JP3660569B2 - 結晶性基板の劈開方法 - Google Patents
結晶性基板の劈開方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3660569B2 JP3660569B2 JP2000247424A JP2000247424A JP3660569B2 JP 3660569 B2 JP3660569 B2 JP 3660569B2 JP 2000247424 A JP2000247424 A JP 2000247424A JP 2000247424 A JP2000247424 A JP 2000247424A JP 3660569 B2 JP3660569 B2 JP 3660569B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- guide groove
- substrate
- cleavage
- triangle
- cleaving
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Semiconductor Lasers (AREA)
- Dicing (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体レーザの製造などに利用される結晶性基板の劈開方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
半導体レーザ,半導体光増幅器、半導体光変調器,光導波路素子などの半導体基板を用いた光素子において、劈開面を光入出力端面として用いることが提案されている。光入出力端面となる劈開面を作製する方法として、ダイヤモンドスクライバなどで所定の半導体層が積層された基板の一部に溝を形成し、この溝に沿って劈開を行う手法がある。また、エッチングにより上記基板の一部に溝を形成し、この溝をガイド溝として劈開を行う方法も提案されている。
【0003】
この劈開方法では、図7に示すように、活性層702などの素子が形成された化合物半導体からなる基板701を用意し、まず、所望とする劈開面が形成される基板701の主表面上の線と、基板701の一方の端部とが交差する箇所に、溝703を形成する。次いで、溝703形成部の基板701裏面に、楔形の治具706の刃の部分を当て、基板701上部より治具706方向に所定の力を加えることで、基板701の劈開を行う。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところが、上述した従来の劈開方法では、劈開の位置精度として±1μm以上の誤差を含んでいたので、劈開面の厳密な位置制御が非常に困難であるという問題があった。したがって、設計通りの位置で劈開することが困難なため、例えば、上記光素子の素子長が、±1μm以内の精度で設計値通りなるように、素子を形成することができなかった。
【0005】
本発明は、以上のような問題点を解消するためになされたものであり、従来より精度の高い位置精度で劈開できるようにすることを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明の結晶性基板の劈開方法は、結晶性を有する基板の主表面の端部から基板中央部の方向に延在し、底辺が端部に重なる三角形を底面とする三角柱に形成された平面視三角形のガイド溝を形成し、基板の裏面のガイド溝形成部に対向する位置に応力を加え、ガイド溝の延在方向に基板を劈開しようとしたものである。この発明によれば、三角柱のガイド溝の基板中央側先端が、劈開の開始点となる。上記発明において、三角形は、2つの隣辺の長さが等しい二等辺三角形であればよい。また、ガイド溝は、選択的なエッチングにより形成すればよい。
【0008】
また、本発明の結晶性基板の劈開方法は、結晶性を有する基板の主表面の端部から基板中央部の方向に延在し、底辺が端部に重なる三角形を底面とする平面視三角形状の三角柱部分と、三角形の2つの隣辺の交点である頂点部分に連続する長方形状を底面とする矩形溝部分とからなるガイド溝を形成し、基板の裏面のガイド溝形成部に対向する位置に応力を加え、ガイド溝の延在方向に基板を劈開しようとしたものである。
この発明によれば、ガイド溝の基板中央側の矩形部分の先端が、劈開の嘉一箇所となる。
上記発明において、ガイド溝は、選択的なエッチングにより形成すればよい。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について図を参照して説明する。
図1は、本発明の実施の形態における劈開方法の参考例を説明するための斜視図(a)と断面図(b)である。この例は、図1(a)に示すように、例えばn形のInPからなる結晶性の基板101上に、活性領域102などの素子を形成した後、基板101の主表面の端部から基板中央部の方向に延在するように、主ガイド溝107とこれに連続した状態で副ガイド溝108を形成し、これら形成部分の基板101裏面に楔形の治具106の刃の部分を当て、基板101上部より治具106方向に所定の力を加えることで、基板101の劈開を行うようにしたものである。
【0010】
なお、活性領域102は、図1(b)に示すように、基板101上に形成されたn-形のInPからなる下部クラッド層121と、バンドギャップ波長が1.5μmのInGaAsPからなる活性層122と、p-形のInPからなる上部クラッド層123とからなり、周囲が半絶縁性InPからなる埋め込み層124で埋め込まれている。すなわち、基板101上には、複数のダブルへテロ埋め込みレーザ構造(半導体レーザ)が、等間隔に形成されている。下部クラッド層121,活性層122,上部クラッド層123は、有機金属気相成長法により基板101上に各層を構成する化合物半導体を結晶成長し、これらを炭化水素系のエッチングガスを用いたドライエッチングで選択的にエッチングすることにより形成できる。
【0011】
ここで、主ガイド溝107と副ガイド溝108に関して説明する。まず、主ガイド溝107と副ガイド溝108は、平面視中心線が一致し、連続した状態で形成されている。また、副ガイド溝108の幅wは、主ガイド溝107の幅Wより狭い。例えば、副ガイド溝108の幅wは1μm以下である。また、副ガイド溝108の長さlは、1μm以上あればよい。加えて、副ガイド溝108と主ガイド溝107とは同じ深さに形成され、主ガイド溝107の深さDは、主ガイド溝107の幅Wより深く形成されている(D>W)。
【0012】
つぎに、主ガイド溝107,副ガイド溝108の形成に関して説明する。まず、図2(a)に示すように、上述した活性領域102,埋め込み層124が形成された基板101を用意する。つぎに、約膜厚0,2μm程度の酸化シリコン膜を形成し、この上に主ガイド溝を形成するための幅10μm長さ1000μmの開口部と、副ガイド溝を形成するための幅1μm長さ5μmの開口部とを備えたレジストパタンを、公知のフォトリソグラフィ技術により形成する。次いで、例えばCF4をエッチングガスとした反応性イオンエッチングを用い、レジストパタンをマスクとして酸化シリコン膜を選択的にエッチング除去し、この後レジストパタンを除去することで、図2(b)に示すように、埋め込み層124上に、マスクパタン201を形成する。
【0013】
つぎに、マスクパタン201をマスクとし、臭化ガスと窒素との混合ガスをエッチングガスとした反応性イオンビームエッチングにより、埋め込み層124および基板101を所定深さ(約19μm)までエッチングする。この後、図2(c)に示すように、マスクパタン201を除去し、活性領域102上にリフトオフ法を用いて電極109を形成し、基板裏面に電極110を形成した。以上のことにより、基板101の活性領域102の延在方向に平行な端部に、複数の主ガイド溝107と副ガイド溝108とが形成される。
【0014】
この後、主ガイド溝107形成部分の基板101裏面に、図1(a)に示した治具106の刃の部分を当て、基板101の劈開を行うことで、副ガイド溝108の形成位置に対して±1μm以内の位置精度で劈開され、レーザアレーバー形状が形成される。図1の参考例によれば、主ガイド溝107に連結して形成された副ガイド溝108が、位置決めのガイドとなり、副ガイド溝108の先端部が劈開の開始点となる。このため、図1の参考例によれば、劈開の開始点の位置を、副ガイド溝108先端部の幅wの1/2程度と、非常に高い精度とすることができる。
【0015】
つぎに、本発明の実施の形態について説明する。
図3は、本発明の実施の形態における劈開方法を説明するための斜視図である。本実施の形態では、図3に示すように、基板101上に、活性領域102,埋め込み層124を形成した後、平面視三角形(三角柱)のガイド溝301を形成し、ガイド溝301形成部分の基板101裏面に治具106の刃の部分を当て、基板101上部より治具106方向に所定の力を加えることで、基板101の劈開を行うようにしたものである。また、基板101(埋め込み層124)上に、三角形の頂点に矩形を連結させた形状のガイド溝302を形成し、ガイド溝301形成部分の基板101裏面に治具106の刃の部分を当て、基板101の劈開を行うようにしたものである。
【0016】
まず、ガイド溝301は、例えば、基板101のストライプ状に形成された活性領域102に平行な辺(端部)の部分に底辺がある二等辺三角形(図4(b))を底面とする三角柱である。なお、ガイド溝301の底面の三角形は、二等辺三角形である必要はなく、2つの隣辺の長さが異なっていてもよい。
また、ガイド溝301の底面の三角形は、例えば、三角形の底辺の中点と頂点とを結ぶ線分の頂点側の延在方向が、基板101中央部の方向である劈開方向となっていればよい。三角柱の底面が二等辺三角形の場合、劈開方向は、基板101のストライプ状に形成された活性領域102に平行な辺(端部)に直交する。
【0017】
治具106による劈開作業によって形成される劈開面は、ガイド溝が形成された表面において、応力が最も強く係る部位を結びながら誘導される。三角柱のガイド溝301の場合、三角形の辺(溝の側面と底面の交線)に沿って応力が集中し、三角形の頂点(2つの溝側面が交わる箇所の上端部)において最も応力が強くなる。三角柱のガイド溝301の辺に沿って劈開面が誘導され、三角形の頂点に終端されることから、劈開面が誘起される部位が、幾何学的に一意に決定される。したがって、三角柱のガイド溝301によれば、劈開位置を高精度に決定することができる。
【0018】
ところで、劈開面の形成位置の精度が、設定した位置から±αずれてもよい場合、ガイド溝302のように、三角形の頂点に連続して幅2αの矩形溝を備えるようにしてもよい(図4(b))。この場合、ガイド溝302先端に設けられた矩形部分の幅2αの半分(α)の範囲で、劈開位置を制御できる。なお、三角柱のガイド溝を用いる場合は、劈開のために加えられた応力が一点に集中するようになるため、ガイド溝を幅より深く形成する必要はない。
また、本実施の形態のように、ガイド溝301,302を利用して結晶性基板を劈開する場合、劈開作業用に用いられる楔形の治具の刃の部分を当接させる位置合わせを高精度に行わなくても、劈開面形成位置を高精度に決めることができる。
【0019】
つぎに、ガイド溝301の形成に関して説明する。まず、図5(a)に示すように、上述した活性領域102,埋め込み層124が形成された基板101を用意する。つぎに、約膜厚0,2μm程度の酸化シリコン膜を形成し、この上にガイド溝を形成するための先端の角度4°,底辺から先端まで1000μmの二等辺三角形の開口部を備えたレジストパタンを、公知のフォトリソグラフィ技術により形成する。次いで、例えばCF4をエッチングガスとした反応性イオンエッチングを用い、レジストパタンをマスクとして酸化シリコン膜を選択的にエッチング除去し、この後レジストパタンを除去することで、図5(b)に示すように、埋め込み層124上に、マスクパタン501を形成する。
【0020】
つぎに、マスクパタン501をマスクとし、ハロゲン系の混合ガスをエッチングガスとした反応性イオンビームエッチングにより、埋め込み層124および基板101を所定深さ(約3μm)までエッチングする。この後、図5(c)に示すように、マスクパタン501を除去し、活性領域102上にリフトオフ法を用いて電極109を形成し、基板裏面に電極110を形成した。以上のことにより、基板101の活性領域102の延在方向に平行な端部に、複数のガイド溝301が形成される。
【0021】
この後、ガイド溝301形成部分の基板101裏面に、治具106(図3)の刃の部分を当て、基板101の劈開を行うことで、ガイド溝301の頂点位置から劈開され、レーザアレーバー形状が形成される。本実施の形態によれば、三角柱のガイド溝301が、位置決めのガイドとなり、ガイド溝301の三角形の頂点部が劈開の開始点となる。このため、本実施の形態によれば、劈開の開始点の位置を、上記頂点位置に一意に決定でき、非常に高い精度とすることができる。なお、図3および図4(b)に示したガイド溝302も、上述したことにより、ガイド溝301と同様に形成できる。
【0022】
以上のようにして劈開した場合の劈開の開始位置が、設定した位置からずれた距離を測定した結果を、図6に示す。まず、図6(a)は、図1に示した主ガイド溝107,副ガイド溝108を形成して劈開した場合を示している。主ガイド溝107,副ガイド溝108を用いた場合、図6(a)に示されるように、設定位置に対して、±1μm以内の位置精度で劈開を行うことができた。
【0023】
また、図6(b)は、図3および図4(a)に示した三角柱のガイド溝301を形成して劈開した場合を示している。三角柱のガイド溝301を用いた場合、図6(b)に示されるように、設定位置に対して±1μm以内の位置精度で劈開を行うことができた。
また、図6(c)は、図3および図4(b)に示したガイド溝302を形成して劈開をした場合を示している。先端に幅1μmの矩形溝を連結した三角柱のガイド溝302を用いた場合、図6(c)に示されるように、設定位置に対して±0.5μm以内の位置精度で劈開を行うことができた。
なお、上述では、InPを基板とした半導体レーザを形成する場合を例に説明したが、本発明はこれに限るものではなく、例えばGaAsを基板とした半導体レーザの出射端面を形成するための劈開に適用できることはいうまでもない。
【0024】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、劈開の開始位置を精度よく制御できるので、従来より精度の高い位置精度で劈開できるという優れた効果が得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施の形態における劈開方法を説明するための参考例を示す斜視図(a)と断面図(b)である。
【図2】 図1に示す形態の劈開方法を説明するための工程図である。
【図3】 本発明の実施の形態における劈開方法を説明するための斜視図である。
【図4】 図3に示す実施の形態におけるガイド溝の形状を示す平面図である。
【図5】 本発明の他の形態における劈開方法を説明するための工程図である。
【図6】 本発明の実施の形態における効果を示す統計図である。
【図7】 従来の劈開方法を説明するための斜視図である。
【符号の説明】
101…基板、102…活性領域、106…治具、107…主ガイド溝、108…副ガイド溝、109,110…電極、121…下部クラッド層、122…活性層、123…上部クラッド層、124…埋め込み層、301,302…ガイド溝。
Claims (5)
- 結晶性を有する基板の主表面の端部から前記基板中央部の方向に延在し、底辺が前記端部に重なる三角形を底面とする三角柱に形成された平面視三角形のガイド溝を形成し、
前記基板の裏面の前記ガイド溝形成部に対向する位置に応力を加え、
前記ガイド溝の延在方向に前記基板を劈開する
ことを特徴とする結晶性基板の劈開方法。 - 請求項1記載の結晶性基板の劈開方法において、前記三角形は、2つの隣辺の長さが等しい二等辺三角形であることを特徴とする結晶性基板の劈開方法。
- 請求項1または2記載の結晶性基板の劈開方法において、前記ガイド溝は、選択的なエッチングにより形成することを特徴とする結晶性基板の劈開方法。
- 結晶性を有する基板の主表面の端部から前記基板中央部の方向に延在し、底辺が前記端部に重なる三角形を底面とする平面視三角形状の三角柱部分と、前記三角形の2つの隣辺の交点である頂点部分に連続する長方形状を底面とする矩形溝部分とからなるガイド溝を形成し、
前記基板の裏面の前記ガイド溝形成部に対向する位置に応力を加え、
前記ガイド溝の延在方向に前記基板を劈開する
ことを特徴とする結晶性基板の劈開方法。 - 請求項4記載の結晶性基板の劈開方法において、前記ガイド溝は、選択的なエッチングにより形成することを特徴とする結晶性基板の劈開方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000247424A JP3660569B2 (ja) | 2000-08-17 | 2000-08-17 | 結晶性基板の劈開方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000247424A JP3660569B2 (ja) | 2000-08-17 | 2000-08-17 | 結晶性基板の劈開方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002064237A JP2002064237A (ja) | 2002-02-28 |
JP3660569B2 true JP3660569B2 (ja) | 2005-06-15 |
Family
ID=18737522
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000247424A Expired - Fee Related JP3660569B2 (ja) | 2000-08-17 | 2000-08-17 | 結晶性基板の劈開方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3660569B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4832221B2 (ja) * | 2006-09-01 | 2011-12-07 | パナソニック株式会社 | 半導体レーザ装置の製造方法 |
US7718454B2 (en) | 2007-02-15 | 2010-05-18 | Mitsubishi Electric Corporation | Method for manufacturing a semiconductor laser |
JP2015231021A (ja) | 2014-06-06 | 2015-12-21 | 三菱電機株式会社 | 半導体レーザー装置およびその製造方法 |
JP7336377B2 (ja) * | 2019-12-12 | 2023-08-31 | シャープ福山レーザー株式会社 | 半導体レーザ素子 |
-
2000
- 2000-08-17 JP JP2000247424A patent/JP3660569B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2002064237A (ja) | 2002-02-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US5684902A (en) | Semiconductor laser module | |
KR19990077668A (ko) | 반도체 장치, 그의 제조 방법 및 반도체 장치를 제조하기 위한 기판 | |
US6108481A (en) | Optical semiconductor device and its manufacturing method | |
JP3660569B2 (ja) | 結晶性基板の劈開方法 | |
JP2009076860A (ja) | エッチングされるのではなく成長するリッジ構造を有する集積光半導体デバイスおよびそのデバイスの作製方法 | |
JP3660570B2 (ja) | 結晶性基板の劈開方法 | |
US5976904A (en) | Method of manufacturing semiconductor device | |
US8889445B2 (en) | Method for manufacturing semiconductor optical device and semiconductor optical device | |
US7083994B2 (en) | Method of manufacturing a semiconductor device with outline of cleave marking regions and alignment or registration features | |
JPS5914914B2 (ja) | 半導体レ−ザの製造方法 | |
JP2003086900A (ja) | 半導体レーザ装置、半導体レーザ装置の製造方法 | |
JP3315185B2 (ja) | 半導体光素子製造用アライメントマーカの製造方法 | |
JP3754995B2 (ja) | 半導体光素子 | |
JP3287331B2 (ja) | 半導体光素子の製造方法 | |
US20100291718A1 (en) | Method of fabricating semiconductor laser | |
JPS603182A (ja) | 半導体レ−ザ素子の製造方法 | |
JPH08162706A (ja) | 集積化半導体光素子の製造方法 | |
JP2001127378A (ja) | 半導体集積素子とその製造方法 | |
JP3439751B2 (ja) | マスクアライメント方法 | |
JP7308948B2 (ja) | レーザー素子及びその製造方法 | |
JP2004303899A (ja) | 結晶性基板の劈開方法 | |
JP3175688B2 (ja) | 光接続装置およびその製造方法 | |
JPH10256664A (ja) | 光半導体装置のマーカ形成方法 | |
EP0872926A1 (en) | Optical semiconductor module | |
JP2002071992A (ja) | 光半導体素子の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040227 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20041207 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050207 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050315 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050317 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080325 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090325 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090325 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100325 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110325 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110325 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120325 Year of fee payment: 7 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |