果としてシートの表面を損傷し得る。しかしながら、積重中にガラスシートが差し込んである紙や他の材料のような手段は、全体の工程において分離工程を必要とし追加の費用を伴い、差し込むときとガラスシートを引き出すときに多大な注意を払わねばならない。
【0007】
【発明の解決しようとする課題】
上記事情に鑑みて、本発明の主な目的は、非常に精密な平面度が求められる用途に使用するのに望ましい高い歪点を有する組成物から調製したガラスシートを表面の酷使から確実に保護する手段を開発することにあった。このことは、製造工程で余分な工程を必要とすることを意味するものではない。本発明は特にLCDデバイスの形成に使用すべきシートの製造に用いるために設計したものである。広い意味で言うと、本発明の方法は、形成工程中の可溶性ガラスの薄い層で耐久性ガラスのシートを被着することからなる。その後、ガラスシートの積層体を切断し、運送し、一方で生じた表面の損傷を可溶性ガラスの層により吸収するように取り扱うことができる。可溶性ガラスは形成中に耐久性ガラスの表面を保護し、それにより、研削および研磨の必要なくして耐久性ガラスに磨き面を付与する。シートを使用する時点で、可溶性ガラス層を化学的に除去して欠陥のない表面を得る。
【0008】
上述したように、LCDデバイス用基体の形成に使用すべきガラスシートの調製は好ましくは、表面研磨を必要としないのでダウン・ドロー溶融パイプを使用することを含む。そしてその方法が最も好ましい。言うまでもなく、本発明に他のシート形成工程(例えば、アップ・ドロー工程およびスロット・ドロー工程)を用いることもできる。そのような他のシート形成を実施した結果、平面度が精密でなくなり表面に欠陥が生じ得るが、可溶性ガラスで被覆した後、積層シートを平らにし、高温で表面の欠陥を除去できる。
【0009】
米国特許第4,102,664 号(ダンハム、Jr.)は、研削と研磨により製造された表面と平滑性において同等であり得る欠陥のない表面を有するガラス品を製造する広範囲におよぶ議論を展開している。
【0010】
米国特許第4,880,453 号は、その基本的な工程の改良について記載しており、米国特許第5,100,452 号はその工程のさらなる改良について記載している。
【0011】
上記のごとく強調したように、アルカリ金属の存在は、LCDデバイスの操作にとって有害であり、したがって避けるべきである。さらに、シリコン薄膜トランジスタを用いるので、基体用ガラスの線熱膨脹係数はシリコンの線熱膨張係数(〜35×10-7/℃)から著しく相違するべきではない。したがって、基体用ガラスの線熱膨張係数(0℃から300 ℃)は好ましくは、約35×10-7/℃から約60×10-7/℃の範囲に亘る。基体用ガラスの表面に欠陥がないことおよび可溶性ガラスが迅速に溶けることを確実にするために、可溶性ガラスは基体用ガラスよりも溶剤中で少なくとも1000倍も可溶性である。
【0012】
それゆえ、本発明の特別な目的は、0℃から300 ℃に亘る温度範囲下において約35×10−7/℃から約60×10−7/℃までの範囲にある線熱膨張係数と、600 ℃より高い、好ましくは625 ℃より高い歪点とを有する耐久性ガラスとともに使用するのに適した、アルカリ金属を含まない可溶性ガラス組成物の系統を開発することにあった。したがって、2つのガラスの線熱膨脹係数は、5×10−7/℃内にあり、最も望ましくは、柔らかい方のガラスの硬化温度(setting point )から室温に亘って約2×10−7/℃内にある(ここに定義している「柔らかい方の」ガラスとは、軟化点が低いほうのガラスを意味する)。2つのガラスの歪点は、互いに比較的近接しており、すなわち、好ましくは約20℃以内、より好ましくは10℃以内、そして最も好ましくは互いに5℃以内にある。
【0013】
600 ℃より高い、好ましくは625 ℃より高い歪点と、20×10-7/℃から約60×10-7/℃までの範囲にある線熱膨張係数(0℃から−300 ℃)と、酸溶液中での高い可溶性とを有するアルカリ金属を含まない可溶性ガラスは、酸化物基準の陽イオンパーセントで表して、23%−40%のSiO2 、15%−43%のAl2 O3 、5%−25%のCaO、0%−36%のB2 O3 、0%−7%のMgO、0%−5%のSrOおよび/またはBaO、0%−5%のZnO、および合計が0%−10%のMgO+SrO+BaO+ZnOから実質的になる。
【0014】
いくつかの成分の組成範囲を観察することは、所望の比率を示すガラスを確保するのにきわめて重要である。例えば、SiO2 の含有量が40%を超える場合、ガラスは酸溶液中で所望の可溶性を失う。シリカの含有量が23%未満の場合には、ガラスは非常に失透しやすくなり、および/または線熱膨張係数が高すぎるようになる。Al2 O3 が前述した範囲から外れると、ガラスは非常に失透しやすくなる。失透に対するガラスの安定性を付与するため、およびその物理的特性を調節するためにCaOを含むことが必要である。B2 O3 の濃度が36%より大きい場合には、ガラスの歪点が600 ℃より低くなる。物理的特性を調節するために微量のBaO、SrO、およびZnOを含有する。
【0015】
陽イオンパーセントの範囲を重量パーセントの範囲に正確に変換することは数学的に不可能であるが、以下に列記する値は、重量パーセントで表した本発明の可溶性ガラスの基礎ガラス組成の近似を示している:27%−47%のSiO2 、17%−41%のAl2 O3 、7%−25%のCaO、0%−25%のB2 O3 、0%−4%のMgO、0%−10%のSrOおよび/またはBaO、0%−7%のZnO、ここでMgO+SrO+BaO+ZnOの合計が0%−15%。
【0016】
【課題を解決するための手段】
前出の米国特許第4,102,664 号に記載された方法と同様な方法において、以下の段階にしたがって、実質的に欠陥がなく平滑性において研磨した表面と同等である表面を有するガラスシートを作成できる。そこで、本発明は下記の方法を提供する:
(a) アルカリ金属を含まない互いに組成の異なる2つのガラス形成バッチを溶融する。ここで、第1のガラスは600 ℃より高い歪点を有し、酸溶液中で比較的不溶性であり、第2のガラスのバッチは、酸化物基準の陽イオンパーセントで表して、23%−40%のSiO2 、15%−43%のAl2 O3 、5%−25%のCaO、0%−36%のB2 O3 、0%−7%のMgO、0%−5%のSrOおよび/またはBaO、0%−5%のZnO、ここでMgO+SrO+BaO+ZnOの合計が0%−10%、から実質的になり、第2のガラスは同一の酸溶液中で少なくとも1000倍も可溶性でありかつ、
(1) 硬化温度から室温に亘って、第1のガラスの線熱膨張係数から約5×10−7/℃以内の範囲にある線熱膨張係数;
(2) 第1のガラスの歪点に比較的近接した、600 ℃より高い歪点;および
(3) 0℃から300 ℃に亘る温度範囲下において20×10−7/℃から60×10−7/℃までの範囲にある線熱膨張係数;
を有する。
【0017】
(b) 溶融したバッチを流動状態のまま同時に集合させ、第1のガラスが第2のガラス内に実質的に完全に囲い込まれた積層シートを形成する。
【0018】
(c) 積層シートを、溶融体が流動状態にある温度でともに溶融して欠陥がない間の界面を形成する。
【0019】
(d) 積層シートを冷却して流動状態にある各々のガラスを硬化させる。
【0020】
(e) その後、積層シートを酸溶液と接触させて第2のガラスを溶解除去し、それにより、第2のガラスが除去された第1のガラスの表面を、実質的に欠陥がなく、研磨したガラス表面と同等の平滑性を備えたものとする。
【0021】
耐久性ガラス(前記第1のガラス)は望ましくは完全に可溶性ガラス内に囲い込まれるが、完全には覆われないシートの非常に小さな区域(最もありそうなのはその縁)があり得る。したがって、「実質的に完全に囲い込まれた」という表現は、その可能性を示すために選択したものである。
【0022】
明らかなように、酸浴中の可溶性ガラスの溶解は、積層シートがその目的地に達した後に行なわれる。したがって、積層体から切断されたシートを積重し、デバイスに使用する直前に可溶性ガラスを除去するLCDディスプレーデバイスの製造者まで輸送し得る。
【0023】
2つのガラスの液相線値は好ましくは、選択形成工程(select forming process)中に失透するのを防ぐために、積層が行なわれる温度より低い。
【0024】
最終的に、従来の実施にしたがい、最も好ましくは冷却工程中に、積層シートをアニールして有害な応力を避けてもよいが、冷却した積層体を再加熱してその後にアニールしてもよい。上記のごとく説明したように、本発明のガラスの歪点は十分に高いので、アニーリングはa−Siデバイスの形成には必要ではない。
【0025】
経済的なことを考慮すると、HCl、H2 SO4 、HNO3 、およびH3 PO4 のような鉱酸の水溶液が好ましい溶剤として挙げられるが、有機酸を含む他の酸を用いることもできる。可溶性ガラスが耐久性ガラスよりも溶液中で少なくとも1000倍も可溶性であることのみが必要である。
【0026】
600 ℃より高い、好ましくは625 ℃より高い歪点、および35×10−7/℃−60×10−7/℃の間の線熱膨張係数(0℃−300 ℃)を示す、LCDデバイスに使用する基体の製造に関する上述した特許および特許出願の範囲内のガラス組成物は一般的に優れた酸溶液に対する抵抗を示すが、ガラス組成の好ましい範囲は、酸化物基準の陽イオンパーセントで表して、50%−65%のSiO2 、10%−20%のAl2 O3 、0%−10%のMgO、0%−20%のB2 O3 、0%−15%のCaO、0%−25%のSrO、0%−10%のBaO、および合計で0%−25%のMgO+CaO+SrO+BaOからなる。これらの範囲を重量パーセントで近似すると、その範囲は、53%−60%のSiO2 、11%−17%のAl2 O3 、0%−7.5 %のMgO、0%−9%のB2 O3 、0%−25%のCaO、0%−40%のSrO、0%−25%のBaO、ここでMgO+CaO+SrO+BaOの合計が0%−32%、からなる。
【0027】
【実施例】
以下、実施例を参照して本発明を詳細に説明する。
【0028】
表Iは、本発明に使用できる希釈鉱酸水溶液に可溶性であるガラスの、酸化物基準の陽イオンパーセントで表した組成の群を記載している。実際のバッチ成分は、ともに溶融されたときに適切な比率で所望の酸化物に転化される酸化物または他の成分のいずれの物質であってもよい。これを説明すると、H3 BO3 はB2 O3 の供給源、CaCO3 はCaOの供給源となり得る。
【0029】
バッチ成分を配合し、均一な溶融物を得るためにともに完全にタンブル混合し、白金るつぼに装填した。このるつぼに蓋をして、約1600℃で運転している炉に導入した。約4時間に亘って保持した後、生成した溶融物をスチール型に注ぎ入れ、約15.25 ×15.25 ×1.25cm(約6”×6”×0.5 ”)の寸法を有するガラススラブを形成し、そのスラブをただちにアニーラーに移した。
【0030】
さらに、表Iは、ガラス業界における慣習的な技術により測定した、×10-7/℃で表した0℃−300 ℃の範囲に亘る線熱膨張係数および℃で表した歪点を記載している。表Iはまた、95℃に設定されたHClの5重量%水溶液中に撹拌しながら4時間に亘り浸漬した後のガラスにより示された、パーセントで表した重量損失を記載している。
【0031】
表IAは、酸化物基準の重量部で表した同一の群のガラス組成物を記載している。個々の成分の合計がほぼ100 であるので、全ての目的のために、表IAに記載した個々の値は重量パーセントを表していると考えられる。
【0032】
上述した記載は研究所の溶融方法を反映したものであるが、本発明のガラスは、大規模な商業的ガラス形成および溶融装置並びに工程を利用して溶融および形成を行なうこともできる。バッチ成分がともに完全に混合され、均一な溶融物を得るのに十分に時間に亘り十分な高温で溶融し、その後ガラス品に形成されることのみが必要である。
【0033】
【表1】
【0034】
【表2】
【0035】
表IIは、本発明に使用できる希釈鉱酸水溶液中で比較的不溶性であるガラスの、酸化物基準の陽イオンパーセントで表した組成の群を記載している。表Iに示したガラス組成物と同様に、実際のバッチ成分は、ともに溶融されたときに適切な比率で所望の酸化物に転化される酸化物または他の成分のいずれの物質であってもよい。
【0036】
バッチ成分を配合し、均一な溶融物を得るためにともに完全にタンブル混合し、白金るつぼに装填した。このるつぼに蓋をして、約1600℃で運転している炉に移し、約16時間に亘りその炉内に保持した。生成した溶融物をスチール型に注ぎ入れ、約15.25 ×15.25 ×1.25cm(約6”×6”×0.5 ”)の寸法を有するガラススラブを形成し、そのスラブをただちにアニーラーに移した。
【0037】
表IIは、ガラス業界における慣習的な技術により測定した、×10-7/℃で表した0℃−300 ℃の範囲に亘る線熱膨張計数および℃で表した歪点を記載している。表IIはまた、95℃に設定されたHClの5重量%水溶液中に撹拌しながら4時間に亘り浸漬した後のガラスにより示された、mg/cm2 で表した重量損失を記載している。
【0038】
表IIAは、酸化物基準の重量部で表した同一の群のガラス組成物を記載している。個々の成分の合計がほぼ100 であるので、全ての目的のために、表IIAに記載した個々の値は重量パーセントを表していると考えられる。
【0039】
表Iに記載したガラスに対してと同様に、上述した記載は研究所の溶融方法を反映したものであると考えられる。しかしながら、本発明のガラスは、大規模な商業的ガラス形成および溶融装置並びに工程を利用して溶融および形成を行なうこともできる。
【0040】
【表3】
【0041】
重量パーセント基準で表IIに示したガラスの溶解性の損失は、約0.01%−0.3 %である。言うまでもなく、希釈酸浴中への滞在時間は表Iのガラスよりも6時間長いことも考慮しなければならない。
【0042】
本発明は耐久性ガラスシートを可溶性ガラス内に実質的に全体を封じ込めることを検討しているが、耐久性ガラスの一方の側のみが覆われるような様式で耐久性ガラスと可溶性ガラスをともに流動させてもよい。例えば、可溶性ガラスが耐久性ガラスの下に設けられ、一方比較的流動形態の状態で、積層体が平らな表面に上に積み重ねられて冷却されて確実に平滑な形状とするように、ともにガラスを流動させることにより非常に精密な平面度のガラスシートを調製できる。次いで可溶性ガラスを溶解させて欠陥のない表面を保持することができる。耐久性ガラスの上側表面は酷使されず、空気のみに暴露されるのみである。2つのガラスの熱膨張は、ゆがみまたは他の変形を避けるためにほとんど精密に一致しなければならない。
【0043】
Claims (6)
- 研磨されたガラス表面と同等の平滑性を備えた実質的に欠陥のない表面を有するガラスシートを製造する方法であって、
(a) アルカリ金属を含まない互いに組成の異なる2つのガラス形成バッチを溶融し、ここで、第1のガラスは600 ℃より高い歪点を有しかつ酸溶液中で比較的不溶性であり、第2のガラスのバッチは、酸化物基準の陽イオンパーセントで表して、23%−40%のSiO2 、15%−43%のAl2 O3 、5%−25%のCaO、0%−36%のB2 O3 、0%−7%のMgO、0%−5%のSrOおよび/またはBaO、0%−5%のZnO、ここでMgO+SrO+BaO+ZnOの合計が0%−10%、から実質的になり、該第2のガラスは前記酸溶液中で前記第1のガラスより少なくとも1000倍も可溶性でありかつ、
(1) 硬化温度から室温に亘る温度下において、前記第1のガラスの線熱膨張係数から約5×10−7/℃以内の範囲にある線熱膨張係数;
(2) 前記第1のガラスの歪点に比較的近接した、600 ℃より高い歪点;および
(3) 0℃から300 ℃に亘る温度範囲下において20×10−7/℃から60×10−7/℃までの範囲にある線熱膨張係数;
を有し、
(b) 溶融した前記バッチを流動状態のまま、ダウン・ドロー法、アップ・ドロー法またはスロット・ドロー法により同時に集合させて、前記第1のガラスが前記第2のガラス内に実質的に完全に囲い込まれた積層シートを形成し、
(c) 該積層シートを冷却して流動状態にある各々のガラスを硬化させ、
(d) 該積層シートを酸溶液と接触させて前記第2のガラスを溶解除去し、それにより、該第2のガラスが除去された前記第1のガラスの表面を、実質的に欠陥がなく、研磨したガラス表面と同等の平滑性を備えたものとする、
各工程を有してなることを特徴とする方法。 - 前記酸溶液が鉱酸であることを特徴とする請求項1記載の方法。
- 前記第1のガラスが、0℃から300 ℃に亘る温度範囲下において35×10−7/℃から60×10−7/℃までの範囲の線熱膨張係数を示すことを特徴とする請求項1記載の方法。
- 前記第1のガラスが、酸化物基準の陽イオンパーセントで表して、50%−65%のSiO2 、10%−20%のAl2 O3 、0%−10%のMgO、0%−20%のB2 O3 、0%−15%のCaO、0%−25%のSrO、0%−10%のBaO、ここでMgO+CaO+SrO+BaOの合計が0%−25%、から実質的になることを特徴とする請求項1記載の方法。
- 前記第1のガラスの歪点および前記第2のガラスの歪点の両方が625 ℃よりも高いことを特徴とする請求項1記載の方法。
- 前記第2のガラスの歪点が前記第1のガラスの歪点から約20℃以内の範囲にあることを特徴とする請求項1記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US08/092,474 US5342426A (en) | 1993-07-16 | 1993-07-16 | Making glass sheet with defect-free surfaces and alkali metal-free soluble glasses therefor |
US092474 | 1993-07-16 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07144937A JPH07144937A (ja) | 1995-06-06 |
JP3682727B2 true JP3682727B2 (ja) | 2005-08-10 |
Family
ID=22233396
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16537894A Expired - Lifetime JP3682727B2 (ja) | 1993-07-16 | 1994-07-18 | 表面に欠陥のないガラスシートの製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5342426A (ja) |
EP (1) | EP0653384A1 (ja) |
JP (1) | JP3682727B2 (ja) |
KR (1) | KR100319348B1 (ja) |
Families Citing this family (84)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5643649A (en) * | 1995-07-31 | 1997-07-01 | International Business Machines Corporation | Method for improving the flatness of glass disk substrates |
JPH09304756A (ja) * | 1996-05-14 | 1997-11-28 | Toppan Printing Co Ltd | 液晶パネル体 |
US6346175B1 (en) | 1997-11-20 | 2002-02-12 | International Business Machines Corporation | Modification of in-plate refractory metal texture by use of refractory metal/nitride layer |
US6086775A (en) * | 1998-03-13 | 2000-07-11 | Lucent Technologies Inc. | Preparation of colored optical fiber for splicing |
TW432020B (en) * | 1998-04-27 | 2001-05-01 | Nh Technoglass Co | Lining material for glass melting furnace, glass melting furnace, production of glass product and purification of lining material for glass melting furnace |
JP2003519884A (ja) * | 2000-01-05 | 2003-06-24 | ショット、グラス、テクノロジーズ、インコーポレイテッド | 磁気媒体用ガラス基材及びそのようなガラス基材に基く磁気媒体 |
US6652935B1 (en) * | 2000-02-28 | 2003-11-25 | Owens-Brookway Glass Container Inc. | Flint/amber laminated glass container and method of manufacture |
KR20020006822A (ko) * | 2000-07-13 | 2002-01-26 | 서두칠 | 무 알칼리 유리 |
US6510707B2 (en) * | 2001-03-15 | 2003-01-28 | Heraeus Shin-Etsu America, Inc. | Methods for making silica crucibles |
US7514149B2 (en) * | 2003-04-04 | 2009-04-07 | Corning Incorporated | High-strength laminated sheet for optical applications |
US20050001201A1 (en) * | 2003-07-03 | 2005-01-06 | Bocko Peter L. | Glass product for use in ultra-thin glass display applications |
US20060207967A1 (en) * | 2003-07-03 | 2006-09-21 | Bocko Peter L | Porous processing carrier for flexible substrates |
US7201965B2 (en) * | 2004-12-13 | 2007-04-10 | Corning Incorporated | Glass laminate substrate having enhanced impact and static loading resistance |
US8007913B2 (en) | 2006-02-10 | 2011-08-30 | Corning Incorporated | Laminated glass articles and methods of making thereof |
US20100215862A1 (en) * | 2009-02-26 | 2010-08-26 | Sinue Gomez | Method for forming an opal glass |
US9302937B2 (en) | 2010-05-14 | 2016-04-05 | Corning Incorporated | Damage-resistant glass articles and method |
TWI519414B (zh) | 2010-06-29 | 2016-02-01 | 康寧公司 | 具有提高機械強度之玻璃片 |
KR101930100B1 (ko) | 2010-11-30 | 2018-12-17 | 코닝 인코포레이티드 | 압축하의 표면 및 중앙 영역을 갖는 유리 |
US9090505B2 (en) | 2011-07-15 | 2015-07-28 | Corning Incorporated | Microwave-based glass laminate fabrication |
TWI572480B (zh) | 2011-07-25 | 2017-03-01 | 康寧公司 | 經層壓及離子交換之強化玻璃疊層 |
CN104395256B (zh) | 2012-02-29 | 2017-09-12 | 康宁股份有限公司 | 高cte乳白玻璃组合物和包括该乳白玻璃组合物的玻璃制品 |
IN2014DN07444A (ja) | 2012-02-29 | 2015-04-24 | Corning Inc | |
US9359251B2 (en) | 2012-02-29 | 2016-06-07 | Corning Incorporated | Ion exchanged glasses via non-error function compressive stress profiles |
TWI614227B (zh) | 2012-02-29 | 2018-02-11 | 康寧公司 | 低cte之無鹼硼鋁矽酸鹽玻璃組成物及包含其之玻璃物件 |
TWI564262B (zh) | 2012-02-29 | 2017-01-01 | 康寧公司 | 高cte之硼矽酸鉀核心玻璃與包含其之玻璃物件 |
US9458044B2 (en) | 2012-07-13 | 2016-10-04 | Corning Incorporated | Methods and apparatuses for producing laminated glass sheets |
CN110698059B (zh) | 2012-10-04 | 2022-07-29 | 康宁股份有限公司 | 由光敏玻璃制成的压缩应力化层合玻璃制品及制备所述制品的方法 |
CN104918782B (zh) | 2012-10-04 | 2018-11-06 | 康宁股份有限公司 | 具有陶瓷相的层合玻璃制品及所述制品的制备方法 |
WO2014055834A1 (en) | 2012-10-04 | 2014-04-10 | Corning Incorporated | Article with glass layer and glass-ceramic layer and method of making the article |
US9212081B2 (en) | 2012-11-21 | 2015-12-15 | Corning Incorporated | Methods of cutting a laminate strengthened glass substrate |
US9266768B2 (en) | 2013-01-21 | 2016-02-23 | Corning Incorporated | High purity nickel molds for optical quality glass forming |
EP2948415A1 (en) | 2013-01-26 | 2015-12-02 | Corning Incorporated | Laminated glass structure and method of manufacture |
WO2014127108A1 (en) * | 2013-02-15 | 2014-08-21 | Corning Incorporated | High volume production of display quality glass sheets having low zirconia levels |
US9340451B2 (en) | 2013-02-28 | 2016-05-17 | Corning Incorporated | Machining of fusion-drawn glass laminate structures containing a photomachinable layer |
US9393760B2 (en) | 2013-02-28 | 2016-07-19 | Corning Incorporated | Laminated glass articles with phase-separated claddings and methods for forming the same |
EP3007897A1 (en) | 2013-06-14 | 2016-04-20 | Corning Incorporated | Method of manufacturing laminated glass articles with improved edge condition |
KR20160020513A (ko) | 2013-06-14 | 2016-02-23 | 코닝 인코포레이티드 | 적층 실링 시트 |
US11079309B2 (en) | 2013-07-26 | 2021-08-03 | Corning Incorporated | Strengthened glass articles having improved survivability |
KR20220003632A (ko) | 2013-08-15 | 2022-01-10 | 코닝 인코포레이티드 | 알칼리-도핑 및 알칼리가-없는 보로알루미노실리케이트 유리 |
WO2015023561A2 (en) | 2013-08-15 | 2015-02-19 | Corning Incorporated | Intermediate to high cte glasses and glass articles comprising the same |
US10202300B2 (en) | 2013-08-23 | 2019-02-12 | Corning Incorporated | Strengthened glass articles, edge-strengthened laminated glass articles, and methods for making the same |
WO2015066120A1 (en) | 2013-11-01 | 2015-05-07 | Corning Incorporated | Apparatus and method for producing a glass sheet |
TWI656022B (zh) | 2013-11-13 | 2019-04-11 | 美商康寧公司 | 疊層玻璃物件及其製造方法 |
US10239778B2 (en) | 2013-12-03 | 2019-03-26 | Corning Incorporated | Apparatus and method for severing a glass sheet |
WO2015084670A1 (en) | 2013-12-03 | 2015-06-11 | Corning Incorporated | Apparatus and method for severing a moving ribbon of inorganic material |
US9517968B2 (en) | 2014-02-24 | 2016-12-13 | Corning Incorporated | Strengthened glass with deep depth of compression |
CN106458700B (zh) * | 2014-03-13 | 2020-03-27 | 康宁股份有限公司 | 玻璃制品及其形成方法 |
CN106457475A (zh) | 2014-03-14 | 2017-02-22 | 康宁股份有限公司 | 嵌入玻璃的传感器及其制造过程 |
KR102421511B1 (ko) | 2014-03-27 | 2022-07-15 | 코닝 인코포레이티드 | 유리 제품 |
JP6568542B2 (ja) | 2014-04-25 | 2019-08-28 | コーニング インコーポレイテッド | 複合ガラス製品を製造する装置及び方法 |
US10549401B2 (en) | 2014-04-29 | 2020-02-04 | Corning Incorporated | Abrasive jet forming laminated glass structures |
TWI649277B (zh) | 2014-05-07 | 2019-02-01 | 美商康寧公司 | 成形玻璃物件及其形成方法 |
KR102433785B1 (ko) * | 2014-05-07 | 2022-08-18 | 코닝 인코포레이티드 | 적층 유리 제품 및 이의 형성방법 |
TWI700473B (zh) | 2014-06-04 | 2020-08-01 | 美商康寧公司 | 用於量測玻璃物品厚度的方法及系統 |
TWI705889B (zh) | 2014-06-19 | 2020-10-01 | 美商康寧公司 | 無易碎應力分布曲線的玻璃 |
US10800698B2 (en) | 2014-08-21 | 2020-10-13 | Corning Incorporated | Methods for preventing blisters in laminated glass articles and laminated glass articles formed therefrom |
US10479719B2 (en) | 2014-08-28 | 2019-11-19 | Corning Incorporated | Apparatus and method for cutting a glass sheet |
EP3194345A1 (en) | 2014-09-16 | 2017-07-26 | Corning Incorporated | Methods for making optical fiber preforms with one step fluorine trench and overclad |
CN115504681A (zh) | 2014-10-07 | 2022-12-23 | 康宁股份有限公司 | 具有确定的应力分布的玻璃制品及其生产方法 |
TWI734317B (zh) | 2014-10-08 | 2021-07-21 | 美商康寧公司 | 含有金屬氧化物濃度梯度之玻璃以及玻璃陶瓷 |
US10150698B2 (en) | 2014-10-31 | 2018-12-11 | Corning Incorporated | Strengthened glass with ultra deep depth of compression |
TWI666189B (zh) | 2014-11-04 | 2019-07-21 | 美商康寧公司 | 深不易碎的應力分佈及其製造方法 |
EP3224209B1 (en) * | 2014-11-26 | 2021-12-15 | Corning Incorporated | Thin glass sheet and system and method for forming the same |
US10364175B2 (en) | 2014-11-28 | 2019-07-30 | Corning Incorporated | Methods for producing shaped glass articles |
KR20170093922A (ko) | 2014-12-08 | 2017-08-16 | 코닝 인코포레이티드 | 낮은 압축을 갖는 적층 유리 제품 및 이를 형성하는 방법 |
CN107108333B (zh) * | 2015-01-20 | 2021-09-21 | 肖特玻璃科技(苏州)有限公司 | 具有高的紫外线透射率和耐晒性的低cte玻璃 |
CN107428599B (zh) | 2015-02-02 | 2020-10-27 | 康宁股份有限公司 | 强化层压玻璃制品边缘的方法及由此形成的层压玻璃制品 |
WO2016126752A1 (en) | 2015-02-04 | 2016-08-11 | Corning Incorporated | System for forming a glass article |
US9902641B2 (en) | 2015-03-20 | 2018-02-27 | Corning Incorporated | Molds for shaping glass-based materials and methods for making the same |
CN107531538A (zh) | 2015-05-01 | 2018-01-02 | 康宁股份有限公司 | 用于控制玻璃片厚度的方法和设备 |
WO2017007868A1 (en) | 2015-07-07 | 2017-01-12 | Corning Incorporated | Apparatuses and methods for heating moving glass ribbons at separation lines and/or for separating glass sheets from glass ribbons |
US11613103B2 (en) | 2015-07-21 | 2023-03-28 | Corning Incorporated | Glass articles exhibiting improved fracture performance |
US10579106B2 (en) | 2015-07-21 | 2020-03-03 | Corning Incorporated | Glass articles exhibiting improved fracture performance |
US10351459B2 (en) | 2015-08-14 | 2019-07-16 | Corning Incorporated | Molds and methods to control mold surface quality |
CN108137396B (zh) * | 2015-10-14 | 2022-04-26 | 康宁股份有限公司 | 具有确定的应力分布的层压玻璃制品及其形成方法 |
WO2017087204A1 (en) | 2015-11-18 | 2017-05-26 | Corning Incorporated | Powder, process of making the powder, and articles made therefrom |
CN108290764B (zh) | 2015-11-20 | 2021-11-26 | 康宁股份有限公司 | 层压玻璃带及用于形成层压玻璃带的设备 |
DE202016008722U1 (de) | 2015-12-11 | 2019-03-21 | Corning Incorporated | Durch Fusion bildbare glasbasierte Artikel mit einem Metalloxidkonzentrationsgradienten |
KR20180132077A (ko) | 2016-04-08 | 2018-12-11 | 코닝 인코포레이티드 | 두 영역을 포함하는 응력 프로파일을 포함하는 유리-계 물품, 및 제조 방법 |
EP3904302A1 (en) | 2016-04-08 | 2021-11-03 | Corning Incorporated | Glass-based articles including a metal oxide concentration gradient |
WO2017184417A2 (en) | 2016-04-19 | 2017-10-26 | Corning Incorporated | Glass forming apparatuses and methods for making glass ribbons |
US11572303B2 (en) | 2016-05-04 | 2023-02-07 | Corning Incorporated | Tinted aluminosilicate glass compositions and glass articles including same |
WO2018013505A1 (en) | 2016-07-15 | 2018-01-18 | Corning Incorporated | Optical waveguide article with laminate structure and method for forming the same |
JP2019528548A (ja) | 2016-07-15 | 2019-10-10 | コーニング インコーポレイテッド | 積層構造を有する照明ユニット |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3338696A (en) * | 1964-05-06 | 1967-08-29 | Corning Glass Works | Sheet forming apparatus |
BE757057A (fr) * | 1969-10-06 | 1971-04-05 | Corning Glass Works | Procede et appareil de controle d'epaisseur d'une feuille de verre nouvellement etiree |
US3673049A (en) * | 1970-10-07 | 1972-06-27 | Corning Glass Works | Glass laminated bodies comprising a tensilely stressed core and a compressively stressed surface layer fused thereto |
US3899314A (en) * | 1974-03-18 | 1975-08-12 | American Optical Corp | Lens manufacturing process |
US4102664A (en) * | 1977-05-18 | 1978-07-25 | Corning Glass Works | Method for making glass articles with defect-free surfaces |
JPS6033221A (ja) * | 1983-08-01 | 1985-02-20 | Asahi Optical Co Ltd | 精密ガラス物品の製造方法 |
US4824808A (en) * | 1987-11-09 | 1989-04-25 | Corning Glass Works | Substrate glass for liquid crystal displays |
US4853349A (en) * | 1988-05-26 | 1989-08-01 | Corning Glass Works | Glass-ceramics suitable for dielectric substrates |
US4880453A (en) * | 1988-12-19 | 1989-11-14 | Corning Incorporated | Method for making glass articles with defect-free surfaces and soluble glasses therefor |
US5100452A (en) * | 1990-05-17 | 1992-03-31 | Corning Incorporated | Making glass articles with defect-free surfaces |
US5116789A (en) * | 1991-08-12 | 1992-05-26 | Corning Incorporated | Strontium aluminosilicate glasses for flat panel displays |
US5116787A (en) * | 1991-08-12 | 1992-05-26 | Corning Incorporated | High alumina, alkaline earth borosilicate glasses for flat panel displays |
US5116788A (en) * | 1991-08-12 | 1992-05-26 | Corning Incorporated | Alkaline earth aluminoborosilicate glasses for flat panel displays |
-
1993
- 1993-07-16 US US08/092,474 patent/US5342426A/en not_active Expired - Lifetime
-
1994
- 1994-06-16 EP EP94109255A patent/EP0653384A1/en not_active Withdrawn
- 1994-07-16 KR KR1019940017225A patent/KR100319348B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1994-07-18 JP JP16537894A patent/JP3682727B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR100319348B1 (ko) | 2002-04-06 |
JPH07144937A (ja) | 1995-06-06 |
EP0653384A1 (en) | 1995-05-17 |
KR950003203A (ko) | 1995-02-16 |
US5342426A (en) | 1994-08-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3682727B2 (ja) | 表面に欠陥のないガラスシートの製造方法 | |
JP3858293B2 (ja) | 無アルカリガラス基板 | |
JP2655224B2 (ja) | フラットパネル表示装置およびその基体用ガラス | |
EP0510543B1 (en) | Alkali free glass | |
JP2990379B2 (ja) | 無アルカリガラス基板 | |
JP3666610B2 (ja) | 無アルカリガラス基板 | |
US4994415A (en) | SiO2 -Al2 O3 -BaO glass substrates with improved chemical resistance for use in display panels and others having thin films | |
EP0510544B1 (en) | Alkali free glass | |
JP2966207B2 (ja) | フラットパネルディスプレー装置 | |
JP3666608B2 (ja) | 無アルカリガラス基板 | |
US6537937B1 (en) | Alkali-free glass | |
JP2654439B2 (ja) | フラットパネルディスプレー装置 | |
KR960000032B1 (ko) | 무알칼리 유리 | |
WO1997011919A1 (fr) | Substrat de verre exempt d'alcalis | |
JP2001151534A (ja) | 液晶ディスプレイ用ガラス基板 | |
EP1996525A1 (en) | Glass compositions having high thermal and chemical stability and methods of making thereof | |
KR20060129348A (ko) | 고 변형점 유리 | |
JP3800443B2 (ja) | ディスプレイ用無アルカリガラス基板及びその製造方法 | |
JP2001220172A (ja) | アルカリ金属不含のアルミノホウケイ酸塩ガラスおよびその使用 | |
JPH02184536A (ja) | 欠陥のない表面を有するガラス品の製造方法 | |
JP4977474B2 (ja) | アルミニウムケイリン酸塩ガラス | |
JP2002029776A (ja) | 耐クラック性に優れた無アルカリガラス | |
JPH0825772B2 (ja) | 電子機器の基板用ガラス | |
JP2001122637A (ja) | ディスプレイ用ガラス基板 | |
JPH01201041A (ja) | ディスプレイ基板用無アルカリガラス |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040914 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041208 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050419 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050518 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090603 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100603 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100603 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110603 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120603 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120603 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130603 Year of fee payment: 8 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |