JP3642456B2 - 電子部品の検査方法および装置 - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明はディスクリート型電子部品の特性検査において、端子と電子部品の外部電極との接触性を確保する方法および装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
例えば、コンデンサの絶縁抵抗測定では、測定電圧を被測定用コンデンサに印加し、十分に充電された後のコンデンサの漏れ電流を測定することにより、絶縁抵抗を測定している。当然ながら、良品のコンデンサは漏れ電流が少ない。しかし、漏れ電流が少ない状態は測定端子がコンデンサの外部電極に十分に接触していない時でも発生する。このため、測定端子を外部電極に確実に接触させる必要があるが、測定端子や外部電極上には酸化物や有機物による絶縁皮膜が形成されることがあり、測定端子と外部電極との電気的導通の障害となっている。
【0003】
従来では、このような絶縁皮膜による問題を克服するため、下記のような方法を組み合わせて実施していた。
1)測定端子形状を楔形とし、電子部品の外部電極の絶縁皮膜を破って接触させる方法。
2)測定端子の押し付け圧を大きくすることで、電子部品の外部電極の表面を陥没させ、接触性を得る方法。
3)測定端子を当てる際、電子部品の外部電極の表面を擦らせることで、測定端子や電子部品の外部電極の表面の絶縁皮膜を取り除き、接触させる方法。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記のような機械的方法により接触性の確保を図っていたため、下記のような問題点が発生していた。
1)電子部品の外部電極に著しい傷が残り、電子部品の使用時、半田付け性が劣化することがある。
2)測定端子の摩耗が激しく、頻繁に交換が必要となることがある。
3)部品の小型化に伴ってチップ化した電子部品では、外部電極もその外径に比例して狭小となる。そのため、測定端子との接触面積が十分に取れず、接触性を改善しにくい。
【0005】
そこで、本発明の目的は、上記のような機械的方法を用いずに、端子と電子部品の外部電極との接触性を確保することができる電子部品の検査方法および装置を提供することにある。
【0006】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するため、請求項1に記載の発明は、ディスクリート型電子部品の外部電極に対してそれぞれ2本ずつ端子を押し当てる工程と、同一の外部電極に接触する2本の端子間に、外部電極毎に互いの回路のアースが相互に接続されていないフローティング状態で個別に設けられた電気信号源から上記端子または外部電極上の絶縁皮膜を破壊しうる電気信号を印加する工程と、上記電気信号を印加した後、上記端子を外部電極に押し当てたまま異なる外部電極に接触する端子間に測定信号を流すことにより、電子部品の特性を検査する工程と、を有する検査方法を提供する。
【0007】
電子部品の外部電極に対してそれぞれ2本ずつ端子を押しつけ、同一の外部電極に接触する2本の端子間に電気信号源から所定の電気信号を印加すると、端子または外部電極上の絶縁皮膜が破壊される。絶縁破壊によって絶縁皮膜がクリーニングされ、端子と外部電極との接触抵抗が低下して確実に導通する。絶縁皮膜をクリーニングした後、端子を外部電極に押し当てたまま異なる外部電極に接触する端子間に測定信号を流し、電子部品に流れる信号を検出することで電子部品の特性を検査する。このようにすれば、機械的方法を用いずに端子と外部電極とを確実に導通させることができ、特性を正確に検査できる。しかも、端子を外部電極に必要以上に強く押しつける必要がないので、狭小な外部電極を有する小型の電子部品にも適用できる。
【0008】
絶縁破壊しうる電気信号は、絶縁皮膜の組成や厚みによって異なるが、例えば20〜10000V/μm程度の電圧を印加することで、絶縁破壊が起こると考えられる。電気信号は直流電圧または交流電圧のいずれでもよいし、両者の組み合わせ(例えば直流電圧に交流電圧を重畳する)とすることで、接触性をより効果的に確保することも可能である。また、電気信号の印加方法は、連続印加であってもよいし、断続印加であってもよい。
【0009】
請求項1の発明では、電気信号を印加する方法として、同一の外部電極に接触する2本の端子間に電気信号源から電気信号を印加している。つまり、一対の外部電極を有する電子部品の場合、これら外部電極の間に絶縁破壊を起こさせる電気信号を印加すると、電子部品本体に電流が流れ、その電気的特性に悪影響を及ぼす可能性があるが、請求項1のように外部電極のみに電気信号を印加するようにすれば、電子部品本体には電気信号が流れない。そのため、電子部品の種類に関係なく絶縁皮膜を破壊することができる。
また、請求項1では、外部電極毎に互いの回路のアースが相互に接続されていないフローティング状態で個別に設けられた電気信号源から電気信号を印加している。そのため、何れかの端子と外部電極との接触性が悪い場合でも、電気信号が電子部品の中を流れるのを確実に防止できる
【0010】
請求項2のように、電気信号を印加する工程において、端子と外部電極との間に流れる電流により、端子と外部電極との接触検出を行なうのが望ましい。この場合には、接触性の改善と、接触性の確認とを同時に行なうことができるので、作業効率が向上する
【0011】
請求項に記載の発明は、ディスクリート型電子部品の特性を検査する装置において、上記電子部品の外部電極に対してそれぞれ2本ずつ押し当てられる端子と、上記外部電極毎に互いの回路のアースが相互に接続されていないフローティング状態で個別に設けられ、同一の外部電極に接触する2本の端子間に上記端子または外部電極上の絶縁皮膜を破壊しうる電気信号を印加する電気信号源と、
異なる外部電極に接触する端子間に測定信号を流すことにより、電子部品に流れる信号から電子部品の特性を測定する測定器と、上記電気信号源と測定器とを上記端子に対して選択的に接続する切換手段とを備えたものである。
このように構成することで、請求項1に記載された検査方法を簡単な回路で実施できる。
【0012】
請求項に記載のように、電気信号源から端子を介して流れる電流により、端子と外部電極との接触検出を行なう接触検出回路を設ければ、請求項2と同様な効果を奏する。
【0014】
【発明の実施の形態】
図1は検査装置の第1参考例を示す。被検体1であるディスクリート型電子部品としては、例えばコンデンサ、抵抗器、チップコイルなどが用いられる。
図1において、被検体1の両側には外部電極2、3が設けられ、これら外部電極2、3に対してそれぞれ1本の端子4、5が接触可能となっている。端子4、5は切換器6、7を介して電気信号源8と測定器9とに選択的に接続されるようになっている。
【0015】
電気信号源8は、端子4,5や外部電極2,3上に形成される酸化物や有機物による絶縁皮膜を破壊しうる電気信号を発生するものであり、絶縁皮膜の単位厚み当たりの電圧が例えば20〜10000V/μm程度となるように、直流または交流の電圧を発生する。
【0016】
測定器9は従来公知のものであり、被検体1に測定信号を流し、被検体1に流れる信号から被検体1の特性を測定するものである。例えば被検体1がコンデンサの場合、直流電源と被検体1に流れる漏れ電流を測定する測定回路とを備え、漏れ電流から被検体1の絶縁抵抗を測定するものである。なお、測定器9は被検体1の種類に応じて変更すればよい。
【0017】
次に、上記構成からなる検査装置の動作を説明する。
まず切換器6,7を電気信号源8側へ切り換えておき、端子4,5を被検体1の外部電極2,3に押し当てると、端子4,5から外部電極2,3を経て被検体1に電気信号が印加される。そのため、端子4,5や外部電極2,3上に形成された酸化物や有機物による絶縁皮膜が破壊され、端子4,5と外部電極2,3とが確実に導通する。
【0018】
次に、端子4,5を被検体1の外部電極2,3に押し当てた状態のままで、切換器6,7を測定器9側へ切り換え、測定信号を被検体1に印加する。これにより、被検体1に流れる信号を測定器9で検出することで、被検体1の特性を測定することができる。このとき、端子4,5と外部電極2,3とが確実に導通しているので、被検体1の特性を正確に測定でき、誤差が少ない。
【0019】
上記参考例の場合には、被検体1に対して直接的に絶縁破壊のための電流が流れるが、被検体1がコンデンサのような容量性電子部品の場合には、電気信号として交流電圧を印加すれば、被検体1自体のインピーダンスが低くなるので、絶縁皮膜を効果的に破壊することができ、接触性を促進することができる。
【0020】
図2は検査装置の第2参考例を示し、図1と同一部品には同一符号を付して説明を省略する。
この参考例では、各外部電極2、3に対して2本の端子4a、4bおよび5a、5bが接触するように構成され、端子4a、5aは第1参考例と同様に切換器6、7を介して電気信号源8と測定器9とに選択的に接続されるようになっている。また、端子4b、5bは、切換器10を介して互いに接続されている。
【0021】
第2参考例の場合、切換器6、7を電気信号源8側に切り換え、かつ切換器10をONした状態で、端子4a、4bおよび5a、5bを被検体1の外部電極2、3に押し当てると、図2の破線矢印で示すように、絶縁破壊電流が流れる。つまり、絶縁破壊電流は切換器10をバイパスして流れるので、被検体1には直接的に流れず、外部電極2、3に沿って流れるに過ぎないので、被検体1の電気的特性を損なわず、かつ電気信号と測定信号とが干渉することがない。端子4、5や外部電極2、3上の絶縁皮膜を破壊した後、端子4a、4bおよび5a、5bを外部電極2、3に押し当てた状態のままで、切換器6、7を測定器9側へ切り換え、かつ切換器10をOFFし、測定信号を被検体1に印加する。これにより、被検体1の特性を測定する。
【0022】
図3は本発明にかかる検査装置の第実施例を示し、図1と同一部品には同一符号を付して説明を省略する。
この実施例では、図2と同様に外部電極2、3に対してそれぞれ接触する2本の端子4a、4bおよび5a、5bが設けられ、それぞれの組の端子4a、4bおよび5a、5bは互いの回路のアースが相互に接続されていないフローティング状態で個別に設けられた電気信号源8a、8bと切換器6、7を介して接続されている。
【0023】
第1実施例の場合、切換器6、7を電気信号源8a、8b側に切り換えた状態で、端子4a、4bおよび5a、5bを被検体1の外部電極2、3に押し当てると、図3の破線矢印で示すように外部電極2、3にのみ絶縁破壊電流が流れ、被検体1自信には直接的に流れないので、被検体1の電気的特性を損なわず、電気信号と測定信号との干渉を防止できる。また、被検体1の外部電極2、3毎に電気信号源8a、8bが互いの回路のアースが相互に接続されていないフローティング状態で個別に設けられているので、いずれかの端子4a、4bおよび5a、5bと外部電極2、3との接触性が悪い場合に、不用意に測定信号以外の信号が被検体1に加わるのを防ぐことができる。
【0024】
端子4a,4b,5a,5bまたは外部電極2,3上の絶縁皮膜を破壊した後、端子4a,4b,5a,5bを外部電極2,3に押し当てた状態のままで、切換器6,7を測定器9側へ切り換え、測定信号を被検体1に印加することにより、被検体1の特性を測定する。
【0025】
図4は本発明にかかる検査装置の第実施例を示し、図1と同一部品には同一符号を付して説明を省略する。
この実施例は、図3の実施例の絶縁破壊回路に接触検出回路を追加したものである。すなわち、フォトカプラ11、12の発光ダイオード11a、12aが端子4a、4bおよび5a、5bと直列に接続されており、受光素子であるフォトトランジスタ11b、12bの一端には定電圧VO が印加され、他端はアースされている。フォトトランジスタ11b、12bの一端はNOR回路13の入力とも接続され、両方のフォトトランジスタ11b、12bがON(NOR回路13の両出力がLレベル)の時、NOR回路13から接触検出信号が出力される。つまり、絶縁破壊回路に電流が流れると(絶縁破壊が起こると)、フォトトランジスタ11b、12bがONとなり、NOR回路13の両出力がLレベルとなるので、NOR回路13の出力から端子4a、4b、5a、5bと外部電極2、3との接触検出を行なうことができる。
【0026】
図5は図4の検査装置における測定タイムチャートを示す。
最初は端子4a,4bおよび5a,5bを外部電極2,3から離しておき、時刻t1端子4a,4bおよび5a,5bを外部電極2,3に押しつけ、電気信号を印加して絶縁皮膜のクリーニングを行なうとともに、接触検出を行なう。時刻t2 で切換器6,7を切り換え、クリーニングと接触検出を終了すると同時に、特性測定を開始する。時刻t3 で切換器6,7を切り換えて特性測定を終了し、その後、端子4a,4bおよび5a,5bを外部電極2,3から離す。
上記のように、電気信号によるクリーニングと並行して接触検出を行なうようにすれば、接触性の確保と確認とを効率よく行なうことができる。
【0027】
図4の例では接触検出回路としてフォトカプラ11,12を用いたが、図6のようにリレー14を用いることも可能である。すなわち、発光ダイオード11a,12aに代えて励磁コイル14aを用い、フォトトランジスタ11b,12bに代えてスイッチ14bを用いたものである。この場合も、フォトカプラ11,12を用いた場合と同様の効果を奏する。
【0028】
図7は本発明にかかる検査装置の第実施例を示し、図1と同一部品には同一符号を付して説明を省略する。
この実施例は、図4の実施例の変形例であり、フォトカプラ11、12の発光ダイオード11a、12aを絶縁破壊回路に並列に追加したものである。すなわち、フォトカプラ11、12の発光ダイオード11a、12aが端子4a、4bおよび5a、5bと並列に接続されており、フォトトランジスタ11b、12bの入力はAND回路15の入力と接続されている。端子4a、4b、5a、5bと外部電極2、3とが導通していない時には、フォトトランジスタ11b、12bはONとなり、AND回路15の2つの入力は共にLレベルである。端子4a、4b、5a、5bと外部電極2、3とが導通し、絶縁破壊回路に電流が流れると(絶縁破壊が起こると)、フォトトランジスタ11b、12bはOFFとなり、AND回路15の2つの入力は共にHレベルとなって、AND回路15から接触検出信号が出力される。
この場合も、フォトカプラ11、12に代えてリレーを用いることができる。
【0029】
上記実施例では、測定信号を印加する回路と、絶縁破壊を起こさせる電気信号を印加する回路とを切換器によって選択的に切り換えるようにしたが、電気信号が測定信号に対して干渉しないように、測定信号と電気信号の印加タイミングをずらせば、切換器を省略することも可能である。
図4〜図7の例では、絶縁破壊回路中に接触検出回路を設けるようにしたが、接触検出回路を絶縁破壊回路とは別に設け、切換器によって切り換えるようにしてもよい。接触検出方法としては、例えば端子に交流電流を流す方法など、種々の方法を用いることができる。
また、被検体の特性を測定する方法も、直流電圧,交流電圧を印加する方法のほか、被検体の種類に応じて種々の方法を用いることができる。
【0030】
【発明の効果】
以上の説明で明らかなように、請求項1に記載の発明によれば、ディスクリート型電子部品の特性検査時に、絶縁皮膜を電気的に破壊するようにしたので、端子の接触性を確保できるとともに、電子部品の外部電極や端子に与える摩耗や傷を最小限にでき、信頼性の高い検査装置を実現できる。
また、電子部品の外部電極に対してそれぞれ2本ずつ端子を押しつけ、同一の外部電極に接触する2本の端子間に電気信号源から電気信号を印加して絶縁皮膜を破壊するようにしたので、外部電極にのみ電気信号が印加され、電子部品本体には電気信号が流れない。そのため、電子部品を保護できる。
さらに、外部電極毎に互いの回路のアースが相互に接続されていないフローティング状態で個別に設けられた電気信号源から電気信号を印加しているため、何れかの端子と外部電極との接触性が悪い場合でも、電気信号が電子部品の中を流れるのを確実に防止できる
【図面の簡単な説明】
【図1】査装置の第1参考例の回路図である。
【図2】査装置の第2参考例の回路図である。
【図3】本発明にかかる検査装置の第実施例の回路図である。
【図4】本発明にかかる検査装置の第実施例の回路図である。
【図5】図4に示された実施例の測定タイムチャート図である。
【図6】図4に示された実施例の一部変更図である。
【図7】本発明にかかる検査装置の第実施例の回路図である。

Claims (4)

  1. ディスクリート型電子部品の外部電極に対してそれぞれ2本ずつ端子を押し当てる工程と、
    同一の外部電極に接触する2本の端子間に、外部電極毎に互いの回路のアースが相互に接続されていないフローティング状態で個別に設けられた電気信号源から上記端子または外部電極上の絶縁皮膜を破壊しうる電気信号を印加する工程と、
    上記電気信号を印加した後、上記端子を外部電極に押し当てたまま異なる外部電極に接触する端子間に測定信号を流すことにより、電子部品の特性を検査する工程と、を有する検査方法。
  2. 上記電気信号を印加する工程において、上記端子と外部電極との間に流れる電流により、上記端子と外部電極との接触検出を行なうことを特徴とする請求項1に記載の検査方法。
  3. ディスクリート型電子部品の特性を検査する装置において、
    上記電子部品の外部電極に対してそれぞれ2本ずつ押し当てられる端子と、
    上記外部電極毎に互いの回路のアースが相互に接続されていないフローティング状態で個別に設けられ、同一の外部電極に接触する2本の端子間に上記端子または外部電極上の絶縁皮膜を破壊しうる電気信号を印加する電気信号源と、
    異なる外部電極に接触する端子間に測定信号を流すことにより、電子部品に流れる信号から電子部品の特性を測定する測定器と、
    上記電気信号源と測定器とを上記端子に対して選択的に接続する切換手段と、を備えたことを特徴とする検査装置。
  4. 上記電気信号源から端子を介して流れる電流により、上記端子と外部電極との接触検出を行なう接触検出回路が設けられていることを特徴とする請求項3に記載の検査装置。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2017634A1 (en) 2007-07-20 2009-01-21 Tokyo Electron Limited Inspection apparatus, probe card and inspection method
JP2018037502A (ja) * 2016-08-31 2018-03-08 日亜化学工業株式会社 発光装置の検査方法

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4841737B2 (ja) * 2000-08-21 2011-12-21 東京エレクトロン株式会社 検査方法及び検査装置
JP4456325B2 (ja) * 2002-12-12 2010-04-28 東京エレクトロン株式会社 検査方法及び検査装置
JP4387125B2 (ja) * 2003-06-09 2009-12-16 東京エレクトロン株式会社 検査方法及び検査装置
JP5016892B2 (ja) * 2006-10-17 2012-09-05 東京エレクトロン株式会社 検査装置及び検査方法
JP2008157818A (ja) 2006-12-25 2008-07-10 Tokyo Electron Ltd 検査方法、検査装置及びプログラムを記憶したコンピュータ読み取り可能な記憶媒体
SG153689A1 (en) * 2007-12-17 2009-07-29 Test Max Mfg Pte Ltd Contactor assembly for integrated circuit testing
JP5326501B2 (ja) * 2008-10-31 2013-10-30 株式会社村田製作所 積層セラミックコンデンサの選別方法
AU2011343593B2 (en) 2010-12-16 2016-02-25 Boston Scientific Scimed, Inc. Micro-needle bladder balloon
US11357955B2 (en) 2011-09-01 2022-06-14 Boston Scientific Scimed, Inc. Devices, systems, and related methods for delivery of fluid to tissue
JP5265746B2 (ja) * 2011-09-22 2013-08-14 東京エレクトロン株式会社 プローブ装置
US10002317B1 (en) * 2017-04-10 2018-06-19 Brady Worldwide, Inc. Label with graphene layer and system for authentication of label
DE102018117815A1 (de) * 2018-07-24 2020-01-30 Amad - Mennekes Holding Gmbh & Co. Kg Überwachung des Kontaktbereiches in einer Steckvorrichtung

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3931506A (en) * 1974-12-30 1976-01-06 Zehntel, Inc. Programmable tester
JPS5840703B2 (ja) * 1976-02-20 1983-09-07 日本精密計測株式会社 非破壊絶縁試験装置
US4296370A (en) * 1979-10-11 1981-10-20 Rca Corporation Method of detecting a thin insulating film over a conductor
US4466850A (en) * 1980-12-29 1984-08-21 General Electric Company Method for fabricating a one-time electrically activated switch
US4697142A (en) * 1985-04-01 1987-09-29 Ibm Corporation Printed circuit conductor test system
JPH0673568B2 (ja) 1985-11-18 1994-09-21 株式会社三洋物産 パチンコ遊技機
US4851707A (en) * 1987-07-16 1989-07-25 Lindsay Audiophyle Associates "Fritting" technique and apparatus for improving the sound of switches and connectors in audio circuits
US6028573A (en) * 1988-08-29 2000-02-22 Hitachi, Ltd. Driving method and apparatus for display device
JP3108455B2 (ja) * 1991-03-22 2000-11-13 アジレント・テクノロジー株式会社 ブレークダウン電圧の測定方法
US5432460A (en) * 1994-01-03 1995-07-11 International Business Machines Corporation Apparatus and method for opens and shorts testing of a circuit board
KR960026519A (ko) * 1994-12-31 1996-07-22 김주용 유전체에 대한 신뢰성 측정 방법
US5682049A (en) * 1995-08-02 1997-10-28 Texas Instruments Incorporated Method and apparatus for trimming an electrical value of a component of an integrated circuit
US5959448A (en) * 1996-09-06 1999-09-28 Automatic Switch Company Optically isolated line voltage sensing circuit
US6377858B1 (en) * 1997-10-02 2002-04-23 Lucent Technologies Inc. System and method for recording and controlling on/off events of devices of a dwelling
JPH11174124A (ja) 1997-12-12 1999-07-02 Toshiba Battery Co Ltd 電気特性評価装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2017634A1 (en) 2007-07-20 2009-01-21 Tokyo Electron Limited Inspection apparatus, probe card and inspection method
JP2018037502A (ja) * 2016-08-31 2018-03-08 日亜化学工業株式会社 発光装置の検査方法

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