JP3642225B2 - 多角形電子部品の溝切装置 - Google Patents

多角形電子部品の溝切装置 Download PDF

Info

Publication number
JP3642225B2
JP3642225B2 JP11444599A JP11444599A JP3642225B2 JP 3642225 B2 JP3642225 B2 JP 3642225B2 JP 11444599 A JP11444599 A JP 11444599A JP 11444599 A JP11444599 A JP 11444599A JP 3642225 B2 JP3642225 B2 JP 3642225B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electronic component
polygonal
polygonal electronic
chuck
spindle
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP11444599A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2000306714A (ja
Inventor
正治 ▲高▼橋
勝之 藤本
誠道 谷
講平 原薗
研一 山田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Corp
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Panasonic Corp
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Panasonic Corp, Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Panasonic Corp
Priority to JP11444599A priority Critical patent/JP3642225B2/ja
Publication of JP2000306714A publication Critical patent/JP2000306714A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3642225B2 publication Critical patent/JP3642225B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Apparatuses And Processes For Manufacturing Resistors (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、多角形断面形状で端子電極を有する電子部品の本体部に、螺旋状の溝加工を行って電子部品の所定機能を形成する多角形電子部品の溝切装置を関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来における電子部品の本体部に螺旋状の溝加工を行う装置について図面を用いて説明する。図9は従来における電子部品の本体部の溝切装置の要部構成斜視図、図10は同電子部品の移送を示す要部斜視図である。
【0003】
図9、図10において60は炭素皮膜抵抗器、金属皮膜抵抗器あるいは酸化金属皮膜抵抗器などの電子部品であり、円柱あるいは円筒状の本体62と、本体62の両端に嵌め込んだ金属キャップ61とにより構成されている。
【0004】
53,54は鋼材などでなる対のスピンドルチャックであり、片側の先端53a,54aの先端部に金属キャップ61が嵌り込む半球凹部59を設けており、回転およびX,Y,Z方向に移動自在に設置されている。
【0005】
51,52は金属材などでなり対向する先端の内面に本体62を把持して移送する半円溝51a,52aを設けた移載チャック63を構成するチャック片であり、同期してX,Y,Z方向へ移動自在にスピンドルチャック53,54の近傍に直交して設置されている。
【0006】
55はシャフト64の一端に固定され回転自在で厚みの薄い円板砥石、57はシャフト64の他端に結合されたプーリであり、駆動機構(図示せず)の回転駆動力を伝達する駆動ベルト58を懸架しており、円板砥石55を回転させその外円周に当接した本体62の表面を、所定の研削あるいは溝加工を行う溝加工機構56を構成している。
【0007】
前記構成の溝切装置における溝加工動作は、移載チャック63におけるチャック片51,52の半円溝51a,52aに把持され、移載チャック63の移動により移送された電子部品60を、その金属キャップ61を半球凹部59に挿入してスピンドルチャック53,54により保持した後、電子部品60を解放した移載チャック63を元の位置に復帰させることから行う。
【0008】
続いてスピンドルチャック53,54の移動により本体62の溝加工開始箇所に、回転する円板砥石55の外円周を当接させ、スピンドルチャック53,54を図9に示す矢印方向の左右水平移動と回動を同期させて行うことにより、本体62の表面所定箇所に螺旋状の溝加工を行うのである。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前記従来の溝切装置は多角形電子部品、例えば近年の電子部品の小型化に伴う1005サイズ、0603サイズといった微小な角形チップ部品に対応することが困難である。また、多角形電子部品の製造方法として、例えば特開平7−307201号公報に開示されているが、チップ部品およびその製造方法であり溝切装置ではない。
【0010】
また、前記従来の溝切装置は、図10に示すような円柱あるいは円筒状の電子部品60を扱うため、電子部品60の長軸に対しての方向性が無く、パーツフィーダーなどから送出し供給された電子部品60を分離し、移載する移載チャック63における把持用溝も製品形状にあった半円溝51a,52aで形成される断面円形状のものである。
【0011】
このため多角形電子部品に前記移載チャック63を適用すると、多角形状の稜線部に保持力が集中し、電極部49のコーナーに対して傷、打痕などのダメージを与えることになる。
【0012】
また、製品である電子部品60を把持し保持するスピンドルチャック53,54は連続回転しており、移載チャック63から電子部品60を受取りスピンドル53,54が回転を始める際にも、移載チャック63との間で多角形状の電極部のコーナーに同じくダメージを与えることになる。
【0013】
本発明は、前記の課題を解決しようとするものであり、多角形電子部品の溝加工が可能となる多角形電子部品の溝切装置を提供することを目的とするものである。
【0014】
【課題を解決するための手段】
前記課題を解決するために、本発明の多角形電子部品の溝切装置は、電極部を両端に設けた多角形電子部品の前記電極部を、その電極部の形状に合致させた多角錐状の窪みを有する一対のスピンドルチャックにて挟侍し、この多角形電子部品を回転および水平移動させる機構と、前記多角形電子部品の表面の形成素子にレーザ光を照射して螺旋状に溝加工するレーザ機構とにより構成されたものであり、多角形電子部品にダメージを与えることなく確実に保持して一定の溝加工が可能となる。
【0015】
【発明の実施の形態】
本発明の請求項1に記載の発明は、電極部を両端に設けた多角形電子部品の前記電極部を、その電極部の形状に合致した多角錐状の窪みを有するスピンドルチャックにて挟持し、この多角形電子部品を回転および水平移動させる機構と、前記多角形電子部品の表面にレーザ光を照射して螺旋状に溝加工するレーザ機構とにより構成された多角形電子部品の溝切装置としたものであり、多角形電子部品の電極部に対し、その稜線部と合致した多角錐状の窪みを有するスピンドルチャックを使用するため、特定の箇所に保持力が集中せず、前記電極部のコーナーに対してダメージを与えることが無く、かつ安定した保持が可能であり、溝加工による形成素子の特性バラツキを小さくかつ安定にできるという作用を有する。
【0017】
請求項に記載の発明は、スピンドルチャックの回転角度を検出するセンサーを配置してなる請求項1に記載の多角形電子部品の溝切装置であり、レーザ光照射タイミング位置が設定できるという作用を有する。
【0018】
請求項に記載の発明は、スピンドルチャックをその回転と同期して平行に水平移動させる請求項1または2に記載の多角形電子部品の溝切装置であり、レーザ光の照射焦点を被加工表面の加工点に常に維持できるという作用を有する。
【0019】
請求項に記載の発明は、L字形状の先端切欠きを設けた真空チャックにより多角形電子部品を溝加工位置まで移載する分離供給機構を設けた請求項1〜のいずれか1つに記載の多角形電子部品の溝切装置であり、微小な多角形電子部品を、分離し移載して溝加工回転軸線に対してセンタリングされながら安定して保持でき、干渉などにより多角形電子部品に損傷を与えないという作用を有する。
【0020】
以下、本発明の実施の形態を図面を用いて説明する。図1は本発明の実施の形態における多角形電子部品の溝切装置の要部斜視図、図2は図1の後方からの要部斜視図、図3は同多角形電子部品の分離供給機構の要部斜視図、図4は同真空チャックに多角形電子部品が分離後保持されスピンドルチャック回転軸上に移送された状態を示す要部斜視図、図5は同スピンドルチャック先端形状の要部斜視図、図6は同溝加工動作状態を示す要部斜視図、図7は同レーザ光焦点を電子部品表面上に保ち溝加工する模式図、そして図8は溝加工された多角形電子部品の斜視図である。
【0021】
図8において50は炭素皮膜抵抗器、金属皮膜抵抗器、酸化金属皮膜抵抗器、あるいは表面波フィルタなどの多角形電子部品であり、所定の機能を得るための形成素子を設けた四角柱あるいは四角筒状のセラミックなどの絶縁材料でなる本体部50aと、本体部50aの両端に設けた電極部49により構成されている。48は本体部50aに形成した溝加工部である。
【0022】
図1〜図7において1は鋼材などでなりテーパ状先端の端面に、多角形電子部品50の電極部49の断面形状に相似した四角錐形状の先端凹部1aを設け回転およびX,Y,Z方向に移動自在なスピンドルチャックである。2はスピンドルチャック1と一直線上に設けられて一対となり、先端凹部1aに対向して突出部の先端2aを設け、同期あるいは独立して回転およびX,Y,Z方向に移動自在なスピンドルチャックである。
【0023】
なお、先端凹部1aの形状は前記の四角錐形状のみでなく溝加工する電子部品の電極形状に相似した円錐あるいは多角錐形状にすればよい。
【0024】
3,4は平歯車であり、スピンドルチャック1,2の他端に結合された回転軸3a,4aの一端に結合されており、同じく平歯車5,6と噛み合って回転駆動力をスピンドルチャック1,2に伝達する。
【0025】
7は平歯車5,6を軸上の所定箇所に固着したシャフトであり、片側を取付板44を介して金属材などでなる一部分がL字形状のフレーム27の垂直面部に回転自在に取付けられ、また一端にはスリットなどを外円周に設けたタイミングカム8を、そして多角形電子部品50の本体50aの断面形状に相似形のカム9を軸上の所定個所に配置し固着している。
【0026】
10は一端をフレーム27の垂直面部の一端に固定された取付アングル42の上部に装着されたサーボモータであり、カップリング11を介して取付アングル42に回転自在に取付けられたシャフト7の他端に連結されている。
【0027】
41はタイミングカム8のスリットを検出する磁気、静電容量あるいは光式などによるセンサーであり、前記固定板44の一端上部に設置されている。
【0028】
12は金属材などでなるプレート19の上面に載置された直動軸受であり、回転軸4aを回転自在に保持する取付アングル4bを移動自在に搭載し、スピンドルチャック2を取付アングル4bの内上面に固定したレバー13を駆動することによりその回転軸方向すなわち長手方向に摺動可能としている。
【0029】
14は一端をプレート19に他端を取付アングル4bの側面に張架した引張バネであり、スピンドルチャック2をスピンドルチャック1の方向に付勢する保持力を発生させている。
【0030】
15は金属板などでなる角筒形状のシュート、16はシュート15の先端を連結し、かつ固定フレーム30の側面に装着された金属材などでなる受箱であり、溝加工が終了しシュート15を通過した多角形電子部品50を収納する。
【0031】
17,18は、金属材などでなり一部分がL字形状のフレーム27の水平面部に配設された直動軸受であり、回転軸3aを回転自在に保持した取付アングル43、取付アングル4b、直動軸受12すなわちスピンドルチャック1,2を上面に配設および搭載したプレート19をスピンドルチャック1,2の回転軸方向すなわち長手方向に摺動可能としている。
【0032】
20はボールネジであり、取付アングル21aを介してフレーム27の垂直面部に装着されたサーボモータ21の回転駆動力がタイミングベルト22を介して伝達され、これを直動運動に変換してプレート19を水平方向に移動させる。
【0033】
23はYAG、炭酸ガス、あるいは半導体などでなるレーザ機構、24はレーザ機構23で発生し集光焦点を多角形電子部品50の本体50aの所定箇所に照射するレーザ光、25,26は固定フレーム30の側面に配置された直動軸受であり、フレーム27をレーザ光24に対して平行すなわち垂直方向に移動自在としている。
【0034】
28は金属材などでなり一端に回動自在に取付けたカムフォロア28aの追従により、前記カム9の外周形状による変位を伝達するレバーであり、フレーム27の後背面部に取付板29a,29bを介して配置された支点軸29を中心に揺動し、金属材などでなり本体台となる固定フレーム30に対して、フレーム27をスライドさせる駆動力を伝達するのであり、この時のレバー比は前記カム9の相似比に設定されている。
【0035】
また、図3において、31は供給された多角形電子部品50を個別に分離し吸着してスピンドルチャック1,2まで移載する一端に駆動体31aを連結した真空チャックであり、金属材などでなる固定立板46の側面に配設された直動軸受32に載置されて水平移動自在としている。
【0036】
33は取付アングル33aを介して金属材などでなる台板45に設置されたサーボモータであり、タイミングベルト34を介して固定立板46に回転自在に取付けられたカム35を回転駆動する。
【0037】
36はレバーであり、一端で固定立板46に揺動自在に取付けられ、カム35の外周形状変位を他端に連結した駆動体31aの駆動により真空チャック31に伝達している。
【0038】
37はパーツフィーダーであり、上部に設置され一端を真空チャック31に連接したヘッド部37aにおいて多角形電子部品50を整列して、真空チャック31に排出し供給する。
【0039】
38は前記したレバー13の先端部に当接するカムフォロアである回転自在なローラ39を先端に配設したレバーであり、レバー38は前記レバー36と同じくサーボモータ33で回転駆動されるカム(図示せず)により、水平の矢印方向に揺動自在としている。以上により多角形電子部品50の分離供給機構を構成している。
【0040】
前記真空チャック31に多角形電子部品50が分離し供給された後保持され、スピンドルチャック1,2の回転軸線上に移送された状態を図4に示しており、真空チャック31の先端断面はL字形状の切欠き部になっており、長手軸方向に設けた真空孔40から分岐した真空枝孔40a,40bを2辺に配設している。
【0041】
また、図7における47はレーザ光24を多角形電子部品50の所定個所に集光する集光レンズである。なお48は溝加工部である。
【0042】
以上、前記のように構成された多角形電子部品の溝切装置の動作について説明する。
【0043】
まずパーツフィーダー37のヘッド部37aから整列して排出し供給された多角形電子部品50は、ヘッド部37aの先端部より真空チャック31のL字形状の切欠き部分に載置され、真空枝孔40a,40bによる真空力により吸着し保持される。
【0044】
真空チャック31の先端は、サーボモータ33の回転駆動力によりタイミングベルト34を介して回転駆動されたカム35と、その外円周形状による変位を伝達するレバー36、直動軸受32により前進し、スピンドルチャック1,2の回転軸線上に移動する。
【0045】
次に同じくサーボモータ33の回転駆動力によりレバー38が揺動し、ローラ39、レバー13を介してスピンドルチャック2を水平移動させて、スピンドルチャック1との間を多角形電子部品50の長さより少し長く押し広げ、多角形電子部品50をスピンドルチャック1の先端凹部1aとスピンドルチャック2の先端2a間に載置する。
【0046】
スピンドルチャック2の先端2aの先端面は平坦であり、かつ多角形電子部品50の電極部49の端面よりもわずかに小さい断面積であるので、多角形電子部品50を挟持させるためにレバー38が揺動し前進した際には、真空チャック31に干渉することなく多角形電子部品50を押圧し移動させることができる。
【0047】
同時にもう一方のスピンドルチャック1すなわち先端凹部1aは、サーボモータ21の回転駆動により回転するボールねじ20の直動運動により、真空チャック31や多角形電子部品50の他の電極部49に接近し当接した位置となり、スピンドルチャック2の先端2aとの間で多角形電子部品50の両電極部49間を挟持することになる。
【0048】
そして、スピンドルチャック1の先端凹部1aの形状は、図5に示すように四角錐形状であり、これにより多角形電子部品50を回転軸線上にセンタリングすることができる。
【0049】
多角形電子部品50を挟持した後のスピンドルチャック1,2は、真空チャック31がサーボモータ33の回転駆動によりその干渉領域から離脱すると、サーボモータ10の駆動により回転駆動された平歯車3,4,5,6によって同一方向に回転を始め、またサーボモータ21で回転駆動されたボールねじ21の直動運動により、回転軸方向にも前記回転と同期して移動し始める。
【0050】
その後、多角形電子部品50は、図6に示すように、レーザ機構23で発生したレーザ光24の集光照射により、本体部50aの外周面に設けられた抵抗体、磁性体、誘電体あるいは導電体の皮膜などの形成素子と非導電体である基体の表面部と共に溶融蒸発して、螺旋状の溝加工が行われ所定特性の電子部品の機能が形成される。
【0051】
レーザ光24の照射は、所定時間制御の後に完了しても良く、従来の方法のように多角形電子部品50の所定特性を計測しながら、特性が満足したときに完了しても良い。
【0052】
この時、レーザ光24の照射するタイミングなどを、シャフト7の一端に配設されたタイミングカム8に設けたタイミングスリットをセンサー41で検出するように設定すれば、多角形電子部品50の任意の位置により溝加工を開始することができる。
【0053】
一般的に溝加工は、電子部品の本体部が多角形の時には、その一面の中心位置から行うことにより、多角形の稜線の面取り形状に左右されることが無くなり、特性のバラツキを小さくすることができる。
【0054】
また電子部品の本体部が多角形であり、その回転に伴いレーザ光24の集光焦点を多角形電子部品50の本体部50aの表面上に結ぶことが困難なときは、本体部50aの断面形状に相似したカム9が、スピンドルチャック1,2と同期して回転することにより、レバー28によって直動軸受25,26に搭載し保持されたフレーム27の垂直面を、レーザ光24の照射方向と平行に駆動し移動させることができ、レーザ光24の集光焦点を図7(a,b,c)に示すように常時本体部50aの表面上の所定箇所に結ぶことができる。
【0055】
溝加工の終了後は、サーボモータ10の回転駆動が停止することでスピンドルチャック1,2の回転および水平移動が停止し、かつスピンドルチャック2がレバー38により前記と逆方向に駆動されて開放離脱し、多角形電子部品50の挟持を終了する。
【0056】
その後、多角形電子部品50は、シュート15を経由して受箱16に落下して収納あるいは取出すのである。
【0057】
なお、本実施の形態においては、多角形電子部品50を回転させる駆動源と水平移動させる駆動源と分離供給機構の駆動源に、それぞれ別個のサーボモータを使用したが、これはパルスモータやクラッチブレーキモータのような応答性の良いモータを使用しても良い。
【0058】
また、多角形電子部品50の水平移動の動力伝達機構にボールネジ20を使用しているが、これはリニアモータやカム機構を介した構成のものを使用してもよく、さらに、水平移動機構に代えてレーザ機構にガルバノミラーを使用してレーザ光を走査させる構成にしてもよい。
【0059】
さらにまた、カム9は、レーザ光24の集光焦点深度内に本体部50aの加工位置が収まるものであれば、本体部50aの相似形とせず一般的なカム曲線のカム9を使用してもよい。
【0060】
【発明の効果】
以上、本発明による多角形電子部品の溝切装置は、電極部のコーナーに対してダメージを与えることなく保持が可能であり、溝加工の開始位置を限定でき、電子部品の特性バラツキを小さくでき、多角形電子部品の被加工表面上に常時レーザ光の焦点を結ぶことができ、溝幅寸法が一定となり、微小な多角形電子部品でも分離、移載して加工回転軸に対してセンタリングでき、安定して把持し保持できるという効果を有する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施の形態における多角形電子部品の溝切装置の要部斜視図
【図2】図1の後方からの要部斜視図
【図3】同多角形電子部品の分離供給機構の要部斜視図
【図4】同真空チャックに多角形電子部品が分離後保持されスピンドルチャック回転軸上に移送された状態を示す要部斜視図
【図5】同スピンドルチャック先端形状の要部斜視図
【図6】同溝加工動作状態を示す要部斜視図
【図7】(a)〜(c)はそれぞれ同レーザ光焦点を電子部品表面上に保ち溝加工する模式図
【図8】溝加工された多角形電子部品の斜視図
【図9】従来における電子部品の本体部の溝切装置の要部構成斜視図
【図10】同電子部品の移送を示す要部斜視図
【符号の説明】
1,2 スピンドルチャック
1a 先端凹部
2a 先端
3,4,5,6 平歯車
3a,4a 回転軸
4b 取付アングル
7 シャフト
8 タイミングカム
9 カム
10 サーボモータ
11 カップリング
12 直動軸受
13 レバー
14 引張バネ
15 シュート
16 受箱
17,18 直動軸受
19 プレート
20 ボールネジ
21 サーボモータ
21a 取付アングル
22 タイミングベルト
23 レーザ機構
24 レーザ光
25,26 直動軸受
27 フレーム
28 レバー
28a カムフォロア
29 支点軸
30 固定フレーム
31 真空チャック
31a 駆動体
32 直動軸受
33 サーボモータ
33a 取付アングル
34 タイミングベルト
35 カム
36 レバー
37 パーツフィーダー
37a ヘッド部
38 レバー
39 ローラ
40 真空孔
40a,40b 真空枝孔
41 センサー
42 取付アングル
43 取付アングル
44 固定板
45 台板
46 固定立板
47 集光レンズ
48 溝加工部
49 電極部
50 多角形電子部品
50a 本体部
51,52 チャック片
51a,52a 半円溝
53,54 スピンドルチャック
53a,54a 先端
55 円板砥石
56 溝加工機構
57 プーリ
58 駆動ベルト
59 半球凹部
60 電子部品
61 金属キャップ
62 本体
63 移載チャック
64 シャフト

Claims (4)

  1. 電極部を両端に設けた多角形電子部品の前記電極部を、その電極部の形状に合致した多角錐状の窪みを有するスピンドルチャックにて挟持し、この多角形電子部品を回転および水平移動させる機構と、前記多角形電子部品の表面にレーザ光を照射して螺旋状に溝加工するレーザ機構とにより構成された多角形電子部品の溝切装置。
  2. スピンドルチャックの回転角度を検出するセンサーを配置してなる請求項1に記載の多角形電子部品の溝切装置。
  3. スピンドルチャックをその回転と同期してレーザ照射口からの距離を可変させる請求項1または2に記載の多角形電子部品の溝切装置。
  4. L字形状の先端切欠きを設けた真空チャックにより多角形電子部品を溝加工位置まで移載する分離供給機構を設けた請求項1〜3のいずれか1つに記載の多角形電子部品の溝切装置。
JP11444599A 1999-04-22 1999-04-22 多角形電子部品の溝切装置 Expired - Fee Related JP3642225B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11444599A JP3642225B2 (ja) 1999-04-22 1999-04-22 多角形電子部品の溝切装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP11444599A JP3642225B2 (ja) 1999-04-22 1999-04-22 多角形電子部品の溝切装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2000306714A JP2000306714A (ja) 2000-11-02
JP3642225B2 true JP3642225B2 (ja) 2005-04-27

Family

ID=14637923

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP11444599A Expired - Fee Related JP3642225B2 (ja) 1999-04-22 1999-04-22 多角形電子部品の溝切装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3642225B2 (ja)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105364316B (zh) * 2015-10-21 2017-04-12 湖州职业技术学院 薄膜电阻激光自动修刻机
CN107868976B (zh) * 2016-09-23 2020-06-12 株式会社村田制作所 处理装置、部件输送装置以及处理方法
CN109926637A (zh) * 2019-03-08 2019-06-25 广东泛瑞新材料有限公司 一种切槽装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2000306714A (ja) 2000-11-02

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5459484B2 (ja) ダイシング装置及びダイシング方法
US8610030B2 (en) Laser beam processing machine
JPH11320363A (ja) ウェーハ面取り装置
KR20130047610A (ko) 렌즈 심취기의 심출 방법 및 장치
JP3642225B2 (ja) 多角形電子部品の溝切装置
JPH04343241A (ja) ボンデイング装置
JP2003039292A (ja) レンズの心取り装置
CN218699308U (zh) 一种保证环切的平衡的装置
JP2000246571A (ja) 円形外周に微少方形突部を有するワークの定位置決め及び回転方向位置決め装置
CN115223896A (zh) 一种便于调角度的热切刀
JP2002137153A (ja) 棒状工作物のセンタレス研削方法およびセンタレス研削装置
CA2061863C (en) Apparatus for cutting adhesive tape roll stocks
JP5860682B2 (ja) レンズ芯取機の芯出し方法及び装置
CN214443912U (zh) 一种激光加工装置
JPH04101759A (ja) 球形研削・研磨方法
JPS5932502Y2 (ja) 回転テ−ブル
US20230015352A1 (en) Method of processing wafer
JP6878082B2 (ja) ウェーハの表裏判定装置及びそれを用いた面取り装置
JP2526253Y2 (ja) ワークドライブ装置
JP2544969B2 (ja) レ―ザダイオ―ド用チップボンディング装置におけるボンディングヘッド
JP2002192460A (ja) 研削装置
JP2516871Y2 (ja) ペレットボンディング装置
JPH0699341A (ja) ワーク加工装置
JP2836532B2 (ja) 工作物の加工方法
KR20240083022A (ko) 레이저 가공 장치

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20040825

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20040921

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20041122

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20050105

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20050118

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080204

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090204

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100204

Year of fee payment: 5

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees