JP3630085B2 - アレイ導波路回折格子素子の製造方法およびアレイ導波路回折格子素子 - Google Patents
アレイ導波路回折格子素子の製造方法およびアレイ導波路回折格子素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3630085B2 JP3630085B2 JP2000279214A JP2000279214A JP3630085B2 JP 3630085 B2 JP3630085 B2 JP 3630085B2 JP 2000279214 A JP2000279214 A JP 2000279214A JP 2000279214 A JP2000279214 A JP 2000279214A JP 3630085 B2 JP3630085 B2 JP 3630085B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- waveguide
- output
- input
- slab waveguide
- arrayed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/12007—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind forming wavelength selective elements, e.g. multiplexer, demultiplexer
- G02B6/12009—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind forming wavelength selective elements, e.g. multiplexer, demultiplexer comprising arrayed waveguide grating [AWG] devices, i.e. with a phased array of waveguides
- G02B6/12014—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind forming wavelength selective elements, e.g. multiplexer, demultiplexer comprising arrayed waveguide grating [AWG] devices, i.e. with a phased array of waveguides characterised by the wavefront splitting or combining section, e.g. grooves or optical elements in a slab waveguide
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/12007—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind forming wavelength selective elements, e.g. multiplexer, demultiplexer
- G02B6/12009—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind forming wavelength selective elements, e.g. multiplexer, demultiplexer comprising arrayed waveguide grating [AWG] devices, i.e. with a phased array of waveguides
- G02B6/12016—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind forming wavelength selective elements, e.g. multiplexer, demultiplexer comprising arrayed waveguide grating [AWG] devices, i.e. with a phased array of waveguides characterised by the input or output waveguides, e.g. tapered waveguide ends, coupled together pairs of output waveguides
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/12007—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind forming wavelength selective elements, e.g. multiplexer, demultiplexer
- G02B6/12009—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind forming wavelength selective elements, e.g. multiplexer, demultiplexer comprising arrayed waveguide grating [AWG] devices, i.e. with a phased array of waveguides
- G02B6/12033—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind forming wavelength selective elements, e.g. multiplexer, demultiplexer comprising arrayed waveguide grating [AWG] devices, i.e. with a phased array of waveguides characterised by means for configuring the device, e.g. moveable element for wavelength tuning
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明はアレイ導波路回折格子素子の製造方法およびアレイ導波路回折格子素子に係わり、詳細には選択する波長の補整を行うことのできるアレイ導波路回折格子素子の製造方法およびアレイ導波路回折格子素子に関する。
【０００２】
【従来の技術】
伝送するデータの大容量化と共に、光ファイバ通信システムで更なる伝送容量の拡大が望まれている。このために、高密度波長分割多重通信方式（Ｄｅｎｓｅ Ｗａｖｅｌｅｎｇｔｈ Ｄｉｖｉｓｉｏｎ Ｍｕｌｔｉｐｌｅｘｉｎｇ：ＤＷＤＭ）で、それぞれの波長を分割したり統合するための合分波デバイスとしての光波長フィルタの重要性がますます高まっている。
【０００３】
光波長フィルタはさまざまな形態のものがある。中でもアレイ導波路回折格子は、波長特性が狭帯域で高消光比であり、また多入力多出力のフィルタデバイスとしての特徴も持っている。このため、多重化された信号の分離やその逆の動作を行わせることが可能であり、容易に波長合分波デバイスを構成することができるという利点がある。更にアレイ導波路回折格子素子を石英導波路を使用して構成すると、光ファイバとの結合に優れ、挿入損失が数ｄＢ（デシベル）程度の低挿入損失動作を実現することができる。このような点から、アレイ導波路回折格子は光波長フィルタの中でも特に重要なデバイスとして注目されており、国内外で盛んに研究が行われている。
【０００４】
図３３は、従来のアレイ導波路回折格子の全体的な構成を表わしたものである。アレイ導波路回折格子１１は、図示しない基板上に形成された１本または複数本の入力導波路１２と、複数本からなる出力導波路１３と、異なった曲率でそれぞれ一定方向に曲がったチャネル導波路アレイ１４と、入力導波路１２とチャネル導波路アレイ１４を接続する入力側スラブ導波路１５と、チャネル導波路アレイ１４と出力導波路１３を接続する出力側スラブ導波路１６とによって構成されている。入力導波路１２から入射した多重信号光は、入力側スラブ導波路１５によってその進路を広げる。そしてチャネル導波路アレイ１４にそれぞれ等位相で入射する。入射光強度については入力側スラブ導波路１５の各入射位置で等しくはなく、中央部ほど強度が強く、ほぼガウス分布となっている。
【０００５】
チャネル導波路アレイ１４では、これを構成する各アレイ導波路の間に一定の光路長差が設けられていて、光路長が順次長く、あるいは短くなるように設定されている。したがって、それぞれのアレイ導波路を導波する光には一定間隔ずつの位相差が付けられて出力側スラブ導波路１６に到達するようになっている。実際には波長分散があるので、波長によってその等位相面が傾く。この結果、波長によって出力側スラブ導波路１６と出力導波路１３の界面上の異なった位置に光が結像（集光）する。波長に対応したそれぞれの位置に出力導波路１３が配置されているので、出力導波路１３からは任意の波長成分を取り出すことが可能になる。
【０００６】
ところでこのようなアレイ導波路回折格子１１の中心波長は導波路材料の屈折率の変化に非常に敏感である。このため、その製造プロセスとしての成膜プロセスでのバラツキによって中心波長が変動してしまい、設計通りの値を得ることができない場合が多い。中心波長が変動すると、使用する波長での光損失が大きくなるという問題がある。
【０００７】
そこで特開平９−４９９３６号公報では、通常のＡＷＧ（ａｒｒａｙｅｄ ｗａｖｅｇｕｉｄｅ：アレイ状導波路）による入出力導波路の他に波長補正用の入出力導波路を設けるようにしている。そして波長の補正量に応じて入出力導波路を変更するようにしている。
【０００８】
波長差δλに対する分波方向の確度の差をδθとするとき、アレイ導波路回折格子では入力導波路１２の位置、すなわちスラブ入射角度θｉｎを変更することで、中心波長λｉｎを次の（１）式に示す値だけ補正することができる。
【０００９】
【数１】
【００１０】
ただし、この波長補正用の入出力導波路は離散的に配置されている。このため、波長の補正量も離散的となり、任意に波長を補正することができない。任意の波長補正量を得るためには、スラブ入射角度θｉｎを任意に取る必要がある。
【００１１】
図３４は、このような問題を解決するためのアレイ導波路回折格子素子の構成を表わしたものである。たとえば「Ｐ．ＣＰＵ．Ｃｌｅｍｅｎｔｓ ｅｔ ａｌ，ＩＥＥＥ ，Ｐｈｏｔｏｎ，Ｔｅｃｈ，ｌｅｔｔ，Ｖｏｌ．７，Ｎｏ．１０，ｐｐ．１０４０−１０４１，１９９５」に示されたこの提案では、ＡＷＧ（ａｒｒａｙｅｄ ｗａｖｅｇｕｉｄｅ：アレイ状導波路）ウェハ２１の入力側のスラブ入射部２２で基板を切断している。そして、やとい（ガラス）によって補強されたスラブ入射部２２で、同じくやとい２３に挟まれた入力用ファイバ２４を接着（固着）している。この接着時に直接調芯を行い、波長補正量に合わせて入力用ファイバ２４の位置を任意に変えるようにしている。
【００１２】
しかしながら、一般に入力用ファイバ２４のスポットサイズの製造上の誤差は光導波路のスポットサイズの製造上の誤差に比べて非常に大きい。このため、このような手法を採ると入力用ファイバ２４のスポットサイズが大きくばらついたような場合にアレイ状導波路の特性を劣化させる要因になるという問題があった。
【００１３】
図３５はこのような問題を解決するための提案を示したものである。たとえば「電子情報通信学会総合大会Ｃ−３−７６（２０００）」では、図３５に示したようにスラブ入射部２２で入力用ファイバ２４を接着するのではなく、入力用ファイバ３１はスラブ導入用光導波路３２を介して入力側スラブ導波路３３に接続されている。入力側スラブ導波路３３と出力側スラブ導波路３４は共にＡＷＧ素子ウェハ３５上に形成されており、これらの間にはチャネル導波路アレイ３６が接続されている。また、出力側スラブ導波路３４とファイバアレイ３７の間には出力導波路３８が接続されている。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
この図３５に示したアレイ導波路回折格子素子の場合には、スラブ導入用光導波路３２を入力用ファイバ３１と入力側スラブ導波路３３の間に設けている。この場合には、入力側スラブ導波路３３に導波路を接続するので前記したスポットサイズのバラツキの問題は少なくなる。しかしながらスラブ導入用光導波路３２を別途用意する必要があるので、量産性の障害となる場合があり得るという問題がある。
【００１５】
また、図３４および図３５に示した手法ではスラブの入射部を切断している。このため、このスラブ切断位置に光軸方向の誤差が発生するとスラブ長が変化することになり、波長特性が劣化する要因になる。すなわち、スラブ長が長めになるように切断された場合にはこれを研磨等によって調整することができるが、スラブ長が短めになってしまったような場合には、修正自体が不可能になる。
【００１６】
更に、デバイスをモジュール実装する場合を考慮すると入力用ファイバと出力用ファイバは互いに平行になっていることが望まれる。このためには図３４および図３５に示したように両者を平行にするためにＡＷＧウェハ内のチップのレイアウトを単純なものから変更する必要があり、これがウェハ内チップレイアウトを制限する要因になる。
【００１７】
図３６はこのようなウェハ内チップレイアウトが制限されない場合に採りうる２連化されたアレイ状導波路の例を示したものである。この図には１ウェハ当りのアレイ状導波路の歩留まりを上げて収穫量を増やすために、ＡＷＧスラブ部４１、４２および４３、４４を交叉させてアレイ状導波路４５、４６を２連化して配置した状態を示している。このようなウェハ内チップレイアウトでは、２つのアレイ状導波路４５、４６のうちの特性の良いものを選択することで歩留まりを上げることができる。
【００１８】
しかしながら図３６に示したアレイ状導波路４５、４６はたとえば上下対称に配置可能な形状となっているので、ＡＷＧスラブ部４１、４２および４３、４４を交差させるように配置することでこのような２連化配置が可能である。図３４および図３５に示したような形状のアレイ状導波路ではこれらを２連に配置することが困難である。
【００１９】
以上説明したように中心波長の補正を行うようにした従来のアレイ導波路回折格子素子では、スポットサイズの誤差によるアレイ状導波路の特性の劣化や、専用導波路を準備する手間、あるいはチップレイアウトの制限等の問題を生じさせていた。
【００２０】
以上、アレイ導波路回折格子素子についての問題を説明したが、このようなアレイ導波路回折格子素子を使用したアレイ導波路モジュールおよび光通信システムにもこれと同様の問題があった。
【００２１】
そこで本発明の目的は、波長補正を簡易に実現することのできるアレイ導波路回折格子素子の製造方法およびアレイ導波路回折格子素子を提供することにある。
【００３２】
本発明のアレイ導波路回折格子素子では、第１の基板上に形成された入力導波路と、第１の基板上に配置され、各導波路の長さが所定の導波路長差で順次長くなるように構成されたチャネル導波路アレイと、第１の基板上に配置され、前記入力導波路とチャネル導波路アレイの一端側とを接続する入力側スラブ導波路と、前記第１の基板上に配置され、前記チャネル導波路アレイの他端側と接続し、かつ出力側スラブ導波路の一部分を形成する第１の出力側スラブ導波路と、前記第１の基板と異なる第２の基板上に配置され、前記出力側スラブ導波路の残りの部分を形成し、これらの基板の端面同士を対向させて接合することにより、前記第１の出力側スラブ導波路と組み合わされて前記出力側スラブ導波路の全体を形成する第２の出力側スラブ導波路と、前記第２の基板上に形成され前記第２の出力側スラブ導波路と接続する複数本の出力導波路とを備え、前記第２の出力側スラブ導波路は、それに接続されている出力導波路の少なくとも１つがモニタ用のポートに割り当てられた第２の出力側スラブ導波路として構成されており、前記モニタ用のポートは前記第２の出力側スラブ導波路に接続されている他のポートに比べてより急峻なスペクトルの光信号を得るスペクトルモニタ用のポートであることを特徴としている。
【００４９】
これにより、分断された第２の出力側スラブ導波路側を第１の出力側スラブ導波路に接続する際に、それに接続された出力導波路の少なくとも１つがモニタ用のポートとなった第２の出力側スラブ導波路を用意しておけば、このような出力側スラブ導波路を選択して構成することが可能である。すなわち本発明は波長の補正以外の目的で使用することも可能である。
【００７０】
【発明の実施の形態】
【００７１】
【実施例】
以下実施例につき本発明を詳細に説明する。
【００７２】
図１は本発明の一実施例におけるアレイ導波路回折格子素子を示したものである。このアレイ導波路回折格子素子６１は、第１のＡＷＧ（ａｒｒａｙｅｄ ｗａｖｅｇｕｉｄｅ：アレイ状導波路）チップ６２１と、この第１のＡＷＧチップ６２１と切断線６３を介して接着（固着）された第２のＡＷＧチップ６２２の２つのチップから構成されている。これら第１および第２のＡＷＧチップ６２１、６２２は本来１つのウェハであったものを切断線６３で切断して、この切断線６３の方向に所望の量だけ移動させた後に接着剤等で両者を固定したものである。
【００７３】
第２のＡＷＧチップ６２２の一端部には、入力側ファイバアレイ６５が取り付けられている。また、第１のＡＷＧチップ６２１におけるこれと反対側の端部には出力側ファイバアレイ６７が取り付けられている。第１のＡＷＧチップ６２１と第２のＡＷＧチップ６２２の境界部分には、補強用のやとい６８を入力側の端部に接着した入力側スラブ導波路６９が配置されており、第１のＡＷＧチップ６２１におけるファイバアレイ６７の近傍には出力側スラブ導波路７１が配置されている。入力側スラブ導波路６９と出力側スラブ導波路７１の間には、異なった曲率でそれぞれ一定方向に曲がったチャネル導波路アレイ７２が配置されている。また、ファイバアレイ６５と入力側スラブ導波路６９の間には入力導波路７４が、出力側のファイバアレイ６７と出力側スラブ導波路７１の間には出力導波路７５がそれぞれ配置されている。
【００７４】
図２は、本実施例のアレイ導波路回折格子素子の製造工程の流れを示したものである。まず、第１のＡＷＧチップ６２１と第２のＡＷＧチップ６２２の２つのチップに切断する前のチップを製造し、ウェハから切り出す（ステップＳ８１）。そしてこのチップに対して入力側スラブ導波路６９および出力側のファイバアレイ６７を取り付けて入力側ファイバアレイ６５および出力側ファイバアレイ６７を接着する（ステップＳ８２）。次に、入力側スラブ導波路６９における切断線６３で示す切断箇所を補強するためにこの部位のスラブ導波路の上面、下面あるいはこれら両面にやとい６８を接着する（ステップＳ８３）。そしてこの切断線６３で示す切断箇所を、光軸に垂直方向に切断する（ステップＳ８４）。切断した端面は、互いに接続が良好に行われるように研磨しておく。このとき、第１のＡＷＧチップ６２１と第２のＡＷＧチップ６２２には入力側ファイバアレイ６５および出力側ファイバアレイ６７が付いたままである。
【００７５】
これら第１のＡＷＧチップ６２１と第２のＡＷＧチップ６２２は、光軸調芯され、切断線６３と平行の切断方向に対する波長補正が行われる所望の位置が求められる（ステップＳ８５）。その位置で第１のＡＷＧチップ６２１と第２のＡＷＧチップ６２２を接着剤で固定する（ステップＳ８６）。接着剤としてはＵＶ（ｕｌｔｒａｖｉｏｌｅｔ：紫外線）硬化樹脂や、熱硬化樹脂等を用いることができる。ＵＶ硬化樹脂を使用する場合には、紫外線透過率を考慮して、デバイス基板材料として石英基板等の透明なもの、すなわち紫外線透過率の高いものを用いることが望ましい。また、入力側スラブ導波路６９については切断して位置をずらして固定するので、切断時の切りしろと研磨しろの分だけその長さを長めに設計しておく必要がある。
【００７６】
第１の変形例
【００７７】
ところで図１に示したアレイ導波路回折格子素子６１で入力導波路７４は一つであればよく、複数本用意されている場合があるのはその中の良品を選択できるようにするためである。本発明の場合もこの点に変わりがなく、ステップＳ８５では図１に示したような入力導波路７４から光を入射させて、切断線６３に沿って第１のＡＷＧチップ６２１と第２のＡＷＧチップ６２２の位置関係を変えながら調芯を行うことになる。しかしながら、調芯量が大きくなるほど、入力側スラブ導波路６９における光の入射位置がローランド配置からずれて焦点位置が設計値から狂ってしまうことになる。
【００７８】
図３は、このよう場合に有効なアレイ導波路回折格子素子の変形例として入力側スラブ導波路の周囲を拡大して示したものである。この図３で図１と同一部分には同一の符号を付しており、これらの説明を適宜省略する。またこの図３では、煩雑さを避けるために、やとい６８（図１参照）の図示を省略している。
【００７９】
この第１の変形例で入力側スラブ導波路６９に接続された入力導波路７４は複数本７４１〜７４Ｎ用意されている。これらの入力導波路７４１〜７４Ｎの中から、波長補正量に応じたスラブ移動位置に最も近い１本の入力導波路７４Ｋが入力用として最終的に選択される。このような手法によって、入力導波路がローランド円からずれることによって起因するアイソレーション劣化を低減することが可能になる。
【００８０】
ちなみに、図３４あるいは図３５に示した従来のアレイ導波路回折格子素子で同様なことを行おうとすると、入力用ファイバあるいはＰＬＣ（Ｐｌａｎａｒ Ｌｉｇｈｔｗａｖｅ Ｃｉｒｃｕｉｔ：平面光波回路）を移動させるとこの分だけローランド円からずれることになる。
【００８１】
第２の変形例
【００８２】
図４は本発明の第２の変形例としてスラブ切断部で生じる光の反射を軽減したアレイ導波路回折格子素子を説明するためのものである。先の実施例では第１のＡＷＧチップ６２１と第２のＡＷＧチップ６２２を切断後に接着している。ここで、このままではスラブ切断部で生じる光の反射が懸念される場合がある。この図４で図１と同一部分には同一の符号を付しており、これらの説明を適宜省略する。
【００８３】
この第２の変形例のアレイ導波路回折格子素子６１Ａはその入力側スラブ導波路６９を光軸９１およびＡＷＧチップ６２の表面と垂直な面で切ったとしたときの、第１の切断線６３１よりも僅かに異なった角度θ１となる第２の切断線６３２で切断している。そしてこの第２の切断線６３２に沿った方向としての矢印方向９２に移動させて、第１のＡＷＧチップ６２１Ｂと第２のＡＷＧチップ６２２Ｂの位置を調整して接着するようにしている。
【００８４】
一般に入力側スラブ導波路６９の光軸９１に対して直角とならない角度で入力側スラブ導波路６９を切断しこれを矢印方向９２に移動させると、移動する位置に応じてスラブの焦点距離が変化し、アイソレーションの劣化に繋がるおそれがある。しかしながら、この第２の変形例で示したように第１および第２の切断線６３１、６３２のなす角度θ１を僅かな角度に設定して、第１のＡＷＧチップ６２１Ｂと第２のＡＷＧチップ６２２Ｂの位置関係をたとえば１００μｍ程度中央位置から移動させたとしても、スラブの焦点距離の誤差は１０μｍ程度である。これは入力側スラブ導波路６９のスラブ長が１０〜２０ｍｍであるのに比べると十分小さい。したがって、アイソレーションの劣化はほとんど生じない。
【００８５】
この図４に示した例ではスラブ切断位置としての第２の切断線６３２で示す位置を第１の切断線６３１に対して入射側に設定したが、これをチャネル導波路アレイ７２側に位置させることによっても同様に反射を低減することができる。
【００８６】
第３の変形例
【００８７】
図５は、本発明の第３の変形例としてのアレイ導波路回折格子素子の要部を説明するためのものである。先の第２の変形例ではＡＷＧチップ６２の表面と垂直な面で入力側スラブ導波路６９を切断したが、シリコン基板９５および導波路９６からなるこのチップ６２の厚さ方向に微小な角度θ２だけ傾けて切断して第１のＡＷＧチップ６２１と第２のＡＷＧチップ６２２を得るようにしている。これらの切断面の位置を調整して接着することで、第２の変形例と同様にスラブ切断部で生じる光の反射を防ぐことができる。
【００８８】
なお、スラブ切断部で生じる光の反射を防止するためには、図４と図５で示した傾斜方向を任意に組み合わせて切断面を設定してもよい。すなわち、一般には切断面は光軸に垂直な面に対して３次元空間上の所定方向に僅かに方向を異ならせた面であれば、スラブ切断部で生じる光の反射を防止することが可能になる。
【００８９】
第４の変形例
【００９０】
図６は、本発明の第４の変形例としてのアレイ導波路回折格子素子を示したものである。この図６で図１と同一部分には同一の符号を付しており、これらの説明を適宜省略する。第４の変形例のアレイ導波路回折格子素子６１Ｂは、第１のＡＷＧチップ１０１１と、この第１のＡＷＧチップ１０１１と切断線１０２を介して接着された第２のＡＷＧチップ１０１２の２つのチップから構成されている。これら第１および第２のＡＷＧチップ１０１１、１０１２は本来１つのウェハであったものを切断線１０２で切断して、この切断線１０２の方向に所望の量だけ移動させた後に接着剤等で両者を固定したものである。第１のＡＷＧチップ１０１１と第２のＡＷＧチップ１０１２の境界部分には、補強用のやとい１０４を出力側の端部に接着した出力側スラブ導波路７１が配置されている。
【００９１】
この変形例でも図１に示したアレイ導波路回折格子素子６１と同様に第１および第２のＡＷＧチップ１０１１、１０１２の接着位置の調整によって波長の調整を行うことができる。もちろんこの図６に示した第４の変形例でも、図４に示した第２の変形例と同様に、切断箇所を光軸に垂直な面に対して３次元空間上の所定方向に僅かに方向を異ならせた面とすることで、反射による影響を防止することができる。
【００９２】
第５の変形例
【００９３】
図７は、本発明の第５の変形例としてのアレイ導波路回折格子素子を示したものである。この図７で図１および図６と同一部分には同一の符号を付しており、これらの説明を適宜省略する。第５の変形例のアレイ導波路回折格子素子６１Ｃは、第１のＡＷＧチップ１２１１と、この第１のＡＷＧチップ１２１１と切断線６３を介して接着された第２のＡＷＧチップ１２１２と、第２のＡＷＧチップ１２１２と他の切断線１０２を介して接着された第３のＡＷＧチップ１２１３との３つのチップから構成されている。これら第１〜第３のＡＷＧチップ１２１１〜１２１３は本来１つのウェハであったものを切断線６３、１０２で切断して、これらの切断線６３、１０２の方向にそれぞれ所望の量だけ移動させた後に接着剤等でこれらを固定したものである。一方の切断線６３は先の実施例と同様に入力側スラブ導波路６９を切断しており、他方の切断線１０２は第４の実施例と同様に出力側スラブ導波路７１を切断している。
【００９４】
この変形例でも先の実施例および変形例に示したアレイ導波路回折格子素子６１、６１Ａと同様に第１および第２のＡＷＧチップ１２１１、１２１２の接着位置の調整および第２および第３のＡＷＧチップ１２１２、１２１３の接着位置の調整によって、それぞれ波長の調整を行うことができる。もちろんこの図７に示した第５の変形例でも、図４に示した第２の変形例と同様に、切断箇所を光軸に垂直な面に対して３次元空間上の所定方向に僅かに方向を異ならせた面とすることで、反射による影響を防止することができる。
【００９５】
第６の変形例
【００９６】
ところで、以上の実施例および変形例では入力側と出力側スラブ導波路の一方あるいは双方を切断してこれを所望の距離だけ移動して接着するようにした。このように導波路を形成した同一の基板を切断して接着するだけでなく、異なった基板同士を接着することも可能である。また、これを積極的に推し進めて、あるスラブ導波路を切断した一方のパターンと他方のパターンの導波路基板をそれぞれ単独で多量に作製し、必要に応じてこれらを適宜組み合わせて所望の特性あるいは機能のアレイ導波路回折格子素子を実現することも可能になる。
【００９７】
特に、アレイ導波路回折格子素子をスラブ導波路の箇所で切断した形の複数の部品として別々に製造すると、たとえばチャネル導波路アレイ７２のように高精度の加工が必要なものとそれ以外のものとをそれぞれ異なった精度で製造することが可能になり、製造工程に無駄がなくなるばかりでなく、歩留まりの向上も図ることができる。
【００９８】
図８は１つのアレイ導波路回折格子素子を３つの部品に分けて別々に製造し接着した状態を表わしたものである。第１〜第３の部品１４１〜１４３は接合面１４４、１４５でそれぞれ接着して１つのアレイ導波路回折格子素子６１Ｄを完成させている。このうち一方の接合面１４４は入力側スラブ導波路６９を接合する面であり、他方の接合面１４５は出力側スラブ導波路７１を接合する面である。
【００９９】
図９は、第１の部品を単独で示したものである。また、図１０〜図１２は図９に示した切断された形状の入力側スラブ導波路の端面近傍領域１５１を拡大して示す（同図（ａ））と共に、アレイ導波路回折格子素子の光出力の特性を示した（同図（ｂ））ものである。たとえば図１０（ａ）では入力側スラブ導波路６９Ａ１に接続する入力導波路７４Ａ１の接続部分の形状が、図１１（ａ）に示した、より拡大したものと図１２（ａ）のストレートなものとの中間的な形状となっている。したがって、この入力導波路７４Ａ１を用いた第１の部品１４１を使用することで第３の部品１４３として標準的な特性を有する部品が使用されていれば、図１０（ｂ）に示すように通常の波長特性のスペクトルを得ることができる。
【０１００】
これに対して、図１１（ａ）に示したような入力導波路７４Ａ２を用いた第１の部品１４１を使用すると、同図（ｂ）で実線で示すように頂上部分がフラットとなった波長特性のスペクトルを得ることができる。更に、図１２（ａ）に示したような入力導波路７４Ａ３を用いた第１の部品１４１を使用すると、同図（ｂ）で実線で示すように頂上部分が急峻となった波長特性のスペクトルを得ることができる。したがって、所望のスペクトル形状に応じて入力導波路７４Ａ１〜７４Ａ３のいずれかを用いた第１の部品１４１を選択すればよい。
【０１０１】
図１３は、第３の部品を単独で示したものである。また、図１４〜図１６は図１３に示した切断された形状の出力側スラブ導波路の端面近傍領域１５２を拡大して示す（同図（ａ））と共に、アレイ導波路回折格子素子の光出力の特性を示した（同図（ｂ））ものである。たとえば図１４（ａ）では出力側スラブ導波路７１Ａ１に接続する出力導波路７５Ａ１の接続部分の形状が、図１５（ａ）に示した、より拡大したものと図１６（ａ）のストレートなものとの中間的な形状となっている。したがって、この出力導波路７１Ａ１を用いた第３の部品１４３を使用することで第１の部品１４１として標準的な特性を有する部品が使用されていれば、図１４（ｂ）に示すように通常の波長特性のスペクトルを得ることができる。
【０１０２】
これに対して、図１５（ａ）に示したような出力導波路７５Ａ２を用いた第３の部品１４３を使用すると、同図（ｂ）で実線で示すように頂上部分がフラットとなった波長特性のスペクトルを得ることができる。更に、図１６（ａ）に示したような出力導波路７５Ａ３を用いた第３の部品１４３を使用すると、同図（ｂ）で実線で示すように頂上部分が急峻となった波長特性のスペクトルを得ることができる。したがって、これらの場合にも所望のスペクトル形状に応じて出力導波路７５Ａ１〜７５Ａ３のいずれかを用いた第３の部品１４３を選択すればよい。もちろん、第１および第３の部品１４１、１４３を組み合わせて使用することで、更に特性を多様なものとすることができる。
【０１０３】
第７の変形例
【０１０４】
図１７〜図２０は、第６の変形例に関連した変形例としてポート数や出力導波路の配置に特徴をもった出力側スラブ導波路の出力側近傍を示したものである。これらの図に示した切断された出力側スラブ導波路７１Ｂ１〜７１Ｂ４は、図１３に示した第３の部品１４３の出力側スラブ導波路の端面近傍領域１５２を拡大して示したものである。また、図２１〜図２４は、図１７〜図２０にそれぞれ示した出力側スラブ導波路および出力導波路を使用した場合のアレイ導波路回折格子素子の出力特性を１つずつ対応させて示したものである。
【０１０５】
このうち図１７に示した例では出力側スラブ導波路７１Ｂ１の出力側に１６チャネルの出力導波路７５Ｂ１が接続されている。図１８に示した例ではこの１６チャネルがより広い間隔で配置されている。したがって、図１７に対応する図２１と、図１８に対応する図２２ではそれぞれの光出力の波長のピーク位置の間隔が異なっている。
【０１０６】
一方、図１９に示した例では図１７に示した例と各チャネルの配置密度は同じであるが、図１９に示した例では３２チャネルにチャネル数が倍増している。このため図２３に示すように全チャネルの波長帯域は図２１に示した１６チャネルのものと比べると倍に増大していることになる。
【０１０７】
図２０に示した例では、出力側スラブ導波路７１Ｂ４の出力側の中央付近に出力導波路７５Ｂ５を配置し、その両隣に所定の間隔を置いて１対の出力導波路７５Ｂ４、７５Ｂ６を配置している。後者の１対の出力導波路７５Ｂ４、７５Ｂ６は出力をモニタするために使用される。すなわち、図２４に対応させて示したように出力導波路７５Ｂ５の光出力は出力側スラブ導波路７１Ｂ４の出力側の比較的中央部分から得られるので比較的品質が良好であり、図示しないメインポートに入力されて通常の信号光として処理される。これに対して１対の出力導波路７５Ｂ４、７５Ｂ６の双方あるいはいずれか一方の光出力は図示しないモニタポートに入力されて信号光の強度の制御等のモニタ用に使用されることになる。
【０１０８】
第８の変形例
【０１０９】
図２５は、第８の変形例として切断及び研磨を考慮した場合に好適な入力側スラブ導波路近傍の形状を表わしたものである。この入力側スラブ導波路６９Ｃは、その切断箇所１８１が切断および研磨しろ分としてａμｍだけ長めにスラブ長Ｓが設定されるようにマスクパターンを設計している。そして、入力側スラブ導波路６９Ｃの入力導波路７４Ｃは中央部に接続される第１の入力導波路７４Ｃ１と、その両側に所定の間隔を置いて接続される第２の入力導波路７４Ｃ２とによって構成されている。第１の入力導波路７４Ｃ１の接続されるスラブ入力端は第２の入力導波路７４Ｃ２の接続される部分よりもａμｍだけ入射側に突出している。
【０１１０】
図２６は本発明の第８の変形例の入力側スラブ導波路と対比するために、先の実施例で使用されたと同様の入力側スラブ導波路近傍の形状を表わしたものである。この入力側スラブ導波路６９Ｄは、その切断箇所１８１の分だけ図２５に示した入力側スラブ導波路６９Ｃと同様にスラブ長Ｓが長めに設定されている。このような入力側スラブ導波路６９Ｄは、切断前に特性をチェックしようとしてもスラブ長Ｓが長いので特性の初期評価を行うことができない。
【０１１１】
これに対して図２５に示した変形例の場合には、第１の入力導波路７４Ｃ１の接続されるスラブ入力端から計った切断前のスラブ長Ｓは長いのでこの部分での特性の初期評価は同様に不可能であるが、第２の入力導波路７４Ｃ２の接続箇所はスラブ長Ｓよりもａμｍだけ短くなっている。したがって、切断前にはこの第２の入力導波路７４Ｃ２を用いて特性の初期評価を行うことができる。そして、特性が良好とされる入力側スラブ導波路６９Ｃを良品として選択し、製品の使用の際には第１の入力導波路７４Ｃ１を選択すればよい。
【０１１２】
第９の変形例
【０１１３】
図２７は、第９の変形例としての出力側スラブ導波路近傍の形状を表わしたものである。この出力側スラブ導波路７１Ｃは、その切断箇所１９１の近傍に配置された出力導波路７５Ｃの一番端の出力導波路７５Ｃ１のみが出力側スラブ導波路７１Ｃとの接続箇所がストレートな形状となっており、スペクトルモニタ用となっている。図１４および図１６で説明したようにこの出力導波路７５Ｃ１からは急峻なスペクトルの光信号を得ることができるので、この部分をモニタ用とすることで切断箇所１９１の接着を行う際に位置補正の精度を十分向上させることができる。なお、スペクトルモニタ用の出力導波路７５Ｃ１は必ずしもストレートな形状である必要はなくその先端が狭まるようなテーパ状をなしていてもよい。この場合にも、同様に急峻なスペクトルの光信号を得ることができる。
【０１１４】
第１０の変形例
【０１１５】
図２８は、第１０の変形例としてのアレイ導波路モジュールを表わしたものである。このアレイ導波路モジュール３０１は、箱状のケース３０２とその底部に配置されたペルチェ素子からなる発熱あるいは冷却を行う温度制御素子３０３と、図１に示したアレイ導波路回折格子素子６１とこれらの間に介在する金属板３０４から構成されている。この変形例では金属板３０４として熱伝導性の良い銅板を使用している。金属板３０４は温度制御素子３０３の温度制御領域を拡大するために温度制御素子３０３の接触サイズよりも大きなものが使用されている。
【０１１６】
金属板３０４の内部には温度センサ３０６が熱伝導性の高い材料３０７と共に埋め込まれている。この温度検出出力は、温度制御回路３０８に入力されて温度制御素子３０３の温度制御が行われるようになっている。温度センサ３０６にはサーミスタが使用されている。また、この図では示していないが、入力導波路側には入力光ファイバが接続され、出力導波路側には出力光ファイバが接続されている。
【０１１７】
第１１の変形例
【０１１８】
図２９は、第１１の変形例としての光通信システムの構成の概要を表わしたものである。この光通信システムで、送信側に配置されたＳＯＮＥＴ（Ｓｙｎｃｈｒｏｎｏｕｓ Ｏｐｔｉｃａｌ Ｎｅｔｗｏｒｋ）装置（光送信機）４０１から送り出された波長λ１〜λＮのＮチャネル分の光信号は光マルチプレクサ（ＭＵＸ）４０２で多重された後、ブースタアンプ４０３で増幅されて光伝送路４０４に送り出される。光マルチプレクサ４０２は、アレイ導波路回折格子素子で構成されている。多重化された光信号４０５はインラインアンプ４０６で適宜増幅された後、プリアンプ４０７を経て光デマルチプレクサ（ＤＭＵＸ）４０８で元の波長λ１〜λＮに分離され、ＳＯＮＥＴ装置（光受信機）４０９で受信されるが、その途中の光伝送路４０４に適宜の数のノード（ＯＡＤＭ）４１１１〜４１１Ｍが配置されている。これらのノード４１１１〜４１１Ｍでは、所望の波長の光信号が入出力されることになる。
【０１１９】
図３０は、ノードの構成の概要を示したものである。ここでは第１のノード４１１１を示しているが、第２〜第Ｍのノード４１１２〜４１１Ｍも原理的には同一の構成となっている。図２９に示した光伝送路４０４からは光信号４０４が、第１のノード４１１１の入力側アレイ導波路回折格子素子４２１に入力されて波長λ１〜λＮのＮチャネル分の光信号に分波され、各波長λ１〜λＮごとに設けられた２入力２出力の光スィッチ４２２１〜４２２Ｎによって、それぞれの波長λ１〜λＮの光信号のノード側受信部４２６に取り込む（ｄｒｏｐ）と共に、ノード側送信部４２４から送信した光信号を挿入する（Ａｄｄ）。２入力２出力の光スィッチ４２２１〜４２２Ｎの出力側はそれぞれに対応して設けられたアッテネータ（ＡＴＴ）４２７１〜４２７Ｎによってゲインを調整された後に出力側アレイ導波路回折格子素子４２８に入力されるようになっている。出力側アレイ導波路回折格子素子４２８は入力側アレイ導波路回折格子素子４２１と逆の構成の素子であり、波長λ１〜λＮのＮチャネル分の光信号を多重して光伝送路４０４に光信号４０５として送り出すことになる。
【０１２０】
このように図３０に示した第１のノード４１１１を始めとして、図２９に示した第２〜第Ｍのノード４１１２〜４１１Ｍおよび光マルチプレクサ４０２ならびに光デマルチプレクサ４０８は共にアレイ導波路回折格子素子を使用している。したがって、光信号４０５のチャネル数Ｎが多くなる要請の下で、アレイ導波路回折格子素子のよりフラットな光周波数特性が求められることになる。
【０１２１】
ここでこの変形例で使用されるアレイ導波路回折格子素子としては、図１に示したアレイ導波路回折格子素子６１を少なくともその一部に使用することができる。これにより、先に説明した実施例と同様の効果を得ることができる。
【０１２２】
最後に以上説明した本発明のスラブ導波路を切断するという技術におけるローランド配置からのずれを考察する。
【０１２３】
図３１は入力側スラブ導波路の近傍を示したものである。入力側スラブ導波路６９の入力導波路７４が接続する側の端部である入力スラブの界面はローランド円２０１の一部を形成している。
【０１２４】
所望の光入力位置が矢印２０３で示す点であるとし、スラブ導波路６９を切断線２０４で示す箇所で切断したとする。入力導波路７４が仮に第１〜第５の入力導波路７４１〜７４５で構成されているものとして、切断線２０４の箇所で接着位置を矢印２０５方向に移動させることで、このうちの第３の入力導波路７４３を矢印２０３で示す点まで移動させたとすると、本来のローランド配置からの角度が比較的大きくずれる。しかしながら、入力導波路７４がこの例のように複数本で構成されているとすると、矢印２０３で示す点に最も近い第２の入力導波路７４２から光を入射してこれをこの点まで移動させることで、角度のずれを小さく抑えることができる。その角度ずれは主に損失値に影響する。
【０１２５】
図３２は、以上説明したような入力導波路の角度ずれに起因する過剰損失の計算結果の一例を表わしたものである。ここに示した数値は、アレイ状導波路を設計する際の各設計パラメータによって変化することはもちろんである。この図３２では、図３１に示した第３の入力導波路７４３に光を入射させてそれを矢印２０５方向に移動させて中心波長補正を行う場合を示している。波長補正値（Δλ）が大きくなるほど、それぞれに伴う過剰損失が無視できなくなることがわかる。
【０１２６】
前記したように図３１に示した例では第２の入力導波路７４２に光を入射させて補正することで、角度ずれに起因する損失を低減することができる。このような手法は、従来技術として示した図３４および図３５のアレイ導波路回折格子素子の構成では不可能であり、本発明のようにスラブ導波路６９で切断して張り合わせたり、あるいは切断した形状同士のものを張り合わせることで初めて可能になる技術である。
【０１２７】
【発明の効果】
本発明によれば、モニタ用のポートは第２の出力側スラブ導波路に接続されている他のポートに比べてより急峻なスペクトルの光信号を得るスペクトルモニタ用のポートであるので、たとえばこれを使用することでスラブ導波路の切断箇所の固着を行う際の位置補正の精度を十分向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例におけるアレイ導波路回折格子素子を示した平面図である。
【図２】本実施例のアレイ導波路回折格子素子の製造工程を示した流れ図である。
【図３】本発明の第１の変形例におけるアレイ導波路回折格子素子の入力側スラブ導波路の周囲を示した平面図である。
【図４】本発明の第２の変形例におけるアレイ導波路回折格子素子の製造原理を示す説明図である。
【図５】本発明の第３の変形例におけるアレイ導波路回折格子素子の切断箇所を拡大して示した端面図である。
【図６】本発明の第４の変形例としてのアレイ導波路回折格子素子を示した平面図である。
【図７】本発明の第５の変形例としてのアレイ導波路回折格子素子を示した平面図である。
【図８】本発明の第６の変形例で１つのアレイ導波路回折格子素子を３つの部品に分けて別々に製造し接着した状態を表わした平面図である。
【図９】本発明の第６の変形例で第１の部品を単独で示した平面図である。
【図１０】本発明の第６の変形例で入力側スラブ導波路に接続する入力導波路の接続部分の形状とこれによる波長特性の第１の例を示した説明図である。
【図１１】本発明の第６の変形例で入力側スラブ導波路に接続する入力導波路の接続部分の形状とこれによる波長特性の第２の例を示した説明図である。
【図１２】本発明の第６の変形例で入力側スラブ導波路に接続する入力導波路の接続部分の第３の形状とこれによる波長特性の第３の例を示した説明図である。
【図１３】本発明の第６の変形例で第３の部品を単独で示した平面図である。
【図１４】本発明の第６の変形例で出力側スラブ導波路の端面近傍領域とアレイ導波路回折格子素子の光出力の特性の第１の例を示した説明図である。
【図１５】本発明の第６の変形例で出力側スラブ導波路の端面近傍領域とアレイ導波路回折格子素子の光出力の特性の第２の例を示した説明図である。
【図１６】本発明の第６の変形例で出力側スラブ導波路の端面近傍領域とアレイ導波路回折格子素子の光出力の特性の第３の例を示した説明図である。
【図１７】本発明の第７の変形例で１６チャネルＡＷＧの出力側スラブ導波路と出力導波路の一部を示した平面図である。
【図１８】本発明の第７の変形例で波長間隔を拡大した出力側スラブ導波路と出力導波路の一部を示した平面図である。
【図１９】本発明の第７の変形例で３２チャネルＡＷＧの出力側スラブ導波路と出力導波路の一部を示した平面図である。
【図２０】本発明の第７の変形例で出力モニタ導波路を付加した出力側スラブ導波路と出力導波路の一部を示した平面図である。
【図２１】図１７に示した出力側スラブ導波路および出力導波路を使用した場合のアレイ導波路回折格子素子の出力特性を示す特性図である。
【図２２】図１８に示した出力側スラブ導波路および出力導波路を使用した場合のアレイ導波路回折格子素子の出力特性を示す特性図である。
【図２３】図１９に示した出力側スラブ導波路および出力導波路を使用した場合のアレイ導波路回折格子素子の出力特性を示す特性図である。
【図２４】図２０に示した出力側スラブ導波路および出力導波路を使用した場合のアレイ導波路回折格子素子の出力特性を示す特性図である。
【図２５】本発明の第８の変形例における入力側スラブ導波路近傍の形状を表わした平面図である。
【図２６】第８の変形例と対比させるためのスラブ長を単に長めに設定した入力側スラブ導波路近傍の形状を表わした平面図である。
【図２７】本発明の第９の変形例としての出力側スラブ導波路近傍の形状を表わした平面図である。
【図２８】本発明の第１０の変形例としてのアレイ導波路モジュールを表わした側面図である。
【図２９】本発明の第１１の変形例における光通信システムの構成の概要を表わしたシステム構成図である。
【図３０】この第１１の変形例の光通信システムに使用されるノードの構成の概要を示したブロック図である。
【図３１】ローランド配置との関係を説明するための入力側スラブ導波路の近傍を示した説明図である。
【図３２】入力導波路の角度ずれに起因する過剰損失の計算結果の一例を表わした特性図である。
【図３３】従来のアレイ導波路回折格子の全体的な構成を表わした平面図である。
【図３４】アレイ状導波路ウェハの入力側のスラブ入射部で基板を切断したアレイ導波路回折格子素子の構成を表わした斜視図である。
【図３５】入力用ファイバをスラブ導波路用光導波路を介して入力側スラブ導波路に接続したアレイ導波路回折格子素子の構成を表わした平面図である。
【図３６】歩留まり向上対策として採りうる２連化されたアレイ状導波路の例を示した説明図である。
【符号の説明】
６１、６１Ａ、６１Ｂ、６１Ｃ、６１Ｄ アレイ導波路回折格子素子
６３、６３２、１０２、２０４ 切断線
６８、１０４ （補強用の）やとい
６９、６９Ａ、６９Ｂ、６９Ｃ 入力側スラブ導波路
７１、７１Ａ、７１Ｂ、７１Ｃ 出力側スラブ導波路
７２ チャネル導波路アレイ
７４ 入力導波路
７５ 出力導波路
１０１１、１２１１ 第１のＡＷＧチップ
１０１２、１２１２ 第２のＡＷＧチップ
１４１ 第１の部品
１４２ 第２の部品
１４３ 第３の部品
１４４、１４５ 接合面
３０１ アレイ導波路モジュール
４０２ 光マルチプレクサ
４０８ 光デマルチプレクサ
４１１ ノード
Ｓ スラブ長
【発明の属する技術分野】
本発明はアレイ導波路回折格子素子の製造方法およびアレイ導波路回折格子素子に係わり、詳細には選択する波長の補整を行うことのできるアレイ導波路回折格子素子の製造方法およびアレイ導波路回折格子素子に関する。
【０００２】
【従来の技術】
伝送するデータの大容量化と共に、光ファイバ通信システムで更なる伝送容量の拡大が望まれている。このために、高密度波長分割多重通信方式（Ｄｅｎｓｅ Ｗａｖｅｌｅｎｇｔｈ Ｄｉｖｉｓｉｏｎ Ｍｕｌｔｉｐｌｅｘｉｎｇ：ＤＷＤＭ）で、それぞれの波長を分割したり統合するための合分波デバイスとしての光波長フィルタの重要性がますます高まっている。
【０００３】
光波長フィルタはさまざまな形態のものがある。中でもアレイ導波路回折格子は、波長特性が狭帯域で高消光比であり、また多入力多出力のフィルタデバイスとしての特徴も持っている。このため、多重化された信号の分離やその逆の動作を行わせることが可能であり、容易に波長合分波デバイスを構成することができるという利点がある。更にアレイ導波路回折格子素子を石英導波路を使用して構成すると、光ファイバとの結合に優れ、挿入損失が数ｄＢ（デシベル）程度の低挿入損失動作を実現することができる。このような点から、アレイ導波路回折格子は光波長フィルタの中でも特に重要なデバイスとして注目されており、国内外で盛んに研究が行われている。
【０００４】
図３３は、従来のアレイ導波路回折格子の全体的な構成を表わしたものである。アレイ導波路回折格子１１は、図示しない基板上に形成された１本または複数本の入力導波路１２と、複数本からなる出力導波路１３と、異なった曲率でそれぞれ一定方向に曲がったチャネル導波路アレイ１４と、入力導波路１２とチャネル導波路アレイ１４を接続する入力側スラブ導波路１５と、チャネル導波路アレイ１４と出力導波路１３を接続する出力側スラブ導波路１６とによって構成されている。入力導波路１２から入射した多重信号光は、入力側スラブ導波路１５によってその進路を広げる。そしてチャネル導波路アレイ１４にそれぞれ等位相で入射する。入射光強度については入力側スラブ導波路１５の各入射位置で等しくはなく、中央部ほど強度が強く、ほぼガウス分布となっている。
【０００５】
チャネル導波路アレイ１４では、これを構成する各アレイ導波路の間に一定の光路長差が設けられていて、光路長が順次長く、あるいは短くなるように設定されている。したがって、それぞれのアレイ導波路を導波する光には一定間隔ずつの位相差が付けられて出力側スラブ導波路１６に到達するようになっている。実際には波長分散があるので、波長によってその等位相面が傾く。この結果、波長によって出力側スラブ導波路１６と出力導波路１３の界面上の異なった位置に光が結像（集光）する。波長に対応したそれぞれの位置に出力導波路１３が配置されているので、出力導波路１３からは任意の波長成分を取り出すことが可能になる。
【０００６】
ところでこのようなアレイ導波路回折格子１１の中心波長は導波路材料の屈折率の変化に非常に敏感である。このため、その製造プロセスとしての成膜プロセスでのバラツキによって中心波長が変動してしまい、設計通りの値を得ることができない場合が多い。中心波長が変動すると、使用する波長での光損失が大きくなるという問題がある。
【０００７】
そこで特開平９−４９９３６号公報では、通常のＡＷＧ（ａｒｒａｙｅｄ ｗａｖｅｇｕｉｄｅ：アレイ状導波路）による入出力導波路の他に波長補正用の入出力導波路を設けるようにしている。そして波長の補正量に応じて入出力導波路を変更するようにしている。
【０００８】
波長差δλに対する分波方向の確度の差をδθとするとき、アレイ導波路回折格子では入力導波路１２の位置、すなわちスラブ入射角度θｉｎを変更することで、中心波長λｉｎを次の（１）式に示す値だけ補正することができる。
【０００９】
【数１】
ただし、この波長補正用の入出力導波路は離散的に配置されている。このため、波長の補正量も離散的となり、任意に波長を補正することができない。任意の波長補正量を得るためには、スラブ入射角度θｉｎを任意に取る必要がある。
【００１１】
図３４は、このような問題を解決するためのアレイ導波路回折格子素子の構成を表わしたものである。たとえば「Ｐ．ＣＰＵ．Ｃｌｅｍｅｎｔｓ ｅｔ ａｌ，ＩＥＥＥ ，Ｐｈｏｔｏｎ，Ｔｅｃｈ，ｌｅｔｔ，Ｖｏｌ．７，Ｎｏ．１０，ｐｐ．１０４０−１０４１，１９９５」に示されたこの提案では、ＡＷＧ（ａｒｒａｙｅｄ ｗａｖｅｇｕｉｄｅ：アレイ状導波路）ウェハ２１の入力側のスラブ入射部２２で基板を切断している。そして、やとい（ガラス）によって補強されたスラブ入射部２２で、同じくやとい２３に挟まれた入力用ファイバ２４を接着（固着）している。この接着時に直接調芯を行い、波長補正量に合わせて入力用ファイバ２４の位置を任意に変えるようにしている。
【００１２】
しかしながら、一般に入力用ファイバ２４のスポットサイズの製造上の誤差は光導波路のスポットサイズの製造上の誤差に比べて非常に大きい。このため、このような手法を採ると入力用ファイバ２４のスポットサイズが大きくばらついたような場合にアレイ状導波路の特性を劣化させる要因になるという問題があった。
【００１３】
図３５はこのような問題を解決するための提案を示したものである。たとえば「電子情報通信学会総合大会Ｃ−３−７６（２０００）」では、図３５に示したようにスラブ入射部２２で入力用ファイバ２４を接着するのではなく、入力用ファイバ３１はスラブ導入用光導波路３２を介して入力側スラブ導波路３３に接続されている。入力側スラブ導波路３３と出力側スラブ導波路３４は共にＡＷＧ素子ウェハ３５上に形成されており、これらの間にはチャネル導波路アレイ３６が接続されている。また、出力側スラブ導波路３４とファイバアレイ３７の間には出力導波路３８が接続されている。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】
この図３５に示したアレイ導波路回折格子素子の場合には、スラブ導入用光導波路３２を入力用ファイバ３１と入力側スラブ導波路３３の間に設けている。この場合には、入力側スラブ導波路３３に導波路を接続するので前記したスポットサイズのバラツキの問題は少なくなる。しかしながらスラブ導入用光導波路３２を別途用意する必要があるので、量産性の障害となる場合があり得るという問題がある。
【００１５】
また、図３４および図３５に示した手法ではスラブの入射部を切断している。このため、このスラブ切断位置に光軸方向の誤差が発生するとスラブ長が変化することになり、波長特性が劣化する要因になる。すなわち、スラブ長が長めになるように切断された場合にはこれを研磨等によって調整することができるが、スラブ長が短めになってしまったような場合には、修正自体が不可能になる。
【００１６】
更に、デバイスをモジュール実装する場合を考慮すると入力用ファイバと出力用ファイバは互いに平行になっていることが望まれる。このためには図３４および図３５に示したように両者を平行にするためにＡＷＧウェハ内のチップのレイアウトを単純なものから変更する必要があり、これがウェハ内チップレイアウトを制限する要因になる。
【００１７】
図３６はこのようなウェハ内チップレイアウトが制限されない場合に採りうる２連化されたアレイ状導波路の例を示したものである。この図には１ウェハ当りのアレイ状導波路の歩留まりを上げて収穫量を増やすために、ＡＷＧスラブ部４１、４２および４３、４４を交叉させてアレイ状導波路４５、４６を２連化して配置した状態を示している。このようなウェハ内チップレイアウトでは、２つのアレイ状導波路４５、４６のうちの特性の良いものを選択することで歩留まりを上げることができる。
【００１８】
しかしながら図３６に示したアレイ状導波路４５、４６はたとえば上下対称に配置可能な形状となっているので、ＡＷＧスラブ部４１、４２および４３、４４を交差させるように配置することでこのような２連化配置が可能である。図３４および図３５に示したような形状のアレイ状導波路ではこれらを２連に配置することが困難である。
【００１９】
以上説明したように中心波長の補正を行うようにした従来のアレイ導波路回折格子素子では、スポットサイズの誤差によるアレイ状導波路の特性の劣化や、専用導波路を準備する手間、あるいはチップレイアウトの制限等の問題を生じさせていた。
【００２０】
以上、アレイ導波路回折格子素子についての問題を説明したが、このようなアレイ導波路回折格子素子を使用したアレイ導波路モジュールおよび光通信システムにもこれと同様の問題があった。
【００２１】
そこで本発明の目的は、波長補正を簡易に実現することのできるアレイ導波路回折格子素子の製造方法およびアレイ導波路回折格子素子を提供することにある。
【００３２】
本発明のアレイ導波路回折格子素子では、第１の基板上に形成された入力導波路と、第１の基板上に配置され、各導波路の長さが所定の導波路長差で順次長くなるように構成されたチャネル導波路アレイと、第１の基板上に配置され、前記入力導波路とチャネル導波路アレイの一端側とを接続する入力側スラブ導波路と、前記第１の基板上に配置され、前記チャネル導波路アレイの他端側と接続し、かつ出力側スラブ導波路の一部分を形成する第１の出力側スラブ導波路と、前記第１の基板と異なる第２の基板上に配置され、前記出力側スラブ導波路の残りの部分を形成し、これらの基板の端面同士を対向させて接合することにより、前記第１の出力側スラブ導波路と組み合わされて前記出力側スラブ導波路の全体を形成する第２の出力側スラブ導波路と、前記第２の基板上に形成され前記第２の出力側スラブ導波路と接続する複数本の出力導波路とを備え、前記第２の出力側スラブ導波路は、それに接続されている出力導波路の少なくとも１つがモニタ用のポートに割り当てられた第２の出力側スラブ導波路として構成されており、前記モニタ用のポートは前記第２の出力側スラブ導波路に接続されている他のポートに比べてより急峻なスペクトルの光信号を得るスペクトルモニタ用のポートであることを特徴としている。
【００４９】
これにより、分断された第２の出力側スラブ導波路側を第１の出力側スラブ導波路に接続する際に、それに接続された出力導波路の少なくとも１つがモニタ用のポートとなった第２の出力側スラブ導波路を用意しておけば、このような出力側スラブ導波路を選択して構成することが可能である。すなわち本発明は波長の補正以外の目的で使用することも可能である。
【００７０】
【発明の実施の形態】
【００７１】
【実施例】
以下実施例につき本発明を詳細に説明する。
【００７２】
図１は本発明の一実施例におけるアレイ導波路回折格子素子を示したものである。このアレイ導波路回折格子素子６１は、第１のＡＷＧ（ａｒｒａｙｅｄ ｗａｖｅｇｕｉｄｅ：アレイ状導波路）チップ６２１と、この第１のＡＷＧチップ６２１と切断線６３を介して接着（固着）された第２のＡＷＧチップ６２２の２つのチップから構成されている。これら第１および第２のＡＷＧチップ６２１、６２２は本来１つのウェハであったものを切断線６３で切断して、この切断線６３の方向に所望の量だけ移動させた後に接着剤等で両者を固定したものである。
【００７３】
第２のＡＷＧチップ６２２の一端部には、入力側ファイバアレイ６５が取り付けられている。また、第１のＡＷＧチップ６２１におけるこれと反対側の端部には出力側ファイバアレイ６７が取り付けられている。第１のＡＷＧチップ６２１と第２のＡＷＧチップ６２２の境界部分には、補強用のやとい６８を入力側の端部に接着した入力側スラブ導波路６９が配置されており、第１のＡＷＧチップ６２１におけるファイバアレイ６７の近傍には出力側スラブ導波路７１が配置されている。入力側スラブ導波路６９と出力側スラブ導波路７１の間には、異なった曲率でそれぞれ一定方向に曲がったチャネル導波路アレイ７２が配置されている。また、ファイバアレイ６５と入力側スラブ導波路６９の間には入力導波路７４が、出力側のファイバアレイ６７と出力側スラブ導波路７１の間には出力導波路７５がそれぞれ配置されている。
【００７４】
図２は、本実施例のアレイ導波路回折格子素子の製造工程の流れを示したものである。まず、第１のＡＷＧチップ６２１と第２のＡＷＧチップ６２２の２つのチップに切断する前のチップを製造し、ウェハから切り出す（ステップＳ８１）。そしてこのチップに対して入力側スラブ導波路６９および出力側のファイバアレイ６７を取り付けて入力側ファイバアレイ６５および出力側ファイバアレイ６７を接着する（ステップＳ８２）。次に、入力側スラブ導波路６９における切断線６３で示す切断箇所を補強するためにこの部位のスラブ導波路の上面、下面あるいはこれら両面にやとい６８を接着する（ステップＳ８３）。そしてこの切断線６３で示す切断箇所を、光軸に垂直方向に切断する（ステップＳ８４）。切断した端面は、互いに接続が良好に行われるように研磨しておく。このとき、第１のＡＷＧチップ６２１と第２のＡＷＧチップ６２２には入力側ファイバアレイ６５および出力側ファイバアレイ６７が付いたままである。
【００７５】
これら第１のＡＷＧチップ６２１と第２のＡＷＧチップ６２２は、光軸調芯され、切断線６３と平行の切断方向に対する波長補正が行われる所望の位置が求められる（ステップＳ８５）。その位置で第１のＡＷＧチップ６２１と第２のＡＷＧチップ６２２を接着剤で固定する（ステップＳ８６）。接着剤としてはＵＶ（ｕｌｔｒａｖｉｏｌｅｔ：紫外線）硬化樹脂や、熱硬化樹脂等を用いることができる。ＵＶ硬化樹脂を使用する場合には、紫外線透過率を考慮して、デバイス基板材料として石英基板等の透明なもの、すなわち紫外線透過率の高いものを用いることが望ましい。また、入力側スラブ導波路６９については切断して位置をずらして固定するので、切断時の切りしろと研磨しろの分だけその長さを長めに設計しておく必要がある。
【００７６】
第１の変形例
【００７７】
ところで図１に示したアレイ導波路回折格子素子６１で入力導波路７４は一つであればよく、複数本用意されている場合があるのはその中の良品を選択できるようにするためである。本発明の場合もこの点に変わりがなく、ステップＳ８５では図１に示したような入力導波路７４から光を入射させて、切断線６３に沿って第１のＡＷＧチップ６２１と第２のＡＷＧチップ６２２の位置関係を変えながら調芯を行うことになる。しかしながら、調芯量が大きくなるほど、入力側スラブ導波路６９における光の入射位置がローランド配置からずれて焦点位置が設計値から狂ってしまうことになる。
【００７８】
図３は、このよう場合に有効なアレイ導波路回折格子素子の変形例として入力側スラブ導波路の周囲を拡大して示したものである。この図３で図１と同一部分には同一の符号を付しており、これらの説明を適宜省略する。またこの図３では、煩雑さを避けるために、やとい６８（図１参照）の図示を省略している。
【００７９】
この第１の変形例で入力側スラブ導波路６９に接続された入力導波路７４は複数本７４１〜７４Ｎ用意されている。これらの入力導波路７４１〜７４Ｎの中から、波長補正量に応じたスラブ移動位置に最も近い１本の入力導波路７４Ｋが入力用として最終的に選択される。このような手法によって、入力導波路がローランド円からずれることによって起因するアイソレーション劣化を低減することが可能になる。
【００８０】
ちなみに、図３４あるいは図３５に示した従来のアレイ導波路回折格子素子で同様なことを行おうとすると、入力用ファイバあるいはＰＬＣ（Ｐｌａｎａｒ Ｌｉｇｈｔｗａｖｅ Ｃｉｒｃｕｉｔ：平面光波回路）を移動させるとこの分だけローランド円からずれることになる。
【００８１】
第２の変形例
【００８２】
図４は本発明の第２の変形例としてスラブ切断部で生じる光の反射を軽減したアレイ導波路回折格子素子を説明するためのものである。先の実施例では第１のＡＷＧチップ６２１と第２のＡＷＧチップ６２２を切断後に接着している。ここで、このままではスラブ切断部で生じる光の反射が懸念される場合がある。この図４で図１と同一部分には同一の符号を付しており、これらの説明を適宜省略する。
【００８３】
この第２の変形例のアレイ導波路回折格子素子６１Ａはその入力側スラブ導波路６９を光軸９１およびＡＷＧチップ６２の表面と垂直な面で切ったとしたときの、第１の切断線６３１よりも僅かに異なった角度θ１となる第２の切断線６３２で切断している。そしてこの第２の切断線６３２に沿った方向としての矢印方向９２に移動させて、第１のＡＷＧチップ６２１Ｂと第２のＡＷＧチップ６２２Ｂの位置を調整して接着するようにしている。
【００８４】
一般に入力側スラブ導波路６９の光軸９１に対して直角とならない角度で入力側スラブ導波路６９を切断しこれを矢印方向９２に移動させると、移動する位置に応じてスラブの焦点距離が変化し、アイソレーションの劣化に繋がるおそれがある。しかしながら、この第２の変形例で示したように第１および第２の切断線６３１、６３２のなす角度θ１を僅かな角度に設定して、第１のＡＷＧチップ６２１Ｂと第２のＡＷＧチップ６２２Ｂの位置関係をたとえば１００μｍ程度中央位置から移動させたとしても、スラブの焦点距離の誤差は１０μｍ程度である。これは入力側スラブ導波路６９のスラブ長が１０〜２０ｍｍであるのに比べると十分小さい。したがって、アイソレーションの劣化はほとんど生じない。
【００８５】
この図４に示した例ではスラブ切断位置としての第２の切断線６３２で示す位置を第１の切断線６３１に対して入射側に設定したが、これをチャネル導波路アレイ７２側に位置させることによっても同様に反射を低減することができる。
【００８６】
第３の変形例
【００８７】
図５は、本発明の第３の変形例としてのアレイ導波路回折格子素子の要部を説明するためのものである。先の第２の変形例ではＡＷＧチップ６２の表面と垂直な面で入力側スラブ導波路６９を切断したが、シリコン基板９５および導波路９６からなるこのチップ６２の厚さ方向に微小な角度θ２だけ傾けて切断して第１のＡＷＧチップ６２１と第２のＡＷＧチップ６２２を得るようにしている。これらの切断面の位置を調整して接着することで、第２の変形例と同様にスラブ切断部で生じる光の反射を防ぐことができる。
【００８８】
なお、スラブ切断部で生じる光の反射を防止するためには、図４と図５で示した傾斜方向を任意に組み合わせて切断面を設定してもよい。すなわち、一般には切断面は光軸に垂直な面に対して３次元空間上の所定方向に僅かに方向を異ならせた面であれば、スラブ切断部で生じる光の反射を防止することが可能になる。
【００８９】
第４の変形例
【００９０】
図６は、本発明の第４の変形例としてのアレイ導波路回折格子素子を示したものである。この図６で図１と同一部分には同一の符号を付しており、これらの説明を適宜省略する。第４の変形例のアレイ導波路回折格子素子６１Ｂは、第１のＡＷＧチップ１０１１と、この第１のＡＷＧチップ１０１１と切断線１０２を介して接着された第２のＡＷＧチップ１０１２の２つのチップから構成されている。これら第１および第２のＡＷＧチップ１０１１、１０１２は本来１つのウェハであったものを切断線１０２で切断して、この切断線１０２の方向に所望の量だけ移動させた後に接着剤等で両者を固定したものである。第１のＡＷＧチップ１０１１と第２のＡＷＧチップ１０１２の境界部分には、補強用のやとい１０４を出力側の端部に接着した出力側スラブ導波路７１が配置されている。
【００９１】
この変形例でも図１に示したアレイ導波路回折格子素子６１と同様に第１および第２のＡＷＧチップ１０１１、１０１２の接着位置の調整によって波長の調整を行うことができる。もちろんこの図６に示した第４の変形例でも、図４に示した第２の変形例と同様に、切断箇所を光軸に垂直な面に対して３次元空間上の所定方向に僅かに方向を異ならせた面とすることで、反射による影響を防止することができる。
【００９２】
第５の変形例
【００９３】
図７は、本発明の第５の変形例としてのアレイ導波路回折格子素子を示したものである。この図７で図１および図６と同一部分には同一の符号を付しており、これらの説明を適宜省略する。第５の変形例のアレイ導波路回折格子素子６１Ｃは、第１のＡＷＧチップ１２１１と、この第１のＡＷＧチップ１２１１と切断線６３を介して接着された第２のＡＷＧチップ１２１２と、第２のＡＷＧチップ１２１２と他の切断線１０２を介して接着された第３のＡＷＧチップ１２１３との３つのチップから構成されている。これら第１〜第３のＡＷＧチップ１２１１〜１２１３は本来１つのウェハであったものを切断線６３、１０２で切断して、これらの切断線６３、１０２の方向にそれぞれ所望の量だけ移動させた後に接着剤等でこれらを固定したものである。一方の切断線６３は先の実施例と同様に入力側スラブ導波路６９を切断しており、他方の切断線１０２は第４の実施例と同様に出力側スラブ導波路７１を切断している。
【００９４】
この変形例でも先の実施例および変形例に示したアレイ導波路回折格子素子６１、６１Ａと同様に第１および第２のＡＷＧチップ１２１１、１２１２の接着位置の調整および第２および第３のＡＷＧチップ１２１２、１２１３の接着位置の調整によって、それぞれ波長の調整を行うことができる。もちろんこの図７に示した第５の変形例でも、図４に示した第２の変形例と同様に、切断箇所を光軸に垂直な面に対して３次元空間上の所定方向に僅かに方向を異ならせた面とすることで、反射による影響を防止することができる。
【００９５】
第６の変形例
【００９６】
ところで、以上の実施例および変形例では入力側と出力側スラブ導波路の一方あるいは双方を切断してこれを所望の距離だけ移動して接着するようにした。このように導波路を形成した同一の基板を切断して接着するだけでなく、異なった基板同士を接着することも可能である。また、これを積極的に推し進めて、あるスラブ導波路を切断した一方のパターンと他方のパターンの導波路基板をそれぞれ単独で多量に作製し、必要に応じてこれらを適宜組み合わせて所望の特性あるいは機能のアレイ導波路回折格子素子を実現することも可能になる。
【００９７】
特に、アレイ導波路回折格子素子をスラブ導波路の箇所で切断した形の複数の部品として別々に製造すると、たとえばチャネル導波路アレイ７２のように高精度の加工が必要なものとそれ以外のものとをそれぞれ異なった精度で製造することが可能になり、製造工程に無駄がなくなるばかりでなく、歩留まりの向上も図ることができる。
【００９８】
図８は１つのアレイ導波路回折格子素子を３つの部品に分けて別々に製造し接着した状態を表わしたものである。第１〜第３の部品１４１〜１４３は接合面１４４、１４５でそれぞれ接着して１つのアレイ導波路回折格子素子６１Ｄを完成させている。このうち一方の接合面１４４は入力側スラブ導波路６９を接合する面であり、他方の接合面１４５は出力側スラブ導波路７１を接合する面である。
【００９９】
図９は、第１の部品を単独で示したものである。また、図１０〜図１２は図９に示した切断された形状の入力側スラブ導波路の端面近傍領域１５１を拡大して示す（同図（ａ））と共に、アレイ導波路回折格子素子の光出力の特性を示した（同図（ｂ））ものである。たとえば図１０（ａ）では入力側スラブ導波路６９Ａ１に接続する入力導波路７４Ａ１の接続部分の形状が、図１１（ａ）に示した、より拡大したものと図１２（ａ）のストレートなものとの中間的な形状となっている。したがって、この入力導波路７４Ａ１を用いた第１の部品１４１を使用することで第３の部品１４３として標準的な特性を有する部品が使用されていれば、図１０（ｂ）に示すように通常の波長特性のスペクトルを得ることができる。
【０１００】
これに対して、図１１（ａ）に示したような入力導波路７４Ａ２を用いた第１の部品１４１を使用すると、同図（ｂ）で実線で示すように頂上部分がフラットとなった波長特性のスペクトルを得ることができる。更に、図１２（ａ）に示したような入力導波路７４Ａ３を用いた第１の部品１４１を使用すると、同図（ｂ）で実線で示すように頂上部分が急峻となった波長特性のスペクトルを得ることができる。したがって、所望のスペクトル形状に応じて入力導波路７４Ａ１〜７４Ａ３のいずれかを用いた第１の部品１４１を選択すればよい。
【０１０１】
図１３は、第３の部品を単独で示したものである。また、図１４〜図１６は図１３に示した切断された形状の出力側スラブ導波路の端面近傍領域１５２を拡大して示す（同図（ａ））と共に、アレイ導波路回折格子素子の光出力の特性を示した（同図（ｂ））ものである。たとえば図１４（ａ）では出力側スラブ導波路７１Ａ１に接続する出力導波路７５Ａ１の接続部分の形状が、図１５（ａ）に示した、より拡大したものと図１６（ａ）のストレートなものとの中間的な形状となっている。したがって、この出力導波路７１Ａ１を用いた第３の部品１４３を使用することで第１の部品１４１として標準的な特性を有する部品が使用されていれば、図１４（ｂ）に示すように通常の波長特性のスペクトルを得ることができる。
【０１０２】
これに対して、図１５（ａ）に示したような出力導波路７５Ａ２を用いた第３の部品１４３を使用すると、同図（ｂ）で実線で示すように頂上部分がフラットとなった波長特性のスペクトルを得ることができる。更に、図１６（ａ）に示したような出力導波路７５Ａ３を用いた第３の部品１４３を使用すると、同図（ｂ）で実線で示すように頂上部分が急峻となった波長特性のスペクトルを得ることができる。したがって、これらの場合にも所望のスペクトル形状に応じて出力導波路７５Ａ１〜７５Ａ３のいずれかを用いた第３の部品１４３を選択すればよい。もちろん、第１および第３の部品１４１、１４３を組み合わせて使用することで、更に特性を多様なものとすることができる。
【０１０３】
第７の変形例
【０１０４】
図１７〜図２０は、第６の変形例に関連した変形例としてポート数や出力導波路の配置に特徴をもった出力側スラブ導波路の出力側近傍を示したものである。これらの図に示した切断された出力側スラブ導波路７１Ｂ１〜７１Ｂ４は、図１３に示した第３の部品１４３の出力側スラブ導波路の端面近傍領域１５２を拡大して示したものである。また、図２１〜図２４は、図１７〜図２０にそれぞれ示した出力側スラブ導波路および出力導波路を使用した場合のアレイ導波路回折格子素子の出力特性を１つずつ対応させて示したものである。
【０１０５】
このうち図１７に示した例では出力側スラブ導波路７１Ｂ１の出力側に１６チャネルの出力導波路７５Ｂ１が接続されている。図１８に示した例ではこの１６チャネルがより広い間隔で配置されている。したがって、図１７に対応する図２１と、図１８に対応する図２２ではそれぞれの光出力の波長のピーク位置の間隔が異なっている。
【０１０６】
一方、図１９に示した例では図１７に示した例と各チャネルの配置密度は同じであるが、図１９に示した例では３２チャネルにチャネル数が倍増している。このため図２３に示すように全チャネルの波長帯域は図２１に示した１６チャネルのものと比べると倍に増大していることになる。
【０１０７】
図２０に示した例では、出力側スラブ導波路７１Ｂ４の出力側の中央付近に出力導波路７５Ｂ５を配置し、その両隣に所定の間隔を置いて１対の出力導波路７５Ｂ４、７５Ｂ６を配置している。後者の１対の出力導波路７５Ｂ４、７５Ｂ６は出力をモニタするために使用される。すなわち、図２４に対応させて示したように出力導波路７５Ｂ５の光出力は出力側スラブ導波路７１Ｂ４の出力側の比較的中央部分から得られるので比較的品質が良好であり、図示しないメインポートに入力されて通常の信号光として処理される。これに対して１対の出力導波路７５Ｂ４、７５Ｂ６の双方あるいはいずれか一方の光出力は図示しないモニタポートに入力されて信号光の強度の制御等のモニタ用に使用されることになる。
【０１０８】
第８の変形例
【０１０９】
図２５は、第８の変形例として切断及び研磨を考慮した場合に好適な入力側スラブ導波路近傍の形状を表わしたものである。この入力側スラブ導波路６９Ｃは、その切断箇所１８１が切断および研磨しろ分としてａμｍだけ長めにスラブ長Ｓが設定されるようにマスクパターンを設計している。そして、入力側スラブ導波路６９Ｃの入力導波路７４Ｃは中央部に接続される第１の入力導波路７４Ｃ１と、その両側に所定の間隔を置いて接続される第２の入力導波路７４Ｃ２とによって構成されている。第１の入力導波路７４Ｃ１の接続されるスラブ入力端は第２の入力導波路７４Ｃ２の接続される部分よりもａμｍだけ入射側に突出している。
【０１１０】
図２６は本発明の第８の変形例の入力側スラブ導波路と対比するために、先の実施例で使用されたと同様の入力側スラブ導波路近傍の形状を表わしたものである。この入力側スラブ導波路６９Ｄは、その切断箇所１８１の分だけ図２５に示した入力側スラブ導波路６９Ｃと同様にスラブ長Ｓが長めに設定されている。このような入力側スラブ導波路６９Ｄは、切断前に特性をチェックしようとしてもスラブ長Ｓが長いので特性の初期評価を行うことができない。
【０１１１】
これに対して図２５に示した変形例の場合には、第１の入力導波路７４Ｃ１の接続されるスラブ入力端から計った切断前のスラブ長Ｓは長いのでこの部分での特性の初期評価は同様に不可能であるが、第２の入力導波路７４Ｃ２の接続箇所はスラブ長Ｓよりもａμｍだけ短くなっている。したがって、切断前にはこの第２の入力導波路７４Ｃ２を用いて特性の初期評価を行うことができる。そして、特性が良好とされる入力側スラブ導波路６９Ｃを良品として選択し、製品の使用の際には第１の入力導波路７４Ｃ１を選択すればよい。
【０１１２】
第９の変形例
【０１１３】
図２７は、第９の変形例としての出力側スラブ導波路近傍の形状を表わしたものである。この出力側スラブ導波路７１Ｃは、その切断箇所１９１の近傍に配置された出力導波路７５Ｃの一番端の出力導波路７５Ｃ１のみが出力側スラブ導波路７１Ｃとの接続箇所がストレートな形状となっており、スペクトルモニタ用となっている。図１４および図１６で説明したようにこの出力導波路７５Ｃ１からは急峻なスペクトルの光信号を得ることができるので、この部分をモニタ用とすることで切断箇所１９１の接着を行う際に位置補正の精度を十分向上させることができる。なお、スペクトルモニタ用の出力導波路７５Ｃ１は必ずしもストレートな形状である必要はなくその先端が狭まるようなテーパ状をなしていてもよい。この場合にも、同様に急峻なスペクトルの光信号を得ることができる。
【０１１４】
第１０の変形例
【０１１５】
図２８は、第１０の変形例としてのアレイ導波路モジュールを表わしたものである。このアレイ導波路モジュール３０１は、箱状のケース３０２とその底部に配置されたペルチェ素子からなる発熱あるいは冷却を行う温度制御素子３０３と、図１に示したアレイ導波路回折格子素子６１とこれらの間に介在する金属板３０４から構成されている。この変形例では金属板３０４として熱伝導性の良い銅板を使用している。金属板３０４は温度制御素子３０３の温度制御領域を拡大するために温度制御素子３０３の接触サイズよりも大きなものが使用されている。
【０１１６】
金属板３０４の内部には温度センサ３０６が熱伝導性の高い材料３０７と共に埋め込まれている。この温度検出出力は、温度制御回路３０８に入力されて温度制御素子３０３の温度制御が行われるようになっている。温度センサ３０６にはサーミスタが使用されている。また、この図では示していないが、入力導波路側には入力光ファイバが接続され、出力導波路側には出力光ファイバが接続されている。
【０１１７】
第１１の変形例
【０１１８】
図２９は、第１１の変形例としての光通信システムの構成の概要を表わしたものである。この光通信システムで、送信側に配置されたＳＯＮＥＴ（Ｓｙｎｃｈｒｏｎｏｕｓ Ｏｐｔｉｃａｌ Ｎｅｔｗｏｒｋ）装置（光送信機）４０１から送り出された波長λ１〜λＮのＮチャネル分の光信号は光マルチプレクサ（ＭＵＸ）４０２で多重された後、ブースタアンプ４０３で増幅されて光伝送路４０４に送り出される。光マルチプレクサ４０２は、アレイ導波路回折格子素子で構成されている。多重化された光信号４０５はインラインアンプ４０６で適宜増幅された後、プリアンプ４０７を経て光デマルチプレクサ（ＤＭＵＸ）４０８で元の波長λ１〜λＮに分離され、ＳＯＮＥＴ装置（光受信機）４０９で受信されるが、その途中の光伝送路４０４に適宜の数のノード（ＯＡＤＭ）４１１１〜４１１Ｍが配置されている。これらのノード４１１１〜４１１Ｍでは、所望の波長の光信号が入出力されることになる。
【０１１９】
図３０は、ノードの構成の概要を示したものである。ここでは第１のノード４１１１を示しているが、第２〜第Ｍのノード４１１２〜４１１Ｍも原理的には同一の構成となっている。図２９に示した光伝送路４０４からは光信号４０４が、第１のノード４１１１の入力側アレイ導波路回折格子素子４２１に入力されて波長λ１〜λＮのＮチャネル分の光信号に分波され、各波長λ１〜λＮごとに設けられた２入力２出力の光スィッチ４２２１〜４２２Ｎによって、それぞれの波長λ１〜λＮの光信号のノード側受信部４２６に取り込む（ｄｒｏｐ）と共に、ノード側送信部４２４から送信した光信号を挿入する（Ａｄｄ）。２入力２出力の光スィッチ４２２１〜４２２Ｎの出力側はそれぞれに対応して設けられたアッテネータ（ＡＴＴ）４２７１〜４２７Ｎによってゲインを調整された後に出力側アレイ導波路回折格子素子４２８に入力されるようになっている。出力側アレイ導波路回折格子素子４２８は入力側アレイ導波路回折格子素子４２１と逆の構成の素子であり、波長λ１〜λＮのＮチャネル分の光信号を多重して光伝送路４０４に光信号４０５として送り出すことになる。
【０１２０】
このように図３０に示した第１のノード４１１１を始めとして、図２９に示した第２〜第Ｍのノード４１１２〜４１１Ｍおよび光マルチプレクサ４０２ならびに光デマルチプレクサ４０８は共にアレイ導波路回折格子素子を使用している。したがって、光信号４０５のチャネル数Ｎが多くなる要請の下で、アレイ導波路回折格子素子のよりフラットな光周波数特性が求められることになる。
【０１２１】
ここでこの変形例で使用されるアレイ導波路回折格子素子としては、図１に示したアレイ導波路回折格子素子６１を少なくともその一部に使用することができる。これにより、先に説明した実施例と同様の効果を得ることができる。
【０１２２】
最後に以上説明した本発明のスラブ導波路を切断するという技術におけるローランド配置からのずれを考察する。
【０１２３】
図３１は入力側スラブ導波路の近傍を示したものである。入力側スラブ導波路６９の入力導波路７４が接続する側の端部である入力スラブの界面はローランド円２０１の一部を形成している。
【０１２４】
所望の光入力位置が矢印２０３で示す点であるとし、スラブ導波路６９を切断線２０４で示す箇所で切断したとする。入力導波路７４が仮に第１〜第５の入力導波路７４１〜７４５で構成されているものとして、切断線２０４の箇所で接着位置を矢印２０５方向に移動させることで、このうちの第３の入力導波路７４３を矢印２０３で示す点まで移動させたとすると、本来のローランド配置からの角度が比較的大きくずれる。しかしながら、入力導波路７４がこの例のように複数本で構成されているとすると、矢印２０３で示す点に最も近い第２の入力導波路７４２から光を入射してこれをこの点まで移動させることで、角度のずれを小さく抑えることができる。その角度ずれは主に損失値に影響する。
【０１２５】
図３２は、以上説明したような入力導波路の角度ずれに起因する過剰損失の計算結果の一例を表わしたものである。ここに示した数値は、アレイ状導波路を設計する際の各設計パラメータによって変化することはもちろんである。この図３２では、図３１に示した第３の入力導波路７４３に光を入射させてそれを矢印２０５方向に移動させて中心波長補正を行う場合を示している。波長補正値（Δλ）が大きくなるほど、それぞれに伴う過剰損失が無視できなくなることがわかる。
【０１２６】
前記したように図３１に示した例では第２の入力導波路７４２に光を入射させて補正することで、角度ずれに起因する損失を低減することができる。このような手法は、従来技術として示した図３４および図３５のアレイ導波路回折格子素子の構成では不可能であり、本発明のようにスラブ導波路６９で切断して張り合わせたり、あるいは切断した形状同士のものを張り合わせることで初めて可能になる技術である。
【０１２７】
【発明の効果】
本発明によれば、モニタ用のポートは第２の出力側スラブ導波路に接続されている他のポートに比べてより急峻なスペクトルの光信号を得るスペクトルモニタ用のポートであるので、たとえばこれを使用することでスラブ導波路の切断箇所の固着を行う際の位置補正の精度を十分向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例におけるアレイ導波路回折格子素子を示した平面図である。
【図２】本実施例のアレイ導波路回折格子素子の製造工程を示した流れ図である。
【図３】本発明の第１の変形例におけるアレイ導波路回折格子素子の入力側スラブ導波路の周囲を示した平面図である。
【図４】本発明の第２の変形例におけるアレイ導波路回折格子素子の製造原理を示す説明図である。
【図５】本発明の第３の変形例におけるアレイ導波路回折格子素子の切断箇所を拡大して示した端面図である。
【図６】本発明の第４の変形例としてのアレイ導波路回折格子素子を示した平面図である。
【図７】本発明の第５の変形例としてのアレイ導波路回折格子素子を示した平面図である。
【図８】本発明の第６の変形例で１つのアレイ導波路回折格子素子を３つの部品に分けて別々に製造し接着した状態を表わした平面図である。
【図９】本発明の第６の変形例で第１の部品を単独で示した平面図である。
【図１０】本発明の第６の変形例で入力側スラブ導波路に接続する入力導波路の接続部分の形状とこれによる波長特性の第１の例を示した説明図である。
【図１１】本発明の第６の変形例で入力側スラブ導波路に接続する入力導波路の接続部分の形状とこれによる波長特性の第２の例を示した説明図である。
【図１２】本発明の第６の変形例で入力側スラブ導波路に接続する入力導波路の接続部分の第３の形状とこれによる波長特性の第３の例を示した説明図である。
【図１３】本発明の第６の変形例で第３の部品を単独で示した平面図である。
【図１４】本発明の第６の変形例で出力側スラブ導波路の端面近傍領域とアレイ導波路回折格子素子の光出力の特性の第１の例を示した説明図である。
【図１５】本発明の第６の変形例で出力側スラブ導波路の端面近傍領域とアレイ導波路回折格子素子の光出力の特性の第２の例を示した説明図である。
【図１６】本発明の第６の変形例で出力側スラブ導波路の端面近傍領域とアレイ導波路回折格子素子の光出力の特性の第３の例を示した説明図である。
【図１７】本発明の第７の変形例で１６チャネルＡＷＧの出力側スラブ導波路と出力導波路の一部を示した平面図である。
【図１８】本発明の第７の変形例で波長間隔を拡大した出力側スラブ導波路と出力導波路の一部を示した平面図である。
【図１９】本発明の第７の変形例で３２チャネルＡＷＧの出力側スラブ導波路と出力導波路の一部を示した平面図である。
【図２０】本発明の第７の変形例で出力モニタ導波路を付加した出力側スラブ導波路と出力導波路の一部を示した平面図である。
【図２１】図１７に示した出力側スラブ導波路および出力導波路を使用した場合のアレイ導波路回折格子素子の出力特性を示す特性図である。
【図２２】図１８に示した出力側スラブ導波路および出力導波路を使用した場合のアレイ導波路回折格子素子の出力特性を示す特性図である。
【図２３】図１９に示した出力側スラブ導波路および出力導波路を使用した場合のアレイ導波路回折格子素子の出力特性を示す特性図である。
【図２４】図２０に示した出力側スラブ導波路および出力導波路を使用した場合のアレイ導波路回折格子素子の出力特性を示す特性図である。
【図２５】本発明の第８の変形例における入力側スラブ導波路近傍の形状を表わした平面図である。
【図２６】第８の変形例と対比させるためのスラブ長を単に長めに設定した入力側スラブ導波路近傍の形状を表わした平面図である。
【図２７】本発明の第９の変形例としての出力側スラブ導波路近傍の形状を表わした平面図である。
【図２８】本発明の第１０の変形例としてのアレイ導波路モジュールを表わした側面図である。
【図２９】本発明の第１１の変形例における光通信システムの構成の概要を表わしたシステム構成図である。
【図３０】この第１１の変形例の光通信システムに使用されるノードの構成の概要を示したブロック図である。
【図３１】ローランド配置との関係を説明するための入力側スラブ導波路の近傍を示した説明図である。
【図３２】入力導波路の角度ずれに起因する過剰損失の計算結果の一例を表わした特性図である。
【図３３】従来のアレイ導波路回折格子の全体的な構成を表わした平面図である。
【図３４】アレイ状導波路ウェハの入力側のスラブ入射部で基板を切断したアレイ導波路回折格子素子の構成を表わした斜視図である。
【図３５】入力用ファイバをスラブ導波路用光導波路を介して入力側スラブ導波路に接続したアレイ導波路回折格子素子の構成を表わした平面図である。
【図３６】歩留まり向上対策として採りうる２連化されたアレイ状導波路の例を示した説明図である。
【符号の説明】
６１、６１Ａ、６１Ｂ、６１Ｃ、６１Ｄ アレイ導波路回折格子素子
６３、６３２、１０２、２０４ 切断線
６８、１０４ （補強用の）やとい
６９、６９Ａ、６９Ｂ、６９Ｃ 入力側スラブ導波路
７１、７１Ａ、７１Ｂ、７１Ｃ 出力側スラブ導波路
７２ チャネル導波路アレイ
７４ 入力導波路
７５ 出力導波路
１０１１、１２１１ 第１のＡＷＧチップ
１０１２、１２１２ 第２のＡＷＧチップ
１４１ 第１の部品
１４２ 第２の部品
１４３ 第３の部品
１４４、１４５ 接合面
３０１ アレイ導波路モジュール
４０２ 光マルチプレクサ
４０８ 光デマルチプレクサ
４１１ ノード
Ｓ スラブ長
Claims (1)
- 第１の基板上に形成された入力導波路と、
前記第１の基板上に配置され、各導波路の長さが所定の導波路長差で順次長くなるように構成されたチャネル導波路アレイと、
前記第１の基板上に配置され、前記入力導波路と前記チャネル導波路アレイの一端側とを接続する入力側スラブ導波路と、
前記第１の基板上に配置され、前記チャネル導波路アレイの他端側と接続し、かつ出力側スラブ導波路の一部分を形成する第１の出力側スラブ導波路と、
前記第１の基板と異なる第２の基板上に配置され、前記出力側スラブ導波路の残りの部分を形成し、これらの基板の端面同士を対向させて接合することにより、前記第１の出力側スラブ導波路と組み合わされて前記出力側スラブ導波路の全体を形成する第２の出力側スラブ導波路と、
前記第２の基板上に形成され前記第２の出力側スラブ導波路と接続する複数本の出力導波路
とを備え、
前記第２の出力側スラブ導波路は、それに接続されている出力導波路の少なくとも１つがモニタ用のポートに割り当てられた第２の出力側スラブ導波路として構成されており、前記モニタ用のポートは前記第２の出力側スラブ導波路に接続されている他のポートに比べてより急峻なスペクトルの光信号を得るスペクトルモニタ用のポートであることを特徴とするアレイ導波路回折格子素子。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000279214A JP3630085B2 (ja) | 2000-09-14 | 2000-09-14 | アレイ導波路回折格子素子の製造方法およびアレイ導波路回折格子素子 |
| US09/950,706 US6788848B2 (en) | 2000-09-14 | 2001-09-13 | Arrayed waveguide grating device, process for producing the same, arrayed waveguide module, and optical communication system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000279214A JP3630085B2 (ja) | 2000-09-14 | 2000-09-14 | アレイ導波路回折格子素子の製造方法およびアレイ導波路回折格子素子 |
Related Child Applications (3)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2003433212A Division JP3953028B2 (ja) | 2003-12-26 | 2003-12-26 | アレイ導波路回折格子素子 |
| JP2003433213A Division JP3903985B2 (ja) | 2003-12-26 | 2003-12-26 | アレイ導波路回折格子素子の製造方法 |
| JP2004116478A Division JP2004206152A (ja) | 2004-04-12 | 2004-04-12 | アレイ導波路回折格子素子の製造方法およびアレイ導波路回折格子素子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002090562A JP2002090562A (ja) | 2002-03-27 |
| JP3630085B2 true JP3630085B2 (ja) | 2005-03-16 |
Family
ID=18764255
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000279214A Expired - Fee Related JP3630085B2 (ja) | 2000-09-14 | 2000-09-14 | アレイ導波路回折格子素子の製造方法およびアレイ導波路回折格子素子 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6788848B2 (ja) |
| JP (1) | JP3630085B2 (ja) |
Families Citing this family (22)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4762422B2 (ja) * | 2000-03-09 | 2011-08-31 | 古河電気工業株式会社 | アレイ導波路型回折格子 |
| DE10041499A1 (de) * | 2000-08-24 | 2002-03-07 | Scc Special Comm Cables Gmbh | Optischer Kanalüberwachungschip |
| JP3666463B2 (ja) * | 2002-03-13 | 2005-06-29 | 日本電気株式会社 | 光導波路デバイスおよび光導波路デバイスの製造方法 |
| US6954566B2 (en) * | 2002-07-25 | 2005-10-11 | Intel Corporation | Apparatus for thermal compensation of an arrayed waveguide grating |
| US7085438B2 (en) * | 2002-12-06 | 2006-08-01 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Optical multi/demultiplexing circuit equipped with phase generating device |
| GB2411486A (en) * | 2004-02-27 | 2005-08-31 | Agilent Technologies Inc | Array waveguide grating with multiple input channels |
| KR100763790B1 (ko) * | 2005-01-07 | 2007-10-08 | (주)포인테크 | 온도 무의존성 광도파로열 격자 및 그 제작방법 |
| KR100841223B1 (ko) * | 2006-02-28 | 2008-06-26 | (주)포인테크 | 광특성 보상을 위한 온도무의존 광도파로열 격자회로 소자및 그 제작 방법 |
| WO2007123157A1 (ja) * | 2006-04-20 | 2007-11-01 | National University Corporation Nagoya University | 波長群光分波器、波長群光合波器、および波長群光選択スイッチ |
| JP4385168B2 (ja) * | 2006-08-04 | 2009-12-16 | 学校法人慶應義塾 | 回折格子及び分散補償回路 |
| JP2011034056A (ja) * | 2009-07-08 | 2011-02-17 | Furukawa Electric Co Ltd:The | アレイ導波路回折格子型光合分波器 |
| JP2011028139A (ja) * | 2009-07-29 | 2011-02-10 | Hitachi Cable Ltd | 光合分波器及びその製造方法 |
| WO2012002368A1 (ja) * | 2010-07-02 | 2012-01-05 | 古河電気工業株式会社 | アレイ導波路回折格子型光合分波器 |
| JP5713425B2 (ja) * | 2010-10-13 | 2015-05-07 | 日本電信電話株式会社 | 光スイッチ |
| US9116305B2 (en) * | 2012-01-13 | 2015-08-25 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Arrayed waveguide grating, optical module provided with said arrayed waveguide grating, and optical communications system |
| KR101708367B1 (ko) * | 2012-04-09 | 2017-02-20 | 삼성에스디아이 주식회사 | 배터리 팩 |
| EP2977801B1 (en) * | 2014-07-24 | 2019-11-06 | IMEC vzw | Integrated grating coupler and power splitter |
| JP6513412B2 (ja) * | 2015-02-10 | 2019-05-15 | 古河電気工業株式会社 | 半導体光集積素子 |
| EP3596783A4 (en) * | 2017-03-20 | 2020-12-16 | Viasat, Inc. | HIGH FREQUENCY SEAL AT AN INTERFACE OF WAVE GUIDE BLOCKS |
| CN107462950A (zh) * | 2017-08-31 | 2017-12-12 | 武汉光迅科技股份有限公司 | 一种宽温、低功耗阵列波导光栅模块及波长控制方法 |
| US10634844B1 (en) * | 2019-02-21 | 2020-04-28 | Applied Optoelectronics, Inc. | Optical multiplexer\demultiplexer with input and output ports on a single side, and an optical transceiver implementing same |
| CN110515155A (zh) * | 2019-08-29 | 2019-11-29 | 易锐光电科技(安徽)有限公司 | 一种波长可控阵列波导光栅 |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2682208B2 (ja) | 1990-07-31 | 1997-11-26 | 日本電気株式会社 | 導波路型光デバイス |
| JP3246710B2 (ja) | 1995-08-08 | 2002-01-15 | 日立電線株式会社 | 光デバイスの製造方法 |
| JP3298404B2 (ja) | 1996-04-22 | 2002-07-02 | 日本電信電話株式会社 | 光増幅器の利得制御装置および方法 |
| JP3175630B2 (ja) * | 1997-04-02 | 2001-06-11 | 日本電気株式会社 | 光通信用ノード及びこれにより構成されるリング構成の波長分割多重光伝送装置 |
| JPH10303815A (ja) | 1997-04-25 | 1998-11-13 | Nec Corp | Ａｗｇを用いたモニタポートつき波長分割回路 |
| FR2770307B1 (fr) * | 1997-10-27 | 1999-11-26 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif a reseau de phase ou phasar et procede de fabrication de celui-ci |
| JP3475756B2 (ja) | 1997-11-28 | 2003-12-08 | 日本電気株式会社 | 通信ネットワーク、通信ネットワーク・ノード装置、及び、障害回復方式 |
| JP3434489B2 (ja) * | 1999-09-24 | 2003-08-11 | 古河電気工業株式会社 | アレイ導波路型回折格子 |
| JP2002071994A (ja) * | 1999-12-27 | 2002-03-12 | Furukawa Electric Co Ltd:The | アレイ導波路回折格子型光合分波器およびその製造方法 |
| JP4460031B2 (ja) * | 2000-03-28 | 2010-05-12 | 古河電気工業株式会社 | アレイ導波路型回折格子 |
| JP4494599B2 (ja) * | 2000-07-14 | 2010-06-30 | 古河電気工業株式会社 | アレイ導波路回折格子型光合分波器 |
-
2000
- 2000-09-14 JP JP2000279214A patent/JP3630085B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2001
- 2001-09-13 US US09/950,706 patent/US6788848B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2002090562A (ja) | 2002-03-27 |
| US6788848B2 (en) | 2004-09-07 |
| US20020044742A1 (en) | 2002-04-18 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3630085B2 (ja) | アレイ導波路回折格子素子の製造方法およびアレイ導波路回折格子素子 | |
| KR100389837B1 (ko) | 광도파로 소자의 패키징 장치 | |
| JP3448551B2 (ja) | アレイ導波路型回折格子 | |
| JP3890190B2 (ja) | アレイ導波路格子および導波路素子 | |
| US20020181857A1 (en) | Optical wavelength multiplexer/demultiplexer | |
| JP3448237B2 (ja) | 導波路型光部品および光ファイバ接続方法 | |
| JP2005010373A (ja) | 光導波路部品およびその製造方法 | |
| JPH0949936A (ja) | 光波長合分波器及び光デバイスの製造方法 | |
| KR100421137B1 (ko) | 하나의 평면 도파로형 광소자를 이용한 이중 파장분할다중화/역다중화 장치 | |
| JP3953028B2 (ja) | アレイ導波路回折格子素子 | |
| JP2000249853A (ja) | 光モジュール | |
| JP3903985B2 (ja) | アレイ導波路回折格子素子の製造方法 | |
| US20040042720A1 (en) | Optical device | |
| WO2012026524A1 (ja) | マッハツェンダー干渉計-アレイ導波路格子及び平面光波回路チップ | |
| JP3788397B2 (ja) | 光導波路装置及び光導波路装置を用いた通信機器 | |
| JP2000180641A (ja) | 光波長合分波装置 | |
| JP2004206152A (ja) | アレイ導波路回折格子素子の製造方法およびアレイ導波路回折格子素子 | |
| US20030198438A1 (en) | Tunable add/drop multiplexer | |
| JP4188031B2 (ja) | レンズ素子およびこれを用いた光部品 | |
| KR100487216B1 (ko) | 정렬성이 향상된 온도 무의존형 파장분할 다중화/역다중화장치 및 그 정렬방법 | |
| KR100416983B1 (ko) | 평면 광도파로 소자 모듈의 정렬 장치 | |
| JP2798124B2 (ja) | 光導波路デバイス及びその製造方法 | |
| JP3857930B2 (ja) | 光導波路モジュール | |
| JP4762422B2 (ja) | アレイ導波路型回折格子 | |
| US7218815B2 (en) | Athermal arrayed waveguide grating |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20031226 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040210 |
|
| RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20040311 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20040311 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040412 |
|
| A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20040518 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20041124 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20041207 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071224 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081224 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091224 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091224 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101224 Year of fee payment: 6 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |