JP3664075B2 - 同軸状可撓性圧電体チューブの欠陥検出装置、その欠陥検出方法及び同軸状可撓性圧電体ケーブルの製造方法 - Google Patents
同軸状可撓性圧電体チューブの欠陥検出装置、その欠陥検出方法及び同軸状可撓性圧電体ケーブルの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3664075B2 JP3664075B2 JP2000390069A JP2000390069A JP3664075B2 JP 3664075 B2 JP3664075 B2 JP 3664075B2 JP 2000390069 A JP2000390069 A JP 2000390069A JP 2000390069 A JP2000390069 A JP 2000390069A JP 3664075 B2 JP3664075 B2 JP 3664075B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flexible piezoelectric
- coaxial flexible
- piezoelectric tube
- electrode
- defect detection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 230000007547 defect Effects 0.000 title claims description 51
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims description 19
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims 2
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 51
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 17
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims description 11
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 8
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 7
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 7
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims description 6
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 6
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 6
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 claims description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 5
- 239000005060 rubber Substances 0.000 claims description 5
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 238000004040 coloring Methods 0.000 description 17
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 description 9
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 5
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 5
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 239000004709 Chlorinated polyethylene Substances 0.000 description 2
- YACLQRRMGMJLJV-UHFFFAOYSA-N chloroprene Chemical compound ClC(=C)C=C YACLQRRMGMJLJV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 2
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 2
- 229920013716 polyethylene resin Polymers 0.000 description 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 2
- 229910001111 Fine metal Inorganic materials 0.000 description 1
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002033 PVDF binder Substances 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920002981 polyvinylidene fluoride Polymers 0.000 description 1
- 239000011253 protective coating Substances 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 230000002269 spontaneous effect Effects 0.000 description 1
- 229920003051 synthetic elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000005061 synthetic rubber Substances 0.000 description 1
- 239000008399 tap water Substances 0.000 description 1
- 235000020679 tap water Nutrition 0.000 description 1
- BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N tetrafluoroethene Chemical group FC(F)=C(F)F BFKJFAAPBSQJPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002803 thermoplastic polyurethane Polymers 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は同軸状可撓性圧電ケーブルの欠陥検出装置およびその方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
同軸状可撓性圧電ケーブルは、図4に示すように、芯電極1の周囲に同軸状可撓性圧電体2を形成した圧電体チューブ3の外表面に外側電極4を形成し、更に、その周囲に保護被覆層(図示していない)を形成して構成される。
【0003】
従来、可撓性圧電体ケーブルは、以下のようにして分極されていた。
【0004】
文献1(“圧電セラミック粉末と合成ゴムとから成る圧電複合材料、粉体と工業、22巻、1号、50−56頁、1990)では、芯電極1と外側電極4の間に高電圧を印加して、同軸状可撓性複合圧電体2を分極することが示されている。このことは、USP4、568、851にも明示されている。分極により、セラミック粒子の自発分極の方向が電界方向に揃うので、同軸状可撓性複合圧電体2に圧電性が付与される。この点で、分極は重要な役割を担っている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、芯電極1と外側電極4の間に高電圧[(5〜10)kV/mm]を印加したとき、同軸状可撓性複合圧電体2中に微少なクラックや空隙などの欠陥が存在する場合、その欠陥部で微少放電が生じる。この微少放電により、芯電極1や外側電極4を構成する導電材料および可撓性複合圧電体2の構成材料が熱的に蒸発、飛散して、芯電極1と外側電極4間が短絡する。その結果、芯電極1と外側電極4間に高電圧を印加できなくなるので、同軸状可撓性複合圧電体2(通常、数百m以上の長さ)を分極できなくなるという課題があった。このため、分極する前に欠陥の存在位置を特定することが望まれていた。
【0006】
また、芯電極1と外側電極4の間に高電圧を印加するまで、言い換えると、分極することを除いて、同軸状可撓性圧電ケーブルとして完成するまで欠陥の存在を検出できないので、製造が不安定になる、歩留まりが低下するという課題もあった。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記課題を解決するために、芯電極周囲に同軸状可撓性圧電体を形成した圧電体チューブの外周面と接する検査用電極手段と、前記圧電体チューブを巻き取る巻取手段と、前記検査用電極手段と前記芯電極に接続された電圧印加手段とから成る欠陥検出装置を提供する。
【0008】
上記発明によれば、同軸状可撓性圧電体の外周面が検査用電極手段と接触しているので、検査用電極手段は外側電極として作用する。従って、検査用電極手段と芯電極間に直流電圧印加手段により、直流電圧を同軸状可撓性圧電体に印加できる。検査用電極手段に接触している部分の同軸状可撓性圧電体(以下、被検査同軸状可撓性圧電体という)に欠陥が存在する場合、その欠陥部で微少放電が生じる。微小放電に伴い、放電電流が流れたり、音や光が発生するので、欠陥の存在を容易に検出できる。従って、欠陥が被検査同軸状可撓性圧電体に存在することを特定できる。
【0009】
【発明の実施の形態】
本発明の欠陥検出装置では、同軸状可撓性圧電体の外周面が検査用電極手段と接触しているので、検査用電極手段は外側電極として作用する。従って、検査用電極手段と芯電極間に直流電圧印加手段により、直流電圧を同軸状可撓性圧電体に印加できる。
【0010】
微少な欠陥が被検査同軸状可撓性圧電体に含まれるとき、その欠陥部で微少放電が生じる。微小放電に伴い、放電電流が流れたり、音や光が発生するので、欠陥部が被検査同軸状可撓性圧電体に存在する検出できる。
【0011】
また検査用電極手段が導電性フッ素樹脂から構成される。この導電性フッ素樹脂の摩擦抵抗は低いので、被検査同軸状可撓性圧電体が検査用電極手段と接触して移動するとき、被検査同軸状可撓性圧電体を滑らかに巻き取ることができる。
【0012】
また検査用電極手段がフッ素樹脂とカーボン粒子から構成される。カーボン粒子は導電性を有すると共に低摩擦性であるので、同軸状可撓性圧電体を滑らかに巻き取ることができる。
【0013】
また検査用電極手段が導電性液体から構成される。従って、被検査同軸状可撓性圧電体の外周面と導電性液体の密着性に優れるのみならず両者の摩擦を最も小さくできる。
【0014】
また検査用電極手段が導電性水から構成される。同軸状可撓性圧電体の外周面に接触した後、導電性水から成る検査用電極手段から離脱した後、同外周面に付着しても、熱的に容易に蒸発するので、簡単に除去できる。
【0015】
また可撓性圧電体がゴム系樹脂とセラミック圧電体粉末とから構成される。ゴム系樹脂は弾性に富むので、可撓性圧電体が検査用電極手段と密着し易い。
【0016】
また芯電極に接続された直流電圧印加手段の極をアース電位に保持している。従って、芯電極に人体が触れても感電することなく安全性を保つことができる。
【0017】
さらに本発明は、芯電極周囲に同軸状可撓性圧電体を形成した圧電体チューブを、当該圧電体チューブの外周面が検査用電極手段と接するように巻取手段により移動させ、電圧印加手段により前記検査用電極手段と前記芯電極に電圧を印加して欠陥を検出する同軸状可撓性圧電体チューブの欠陥検出方法であり、圧電体チューブが検査用電極手段を経て巻取手段により巻き取られているとき、圧電体チューブの芯線と検査用電極手段間に直流電圧を印加する過程を経て欠陥が検出される。圧電体チューブは連続的に巻き取られている過程で、芯線と検査用電極手段間に直流電圧が印加できるので、欠陥が連続的に検出できる。
【0018】
【実施例】
以下、本発明の実施例について図面を用いて説明する。
【0019】
(実施例1)
図1(a)は本発明の実施例1の同軸状可撓性圧電体欠陥検出装置の構成を示す外観見取図である。芯電極1に対して同軸状に可撓性圧電体2を形成して、圧電体チューブ3が構成される。芯電極1として、コイル状金属線や金属細線を束ねた線などが用いられる。可撓性圧電体2として、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、クロロプレン樹脂、塩素化ポリエチレン樹脂などの高分子母材に、チタン酸ジルコン酸鉛などのセラミック圧電体粉末を添加した複合圧電体やPVDFなどの高分子圧電体が用いられる。
【0020】
圧電体チューブ3は、検査用電極手段5を経て、回転ドラム6から成る巻取手段に巻付けられる。このとき、同軸状可撓性圧電体2の外周面は検査用電極手段5に接触している。検査用電極手段5はリード線7を介して直流電圧発生手段8の一方の極に、また、芯電極1はリード線7‘を介して直流電圧発生手段8の他の極に、それぞれ接続される。なお、図1では、回転ドラム6に巻き付けられた圧電体チューブ3は、黒太線で示してあり、また、その巻付け方向を矢印で示している。
【0021】
検査用電極手段5と芯電極1間に直流電圧印加手段8により、直流電圧が被検査同軸状可撓性圧電体に印加される。このとき、被検査同軸状可撓性圧電体に欠陥が存在する場合、その欠陥部で微少放電が生じる。微小放電に伴い、放電電流が流れたり、音や光が発生するので、欠陥の存在を容易に検出できる。従って、欠陥が被検査同軸状可撓性圧電体に存在することを特定できる。また、圧電体チューブ3が検査用電極手段5を経て回転ドラム6により巻きとられているときに、直流電圧を被検査同軸状可撓性圧電体に印加できるので、連続的に欠陥を検出できる。
【0022】
同軸状可撓性圧電体2の外周面は検査用電極手段5に密着して接触ながら、一方では回転ドラム6により巻き取られている。従って、この外周面は検査用電極手段5と摩擦しつつ、巻き取られる方向に移動するので、検査用電極手段5として、摩擦抵抗の小さな導電性フッ素樹脂であることが好ましい。同軸状可撓性圧電体2の外周面が滑らかに巻き取られることができるからである。導電性フッ素樹脂は、例えば、4フッ化エチレンにカーボン粒子や銀粒子を添加することにより形成できるが、カーボン粒子を添加することが好ましい。カーボン粒子は導電性を有するのみならず、摩擦抵抗も小さいからである。
【0023】
また、検査用電極手段5として、導電性液体もまた好ましい。液体であるので、同軸状可撓性圧電体2の外周面は検査用電極手段5に密着し易く、また、両者の間の摩擦抵抗も最小にできるからである。導電性液体として、ガリウム、インジウムなどの低融点金属溶液あるいは水道水のような導電性水がある。しかし、低融点金属溶液は同軸状可撓性圧電体2の外周面に付着し易く、いったん付着すると物理的に剥離する以外に有効な除去手段が無い点で不利である。他方、導電性水は、たとえ同軸状可撓性圧電体2の外周面に付着しても、熱的に容易に蒸発するので、簡単に除去できる点で優れている。
【0024】
欠陥検出作業の安全性を確保するために、検査用電極手段5を直流電圧印加手段8の正極または負極に接続し、芯電極1をアースに接続することが望ましい。直流電圧部は検査用電極手段5およびリード線7などに限定されるので、これらの部分のみを外界から分離することにより、人体が直流電圧部に接触する可能性を容易に低減できる。他方、芯電極1を直流電圧印加手段10の正極または負極に接続した場合、芯電極1が高電圧に保持されるので、欠陥検出装置全体に直流電圧部が存在する。従って、人体が高電圧部に接触する可能性が大きくなる。
【0025】
(実施例2)
図2は本発明の実施例2の同軸状可撓性圧電体欠陥検出装置の構成を示す外観見取図である。
【0026】
第1着色手段9が検査用電極手段5の前に配置され、また、第2着色手段10が検査用電極手段5の後ろに配置されている。欠陥部で発生する微小放電に伴う放電電流または音や光により、欠陥が検出されたとき、第1着色手段9と第2着色手段10を動作させて、被検査同軸状可撓性圧電体の前後の部分を着色できる。従って、欠陥の存在する部分を視覚的に明確に特定できる。
【0027】
(実施例3)
図3は本発明の実施例3の同軸状可撓性圧電体欠陥検出装置の構成を示す外観見取図である。
【0028】
電流検出手段11が芯電極1と直流電圧印加手段8間に設けられ、電流判定手段12が電流検出手段11に接続される。また、第1着色手段9、第2着色手段10および電流スイッチ手段13が電流判定手段12に接続される。第1着色手段9、第2着色手段10および電流スイッチ手段13は、電流判定手段12の電流判定信号に応じて、それぞれ、オン・オフする。
【0029】
前述したように、同軸状可撓性圧電体2中に微少な欠陥が含まれ、その部分が検査用電極手段5と接触しているとき、欠陥部で微少な放電生じる。このとき、放電電流が、芯電極1と検査用電極手段5と間に流れる。欠陥が含まれていない場合でも僅かな定常電流は、常時、流れるが、この放電電流は、定常電流よりも一桁以上大きい。従って、電流値によって、欠陥に起因する放電が生じたかどうかを判定できる。
【0030】
電流判定手段12は、電流検出手段11により検出された電流値が所定の値以上であるかどうかを判定して、例えば、所定値以上の場合にのみ、一定の電流判定信号を出力する。このように、一定の電流判定信号を放電発生に対応できる。出力された一定の電流判定信号が第1着色手段9、第2着色手段10および電流スイッチ手段13に入力されたとき、第1着色手段9、第2着色手段10およびスイッチ13を、それぞれ、駆動する。従って、放電が発生したとき、可撓性圧電体2の表面を第1着色手段9と第2着色手段10により着色できると共に電流スイッチ手段13をオフできる。これにより、欠陥の存在する範囲を自動的に特定できると共に過電流による直流電圧印加手段8の破損も自動的に防止できる。
【0031】
また、電流スイッチ手段13がオフになって以後に、第1着色手段9により着色された圧電体チューブ表面が検査用電極手段5を離脱したとき、電流スイッチ手段13をオンにすることにより、欠陥検査を再び開始できる。このとき、被検査同軸状可撓性圧電体に欠陥が存在しなければ、電流判定手段12からの一定の電流判定信号は出力されないので、オフ状態にあった電流スイッチ手段13をオン状態に復帰させることは、コイルの電磁力の利用により容易にできる。
【0032】
なお、可撓性圧電体2として、前述したように種々の材料が用いられるが、ゴム系樹脂にチタン酸ジルコン酸鉛などのセラミック圧電体粉末を添加した複合圧電体が優れている。ゴム系樹脂として、塩素化ポリエチレン樹脂やクロロプレン樹脂が用いられる。この種複合圧電体は、弾性に富むので、可撓性圧電体2が検査用電極手段5に密着し易いからである。
【0033】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、検査用電極手段に接触する可撓性圧電体部に微少な欠陥が含まれる場合、欠陥の存在する範囲を検出できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施例1における欠陥検出装置の構成を示す外観見取図
【図2】 本発明の実施例2における欠陥検出装置の構成を示す外観見取図
【図3】 本発明の実施例3における欠陥検出装置の構成を示す外観見取図
【図4】 従来の同軸状可撓性圧電素子の構成を示す外観斜視図
【符号の説明】
1 芯電極
2 同軸状可撓性圧電体
3 圧電体チューブ
5 検査用電極手段
6 回転ドラム
7 リード線
7’ リード線
8 直流電圧印加手段
9 第1着色手段
10 第2着色手段
11 電流検出手段
12 電流判定手段
13 電流スイッチ手段
Claims (10)
- 芯電極周囲に同軸状可撓性圧電体を形成した圧電体チューブの外周面と接する検査用電極手段と、前記圧電体チューブを巻き取る巻取手段と、前記検査用電極手段と前記芯電極に接続された電圧印加手段とから成る同軸状可撓性圧電体チューブの欠陥検出装置。
- 芯電極周囲に同軸状可撓性圧電体を形成した圧電体チューブと、前記圧電体チューブを巻き取る巻取手段と、検査用電極手段と前記芯電極に接続された電圧印加手段とから成り、前記圧電体チューブは、その外周面と前記検査用電極手段の間で摩擦を生じて移動する同軸状可撓性圧電体チューブの欠陥検出装置。
- 検査用電極手段が、導電性フッ素樹脂から成る請求項1または2記載の同軸状可撓性圧電体チューブの欠陥検出装置。
- 検査用電極手段が、フッ素樹脂とカーボン粒子から成る請求項3記載の同軸状可撓性圧電体チューブの欠陥検出装置。
- 検査用電極手段が、導電性液体から成る請求項1または2記載の同軸状可撓性圧電体チューブの欠陥検出装置。
- 検査用電極手段が、導電性水から成る請求項5記載の同軸状可撓性圧電体チューブの欠陥検出装置。
- 可撓性圧電体が、ゴム系樹脂とセラミック圧電体粉末とから成る請求項1または2記載の同軸状可撓性圧電体チューブの欠陥検出装置。
- 芯電極に接続された直流電圧印加手段の極をアース電位に保持する請求項1または2記載の同軸状可撓性圧電体チューブの欠陥検出装置。
- 芯電極周囲に同軸状可撓性圧電体を形成した圧電体チューブを、当該圧電体チューブの外周面が検査用電極手段と接するように巻取手段により移動させ、電圧印加手段により前記検査用電極手段と前記芯電極に電圧を印加して欠陥を検出する同軸状可撓性圧電体チューブの欠陥検出方法。
- 請求項9に記載の同軸状可撓性圧電体チューブの欠陥検出方法を実施するステップと、同軸状可撓性圧電体チューブの外側電極を形成して同軸状可撓性圧電ケーブルとして完成するステップとを備えた同軸状可撓性圧電ケーブルの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000390069A JP3664075B2 (ja) | 2000-12-22 | 2000-12-22 | 同軸状可撓性圧電体チューブの欠陥検出装置、その欠陥検出方法及び同軸状可撓性圧電体ケーブルの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000390069A JP3664075B2 (ja) | 2000-12-22 | 2000-12-22 | 同軸状可撓性圧電体チューブの欠陥検出装置、その欠陥検出方法及び同軸状可撓性圧電体ケーブルの製造方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002190218A JP2002190218A (ja) | 2002-07-05 |
JP3664075B2 true JP3664075B2 (ja) | 2005-06-22 |
JP2002190218A5 JP2002190218A5 (ja) | 2005-07-21 |
Family
ID=18856497
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000390069A Expired - Fee Related JP3664075B2 (ja) | 2000-12-22 | 2000-12-22 | 同軸状可撓性圧電体チューブの欠陥検出装置、その欠陥検出方法及び同軸状可撓性圧電体ケーブルの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3664075B2 (ja) |
-
2000
- 2000-12-22 JP JP2000390069A patent/JP3664075B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2002190218A (ja) | 2002-07-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN101796618B (zh) | 在等离子体处理设备中实时诊断部件状况的方法和装置 | |
JP3664075B2 (ja) | 同軸状可撓性圧電体チューブの欠陥検出装置、その欠陥検出方法及び同軸状可撓性圧電体ケーブルの製造方法 | |
WO2005003707A1 (ja) | 感圧センサ | |
KR100594499B1 (ko) | 동축상 가요성 압전체 케이블의 결함 검출 장치 및 결함검출 방법 | |
JP2002185058A (ja) | 同軸状可撓性圧電ケーブルの分極装置と分極方法 | |
JP4057182B2 (ja) | 部分放電判定方法 | |
JP2006080366A (ja) | ケーブル状圧電素子及びそれを用いた振動検知センサ | |
JP2002340862A (ja) | 同軸状可撓性圧電体ケーブルの欠陥検出装置および検出方法 | |
JP2002252391A (ja) | 同軸状可撓性圧電体チューブの分極装置 | |
JP2002252389A (ja) | 同軸状可撓性圧電体チューブの分極装置および分極方法 | |
JP2003045248A (ja) | 同軸状可撓性圧電体ケーブルの欠陥検出装置及び欠陥検出方法 | |
JP2006284265A (ja) | ケーブル状圧力センサの分極装置およびその分極方法 | |
JP2010266340A (ja) | 電流センサ | |
JP2006184064A (ja) | ケ−ブル状圧力センサの分極装置およびその分極方法 | |
JP3651712B2 (ja) | 電気絶縁材料の絶縁欠陥検出方法及び検出装置 | |
JPH11148960A (ja) | 空間電荷測定方法 | |
JP2002252392A (ja) | 同軸状可撓性圧電体チューブの分極装置および分極方法 | |
JPH0839441A (ja) | 部品把持具 | |
JP2000214004A5 (ja) | ||
JP6872709B1 (ja) | 表面研磨用治具、特性検出装置及び表面研磨装置 | |
JP2002280633A (ja) | 同軸状可撓性圧電ケ−ブルの分極装置と分極方法 | |
JPH038544B2 (ja) | ||
JP2005175043A (ja) | ケ−ブル状圧力センサの分極装置およびその分極方法 | |
JP6817646B2 (ja) | 微物採取方法及びその方法に用いる微物採取用シート構造 | |
JP2006098273A (ja) | テープ残量検知装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20041115 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041126 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050105 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050202 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050308 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050321 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080408 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090408 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100408 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110408 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120408 Year of fee payment: 7 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |