JP3903985B2 - アレイ導波路回折格子素子の製造方法 - Google Patents
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Description
第1の入力側スラブ導波路と接続する第2の入力側スラブ導波路と、当該第2の入力側スラブ導波路に接続し、複数の導波路が所定の導波路長差で構成されたチャネル導波路アレイと、当該チャネル導波路アレイの他端側と接続する出力側スラブ導波路と、当該出力側スラブ導波路と接続する複数本の出力導波路と、を有する第2の基板を準備する第2のステップと、
第1の入力側スラブ導波路と第2の入力側スラブ導波路を接続するよう、第1の基板と第2の基板を固着する第3のステップと、
を含むアレイ導波路回折格子素子の製造方法において、
第1のステップは、入力導波路と第1の入力側スラブ導波路との接続部分の形状が異なる複数種類の基板の中から、第1の基板とするものを選択するステップ
を、アレイ導波路回折格子素子の製造方法が含むことを特徴としている。
第1の出力側スラブ導波路と接続する第2の出力側スラブ導波路と、当該第2の出力側スラブ導波路と接続する複数本の出力導波路と、を有する第2の基板を準備する第2のステップと、
第1の出力側スラブ導波路と第2の出力側スラブ導波路を接続するよう、第1の基板と第2の基板を固着する第3のステップと、
を含むアレイ導波路回折格子素子の製造方法において、
第2のステップは、出力導波路と第2の出力側スラブ導波路との接続部分の形状が異なる複数種類の基板の中から、第2の基板とするものを選択するステップ
を、アレイ導波路回折格子素子の製造方法が含むことを特徴としている。
第1の入力側スラブ導波路と接続する第2の入力側スラブ導波路と、当該第2の入力側スラブ導波路に接続し複数の導波路が所定の導波路長差で構成されたチャネル導波路アレイと、当該チャネル導波路アレイの他端側と接続する第1の出力側スラブ導波路と、が形成された第2の基板を準備する第2のステップと、
第1の出力側スラブ導波路と接続する第2の出力側スラブ導波路と、当該第2の出力側スラブ導波路と接続する複数本の出力導波路と、が形成された第3の基板を準備する第3のステップと、
第1の入力側スラブ導波路と第2の入力側スラブ導波路を接続するよう、第1の基板と第2の基板を固着する第4のステップと、
第1の出力側スラブ導波路と第2の出力側スラブ導波路を接続するよう、第2の基板と第3の基板を固着する第5のステップと、
を含むアレイ導波路回折格子素子の製造方法において、
第4のステップは、入力導波路と第1の入力側スラブ導波路との接続部分の形状が異なる複数種類の基板の中から、第1の基板とするものを選択するステップ
を、アレイ導波路回折格子素子の製造方法が含むことを特徴としている。
第1の入力側スラブ導波路と接続する第2の入力側スラブ導波路と、当該第2の入力側スラブ導波路に接続し複数の導波路が所定の導波路長差で構成されたチャネル導波路アレイと、当該チャネル導波路アレイの他端側と接続する第1の出力側スラブ導波路と、が形成された第2の基板を準備する第2のステップと、
第1の出力側スラブ導波路と接続する第2の出力側スラブ導波路と、当該第2の出力側スラブ導波路と接続する複数本の出力導波路と、が形成された第3の基板を準備する第3のステップと、
第1の入力側スラブ導波路と第2の入力側スラブ導波路を接続するよう、第1の基板と第2の基板を固着する第4のステップと、
第1の出力側スラブ導波路と第2の出力側スラブ導波路を接続するよう、第2の基板と第3の基板を固着する第5のステップと、
を含むアレイ導波路回折格子素子の製造方法において、
第5のステップは、出力導波路と第2の出力側スラブ導波路との接続部分の形状が異なる複数種類の基板の中から、第3の基板とするものを選択するステップ
を、アレイ導波路回折格子素子の製造方法が含むことを特徴としている。
63、632、102、204 切断線
69、69A、69B、69C 入力側スラブ導波路
71、71A、71B、71C 出力側スラブ導波路
72 チャネル導波路アレイ
74 入力導波路
75 出力導波路
1011、1211 第1のAWGチップ
1012、1212 第2のAWGチップ
141 第1の部品
142 第2の部品
143 第3の部品
144、145 接合面
301 アレイ導波路モジュール
402 光マルチプレクサ
408 光デマルチプレクサ
411 ノード
S スラブ長
Claims (4)
- 1または複数本の入力導波路と、当該入力導波路に接続する第1の入力側スラブ導波路と、を有する第1の基板を準備する第1のステップと、
前記第1の入力側スラブ導波路と接続する第2の入力側スラブ導波路と、当該第2の入力側スラブ導波路に接続し、複数の導波路が所定の導波路長差で構成されたチャネル導波路アレイと、当該チャネル導波路アレイの他端側と接続する出力側スラブ導波路と、当該出力側スラブ導波路と接続する複数本の出力導波路と、を有する第2の基板を準備する第2のステップと、
前記第1の入力側スラブ導波路と前記第2の入力側スラブ導波路を接続するよう、前記第1の基板と前記第2の基板を固着する第3のステップと、
を含むアレイ導波路回折格子素子の製造方法において、
前記第1のステップは、前記入力導波路と前記第1の入力側スラブ導波路との接続部分の形状が異なる複数種類の基板の中から、前記第1の基板とするものを選択するステップ
を含むことを特徴とする、アレイ導波路回折格子素子の製造方法。 - 1または複数本の入力導波路と、当該入力導波路に接続する入力側スラブ導波路と、当該入力側スラブ導波路に接続し、複数の導波路が所定の導波路長差で構成されたチャネル導波路アレイと、当該チャネル導波路アレイの他端側と接続する第1の出力側スラブ導波路と、を有する第1の基板を準備する第1のステップと、
前記第1の出力側スラブ導波路と接続する第2の出力側スラブ導波路と、当該第2の出力側スラブ導波路と接続する複数本の出力導波路と、を有する第2の基板を準備する第2のステップと、
前記第1の出力側スラブ導波路と前記第2の出力側スラブ導波路を接続するよう、前記第1の基板と前記第2の基板を固着する第3のステップと、
を含むアレイ導波路回折格子素子の製造方法において、
前記第2のステップは、前記出力導波路と前記第2の出力側スラブ導波路との接続部分の形状が異なる複数種類の基板の中から、前記第2の基板とするものを選択するステップ
を含むことを特徴とする、アレイ導波路回折格子素子の製造方法。 - 1または複数本の入力導波路と、当該入力導波路に接続する第1の入力側スラブ導波路と、が形成された第1の基板を準備する第1のステップと、
前記第1の入力側スラブ導波路と接続する第2の入力側スラブ導波路と、当該第2の入力側スラブ導波路に接続し複数の導波路が所定の導波路長差で構成されたチャネル導波路アレイと、当該チャネル導波路アレイの他端側と接続する第1の出力側スラブ導波路と、が形成された第2の基板を準備する第2のステップと、
前記第1の出力側スラブ導波路と接続する第2の出力側スラブ導波路と、当該第2の出力側スラブ導波路と接続する複数本の出力導波路と、が形成された第3の基板を準備する第3のステップと、
前記第1の入力側スラブ導波路と前記第2の入力側スラブ導波路を接続するよう、前記第1の基板と前記第2の基板を固着する第4のステップと、
前記第1の出力側スラブ導波路と前記第2の出力側スラブ導波路を接続するよう、前記第2の基板と前記第3の基板を固着する第5のステップと、
を含むアレイ導波路回折格子素子の製造方法において、
前記第4のステップは、前記入力導波路と前記第1の入力側スラブ導波路との接続部分の形状が異なる複数種類の基板の中から、前記第1の基板とするものを選択するステップ
を含むことを特徴とする、アレイ導波路回折格子素子の製造方法。 - 1または複数本の入力導波路と、当該入力導波路に接続する第1の入力側スラブ導波路と、が形成された第1の基板を準備する第1のステップと、
前記第1の入力側スラブ導波路と接続する第2の入力側スラブ導波路と、当該第2の入力側スラブ導波路に接続し複数の導波路が所定の導波路長差で構成されたチャネル導波路アレイと、当該チャネル導波路アレイの他端側と接続する第1の出力側スラブ導波路と、が形成された第2の基板を準備する第2のステップと、
前記第1の出力側スラブ導波路と接続する第2の出力側スラブ導波路と、当該第2の出力側スラブ導波路と接続する複数本の出力導波路と、が形成された第3の基板を準備する第3のステップと、
前記第1の入力側スラブ導波路と前記第2の入力側スラブ導波路を接続するよう、前記第1の基板と前記第2の基板を固着する第4のステップと、
前記第1の出力側スラブ導波路と前記第2の出力側スラブ導波路を接続するよう、前記第2の基板と前記第3の基板を固着する第5のステップと、
を含むアレイ導波路回折格子素子の製造方法において、
前記第5のステップは、前記出力導波路と前記第2の出力側スラブ導波路との接続部分の形状が異なる複数種類の基板の中から、前記第3の基板とするものを選択するステップ
を含むことを特徴とする、アレイ導波路回折格子素子の製造方法。
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JP2003433213A JP3903985B2 (ja) | 2003-12-26 | 2003-12-26 | アレイ導波路回折格子素子の製造方法 |
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JP2000279214A Division JP3630085B2 (ja) | 2000-09-14 | 2000-09-14 | アレイ導波路回折格子素子の製造方法およびアレイ導波路回折格子素子 |
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JP2004139128A JP2004139128A (ja) | 2004-05-13 |
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