JP3636429B2 - 波長安定化標準光源 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明は、レーザ干渉計の標準光源等に適用される光安定化標準光源に関する。
【0002】
【従来の技術】
レーザ干渉計の標準光源として、ヨウ素安定化He−Neレーザが知られている。ヨウ素安定化レーザでは、共振器内にヨウ素分子の吸収セルを挿入したときに出力光に得られる反転ラムくぼみを基準要素として、波長安定化制御が行われる。反転ラムくぼみとは、レーザ共振器内の定在波周波数とヨウ素分子の吸収線周波数が一致したときに、吸収損失が減少する結果としてレーザ出力にピークが発生する現象をいう。
【0003】
反転ラムくぼみを基準要素として波長安定化制御を行うためには、反転ラムくぼみを検出することが必要である。そのためには、レーザの共振器長制御を行うPZT素子に補正信号を加えてレーザ出力光を周波数変調する。そして、レーザ出力光から同期検出法によって反転ラムくぼみを検出して、その吸収中心(ピーク位置周波数)にロックするように、フィードバック制御を行う。
【0004】
具体的に反転ラム特性は、光量と周波数の関係が4次式で近似される。即ち、PZT素子に基本周波数1fの補正信号を加えることにより、レーザ出力の光周波数が反転くぼみの吸収中心の近傍にある場合、光周波数には基本波と第2〜第4高調波1f,2f,3f,4fの周波数成分が生じる。このようなレーザ出力光から、例えば周波数3fを特定周波数として抽出する。ここで、反転ラムくぼみ近傍においては、周波数と、その周波数成分の振幅とは相関がある。従ってこの振幅情報を指令値と比較して誤差信号を発生するというフィードバック制御を行うことにより、レーザ出力を反転ラムくぼみの吸収中心にロックすることができる。ここで、特定周波数として3fを用いるのは、4次式で近似される光量−周波数特性を3次微分したときに3f成分が光量−周波数特性の座標上でリニアになり、フィードバック制御に好都合となるためである。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上述した波長安定化レーザのフィードバック制御系において、特定周波数として3fを選択したとき、レーザ光の周波数変調により得られる他の周波数成分1f,2f,4fは、ノイズ成分となる。これらのノイズ成分が特定周波数成分と確実に分離されないと、例えば10-11といった極めて高精度の安定度が要求される標準光源を構成する場合のフィードバック制御系において、制御性能を劣化させる原因となる。
【0006】
特に、上述したヨウ素安定化レーザの例では、ノイズ成分周波数1f,2f,4fは、特定周波数成分3fと近接している。従って、通常のフィードバック制御系で用いられる特性補償要素では、ノイズ成分を除去することはできない。また高次の通過周波数の帯域除去フィルタ(例えば、伝達特性の次数が10次程度のバターワース型フィルタ)は、入出力間の位相変動量が大きすぎるために、フィードバック制御系に適用して制御の安定条件(位相余裕)を満たすことが難しい。
以上の問題は、波長安定化標準光源に限らず、高精度の周波数安定度が要求される光学的或いは電気的な基準信号源、校正信号源のフィードバック周波数制御系において同様に存在する。
【0007】
この発明は、ノイズ周波数成分を確実に除去して高安定度の周波数制御を可能とした波長安定化標準光源を提供することを目的としている。
【0008】
【課題を解決するための手段】
この発明に係る第1の波長安定化標準光源は、波長安定化すべき標準光源の状態量を、維持すべき所定の周波数の周囲で変動させるように周波数変調し、前記標準光源の状態量出力から検出される検出状態量の中から特定周波数成分の振幅値を抽出し、この振幅値と外部からの指令値との誤差信号に基づいて前記標準光源の状態量を前記所定の周波数に維持する波長安定化標準光源において、全周波数範囲にわたって一定の伝達利得で移相量が0〜180°の範囲で変化するように入力信号を通過させ、且つ、前記特定周波数に近接した除去すべきノイズ成分周波数の信号を90°移相するようにそれぞれが設定された、縦続接続された第1及び第2のオールパスフィルタと、前記第1のオールパスフィルタの入力と第2のオールパスフィルタの出力を加算する加算器とを備え、前記検出状態量から前記特定周波数に近接したノイズ成分周波数を除去する合成フィルタと、この合成フィルタで前記特定周波数に近接したノイズ成分周波数が除去された検出状態量から前記特定周波数成分の振幅値を抽出する振幅抽出回路とを備えたことを特徴とする。
【0009】
本発明に係る第2の波長安定化標準光源は、波長安定化すべき標準光源の状態量を、維持すべき所定の周波数の周囲で変動させるように周波数変調し、前記標準光源の状態量出力から検出される検出状態量の中から特定周波数成分の振幅値を抽出し、この振幅値と外部からの指令値との誤差信号に基づいて前記標準光源の状態量を前記所定の周波数に維持する波長安定化標準光源において、全周波数範囲にわたって一定の伝達利得で移相量が0〜180°の範囲で変化するように入力信号を通過させ、且つ、前記特定周波数に近接した除去すべきノイズ成分周波数の信号を90°移相するようにそれぞれが設定された、縦続接続された第1及び第2のオールパスフィルタと、前記第1のオールパスフィルタの入力と第2のオールパスフィルタの出力を加算する加算器とを備え、前記検出状態量から前記特定周波数に近接したノイズ成分周波数を除去する合成フィルタユニットを、前記除去すべき周波数成分に対応して複数縦続接続してなる合成フィルタと、この合成フィルタで前記特定周波数に近接した複数のノイズ成分周波数が除去された検出状態量から前記特定周波数成分の振幅値を抽出する振幅抽出回路とを備えたことを特徴とする。
【0010】
この発明によると、オールパスフィルタを組み合わせた合成フィルタを用いることにより、特定周波数成分と他の周波数成分が近接していても、特定周波数成分を抑圧することなく確実に他の周波数成分を除去することができ、これにより、例えば波長安定化すべきレーザ等の制御対象について、高安定度のフィードバック周波数制御が可能になる。
【0012】
この発明において好ましくは、合成フィルタに更に、特定周波数の成分を通過させるバンドパスフィルタが設けられるものとする。これにより、必要な特定周波数成分以外の周波数成分について、合成フィルタを用いたことによるゲインの増大を抑圧することができ、制御の安定性をより向上させることができる。
【0013】
またこの発明において、特定周波数成分の振幅値を抽出する振幅抽出回路は例えば、合成フィルタの出力信号から位相差が90°である2相の正弦波状信号を生成する一対のオールパスフィルタ回路と、この一対のオールパスフィルタ回路から得られる2相の正弦波状信号をそれぞれ2乗する2乗回路と、この2乗回路の出力を加算する加算器とを備えて構成することができる。
【0014】
或いはまた、特定周波数成分の振幅値を抽出する振幅抽出回路は、合成フィルタの出力信号から少しずつ位相がずれた多相交流信号を生成し、これらの多相交流信号の振幅のピーク値に同期してサンプリングを行うものであってもよい。
【0015】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して、この発明の実施例を説明する。
図1はこの発明の実施例によるフィードバック周波数制御システムを示している。制御対象5は、外部からの指令値Rにより、所定の周波数の状態量Yを出力するものとする。この制御対象5の周波数制御を行うのが、アクチュエータ4である。アクチュエータ4により制御対象に与えられる操作量Uは、誤差補正手段2により得られる誤差補正信号Cに基づいて、制御される。この際、アクチュエータ4には、誤差補正信号Cとは別に、加算器3により補正信号Pが与えられる。補正信号Pは例えば、P=msin(2πft)なる交流信号である。この補正信号Pを加えることによって、制御対象5の状態量Yは周波数変調される。
【0016】
制御対象5の状態量Yは、アクチュエータ4の操作量Uに基づいて周波数変調されると同時に、温度、機械的応力、その他の環境要因から来る外乱Dが与えられる。この結果、状態量Yには、帰還制御に必要とされる周波数成分(特定周波数)の他にノイズ周波数成分を含む。
【0017】
状態量Yは、検出器6により検出信号Sとして検出される。この検出信号Sの中から選択し特定周波数成分のみを抽出するために合成フィルタ7が用いられる。合成フィルタ7によりノイズが除去されて得られた特定周波数成分の信号Tは、AC−DCコンバータ8により直流信号Fに変換され、これが帰還信号として、指令値Rと共に加算器1に入る。具体的に、AC−DCコンバータ8は、特定周波数成分の信号の振幅値を抽出する振幅抽出回路である。そして、指令値Rと帰還値Fの差分Eが誤差補正手段2に供給されて、所定の誤差補正信号Cが発生され、指令値R=帰還値Fとなるような制御が行われる。
【0018】
具体的に、このシステムが波長安定化標準光源であるとすると、制御対象5は安定化すべきガスレーザである。アクチュエータ4は例えば、このガスレーザの共振器長制御を行うPZT素子である。外部補正信号Pと誤差補正信号CをPZT素子に加えてレーザの共振器長制御を行うことにより、状態量Y即ちレーザ出力光は、周波数変調される。このとき、検出器6により得られる検出信号Sは、周波数変調や外乱により、帰還制御に用いるべき特定周波数成分の他、ノイズ周波数成分を含む。このノイズ周波数成分を除去するのが、合成フィルタ7である。
【0019】
合成フィルタ7は、オールパスフィルタを複数個用いて構成される。図2(a),(b)は、用いられる公知の一次のオールパスフィルタ10の等価回路と機能ブロックを示している。図3は、このオールパスフィルタ10の伝達特性であり、全周波数範囲にわたってゲインがゼロである。また図4はその移相特性を示している。即ちこのオールパスフィルタ10は、注目するノイズ周波数成分1fにより正規化した場合、この周波数1fにおいて移相量(位相遅れ量)が90°となり、全周波数範囲にわたって移相量が0〜180°の範囲で変化するような90°移相器を構成している。この移相特性は、図2(a)の抵抗R1とキャパシタC1の時定数を選択することにより、得られる。
【0020】
合成フィルタ7は、この様なオールパスフィルタ10を2個組み合わせて構成される。即ち図5に示すように、オールパスフィルタ10a,10bを縦続接続し、その初段フィルタ10aの入力と2段目フィルタ10bの出力を加算する加算器11を設けて、合成フィルタ7が構成される。
【0021】
この様な構成にすると、合成移相特性は図7のようになる。即ち2段のオールパスフィルタ10a,10bにより、周波数成分1fについては、180°移相される。従って、初段の入力と2段目出力は、周波数成分1fについて互いに逆相となり、加算によってキャンセルされる。また1fより低い周波数範囲では移相量0°であり、高い周波数範囲では、移相量360°となる。従って、この合成フィルタ7の伝達特性は図6のようになり、周波数成分1fのゲインは原理的にはゼロとなり、ノイズ周波数成分が除去される。周波数1fの周辺を除き、広い周波数範囲で一定のゲインを持ち且つ、移相量ゼロが得られる。
【0022】
従って、検出器6による検出信号Sが、ノイズ周波数成分1fと特定周波数nf(n≠1)を含むものとして、合成フィルタ7により特定周波数成分nfのみを抽出することができる。そしてこの特定周波数成分出力を帰還することにより、高性能の周波数制御が可能になる。
【0023】
図8は、除去すべきノイズ周波数成分が例えば、1f,2fの二つあり、これらを共に除去するために2段の合成フィルタユニット7a,7bを用いた例である。初段の合成フィルタユニット7aは、図5のものと同じである。2段目の合成フィルタユニット7bは、周波数2fで移相量が90°となる90°移相器である2段のオールパスフィルタ10c,10dと加算器12とから構成される。
【0024】
この場合、合成の移相特性は図10のようになり、また合成の伝達特性は図9のようになる。これにより、周波数成分1f,2fを選択的に除去することができる。
周波数成分4fを除去したい場合には、同様に周波数4fに対応する合成フィルタユニットを設ければよい。即ち一般的には、除去すべきノイズ周波数成分が複数個ある場合に、それぞれのノイズ周波数に対応して複数の合成フィルタユニットを縦続接続すればよい。
【0025】
図11は、図8の合成フィルタユニット7a,7bの具体回路構成例である。各合成フィルタユニット7a,7bの出力部にはバッファ13,14が設けられている。具体的に例えば、除去すべきノイズ周波数成分を1f=1.3kHz,2f=2.6kHzとする。このとき、合成フィルタユニット7aのオールパスフィルタ10a,10bの抵抗R1とキャパシタC1は、T1=C1R1=1/2π(1.3×103)とし、合成フィルタユニット7bのオールパスフィルタ10c,10dの抵抗R2とキャパシタC2は、T2=C2R2=1/2π(2.6×103)とする。
【0026】
図12は、ノイズ成分を含んだ検出信号Sの実測周波数スペクトル例であり、周波数変調された制御対象5の状態量Yの周波数特性が4次曲線で近似される例である。ノイズ成分は、1f,2f,4fであり、3fが特定周波数である。この例では4fの成分は、1f,2fに比べると十分小さい。
【0027】
図13は、図12のスペクトルで示される検出信号を、図8に示した合成フィルタを通して得られる信号Tの周波数スペクトルである。特定周波数成分3fを抑圧することなく、ノイズ周波数成分1f,2fがきれいに除去されていることがわかる。この結果、特定周波数成分の抽出がS/Nよく行われ、高性能のフィードバック周波数制御が可能になる。
【0028】
ここまでは、合成フィルタとして、注目するノイズ周波数成分で位相遅れ量が90°である移相回路となるオールパスフィルタを用いたが、位相進み量が90°であるような移相回路となるオールパスフィルタを用いてもよいことは勿論である。
【0029】
図1において、AC−DCコンバータ8の性能も、フィードバック制御の性能にとって重要である。従来はこの部分に、特定周波数nfと同じ基準信号を用いて、入力される信号Tから特定周波数成分nfを取り出す同期検波方式が用いられているが、この方式では、1f,2f,4f等のノイズ成分の除去が難しい。この発明において好ましくは、このAC−DCコンバータの部分には、オールパスフィルタを用いて構成されて、特定周波数成分の振幅抽出を行う振幅抽出回路を用いる。
【0030】
図14は、その様な振幅抽出回路の構成例を示している(特開平10−9848号参照)。一対のオールパスフィルタ81,82は、信号Tが入力されて、特定周波数nfについて互いに90°位相がずれた正弦波信号S1=Asin(2πnft),S2=Acos(2πnft)を生成する。具体的にオールパスフィルタ81,82は、90°移相の中心周波数がnf−Δf,nf+Δfとなる移相器である。これにより、特定周波数nfの近傍で位相差90°の上述した二つの正弦波信号S1,S2が得られる。これらの正弦波信号をそれぞれ2乗回路83,84により2乗して、加算器85により加算する。即ち、{Asin(2πnft)}2+{Acos(2πnft)}2 =A2なる演算により、振幅値Aを検出することができる
【0031】
AC−DCコンバータ8にこの様な振幅抽出回路を用いることにより、信号Tに合成フィルタ7により除去し切れない、特定周波数nfからずれた周波数のノイズ成分があったとしても、これらのノイズ成分が除去されて、特定周波数nfの振幅値を取り出すことができる。従って、フィードバック制御の高性能化が図られる。
【0032】
また、AC−DCコンバータ8の他の方式として、多相交流信号のサンプリング方式を適用することができる。これは、信号Tから少しずつ位相がずれた多相交流信号を生成し、これらの多相交流信号の振幅のピーク値に同期してサンプリングを行う方式である。例えば、多相交流信号として、信号Tに基づいて、順次90°ずつ位相がずれた4相の交流信号を生成して、これを単相の場合の1/4のサンプリング周期で振幅抽出する。この方式を用いると、サンプリング動作に起因する零次ホールドの位相遅れの影響を低減して、高精度の振幅抽出が可能になる。
【0033】
なお、合成フィルタ7においては、180°位相差の周波数成分を相殺するために、上述のように縦続接続された二つのオールパスフィルタ入出力が加算される。従って、除去しようとするノイズ周波数成分以外の周波数成分については、ゲインが2倍になる。そこで、特定周波数nf以外の周波数帯の成分を抑圧するために、合成フィルタ7の、例えば出力部に更に、特定周波数成分を通過させるバンドパスフィルタを配置することは有効である。
【0034】
更に、実施の形態においては、除去したい周波数成分が複数ある場合に、図8のように複数段の合成フィルタを用いたが、これを1段のみの合成フィルタと減算器を用いて実施することも可能である。この場合は、選択する特定周波数3fにおいて、合成フィルタの各々のオールパスフィルタ10の位相量(位相遅れ量)が90°となるようにしておき、検出信号Sをこの合成フィルタ7に入力し、合成フィルタ7から出力信号S’を得る。この出力信号S’のゲインは、特定周波数3f以外では検出信号の2倍になるため、これを1/2に減衰させて補正信号S”とする。次に検出信号Sから減算器によって修正信号S”を減算することにより、特定周波数3fの成分のみを抽出することができる。ここで、出力信号Sからの修正信号S”の減算にあっては、各々の周波数対強度データを求めた後、この周波数対強度データ間で減算を行ってもよい。
【0035】
【発明の効果】
以上述べたようにこの発明によれば、オールパスフィルタを組み合わせた合成フィルタを用いることにより、特定周波数成分と他の周波数成分が近接していても、特定周波数成分を抑圧することなく確実に他の周波数成分を除去することができ、これにより高安定度のフィードバック周波数制御が可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 この発明によるフィードバック周波数制御システムの構成を示す図である。
【図2】 この発明に用いられるオールパスフィルタの構成を示す図である。
【図3】 同オールパスフィルタのゲイン特性を示す図である。
【図4】 同オールパスフィルタの移相特性を示す図である。
【図5】 この発明の実施の形態に用いられる合成フィルタの構成を示す図である。
【図6】 同合成フィルタのゲイン特性を示す図である。
【図7】 同合成フィルタの移相特性を示す図である。
【図8】 他の実施の形態に用いれる合成フィルタの構成を示す図である。
【図9】 同合成フィルタのゲイン特性を示す図である。
【図10】 同合成フィルタの移相特性を示す図である。
【図11】 同合成フィルタの具体的構成例を示す図である。
【図12】 制御対象の出力周波数スペクトル例を示す図である。
【図13】 図12の出力から合成フィルタによりノイズ周波数成分を除去した周波数スペクトルを示す図である。
【図14】 振幅抽出回路の構成例を示す図である。
【符号の説明】
1…加算器、2…誤差補正手段、3…加算器、4…アクチュエータ、5…制御対象、6…検出器、7…合成フィルタ、8…AC−DCコンバータ。
Claims (7)
- 波長安定化すべき標準光源の状態量を、維持すべき所定の周波数の周囲で変動させるように周波数変調し、前記標準光源の状態量出力から検出される検出状態量の中から特定周波数成分の振幅値を抽出し、この振幅値と外部からの指令値との誤差信号に基づいて前記標準光源の状態量を前記所定の周波数に維持する波長安定化標準光源において、
全周波数範囲にわたって一定の伝達利得で移相量が0〜180°の範囲で変化するように入力信号を通過させ、且つ、前記特定周波数に近接した除去すべきノイズ成分周波数の信号を90°移相するようにそれぞれが設定された、縦続接続された第1及び第2のオールパスフィルタと、前記第1のオールパスフィルタの入力と第2のオールパスフィルタの出力を加算する加算器とを備え、前記検出状態量から前記特定周波数に近接したノイズ成分周波数を除去する合成フィルタと、
この合成フィルタで前記特定周波数に近接したノイズ成分周波数が除去された検出状態量から前記特定周波数成分の振幅値を抽出する振幅抽出回路と
を備えたことを特徴とする波長安定化標準光源。 - 波長安定化すべき標準光源の状態量を、維持すべき所定の周波数の周囲で変動させるように周波数変調し、前記標準光源の状態量出力から検出される検出状態量の中から特定周波数成分の振幅値を抽出し、この振幅値と外部からの指令値との誤差信号に基づいて前記標準光源の状態量を前記所定の周波数に維持する波長安定化標準光源において、
全周波数範囲にわたって一定の伝達利得で移相量が0〜180°の範囲で変化するように入力信号を通過させ、且つ、前記特定周波数に近接した除去すべきノイズ成分周波数の信号を90°移相するようにそれぞれが設定された、縦続接続された第1及び第2のオールパスフィルタと、前記第1のオールパスフィルタの入力と第2のオールパスフィルタの出力を加算する加算器とを備え、前記検出状態量から前記特定周波数に近接したノイズ成分周波数を除去する合成フィルタユニットを、前記除去すべき周波数成分に対応して複数縦続接続してなる合成フィルタと、
この合成フィルタで前記特定周波数に近接した複数のノイズ成分周波数が除去された検出状態量から前記特定周波数成分の振幅値を抽出する振幅抽出回路と
を備えたことを特徴とする波長安定化標準光源。 - 前記合成フィルタに更に、前記特定周波数の成分を通過させるバンドパスフィルタが設けられている
ことを特徴とする請求項1又は2記載の波長安定化標準光源。 - 前記特定周波数成分の振幅値を抽出する振幅抽出回路は、
前記合成フィルタの出力信号から位相差が90°である2相の正弦波状信号を生成する一対のオールパスフィルタ回路と、
この一対のオールパスフィルタ回路から得られる2相の正弦波状信号をそれぞれ2乗する2乗回路と、
この2乗回路の出力を加算する加算器とを備えた
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項記載の波長安定化標準光源。 - 前記特定周波数成分の振幅値を抽出する振幅抽出回路は、前記合成フィルタの出力信号から少しずつ位相がずれた多相交流信号を生成し、これらの多相交流信号の振幅のピーク値に同期してサンプリングを行うものであることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項記載の波長安定化標準光源。
- フィードバック制御によって前記標準光源の状態量を前記所定の周波数に維持する
ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の波長安定化標準光源。 - 前記特定周波数は、前記周波数変調を行う基本波の第3次高調波である
ことを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の波長安定化標準光源。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000359395A JP3636429B2 (ja) | 2000-11-27 | 2000-11-27 | 波長安定化標準光源 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000359395A JP3636429B2 (ja) | 2000-11-27 | 2000-11-27 | 波長安定化標準光源 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002164597A JP2002164597A (ja) | 2002-06-07 |
JP3636429B2 true JP3636429B2 (ja) | 2005-04-06 |
Family
ID=18831163
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000359395A Expired - Fee Related JP3636429B2 (ja) | 2000-11-27 | 2000-11-27 | 波長安定化標準光源 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3636429B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3615206B2 (ja) | 2001-11-15 | 2005-02-02 | 富士通株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
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2000
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---|---|
JP2002164597A (ja) | 2002-06-07 |
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Date | Code | Title | Description |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040518 |
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A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040720 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040921 |
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A521 | Written amendment |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050104 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080114 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110114 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140114 Year of fee payment: 9 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
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R250 | Receipt of annual fees |
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LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |