JP3653227B2 - 半導体装置およびその製造方法並びにこれに用いる半導体チップ接着用フィルム - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体チップ接着用フィルムを適用した半導体装置、その半導体装置の製造方法、および信頼性に優れた半導体装置を得ることが可能な実装方法に供される半導体チップ接着用フィルム、に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
微細な電極間隔を有する半導体チップを高密度に実装する方法として、配線基板上に設けた熱硬化性の半導体チップ接着用フィルム(以下、単に接着用フィルムと言う)に、加熱した半導体チップを押し付けることによって半導体チップを配線基板上に機械的かつ電気的に接続するフリップチップ実装法が有効である。
【0003】
従来の接着用フィルムは大別して3種類あった。すなわち、粒径5μmの導電粒子を含有した樹脂系接着剤からなる単層の接着用フィルム(以下、接着用フィルムIと言う)、導電粒子を含有する樹脂系接着剤からなる第1の接着層と導電粒子を含有しない樹脂系接着剤からなる第2の接着層の2層で構成された接着用フィルム(以下、接着用フィルムIIと言う)、導電粒子を含有しない樹脂系接着剤のみからなる単層の接着用フィルム(以下、接着用フィルムIIIと言う)を用いる方法である。ちなみに導電粒子を含有した接着用フィルムは、特に異方性導電接着用フィルムと呼ばれる。
【0004】
以下、図を用いて各接着用フィルムを用いた場合の半導体チップの実装方法を説明する。
【0005】
従来の導電粒子を含有した樹脂系接着剤からなる単層の接着用フィルムIを用いて半導体チップを実装する方法を図8に示す。かかる半導体チップの接続構造の一例は、特開昭60−180132号公報中の図1に開示されている。
【0006】
図中、2は導電粒子、4は半導体チップ、5は半導体チップ側の電極、6は配線基板、7は配線基板上の電極、105は導電粒子2を含有した樹脂系接着剤からなる単層の接着用フィルム(接着用フィルムI)、205は加熱硬化後の接合層、をそれぞれ示す。
【0007】
図8(a)は接着用フィルム105を配線基板6上に貼りつけた状態の断面図であり、図8(b)は約200℃に加熱した半導体チップ4を押し付けた状態の断面図、をそれぞれ示す。
【0008】
図8(b)に示すように、半導体チップ側の電極5と配線基板上の電極7で単層の接着用フィルム105に含有された導電粒子2をはさむことによって、半導体チップ4と配線基板6間の電気的接続を実現している。
【0009】
図9は従来の導電粒子を含有する樹脂系接着剤からなる第1の接着層と導電粒子を含有しない樹脂系接着剤からなる第2の接着層の2層からなる接着用フィルムIIを用いて半導体チップを実装する方法を示している。かかる実装方法は、エレクトロニクス実装学会誌、Vol. 2、No.2、99〜103ページ、(1999)の「フリップチップ接続用異方導電材料」竹村他、に記載されている。
【0010】
図中、106aは導電粒子2を含有する樹脂系接着剤からなる第1の接着層、106bは導電粒子2を含有しない樹脂系接着剤からなる第2の接着層、206は加熱硬化後の接合層、をそれぞれ示す。
【0011】
図9(a)は配線基板6に接着用フィルム106を貼りつけた状態の断面図、図9(b)は約200℃に加熱した半導体チップ4を押し当てた状態の断面図、をそれぞれ示す。
【0012】
加熱した半導体チップ4を配線基板6に押し付けた際に、導電粒子2が第2の接着層106bに分散し、半導体チップ側の電極5間,また配線基板上の電極7間でそれぞれ導電粒子2の凝集の発生を防止できるため、半導体チップ4の複数の電極5間の高絶縁性を維持しつつ、半導体チップ側の電極5と配線基板上の電極7で導電粒子2をはさんで半導体チップ4と配線基板6を電気的に接続することによって、電極5の間隔の小さな半導体チップ4においても、実装を可能にしている。
【0013】
図10は従来の導電粒子2を含有しない樹脂系接着剤からなる単層の接着用フィルム(接着用フィルムIII)を用いた半導体チップの実装方法を示す。かかる半導体チップの接続構造は特開平9−97816号公報中の図1に開示されている。
【0014】
図10(a)は配線基板6に接着用フィルム107を貼りつけた状態の断面図、図10(b)は約200℃に加熱した半導体チップ4を押し付けた状態の断面図、をそれぞれ示す。図中、207は加熱硬化後の接合層を示す。
【0015】
半導体チップ4と配線基板6の電気的接続は、半導体チップ側の電極5と配線基板上の電極7の機械的接触によって得られる。つまり、半導体チップ4上に設けられた電極5が変形する際に周囲の樹脂系接着剤107を排除することによって、半導体チップ側の電極5と配線基板上の電極7の機械的接触が得られ、この結果、半導体チップ4と配線基板6の電気的接続を実現している。
【0016】
図11は、従来の導電粒子を含有しない樹脂系接着剤からなる単層の接着用フィルムを用いた半導体チップの実装方法を示す。かかる半導体チップの接続方法は特開平10−335373号公報中の図1に開示されている。
【0017】
図11(a)は予め配線基板6上に配置した接着用フィルム109をとおして、半導体チップ4を押し付け、超音波振動12を加えて半導体チップ4と配線基板6とを接合した状態の断面図である。図11(b)は接着用フィルム109を加熱して接合層209を硬化した状態の断面図を示す。超音波振動12により固相接合された半導体チップ4側の電極5と配線基板6側の電極7を介して、半導体チップ4と配線基板6は電気的に接続されている。
【0018】
【発明が解決しようとする課題】
以上に説明した接着用フィルムI,II,IIIは下記の問題点があった。
【0019】
導電粒子2を含有した樹脂系接着剤からなる単層の接着用フィルム105(接着用フィルムI、図8)では、加熱した半導体チップ4を押し付けた際に接着用フィルム105を構成する樹脂系接着剤の粘度が液状化により低下し、樹脂系接着剤自体が流動する。この結果、半導体チップ側の電極5、配線基板上の電極7間ではさみこんで捕捉できる導電粒子2の数が本来の導電粒子の含有量から補足できうると見積もられる値より大幅に減少するため、導通抵抗が増大する問題があった。
【0020】
樹脂系接着剤の流動を抑えるために接着用フィルム105全体に一様に非導電粒子を混入する方法が有効であるが、非導電粒子混入によってもたらされた接着用フィルム全体の流動性低下のため、図12に示すように、加熱硬化後に半導体チップ4の周側部に排出した接合層208が半導体チップ4周側部に沿って円弧形状にならずに半導体チップ4下端部から離れた部分で盛り上がる形状、すなわち凸部形状11を有するため、半導体チップ4と配線基板6間の機械的強度が低下する問題があった。
【0021】
導電粒子2を含有する樹脂系接着剤からなる第1の接着層106aと導電粒子を含有しない樹脂系接着剤からなる第2の接着層106bの2層で構成される接着用フィルム106(接着用フィルムII、図9)は、単層の接着用フィルムIとは異なり、半導体チップ4と導電粒子2を含有する第1の接着層106aが直接接触しないため、半導体チップ4の電極5間の絶縁性が高いという長所がある一方、単層の接着用フィルムIを用いた場合と同様に、接着用フィルムを構成する樹脂系接着剤の粘度が加熱による液状化の際低下し、樹脂系接着剤自体が流動する問題が生じた。
【0022】
導電粒子を含有しない樹脂系接着剤からなる単層の接着用フィルム107(接着用フィルムIII、図10)を用いる場合も以下の問題があった。
【0023】
すなわち、半導体チップ4側の電極5と配線基板6上の電極7の機械的接触を維持する力は、樹脂系接着剤と電極5の熱収縮の差によって生じる。樹脂系接着剤の熱膨張が大きいと高温時に樹脂系接着剤が膨張し、半導体チップ4側の電極5と配線基板6上の電極7の機械的接触が失われる。高温時でも半導体チップ4側の電極5と配線基板6上の電極7の機械的接触を安定に維持するには、加熱硬化後の接合層207の熱膨張を低減する必要がある。かかる熱膨張の低減を図るには、非導電粒子を接着用フィルム107全体に混入させればよいが、この場合上述した単層の接着用フィルムIと同様な機械的強度低下の問題が生じた。
【0024】
また、図11に示した従来の接着用フィルムは構成上最も簡単であるものの、上述したように、樹脂系接着剤のみでは加熱硬化後の接合層209の熱膨張が大きくなってしまい、半導体チップ4側の電極5と配線基板6側の電極7の機械的および電気的接続を壊す問題があった。
【0025】
本発明は上記問題点を鑑み考案されたもので、低コストで高い信頼性が実現可能な半導体装置、その半導体装置の製造方法、およびこの半導体装置を得ることが可能な実装方法に供される半導体チップ接着用フィルム、を提供するものである。
【0028】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る半導体装置は、電極を具備する半導体チップと、電極を具備する配線基板と、導電粒子および第1の非導電粒子を含有する樹脂系接着剤からなる第1の接着層と、第1の接着層における第1の非導電粒子の濃度より低濃度であってかつ粒径の小さな第2の非導電粒子を含有する樹脂系接着剤からなる第2の接着層とを有する接着用フィルムを、第1の接着層を配線基板上の電極が設けられている側に、第2の接着層を半導体チップの電極が設けられている側に配置して加熱硬化することにより形成された接合層と、を備えることとした。
【0029】
また、本発明に係る半導体装置は、上述の第1の非導電粒子の粒径は1〜5μm、濃度は40〜70重量%であって、かつ第2の非導電粒子の粒径は0.1μm以上1.0μm未満で濃度は10〜30重量%であることとした。
【0034】
また、本発明に係る半導体装置は、電極を具備する半導体チップと、電極を具備する配線基板と、第1の非導電粒子を含有する樹脂系接着剤からなる第1の接着層と、第1の接着層における第1の非導電粒子の濃度よりも低濃度でかつ粒径の小さい第2の非導電粒子を含有する樹脂系接着剤からなる第2の接着層とを有する接着用フィルムを、第1の接着層を配線基板上の電極が設けられている側に、第2の接着層を半導体チップの電極が設けられている側に配置して加熱硬化することにより形成された接合層と、を備えることとした。
【0035】
また、本発明に係る半導体装置は、上述の第1の非導電粒子の粒径は1〜5μmで濃度は40〜70重量%であり、上述の第2の非導電粒子の粒径は0.1μm以上1.0μm未満で濃度は10〜30重量%であることとした。
【0039】
また、本発明に係る半導体チップ接着用フィルムは、導電粒子および第1の非導電粒子を含有する樹脂系接着剤からなる第1の接着層と、第1の接着層における第1の非導電粒子の濃度より低濃度でかつ粒径の小さい第2の非導電粒子を含有する樹脂系接着剤からなる第2の接着層と、を備えることとした。
【0042】
また、本発明に係る半導体チップ接着用フィルムは、第1の非導電粒子を含有する第1の樹脂系接着剤からなる第1の接着層と、第1の接着層における第1の非導電粒子の濃度より低濃度でかつ粒径の小さい第2の非導電粒子を含有する樹脂系接着剤からなる第2の接着層と、を備えることとした。
【0043】
【発明の実施の形態】
本発明は、半導体チップと配線基板とを接着用フィルムを介して接着する場合に、接着用フィルムを加熱硬化した後に形成される接合層の層厚の再現性を維持しながら、半導体チップと配線基板間の接合が機械強度的に充分強くなるよう接合層が半導体チップ周側部の所定の部位まで覆う形状とすべく、接着用フィルムを2層の接着層で構成して、配線基板側の接着層の流動性を半導体チップ側の接着層の流動性より小さくなるようにしたものである。以下、各実施の形態において、本発明を説明する。
【0044】
実施の形態1.
図1は本発明の実施の形態1による接着用フィルムを用いた半導体装置の構造および製造方法を示す断面図である。図中、101は第1の接着層および第2の接着層からなる接着用フィルム、101aは導電粒子2および非導電粒子3を含有した樹脂系接着剤からなる第1の接着層、101bは樹脂系接着剤からなる第2の接着層、2は導電粒子、3は非導電粒子、4は半導体チップ、5は半導体チップ側の電極、6は配線基板、7は配線基板上の電極、201は加熱硬化後の接合層、8は加熱硬化後の接合層における半導体チップ周側部に沿った円弧形状の部分、をそれぞれ表す。
【0045】
図1(a)は配線基板6上に接着用フィルム101を貼りつけた状態の断面図、図1(b)は半導体チップ4が接合層201を介して配線基板6に接着した状態の断面図、をそれぞれ示す。
【0046】
第1の接着層101aは配線基板6上で電極7が設けられた側の表面を覆うように配置され、第1の接着層101a上にさらに第2の接着層101bが配置され、半導体チップ4と配線基板6の接合時には、接着用フィルム101が両者にはさまれる形となる。
【0047】
半導体チップ側の電極5の高さ30μmと配線基板上の電極7の高さ20μmを鑑み、第1の接着層101aと第2の接着層101bの層厚をそれぞれ50μm、20μmに設定することにより、接着用フィルム101の層厚が電極全体の層厚より厚くなるようにしている。
【0048】
第1の接着層101aの層厚は、半導体チップ側の電極5の高さと配線基板上の電極7の高さの総和に等しいことが望ましいが、特にかかる値に限定されるものではない。
【0049】
接着用フィルム101に約200℃に加熱した半導体チップ4を押し付けた際に、一旦第2の接着層101bが液状化して充分流動した後、加熱することにより生じる硬化によって接合層201において半導体チップ周側部に沿って半導体チップ4側から配線基板6に拡がる円弧形状の部分8が形成される。
【0050】
この結果、半導体チップ4と配線基板6間の機械的強度が向上し、半導体装置の長期信頼性を確保することができる。また、非導電粒子3を含有する樹脂系接着剤からなる第1の接着層101aは、非導電粒子3を含有したことにより配線基板6の平面方向に対して接着用フィルム101の流動が抑えられるため、半導体チップ側の小面積の電極5でも接続抵抗を充分小さくできる程度の導電粒子数を捕捉することができる。
【0051】
具体的には従来の導電粒子のみを含有した従来の単層の接着用フィルム(接着用フィルムI)では半導体チップ側の直径60μmの電極5を用いた場合、10個の導電粒子しか捕捉できなかったが、本実施の形態では導電粒子の捕捉数は15個に向上し、接続抵抗を従来の2/3に低減することができた。なお、本実施の形態では接着用フィルム101としてエポキシ系樹脂の接着剤で90℃における粘度が200cpsのものを用いた。
【0052】
しかしながら、エポキシ系樹脂に限らず、ポリイミド系、アクリル系の樹脂からなる接着剤でも同様な効果が得られることは言うまでもない。
【0053】
樹脂系接着剤からなる第1の接着層101aに含有された導電粒子2は、粒径5μmのスチレン等からなるプラスチックのボールに金(Au)あるいはニッケル(Ni)メッキを施したものが一般的であるが、ニッケルからなる金属粒子を用いても良い。
【0054】
第1の接着層101a中の導電粒子2の濃度は、50万〜300万個/mm3の範囲が望ましく、100万〜200万個/mm3の範囲がより好適である。
【0055】
本実施の形態では、樹脂系接着剤からなる第1の接着層101aに含有された非導電粒子3は粒径1.5μmのシリカを約50重量%含有したものを用いたが、本発明の効果を発現する非導電粒子3の濃度としては、20〜80重量%の範囲が望ましく、より好適には40〜70重量%、さらに好適には45〜55重量%の範囲が望ましい。また、非導電粒子3の材料として、アルミナ、窒化硼素、窒化珪素等を用いることができる。
【0056】
なお、加熱硬化後の接合層201の形状としては、上述した機械的強度の見地から半導体チップ周側部に沿った円弧形状8が好適であるが、半導体チップの周側部を接着用フィルム側から所定の部位まで被覆した接合層が形成されているなら、同様の効果は生じる。ここで所定の部位とは、本発明における機械的強度が充分高くなるという効果が生じうる程度、すなわち半導体チップ周側部全体の20%以上100%までの範囲を指す。
【0057】
また、本実施の形態における第2の接着層101bには、導電粒子は意図的には含まれていないが、本発明の効果は、第2の接着層101b中の導電粒子の有無に係わらず生じる。
【0058】
実施の形態2.
図2は本発明の実施の形態2による接着用フィルムを用いた半導体装置の構造および製造方法を示す断面図である。図中、31は第1の非導電粒子、32は第2の非導電粒子、102は第1の接着層および第2の接着層からなる接着用フィルム、102aは導電粒子2および第1の非導電粒子31を含有した樹脂系接着剤からなる第1の接着層、102bは第1の接着層中の第1の非導電粒子31の濃度より低濃度である第2の非導電粒子32を含有した樹脂系接着剤からなる第2の接着層、202は加熱硬化後の接合層、をそれぞれ示す。なお、第2の非導電粒子32の粒径は第1の非導電粒子31の粒径とほぼ等しい。
【0059】
図2(a)は配線基板6上に接着用フィルム102を貼りつけた状態の断面図を、図2(b)は半導体チップ4を接着用フィルム102を介して配線基板6に接着した状態の断面図を、それぞれ示す。
【0060】
約200℃に加熱した半導体チップ4を押し付けた際に、第2の非導電粒子32を含有した樹脂系接着剤からなる第2の接着層102bが液状化して流動し、半導体チップ4の周辺に樹脂系接着剤を排出する。
【0061】
樹脂系接着剤からなる第1の接着層102aに含有された非導電粒子31として粒径1.5μmのシリカを約50重量%含んだものを用いたが、本発明の効果を発現する第1の非導電粒子31の濃度としては、40〜70重量%、より好適には45〜55重量%の範囲が望ましい。また、第1および第2の非導電粒子31,32の材料として、アルミナ、窒化硼素、窒化珪素等を用いることができる。
【0062】
樹脂系接着剤からなる第2の接着層102bは第1の接着層102a中の第1の非導電粒子31の濃度より低濃度である10〜20重量%の第2の非導電粒子32を含有するが、この程度の非導電粒子含有量であれば、樹脂系接着剤の流動性を損なうことはなく、半導体チップ4の周辺に排出した樹脂は半導体チップの周側部に沿った円弧状の形状8を有する接合層202を形成できる。
【0063】
第2の接着層102b中に相対的に低濃度の第2の非導電粒子32を含有させることで、第2の接着層102bの粘度が向上するため、第2の接着層102bの層厚制御が容易になる。この結果、以下の効果が生じる。すなわち、第1の接着層102aは半導体チップ側の電極5と配線基板上の電極7の層厚の総和に設定する必要があるが、半導体チップ側の電極5の高さまたは配線基板上の電極7の厚さがばらつくと、半導体チップ側の電極5が形成された面近傍に非導電粒子31,32を含有しない接着層が形成されたり、導電粒子2および第1の非導電粒子31を含有した第1の接着層102aが厚すぎて、半導体チップ側の電極5と配線基板上の電極7の接触を妨げる不都合が生じるが、第1の非導電粒子31の含有によって流動性を低下させることにより第1の接着層102aの層厚を安定に制御できるため、かかる問題を防止できる。
【0064】
第1の接着層102a中の導電粒子2の濃度は、50万〜300万個/mm3の範囲が望ましく、100万〜200万個/mm3の範囲がより好適である。
【0065】
また、本発明の効果は、第2の接着層102b中の導電粒子の有無に係わらず生じる。
【0066】
なお、加熱硬化後の接合層202の形状としては、上述した機械的強度の見地から半導体チップ周側部に沿った円弧形状8が好適であるが、半導体チップの周側部を接着用フィルム側から所定の部位まで被覆した接合層が形成されているなら、同様の効果は生じる。ここで所定の部位とは、本発明の効果が生じうる程度、すなわち半導体チップ周側部全体の20%以上100%までの範囲を指す。
【0067】
実施の形態3.
図3は本発明の実施の形態3による接着用フィルムを用いた半導体装置の構造および製造方法を示す断面図である。図中、112は第1の接着層および第2の接着層からなる接着用フィルム、112aは導電粒子2および第1の非導電粒子31を含有した樹脂系接着剤からなる第1の接着層、112bは第1の接着層における第1の非導電粒子の濃度より低濃度でかつ粒径の小さい第2の非導電粒子32を含有した樹脂系接着剤からなる第2の接着層、212は加熱硬化後の接合層、をそれぞれ示す。
【0068】
図3(a)は配線基板6上に接着用フィルム112を貼りつけた状態の断面図を、図3(b)は半導体チップ4が接合層212を介して配線基板6に接着した状態の断面図、をそれぞれ示す。
【0069】
約200℃に加熱した半導体チップ4を押し付けた際に、第2の非導電粒子32を含有した第2の接着層112bが液状化して流動し、半導体チップ4の周辺に樹脂系接着剤を排出する。第1の非導電粒子31の粒径は1.5μm、濃度は約50重量%であるのに対し、第2の接着層112bに含まれる第2の非導電粒子32は粒径が0.5μmで濃度が約20重量%と第1の非導電粒子31の濃度よりも低くなるよう設定した。この程度の第2の非導電粒子32の含有量であれば、樹脂系接着剤の流動性を損なうことはないので、半導体チップ4の周辺に排出した樹脂は半導体チップの周側部に沿った円弧状の形状8を有する接合層212を形成することが可能である。
【0070】
第2の非導電粒子32の粒径を第1の非導電粒子31の粒径より小さくする理由は、非導電粒子の粒径が小さくなるほどそれを含有した接着層の流動性が向上するためである。この流動性の向上は、質量の小さい非導電粒子の方が慣性力が小さく、また、重力の影響も受けにくいことによって生じる。
【0071】
本実施の形態においては第1および第2の非導電粒子材料として同一のシリカを使用したが、第1の非導電粒子31と第2の非導電粒子32の材料を変えてもよい。例えば、第1の非導電粒子材料にアルミナ、窒化珪素等の比重の大きい材料を使用し、第2の非導電粒子材料にはシリカ等を用いても同様な効果が得られる。
【0072】
本実施の形態においては、樹脂系接着剤からなる第1の接着層112aに含有された第1の非導電粒子31は粒径1.5μmで約50重量%の濃度のものを用いたが、本発明の効果を発現する第1の非導電粒子31の濃度としては、40〜70重量%が好適であり、45〜55重量%の範囲がさらに好適である。また、第1の非導電粒子31の粒径は1〜5μmの範囲が望ましく、1〜2μmの範囲がより好適である。
【0073】
一方、樹脂系接着剤からなる第2の接着層112bに含有された第2の非導電粒子32は粒径0.5μmで約20重量%の濃度のものを用いたが、本発明の効果を発現する第2の非導電粒子32の濃度としては、10〜30重量%の範囲が望ましく、15〜25重量%の範囲がより好適であり、第2の非導電粒子32の粒径は0.1μm以上1.0μm未満の範囲が望ましく、0.3〜0.7μmの範囲がより好適である。
【0074】
第2の接着層112bに相対的に低濃度の第2の非導電粒子32を含有させることで、第2の接着層112bの層厚制御がより容易になる。この結果、以下の効果が生じる。すなわち、第1の接着層112aは半導体チップ側の電極5と配線基板上の電極7の層厚の総和に設定する必要があるが、半導体チップ側の電極5の高さまたは配線基板上の電極7の厚さがばらつくと、半導体チップ側の電極5が形成された面近傍に第1あるいは第2の非導電粒子31、32を含有しない接着層が形成されたり、第1の非導電粒子31および導電粒子2を含有した第1の接着層112aが厚すぎて、半導体チップ側の電極5と配線基板上の電極7の接触を妨げる不都合が生じるが、第1の非導電粒子31の含有によって流動性を低下させることにより第1の接着層112aの層厚を安定に制御できるため、かかる問題を防止できる。
【0075】
第1の接着層112a中の導電粒子2の濃度は、50万〜300万個/mm3の範囲が望ましく、100万〜200万個/mm3の範囲がより好適である。
【0076】
また、本発明の効果は、第2の接着層112b中の導電粒子の有無に係わらず生じる。
【0077】
なお、加熱硬化後の接合層212の形状としては、上述した機械的強度の見地から半導体チップ周側部に沿った円弧形状8が好適であるが、半導体チップの周側部を接着用フィルム側から所定の部位まで被覆した接合層が形成されているなら、同様の効果は生じる。ここで所定の部位とは、本発明の効果が生じうる程度、すなわち半導体チップ周側部全体の20%以上100%までの範囲を指す。
【0078】
実施の形態4.
図4は本発明の実施の形態4による接着用フィルムを用いた半導体装置の構造および製造方法を示す断面図である。図中、103は第1の接着層および第2の接着層からなる接着用フィルム、103aは非導電粒子3を含有した樹脂系接着剤からなる第1の接着層、103bは樹脂系接着剤からなる非導電粒子を含有しない第2の接着層、203は加熱硬化後の接合層、をそれぞれ示す。
【0079】
図4(a)は配線基板に接着用フィルム103を貼りつけた状態の断面図、図4(b)は、半導体チップ4を加熱硬化後の接合層203を介して配線基板6に接着した状態の断面図、をそれぞれ示す。樹脂系接着剤からなる第2の接着層103bが液状化して流動し、半導体チップ4周辺に排出されることで半導体チップ周側部に沿った円弧形状の部分8を有する接合層203が形成される。
【0080】
第2の接着層103bを構成する樹脂は非導電粒子3を含有しないため流動しやすくなり、加熱硬化後に半導体チップ周側部に沿った円弧形状の部分8を有する接合層203が得られる。また、接着後は半導体チップ4と配線基板6間は分散した非導電粒子3で満たされるので、接合層203の熱膨張係数を小さくすることができる。かかる2つの効果のため、半導体チップ4側の電極5と配線基板6上の電極7の接触を高温まで保持することが可能となる結果、半導体チップ4と配線基板6の機械的接続の長期信頼性を確保するとともに、耐熱性をも向上することができる。
【0081】
具体的には、第1の接着層103aに非導電粒子3である粒径1.5μmのシリカを50重量%含有させることにより、加熱硬化後の接合層203の線膨張係数を70ppmから30ppmに低減できるため、耐熱温度を従来の150℃から220℃まで向上できる。
【0082】
本発明の効果を発現する第1の接着層103aの非導電粒子3の濃度としては、20〜80重量%の範囲が望ましく、40〜70重量%がより好適であり、45〜55重量%の範囲がさらに好適である。
【0083】
本実施の形態においては、接着用フィルムに加熱した半導体チップを押し付けることによって半導体装置を形成する方法について示した。また、別の実装方法として、接着用フィルムに半導体チップを押し付けた後、半導体チップに超音波振動を加えて、半導体チップと配線基板を接合した後、接着用フィルムを硬化する方法を用いても同様な効果が期待できる。
【0084】
なお、加熱硬化後の接合層203の形状としては、上述した機械的強度の見地から半導体チップ周側部に沿った円弧形状8が好適であるが、半導体チップの周側部を接着用フィルム側から所定の部位まで被覆した接合層が形成されているなら、同様の効果は生じる。ここで所定の部位とは、本発明の効果が生じうる程度、すなわち半導体チップ周側部全体の20%以上100%までの範囲を指す。
【0085】
実施の形態5.
図5は本発明の実施の形態5による接着用フィルムを用いた半導体装置の構造および製造方法を示す断面図である。図中、113は第1の接着層および第2の接着層からなる接着用フィルム、113aは第1の非導電粒子31を含有した樹脂系接着剤からなる第1の接着層、113bは第1の接着層における第1の非導電粒子の濃度よりも低濃度の第2の非導電粒子32を含有した樹脂系接着剤からなる第2の接着層、213は加熱硬化後の接合層、をそれぞれ示す。
【0086】
図5(a)は配線基板に接着用フィルム113を貼りつけた状態の断面図、図5(b)は、半導体チップ4を加熱硬化後の接合層213を介して配線基板6に接着した状態の断面図、をそれぞれ示す。
【0087】
第2の接着層113bを構成する樹脂中の第2の非導電粒子32は低濃度であるため流動しやすくなり、加熱硬化後に半導体チップ周側部に沿った円弧形状の部分8を有する接合層213が得られる。また、接着後は半導体チップ4と配線基板6間は分散した第1および第2の非導電粒子31、32で満たされるので、接合層213の熱膨張係数を小さくすることができる。かかる2つの効果のため、半導体チップ4側の電極5と配線基板6上の電極7の接触を高温まで保持することが可能となる結果、半導体チップ4と配線基板6の機械的接続の長期信頼性を確保するとともに、耐熱性をもさらに向上することができる。
【0088】
本発明の効果を発現する第1の非導電粒子31の濃度としては、40〜70重量%の範囲が望ましく、45〜55重量%の範囲がさらに好適である。また、第1の非導電粒子31の粒径は1〜5μmの範囲が望ましく、1〜2μmの範囲がより好適である。一方、本発明の効果を発現する第2の非導電粒子32の濃度としては、10〜30重量%の範囲が望ましく、15〜25重量%の範囲がより好適である。
【0089】
本実施の形態では、接着用フィルム113に加熱した半導体チップ4を押し付けることによって半導体装置を形成する方法について示した。また、別の実装方法として、接着用フィルム113に半導体チップ4を押し付けた後、半導体チップ4に超音波振動を加えて、半導体チップ4と配線基板6を接合した後、接着用フィルム113を硬化する方法を用いても同様な効果が期待できる。
【0090】
なお、加熱硬化後の接合層213の形状としては、上述した機械的強度の見地から半導体チップ周側部に沿った円弧形状8が好適であるが、半導体チップ4の周側部を接着用フィルム側から所定の部位まで被覆した接合層が形成されているなら、同様の効果は生じる。ここで所定の部位とは、本発明の効果が生じうる程度、すなわち半導体チップ周側部全体の20%以上100%までの範囲を指す。
【0091】
実施の形態6.
図6は本発明の実施の形態6による接着用フィルムを用いた半導体装置の構造および製造方法を示す断面図である。図中、123は第1の接着層および第2の接着層からなる接着用フィルム、123aは第1の非導電粒子31を含有した樹脂系接着剤からなる第1の接着層、123bは第1の非導電粒子よりも粒径が小さくかつ第1の接着層における第1の非導電粒子の濃度より低濃度の第2の非導電粒子32を含有した樹脂系接着剤からなる第2の接着層、223は加熱硬化後の接合層、をそれぞれ示す。
【0092】
図6(a)は配線基板6に接着用フィルム123を貼りつけた状態の断面図、図6(b)は、半導体チップ4を加熱硬化後の接合層223を介して配線基板6に接着した状態の断面図、をそれぞれ示す。樹脂系接着剤からなる第2の接着層123bが液状化して流動し、半導体チップ4周辺に排出されることで半導体チップ周側部に沿った円弧形状の部分8を有する接合層223が形成される。
【0093】
第2の接着層123bを構成する樹脂は、第1の非導電粒子31よりも粒径が小さい第2の非導電粒子32を第1の接着層中の第1の非導電粒子31の濃度よりも低濃度で含有しているため流動しやすくなり、加熱硬化後に半導体チップ周側部に沿った円弧形状の部分8を有する接合層223が得られる。また、接着後は半導体チップ4と配線基板6間は分散した第1および第2の非導電粒子31、32で満たされるので、接合層223の熱膨張係数を小さくすることができる。かかる2つの効果のため、半導体チップ4側の電極5と配線基板6上の電極7の接触を高温まで保持することが可能となる結果、半導体チップ4と配線基板6の機械的接続の長期信頼性を確保するとともに、耐熱性をも向上することができる。
【0094】
第1の非導電粒子31の粒径は1〜5μmの範囲が望ましく、1〜2μmの範囲がより好適である。また、第1の非導電粒子31の濃度は40〜70重量%の範囲が望ましく、45〜55重量%の範囲がさらに好適である。
【0095】
一方、第2の非導電粒子32の粒径は0.1μm以上1.0μm未満の範囲が望ましく、0.3〜0.7μmの範囲がより好適である。また、第2の非導電粒子32の濃度は10〜30重量%の範囲が望ましく、15〜25重量%の範囲がより好適である。
【0096】
また、本実施の形態では、非導電粒子31,32として同一のシリカを使用したが、第1の非導電粒子31と第2の非導電粒子32の材料を変えてもよい。例えば、第1の非導電粒子材料にアルミナ、窒化珪素等の比重の大きい材料を使用し、第2の非導電粒子にはシリカ等を用いても同様な効果が得られる。
【0097】
具体的には、第1の接着層123aに第1の非導電粒子31である粒径1.5μmのシリカを50重量%含有させることにより、加熱硬化後の接合層223の線膨張係数を70ppmから30ppmに低減できるため、耐熱温度を従来の150℃から220℃まで向上できる。
【0098】
本実施の形態では、接着用フィルムに加熱した半導体チップを押し付けることによって半導体装置を形成する方法について示した。また、別の実装方法として、接着用フィルムに半導体チップを押し付けた後、半導体チップに超音波振動を加えて、半導体チップと配線基板を接合した後、接着用フィルムを硬化する方法を用いても同様な効果が期待できる。
【0099】
なお、加熱硬化後の接合層223の形状としては、上述した機械的強度の見地から半導体チップ周側部に沿った円弧形状8が好適であるが、半導体チップの周側部を接着用フィルム側から所定の部位まで被覆した接合層が形成されているなら、同様の効果は生じる。ここで所定の部位とは、本発明の効果が生じうる程度、すなわち半導体チップ周側部全体の20%以上100%までの範囲を指す。
【0100】
実施の形態7.
図7は本発明の実施の形態7による半導体装置の製造方法を示す断面図である。
【0101】
図中、104は第1の接着層および第2の接着層からなる接着用フィルム、104aは導電粒子2および非導電粒子3を含有した第1の接着層、104bは第2の接着層、204は加熱硬化後の接合層、9はボイド、10はホットプレート、をそれぞれ示す。
【0102】
また、図7(a)は配線基板6上に接着用フィルム104を貼りつけた状態の断面図、図7(b)は配線基板6をホットプレート10上で加熱した状態の断面図、図7(c)は加熱した半導体チップ4を押し付け、接着用フィルム104を硬化させた状態の断面図、をそれぞれ示す。
【0103】
配線基板6を加熱すると約90℃で接着用フィルム104の樹脂が液状化し、接着用フィルム104と配線基板6間に閉じ込められていたボイド9が第1の接着層104aをつきやぶって、第2の接着層104bに上昇する。
【0104】
配線基板6に約200℃に加熱した半導体チップ4を押し付けると、非導電粒子3を含有しない樹脂系接着剤からなる第2の接着層104bは流動しやすく、第2の接着層104bの樹脂系接着剤が排出すると同時にボイド9は半導体チップ4周辺に排出される。
【0105】
接着用フィルム104が半導体チップ4により200℃に加熱されると硬化が生じ、接合層204が形成される。この加熱硬化の際に、接合層204のうち半導体チップ4の周側部に沿った部分に円弧形状の部分8が形成される。
【0106】
上述の実験では、樹脂系接着剤として90℃で200cpsになるエポキシ樹脂を用いた。また、接着用フィルム104を貼りつけた配線基板6を90℃に加熱することにより、接着用フィルム104と配線基板6間に閉じ込められたボイド9は第1の接着層104aを突き破り、さらに第2の接着層104bに浮き上がるので、約200℃に加熱した半導体チップ4を押し付けて樹脂系接着剤を排除すると同時にボイド9も排出することができる。
【0107】
なお、加熱硬化後の接合層204の形状としては、上述した機械的強度の見地から半導体チップ周側部に沿った円弧形状8が好適であるが、半導体チップの周側部を接着用フィルム側から所定の部位まで被覆した接合層が形成されているなら、同様の効果は生じる。ここで所定の部位とは、本発明の効果が生じうる程度、すなわち半導体チップ周側部全体の20%以上100%までの範囲を指す。
【0110】
【発明の効果】
本発明に係る半導体装置では、電極を具備する半導体チップと、電極を具備する配線基板と、導電粒子および第1の非導電粒子を含有する樹脂系接着剤からなる第1の接着層と、第1の接着層における第1の非導電粒子の濃度より低濃度であってかつ粒径の小さな第2の非導電粒子を含有する樹脂系接着剤からなる第2の接着層とを有する接着用フィルムを、第1の接着層を配線基板上の電極が設けられている側に、第2の接着層を半導体チップの電極が設けられている側に配置して加熱硬化することにより形成された接合層と、を備えることとしたので、小さな電極でも導電粒子を捕捉することができるとともに、半導体チップ周側部に所定の形状の接合層を安定に形成することができる結果、機械的強度に優れた信頼性の高い半導体装置を得る効果がある。
【0113】
また、本発明に係る半導体装置では、電極を具備する半導体チップと、電極を具備する配線基板と、第1の非導電粒子を含有する樹脂系接着剤からなる第1の接着層と、第1の接着層における第1の非導電粒子の濃度よりも低濃度でかつ粒径の小さい第2の非導電粒子を含有する樹脂系接着剤からなる第2の接着層とを有する接着用フィルムを、第1の接着層を配線基板上の電極が設けられている側に、第2の接着層を半導体チップの電極が設けられている側に配置して加熱硬化することにより形成された接合層と、を備えることとしたので、接合層の層厚を安定に制御することができるとともに、長期信頼性に優れかつ耐熱特性も向上した半導体装置を容易に得ることができる。
【0117】
また、本発明に係る半導体チップ接着用フィルムでは、導電粒子および第1の非導電粒子を含有する樹脂系接着剤からなる第1の接着層と、第1の接着層における第1の非導電粒子の濃度より低濃度でかつ粒径の小さい第2の非導電粒子を含有する樹脂系接着剤からなる第2の接着層と、を備えることとしたので、半導体チップ上の小さな電極でも容易に導電粒子を捕捉することができるとともに、半導体チップと配線基板とを接着する際に半導体チップ周側部に所定の形状の接合層が安定に形成できる効果がある。
【0120】
また、本発明に係る半導体チップ接着用フィルムでは、第1の非導電粒子を含有する第1の樹脂系接着剤からなる第1の接着層と、第1の接着層における第1の非導電粒子の濃度より低濃度でかつ粒径の小さい第2の非導電粒子を含有する樹脂系接着剤からなる第2の接着層と、を備えることとしたので、半導体チップと配線基板とを接着する際に容易に半導体チップ周側部で接着用フィルム側に所定の形状の接合層が安定に形成でき、かつ耐熱性に優れているという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施の形態1による接着用フィルムを用いた半導体装置の構造および製造方法を示す断面図である。
【図2】 本発明の実施の形態2による接着用フィルムを用いた半導体装置の構造および製造方法を示す断面図である。
【図3】 本発明の実施の形態3による接着用フィルムを用いた半導体装置の構造および製造方法を示す断面図である。
【図4】 本発明の実施の形態4による接着用フィルムを用いた半導体装置の構造および製造方法を示す断面図である。
【図5】 本発明の実施の形態5による接着用フィルムを用いた半導体装置の構造および製造方法を示す断面図である。
【図6】 本発明の実施の形態6による接着用フィルムを用いた半導体装置の構造および製造方法を示す断面図である。
【図7】 本発明の実施の形態7による接着用フィルムを用いた半導体装置の製造方法を示す断面図である。
【図8】 従来の接着用フィルム(接着用フィルムI)を用いた半導体装置の構造および製造方法を示す断面図である。
【図9】 従来の接着用フィルム(接着用フィルムII)を用いた半導体装置の構造および製造方法を示す断面図である。
【図10】 従来の接着用フィルム(接着用フィルムIII)を用いた半導体装置の構造および製造方法を示す断面図である。
【図11】 従来の接着用フィルムを用いた半導体装置の製造方法を示す断面図である。
【図12】 従来の接着用フィルムを用いた半導体装置の周側部近傍の断面図である。
【符号の説明】
101、102、103、104、105,106、107、112、113、123 接着用フィルム、 101a、102a、103a、104a、106a、112a、113a、123a 第1の接着層、 101b、102b、103b、104b、106b、112b、113b、123b 第2の接着層、 201、202、203、204、205、206、207、208、211、213、223 接合層、 2 導電粒子、 3 非導電粒子、 31 第1の非導電粒子、 32 第2の非導電粒子、 4 半導体チップ、 5 半導体チップ上の電極、 6 配線基板、 7 配線基板上の電極、 8 加熱硬化した接合層における半導体チップ周側部に沿った円弧形状の部分、 9 ボイド、 10 ホットプレート、 11 半導体チップ下端部から離れた部分で凸部形状を呈した接合層、 12 超音波振動。
Claims (6)
- 電極を具備する半導体チップと、電極を具備する配線基板と、導電粒子および第1の非導電粒子を含有する樹脂系接着剤からなる第1の接着層と、前記第1の接着層における前記第1の非導電粒子の濃度より低濃度であってかつ粒径の小さな第2の非導電粒子を含有する樹脂系接着剤からなる第2の接着層とを有する接着用フィルムを、前記第1の接着層を前記配線基板上の電極が設けられている側に、前記第2の接着層を前記半導体チップの電極が設けられている側に配置して加熱硬化することにより形成された接合層と、を備えたことを特徴とする半導体装置。
- 前記第1の非導電粒子の粒径は1〜5μm、濃度は40〜70重量%であって、かつ前記第2の非導電粒子の粒径は0.1μm以上1.0μm未満で濃度は10〜30重量%であることを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 電極を具備する半導体チップと、電極を具備する配線基板と、第1の非導電粒子を含有する樹脂系接着剤からなる第1の接着層と、前記第1の接着層における前記第1の非導電粒子の濃度よりも低濃度でかつ粒径の小さい第2の非導電粒子を含有する樹脂系接着剤からなる第2の接着層とを有する接着用フィルムを、前記第1の接着層を前記配線基板上の電極が設けられている側に、前記第2の接着層を前記半導体チップの電極が設けられている側に配置された接着用フィルムを加熱硬化することにより形成された接合層と、を備えたことを特徴とする半導体装置。
- 前記第1の非導電粒子の粒径は1〜5μmで濃度は40〜70重量%であり、前記第2の非導電粒子の粒径は0.1μm以上1.0μm未満で濃度は10〜30重量%であることを特徴とする請求項3記載の半導体装置。
- 導電粒子および第1の非導電粒子を含有する樹脂系接着剤からなる第1の接着層と、前記第1の接着層における前記第1の非導電粒子の濃度より低濃度でかつ粒径の小さい第2の非導電粒子を含有する樹脂系接着剤からなる第2の接着層と、を備えたことを特徴とする半導体チップ接着用フィルム。
- 第1の非導電粒子を含有する第1の樹脂系接着剤からなる第1の接着層と、前記第1の接着層における前記第1の非導電粒子の濃度より低濃度でかつ粒径の小さい第2の非導電粒子を含有する樹脂系接着剤からなる第2の接着層と、を備えたことを特徴とする半導体チップ接着用フィルム。
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