JP3647968B2

JP3647968B2 - 自己走査型発光装置

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Publication number: JP3647968B2
Application number: JP8808996A
Authority: JP
Inventors: 幸久楠田; 誠治大野; 俊介大塚
Original assignee: Nippon Sheet Glass Co Ltd
Current assignee: Nippon Sheet Glass Co Ltd
Priority date: 1996-04-10
Filing date: 1996-04-10
Publication date: 2005-05-18
Anticipated expiration: 2016-04-10
Also published as: JPH09283801A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、面発光サイリスタのような面発光素子の外部発光効率を高めるための構造、およびこのような面発光素子を用いた自己走査型発光装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、面発光素子の代表的なものとして発光ダイオードおよびレーザダイオードが知られている。発光ダイオードは化合物半導体（ＧａＡｓ，ＧａＰ，ＡｌＧａＡｓ等）のＰＮ接合またはＰＩＮ接合を形成し、これに順方向電圧を加えることにより接合内部にキャリアを注入し、その再結合の過程で生じる発光現象を利用するものである。
【０００３】
またレーザダイオードはこの発光ダイオードの内部に導波路を設けた構造となっている。あるしきい電流以上の電流を流すと注入される電子−正孔対が増加し反転分布状態となり、誘導放射による光子の増倍（利得）が発生し、へき開面などを利用した平行な反射鏡により発生した光が再び活性層に帰還されてレーザ発振が起こる。そして導波路の端面からレーザ光が出射されていくものである。
【０００４】
これら発光ダイオード，レーザダイオードと同じ発光メカニズムを有する発光素子として、発光機能を有する負性抵抗素子（発光サイリスタ，レーザサイリスタ等）も知られている。発光サイリスタは先に述べたような化合物半導体でＰＮＰＮ構造を作るものであり、シリコンではサイリスタとして実用化されている。これらについては、例えば青木昌治編著「発光ダイオード」工業調査会、１６７〜１６９頁に記載されている。この発光機能を有する負性抵抗素子（ここでは発光サイリスタと呼ぶ）の基本構造は、Ｎ形ＧａＡｓ基板上にＰＮＰＮ構造を形成したもので、サイリスタと全く同じ構造である。電流−電圧特性もサイリスタと全く同じＳ字形負性抵抗の特性を示す。
【０００５】
また本出願人は、面発光型のサイリスタ（以下、面発光サイリスタという）を用いた自己走査型発光装置について、既に多くの出願において開示している。例えば、特開平２−２６３６６８号公報「発光装置」、特開平２−２１２１７０号公報「発光素子アレイおよびその駆動方法」、特開平３−５５８８５号公報「発光・受光モジュール」、特開平３−２００３６４号公報「光信号の読み取り方法及びこれに使用するスイッチ素子アレイ」、特開平４−２３３６７号公報「発光装置」、特開平４−２９６５７９号公報「発光素子アレイの駆動方法」である。
【０００６】
多数個の発光素子を同一基板上に集積した発光素子アレイはその駆動用ＩＣと組み合わせて光プリンタ等の書き込み用光源として利用されている。本発明者らは発光素子アレイの構成要素としてＰＮＰＮ構造を持つ面発光サイリスタに注目し、発光点の自己走査が実現できることを既に特許出願し、光プリンタ用光源として実装上簡便となること、発光素子ピッチを細かくできること、コンパクトな自己走査型発光装置を作製できること等を示した。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
面発光サイリスタのような面発光素子においては、電流を注入する電極の真下に発光中心が位置し、電極自身が遮光層となって外部発光効率が良くないという問題がある。この問題を面発光サイリスタを例に説明する。
【０００８】
図１（ａ），（ｂ）は、メサ型のＰＮＰＮ構造の従来の面発光サイリスタの断面図および平面図を示す。この面発光サイリスタはＮ形半導体基板１上に形成されたＮ形半導体層２４，Ｐ形半導体層２３，Ｎ形半導体層２２，Ｐ形半導体層２１と、Ｐ形半導体層２１にオーミック接触するように形成されたアノード電極４０とを備えている。図１（ａ）の構造上には、図示しないが全体に絶縁被膜（光を透過する絶縁材料よりなる）が設けられ、その上にＡｌ配線１４０が設けられている。絶縁被膜には、電極４０とＡｌ配線１４０とを電気的に接続するためのコンタクトホールＣが開けられている。また、Ｎ形半導体基板１の裏面には、カソード電極（図示せず）が設けられている。
【０００９】
このようなＰＮＰＮ構造の面発光サイリスタにおいては、アノード電極４０から流れる電流は、図１（ａ）に矢印で示すように、電極４０の真下に向かって主に流れる。したがってゲート層２２，２３での発光中心は電極４０の真下にある。このように発光中心が電極４０の真下にあるため、光が電極４０自身さらにはＡｌ配線１４０によって遮られる結果、外部発光効率が良くない。
【００１０】
また電極４０に近い所では、注入電流が大きいため発光光量は大きいが、電極４０から遠ざかるに従って、注入電流が小さくなるため発光光量は小さくなる。これは、外部発光効率を低下させる要因の１つともなっている。
【００１１】
光を遮る電極４０およびＡｌ配線１４０の代わりに透明電極材料であるＩＴＯ（酸化インジウムスズ）を用いることが考えられるが、ＧａＡｓ系の半導体材料とはオーミック接触をとりにくいこと、ＩＴＯは抵抗が大きいため、Ａｌ配線の代わりに用いるには適していないという問題がある。
【００１２】
この発明の目的は、ＩＴＯを構造の一部として用いることを可能にし、外部発光効率を高めた面発光サイリスタを提供することにある。
【００１３】
この発明の他の目的は、上記面発光サイリスタを用いた自己走査型発光装置を提供することにある。
【００１４】
【課題を解決するための手段】
本発明は、第１導電形の基板上に、必要ならば第１導電形の第１の半導体層と、第２導電形の第２の半導体層と、第１導電形の第３の半導体層と、第２導電形の第４の半導体層とがこの順に積層され、第４の半導体層上に設けられた第１の電極と、第３の半導体層上に設けられた第２の電極とを備える面発光サイリスタにおいて、前記積層構造を覆う絶縁被膜と、前記第１の電極を含み発光面を露出させる開口と、前記第１の電極に接触し、かつ、前記開口を覆うように設けられた透明導電膜と、前記透明導電膜と接触するように設けられた金属配線とを備えることを特徴とする。
【００１５】
前記透明導電膜は、酸化インジウムまたは酸化インジウムスズとするのが好適である。
【００１６】
また本発明は、発光動作のためのしきい電圧またはしきい電流の制御電極を有する発光素子を複数個配列し、各発光素子の前記制御電極をその近傍に位置する少なくとも１つの発光素子の制御電極に、接続用抵抗または電気的に一方向性を有する電気素子を介して接続するとともに、各発光素子に電源ラインを負荷抵抗を介して前記制御電極に接続し、かつ各発光素子にクロックラインを接続して形成した自己走査型発光装置において、前記発光素子を、前記面発光サイリスタとし、この面発光サイリスタの第１の電極は、前記クロックラインに接続され、前記面発光サイリスタの第２の電極は、前記制御電極であることを特徴とする。
【００１７】
さらに本発明は、スイッチング動作のためのしきい電圧またはしきい電流の第１の制御電極を有するスイッチ素子を複数個配列し、各スイッチ素子の第１の制御電極をその近傍に位置する少なくとも１つのスイッチ素子の第１の制御電極に、接続用抵抗または電気的に一方向性を有する電気素子を介して接続するとともに、各スイッチ素子に電源ラインを負荷抵抗を介して第１の制御電極に接続し、かつ各スイッチ素子にクロックラインを接続して形成した自己走査スイッチ素子アレイと、発光動作のためのしきい電圧またはしきい電流の第２の制御電極を有する発光素子を複数個配列した発光素子アレイとからなり、前記発光素子アレイの第２の制御電極を対応する前記スイッチ素子の第１の制御電極と電気的手段にて接続し、各発光素子に発光のための電流を印加するラインを設けた自己走査型発光装置において、前記発光素子を、前記面発光サイリスタとし、この面発光サイリスタの第１の電極は、前記電流印加ラインに接続され、前記面発光サイリスタの第２の電極は、第２の制御電極であることを特徴とする。
【００１８】
上記の各自己走査型発光装置においては、前記金属配線を、隣接する前記発光素子間に延びる細長部を有するくし形状とするのが好適である。
【００１９】
【発明の実施の形態】
【００２０】
【実施例１】
図２は、本発明の一実施例である面発光サイリスタの断面図である。この面発光サイリスタは、Ｎ形半導体基板１上にＧａＡｓよりなるＮ形半導体層２４，Ｐ形半導体層２３，Ｎ形半導体層２２，Ｐ形半導体層２１が順に積層されている。Ｐ形半導体層２１上にＡｕＺｎよりなる微小なアノード電極２５、Ｎ形半導体層２２上にＡｕＧｅＮｉよりなるゲート電極２６、Ｎ形基板１の裏面にカソード電極（図示せず）が設けられている。
【００２１】
このＰＮＰＮ構造は、ＳｉＯ₂ よりなる絶縁被膜２７で覆われ、アノード電極２５を含む発光面に開口が設けられる。開口および絶縁被膜２７の一部は透明電極材料である酸化インジウムスズ（ＩＴＯ）膜２８で被覆される。このＩＴＯ膜２８上に、発光面を覆わないようにして、Ａｌ配線１４０が設けられている。
【００２２】
この構造の面発光サイリスタによれば、アノード電極２５は、フォトリソグラフィで作成できる最小のサイズとすることができ、このアノード電極２５を含む発光面上にＩＴＯ膜２８を被覆するので、マスク合わせが不要となる。すなわち図１の従来構造では、電極４０上の絶縁被膜にコンタクトホールＣを開けるのにマスク合わせを必要とするが、本実施例では、微小電極２５を含む開口にＩＴＯ膜２８を被覆するので、従来のようなマスク合わせは不要となる。
【００２３】
本実施例の面発光サイリスタによれば、ＡｕＺｎよりなるアノード電極２５と下側のＧａＡｓ層２１とはオーミック接触がとれるので、電極より注入された電流は、点線矢印で示すように、カソード電極に向かって拡がって流れていく。ゲート層２２，２３中で発生した光は、微小電極２５により一部遮られるものの、大半は透明なＩＴＯ膜２８を透過して外部へ取出される。したがって、図１の従来構造に比べて外部発光効率は極めて向上する。
【００２４】
なお、ＩＴＯは抵抗値が高いために、配線金属としては用いることができないので、ＩＴＯ膜２８に接触させてＡｌ配線１４０を用いている。
【００２５】
以上の実施例は、Ｎ形基板上に、順にＮ形，Ｐ形，Ｎ形，Ｐ形の半導体層を積層した面発光サイリスタを説明したが、Ｐ形基板上に、順にＰ形，Ｎ形，Ｐ形，Ｎ形の半導体層を積層した面発光サイリスタとすることもできる。この場合には、最上層のカソード電極の材料はＮ形ＧａＡｓ層とオーミック接触のとれるＡｕＧｅＮｉを、ゲート電極の材料はＰ形ＧａＡｓ層とオーミック接触のとれるＡｕＺｎとする。
【００２６】
また、この実施例では、半導体基板の直上に、半導体基板と同一導電形の半導体層を積層しているが、これは以下の理由による。すなわち、一般に、半導体基板表面に直接ＰＮ（あるいはＮＰ）接合を形成すると、その形成した半導体層の結晶性の悪さから、デバイスとしての特性が劣化する傾向がある。つまり、基板表面に結晶層をエピタキシャル成長する場合、基板表面近傍層の結晶性が、結晶層がある一定以上に成長した後の結晶性と比べて、悪くなっているためである。このため、半導体基板と同一の半導体層を一旦形成してから、ＰＮ（あるいはＮＰ）接合を形成すると、上述した問題は解決できるからである。したがって、この半導体層を介することが好ましい。
【００２７】
また、以上の実施例では、透明電極材料としてＩＴＯを用いたが、酸化インジウムであっても良い。
【００２８】
【実施例２】
本実施例は、本発明の面発光サイリスタを用いた自己走査型発光装置の１つの例である。
【００２９】
まず、本実施例の自己走査型発光装置の原理を説明するための等価回路図を図３に示す。発光素子として、面発光サイリスタＴ（−２）〜Ｔ（＋２）を用い、面発光サイリスタＴ（−２）〜Ｔ（＋２）には、各々ゲート電極Ｇ_-2〜Ｇ₊₂が設けられている。各々のゲート電極には、負荷抵抗Ｒ_L を介して電源電圧Ｖ_GKが印加される。また、各々のゲート電極Ｇ_-2〜Ｇ₊₂は、相互作用を作るために結合用抵抗Ｒ_I を介して電気的に接続されている。また、各単体発光サイリスタのアノード電極に、３本の転送クロックライン（φ₁ ，φ₂ ，φ₃ ）が、それぞれ３素子おきに（繰り返されるように）接続される。
【００３０】
動作を説明すると、まず転送クロックφ₃ がハイレベルとなり、面発光サイリスタＴ（０）がオンしているとする。このとき３端子サイリスタの特性から、ゲート電極Ｇ₀ は零ボルト近くまで引き下げられる。電源電圧Ｖ_GKを仮に５ボルトとすると、負荷抵抗Ｒ_L 、結合用抵抗Ｒ_I のネットワークから各面発光サイリスタのゲート電圧が決まる。そして、面発光サイリスタＴ（０）に近い素子のゲート電圧が最も低下し、以降順にＴ（０）から離れるにしたがいゲート電圧は上昇していく。これは次のように表せる。
【００３１】
Ｖ_G0＜Ｖ_G1＝Ｖ_G-1 ＜Ｖ_G2＝Ｖ_G-2 （１）
これらの電圧の差は、負荷抵抗Ｒ_L ，結合用抵抗Ｒ_I の値を適当に選択することにより設定することができる。
【００３２】
３端子サイリスタのアノード側のターンオン電圧Ｖ_ONは、ゲート電圧よりＰＮ接合の拡散電位Ｖ_dif だけ高い電圧となることが知られている。
【００３３】
Ｖ_ON≒Ｖ_G ＋Ｖ_dif （２）
したがって、アノードにかける電圧をこのターンオン電圧Ｖ_ONより高く設定すれば、その発光サイリスタはオンすることになる。
【００３４】
さてこの面発光サイリスタＴ（０）がオンしている状態で、次の転送クロックパルスφ₁ にハイレベル電圧Ｖ_H を印加する。このクロックパルスφ₁ は面発光サイリスタＴ（＋１）とＴ（―２）に同時に加わるが、ハイレベル電圧Ｖ_H の値を次の範囲に設定すると、面発光サイリスタＴ（＋１）のみをオンさせることができる。
【００３５】
Ｖ_G-2 ＋Ｖ_dif ＞Ｖ_H ＞Ｖ_G+1 ＋Ｖ_dif （３）
これで面発光サイリスタＴ（０），Ｔ（＋１）が同時にオンしていることになる。そしてクロックパルスφ₃ のハイレベル電圧を切ると、面発光サイリスタＴ（０）がオフとなりオン状態の転送ができたことになる。
【００３６】
このように、本実施例では抵抗ネットワークで各面発光サイリスタのゲート電極間を結ぶことにより、面発光サイリスタに転送機能をもたせることが可能となる。
【００３７】
上に述べたような原理から、転送クロックφ₁ ，φ₂ ，φ₃ のハイレベル電圧を順番に互いに少しずつ重なるように設定すれば、発光サイリスタのオン状態は順次転送されていく。すなわち、発光点が順次転送され、自己走査型発光装置を実現することができる。
【００３８】
図４は、面発光サイリスタのアレイ部分の平面図である。図２と同一の構成要素には、同一の参照番号を付して示す。ＳｉＯ₂ 膜２７（図４には図示せず）に設けられた開口２９を覆うように、面発光サイリスタのアレイ方向にＩＴＯ膜２８が設けられる。このＩＴＯ膜２８上にＡｌ配線１４０が設けられる。Ａｌ配線１４０は、面発光サイリスタのアレイ方向に延びる基部１４１と、基部に垂直方向であって、面発光サイリスタ間に延びる細長部１４２とからなり、いわゆるくし形状となっている。このように面発光サイリスタ間に細長部１４２を設けるのは、次の理由による。すなわち、アノード電極２５には、Ａｌ配線１４０からＩＴＯ膜２８を経て電流が供給される。Ａｌ配線１４０からＩＴＯ膜２８へ流れる電流の分布を考えた場合、Ａｌ配線１４０の細長部１４２があることによって、Ａｌ配線１４０とアノード電極２５との間の抵抗を小さくすることができるという利点がある。また、細長部１４２を設けることによって、サイリスタ間相互の電位の影響を防止することができるという利点もある。
【００３９】
【実施例３】
本実施例は、本発明者らが特開平２−１４５８４号公報にて開示した自己走査型発光装置であって、本発明の面発光サイリスタを適用できる例の１つである。
【００４０】
本実施例では、電気的接続の方法としてダイオードを用いた例について述べる。本実施例の自己走査型発光装置の原理を説明するための等価回路図を図５に示す。これは発光しきい電圧，電流が外部から制御できる発光サイリスタとして、本発明による３端子の面発光サイリスタを用いた場合を表している。面発光サイリスタＴ（−２）〜Ｔ（＋２）は、一列に並べられた構成となっている。Ｇ_-2〜Ｇ₊₂は、面発光サイリスタＴ（−２）〜Ｔ（＋２）のそれぞれのゲート電極を表す。Ｒ_L はゲート電極の負荷抵抗を表し、Ｄ_-2〜Ｄ₊₂は電気的相互作用を行うダイオードを表す。またＶ_GKは電源電圧を表す。各単体面発光サイリスタのアノード電極に、２本の転送クロックライン（φ₁ ，φ₂ ）がそれぞれ１素子おきに接続される。
【００４１】
動作を説明する。まず転送クロックφ₂ がハイレベルとなり、面発光サイリスタＴ（０）がオンしているとする。このとき３端子サイリスタの特性からゲート電極Ｇ₀ は零ボルト近くまで引き下げられる。電源電圧Ｖ_GKを仮に５ボルトとすると、抵抗Ｒ_L ，ダイオードＤ_-2〜Ｄ₊₂のネットワークから各発光サイリスタのゲート電圧が決まる。そして発光サイリスタＴ（０）に近い素子のゲート電圧が最も低下し、以降順にＴ（０）から離れるにしたがいゲート電圧は上昇していく。しかしながら、ダイオード特性の一方向性，非対称性から、電圧を下げる効果は、Ｔ（０）の右方向にしか働かない。すなわちゲート電極Ｇ₁ はＧ₀ に対し、ダイオードの順方向立ち上がり電圧Ｖ_dif （ＰＮ接合の拡散電位に等しい）だけ高い電圧に設定され、ゲート電極Ｇ₂ はＧ₁ に対し、さらにダイオードの順方向立ち上がり電圧Ｖ_dif だけ高い電圧に設定される。一方、Ｔ（０）の左側のゲート電極Ｇ_-1はダイオードＤ_-1が逆バイアスになっているため電流が流れず、したがって電源電圧Ｖ_GKと同電位となる。
【００４２】
次の転送クロックパルスφ₁ は、最近接の発光サイリスタＴ（１），Ｔ（−１）、そしてＴ（３）およびＴ（−３）等に印加されるが、これらのなかで、最もターンオン電圧の最も低い素子はＴ（１）であり、Ｔ（１）のターンオン電圧は約Ｇ₁ のゲート電圧＋Ｖ_dif であるが、これはＶ_dif の約２倍である。次にターン電圧の低い素子はＴ（３）であり、Ｖ_dif の約４倍である。Ｔ（−１）とＴ（−３）のオン電圧は、約Ｖ_GK＋Ｖ_dif となる。
【００４３】
以上から、転送クロックパルスのハイレベル電圧をＶ_dif の約２倍からＶ_dif の約４倍の間に設定しておけば、発光サイリスタＴ（１）のみをオンさせることができ、転送動作を行うことができる。
【００４４】
【実施例４】
本実施例は、本発明者らが特開平２−２６３６６８号公報にて開示した自己走査型発光装置であって、本発明の面発光サイリスタを適用できる例の１つである。
【００４５】
本実施例の発光装置の原理を説明するための等価回路図を図６に示す。
【００４６】
この自己走査型発光装置は、スイッチ素子Ｔ（−１）〜Ｔ（２）、書き込み用発光素子Ｌ（−１）〜Ｌ（２）からなる。スイッチ素子部分の構成は、ダイオード接続を用いた例を示している。スイッチ素子のゲート電極Ｇ_-1〜Ｇ₁ は、書き込み用発光素子のゲートにも接続される。書き込み用発光素子のアノードには、書き込み信号Ｓ_inが加えられている。
【００４７】
以下に、この発光装置の動作を説明する。いま、スイッチ素子Ｔ（０）がオン状態にあるとすると、ゲート電極Ｇ₀ の電圧は、Ｖ_GK（ここでは５ボルトと想定する）より低下し、ほぼ零ボルトとなる。したがって、書き込み信号Ｓ_inの電圧が、ＰＮ接合の拡散電位（約１ボルト）以上であれば、発光素子Ｌ（０）を発光状態とすることができる。
【００４８】
これに対し、ゲート電極Ｇ_-1は約５ボルトであり、ゲート電極Ｇ₁ は約１ボルトとなる。したがって、発光素子Ｌ（−１）の書き込み電圧は約６ボルト、発光素子Ｌ（１）の書き込み電圧は約２ボルトとなる。これから、発光素子Ｌ（０）のみに書き込める書き込み信号Ｓ_inの電圧は、約１〜２ボルトの範囲となる。発光素子Ｌ（０）がオン、すなわち発光状態に入ると、書き込み信号Ｓ_inラインの電圧は約１ボルトに固定されてしまうので、他の発光素子が選択されてしまう、というエラーは防ぐことができる。
【００４９】
発光強度は書き込み信号Ｓ_inに流す電流量で決められ、任意の強度にて画像書き込みが可能となる。また、発光状態を次の素子に転送するためには、書き込み信号Ｓ_inラインの電圧を一度零ボルトまでおとし、発光している素子をいったんオフにしておく必要がある。
【００５０】
この自己走査型発光装置において、スイッチ素子に図１で示した従来の面発光サイリスタを、発光素子に本発明の面発光サイリスタを用いることができる。また、スイッチ素子および発光素子の両方に本発明の面発光サイリスタを用いてもよい。なお、スイッチ素子からの発光は不要であるので遮光層を設けて、外部に光が出ないようにする必要がある。
【００５１】
【実施例５】
本実施例は、複数の発光素子を同時に発光できるようにした自己走査型発光装置である。この発光装置の等価回路図を、図７に示す。
【００５２】
図６の回路と異なるのは、発光素子を３つずつのブロックとし、１ブロック内の発光素子は１つのスイッチ素子によって制御し、かつ１ブロック内の発光素子にそれぞれ別々の書き込み信号ラインＳ_in１，Ｓ_in２，Ｓ_in３を接続して、発光素子の発光を制御した点である。図中、発光素子Ｌ₁ （−１），Ｌ₂ （−１），Ｌ₃ （−１）、発光素子Ｌ₁ （０），Ｌ₂ （０），Ｌ₃ （０）、発光素子Ｌ₁ （−１），Ｌ₂ （−１），Ｌ₃ （−１）等が、ブロック化された発光素子を示している。
【００５３】
動作は図６の回路と同じで、１素子ずつＳ_inによって発光が書き込まれていたものが、同時に複数書き込まれ発光し、それがブロックごとに転送するようになったものである。
【００５４】
いま、ＬＥＤプリンタ等の一般的に知られる光プリンタ用の光源として、この発光装置を用いることを考えると、Ａ４の短辺（約２１ｃｍ）相当のプリントを１６ドット／ｍｍの解像度で印字するためには約３４００ビットの発光素子が必要になる。
【００５５】
実施例４にて説明してきた発光装置では、発光しているポイントは常に一つで、上記の場合ではこの発光の強度を変化させて画像を書き込むことになる。これを用いて光プリンタを形成すると、通常使用されている光プリンタ用ＬＥＤアレイ（これは画像を書き込むポイントに位置するＬＥＤが、同時に発光するよう駆動ＩＣによって制御されている）に比べ、画像書き込み時に３４００倍の輝度が必要となり、発光効率が同じならば３４００倍の電流を流す必要がある。ただし発光時間は、逆に通常のＬＥＤアレイに比べ１／３４００となる。
【００５６】
しかし発光素子は、一般的に電流が増えると加速度的に寿命が短くなる傾向があり、いくらデューティが１／３４００とはいえ従来のＬＥＤプリンタに比べ、寿命が短くなってしまうという問題点を持っていた。
【００５７】
しかしながら本実施例によると、ビット総数が同じ条件で比較すると、この例では１ブロックに３素子が入っているため、実施例８の発光装置に比べて１素子の発光時間は３倍となる。したがって、オン状態の発光素子に流す電流は１／３でよく、実施例８に比べ長寿命化することが可能である。
【００５８】
本実施例では、１ブロックに３素子が含まれる場合を例示したが、この素子数が大きいほうが書き込み電流が小さくて済み、さらに長寿命化をはかることができる。
【００５９】
この自己走査型発光装置においても、スイッチ素子および／または発光素子に、本発明の面発光サイリスタを用いることができる。
【００６０】
【実施例６】
本発明の自己走査型発光装置の応用例として光プリンタへの応用について述べる。従来、ＬＥＤアレイの各画素に駆動用ＩＣを接続したモジュールを使って光プリンタへ応用した例が知られている。光プリンタの原理図を図８に示す。まず円筒形の感光ドラム６１の表面にアモルファスＳｉ等の光導伝性を持つ材料（感光体）が作られている。このドラムはプリントの速度で回転している。まず帯電器６７で感光体表面を一様に帯電させる。そして発光素子アレイ光プリントヘッド６８で印字するドットイメージの光を感光体上に照射し、光の当たったところの帯電を中和する。次に現像器で感光体上の帯電状態に従って、トナーを感光体上に付ける。そして転写器６２でカセット６１１中から送られてきた用紙６９上にトナーを転写する。そしてその用紙は定着器６３にて熱等を加えられ定着される。一方転写の終了したドラムは消去ランプ６５で帯電が全面に渡って中和され、清掃器６６で残ったトナーが除去される。
【００６１】
さて本発明による自己走査型発光装置を所定の実装基板上に直線状に一列に配列した発光素子アレイモジュールを光プリントヘッドに応用する。光プリントヘッドの構造を図９に示す。この光プリントヘッドは、発光素子アレイ６１２とロッドレンズアレイ６１３とで構成され、レンズの焦点が感光ドラム６１上に結ぶようになっている。この発光素子アレイモジュールからの光で感光ドラムに画像情報を書き込むことができる。
【００６２】
本実施例によれば、この発光素子アレイモジュールのコストを従来よりはるかに低減できるため、低価格のプリントヘッド、低価格の光プリンタを提供することができる。
【００６３】
【発明の効果】
本発明によれば、外部発光効率の良い面発光サイリスタを提供することが可能であり、このような面発光サイリスタを用いた自己走査型発光装置は、外部発光効率が良いうえに、駆動回路を必要としないので、光プリンタ用の低価格の光プリントヘッドを実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】メサ型のＰＮＰＮ構造の従来の面発光サイリスタの断面図および平面図である。
【図２】本発明の面発光ダイオードの断面図である。
【図３】自己走査型発光装置の等価回路図である。
【図４】Ａｌ配線を示す図である。
【図５】他の自己走査型発光装置の等価回路図である。
【図６】他の自己走査型発光装置の等価回路図である。
【図７】他の自己走査型発光装置の等価回路図である。
【図８】光プリンタ装置を示す図である。
【図９】発光素子モジュールとロッドレンズアレイとの組合せを示す図である。
【符号の説明】
１Ｎ形基板
２２，２４Ｎ形半導体層
２１，２３Ｐ形半導体層
２５アノード電極
２６ゲート電極
２７ＳｉＯ₂ 膜
２８ＩＴＯ膜
１４０Ａｌ配線

Claims

発光動作のためのしきい電圧またはしきい電流の制御電極を有する発光素子を複数個配列し、各発光素子の前記制御電極をその近傍に位置する少なくとも１つの発光素子の制御電極に、接続用抵抗または電気的に一方向性を有する電気素子を介して接続するとともに、各発光素子に電源ラインを負荷抵抗を介して前記制御電極に接続し、かつ各発光素子にクロックラインを接続して形成した自己走査型発光装置において、
前記発光素子を、
第１導電形の基板上に、第１導電形の第１の半導体層と、第２導電形の第２の半導体層と、第１導電形の第３の半導体層と、第２導電形の第４の半導体層とがこの順に積層された構造と、
第４の半導体層上に設けられた第１の電極と、
第３の半導体層上に設けられた第２の電極と、
前記積層構造を覆う絶縁被膜と、
前記第１の電極を含み発光面を露出させる開口と、
前記第１の電極に接触し、かつ、前記開口を覆うように設けられた透明導電膜と、
前記透明導電膜と接触するように設けられた金属配線と、
を備える面発光サイリスタで構成し、
この面発光サイリスタの第１の電極は、前記クロックラインに接続され、前記面発光サイリスタの第２の電極は、前記制御電極であり、
前記金属配線は、隣接する前記発光素子間に延びる細長部を有するくし形状である、ことを特徴とする自己走査型発光装置。
発光動作のためのしきい電圧またはしきい電流の制御電極を有する発光素子を複数個配列し、各発光素子の前記制御電極をその近傍に位置する少なくとも１つの発光素子の制御電極に、接続用抵抗または電気的に一方向性を有する電気素子を介して接続するとともに、各発光素子に電源ラインを負荷抵抗を介して前記制御電極に接続し、かつ各発光素子にクロックラインを接続して形成した自己走査型発光装置において、
前記発光素子を、
第１導電形の基板上に、第２導電形の第２の半導体層と、第１導電形の第３の半導体層と、第２導電形の第４の半導体層とがこの順に積層された構造と、
前記積層構造を覆う絶縁被膜と、
第４の半導体層上に設けられた第１の電極と、
第３の半導体層上に設けられた第２の電極と、
前記積層構造を覆う絶縁被膜と、
前記第１の電極を含み発光面を露出させる開口と、
前記第１の電極に接触し、かつ、前記開口を覆うように設けられた透明導電膜と、
前記透明導電膜と接触するように設けられた金属配線と、
を備える面発光サイリスタで構成し、
この面発光サイリスタの第１の電極は、前記クロックラインに接続され、前記面発光サイリスタの第２の電極は、前記制御電極であり、
前記金属配線は、隣接する前記発光素子間に延びる細長部を有するくし形状である、ことを特徴とする自己走査型発光装置。
スイッチング動作のためのしきい電圧またはしきい電流の第１の制御電極を有するスイッチ素子を複数個配列し、各スイッチ素子の第１の制御電極をその近傍に位置する少なくとも１つのスイッチ素子の第１の制御電極に、接続用抵抗または電気的に一方向性を有する電気素子を介して接続するとともに、各スイッチ素子に電源ラインを負荷抵抗を介して第１の制御電極に接続し、かつ各スイッチ素子にクロックラインを接続して形成した自己走査スイッチ素子アレイと、
発光動作のためのしきい電圧またはしきい電流の第２の制御電極を有する発光素子を複数個配列した発光素子アレイとからなり、
前記発光素子アレイの第２の制御電極を対応する前記スイッチ素子の第１の制御電極と電気的手段にて接続し、各発光素子に発光のための電流を印加するラインを設けた自己走査型発光装置において、
前記発光素子を、
第１導電形の基板上に、第１導電形の第１の半導体層と、第２導電形の第２の半導体層と、第１導電形の第３の半導体層と、第２導電形の第４の半導体層とがこの順に積層された構造と、
第４の半導体層上に設けられた第１の電極と、
第３の半導体層上に設けられた第２の電極と、
前記積層構造を覆う絶縁被膜と、
前記第１の電極を含み発光面を露出させる開口と、
前記第１の電極に接触し、かつ、前記開口を覆うように設けられた透明導電膜と、
前記透明導電膜と接触するように設けられた金属配線と、
を備える面発光サイリスタで構成し、
この面発光サイリスタの第１の電極は、前記電流印加ラインに接続され、前記面発光サイリスタの第２の電極は、前記第２の制御電極であり、
前記金属配線は、隣接する前記発光素子間に延びる細長部を有するくし形状である、ことを特徴とする自己走査型発光装置。
スイッチング動作のためのしきい電圧またはしきい電流の第１の制御電極を有するスイッチ素子を複数個配列し、各スイッチ素子の第１の制御電極をその近傍に位置する少なくとも１つのスイッチ素子の第１の制御電極に、接続用抵抗または電気的に一方向性を有する電気素子を介して接続するとともに、各スイッチ素子に電源ラインを負荷抵抗を介して第１の制御電極に接続し、かつ各スイッチ素子にクロックラインを接続して形成した自己走査スイッチ素子アレイと、
発光動作のためのしきい電圧またはしきい電流の第２の制御電極を有する発光素子を複数個配列した発光素子アレイとからなり、
前記発光素子アレイの第２の制御電極を対応する前記スイッチ素子の第１の制御電極と電気的手段にて接続し、各発光素子に発光のための電流を印加するラインを設けた自己走査型発光装置において、
前記発光素子を、
第１導電形の基板上に、第２導電形の第２の半導体層と、第１導電形の第３の半導体層と、第２導電形の第４の半導体層とがこの順に積層された構造と、
第４の半導体層上に設けられた第１の電極と、
第３の半導体層上に設けられた第２の電極と、
前記積層構造を覆う絶縁被膜と、
前記第１の電極を含み発光面を露出させる開口と、
前記第１の電極に接触し、かつ、前記開口を覆うように設けられた透明導電膜と、
前記透明導電膜と接触するように設けられた金属配線と、
を備える面発光サイリスタで構成し、
この面発光サイリスタの第１の電極は、前記電流印加ラインに接続され、前記面発光サイリスタの第２の電極は、前記第２の制御電極であり、
前記金属配線は、隣接する前記発光素子間に延びる細長部を有するくし形状である、ことを特徴とする自己走査型発光装置。
前記透明導電膜は、酸化インジウムまたは酸化インジウムスズよりなる、請求項１〜４のいずれかに記載の自己走査型発光装置。