JP3587433B2 - 固体撮像素子の画素欠陥検出装置 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、ＣＣＤ等の固体撮像素子に発生した欠陥を自動的に検出するための固体撮像素子の画素欠陥検出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、ＣＣＤ等の固体撮像素子は、生産段階で発生した局部的な結晶欠陥など（傷と称する）により画質劣化を招くことが知られている。あるいは、固体撮像素子の出荷後に、宇宙線の照射が原因となって、新たな傷が固体撮像素子に発生することもある。この様な傷には、白傷と黒傷の２種類に分類される。
【０００３】
図６のグラフは、入射光量に対する固体撮像素子の光電変換素子（以下画素と称する）の出力特性を示しており、実線Ａが正常な画素の出力特性を示し、点線Ｂが白傷を有する画素の出力特性を示し、一点鎖線Ｃが黒傷を有する画素の出力特性を示している。点線Ｂの出力特性から明らかな様に、白傷は、常にバイアス電圧が画素の出力に加算されてしまうという欠陥である。また、一点鎖線Ｃの出力特性から明らかな様に、黒傷は、画素の感度が劣化するという欠陥である。
【０００４】
従来より、これらの傷を検出して、画素の出力を補正するための各種の装置あるいは方法が提案されている。
【０００５】
例えば、特開平８−１９５９０９号公報には、工場出荷時に既に存在しているＣＣＤの傷の位置及びレベルデータを格納するＲＯＭと、工場出荷後に新たに発生したＣＣＤの傷の位置及びレベルデータを格納するＥＥＲＯＭを備え、ＲＯＭ及びＥＥＲＯＭ内のデータに基づいて、傷を有するＣＣＤの出力を補正するという技術が開示されている。
【０００６】
また、特開平７−７６７５号公報には、γ補正処理を行うと、傷を原因とするＣＣＤの出力信号の誤差量が低下して、傷の検出が困難になるので、ＣＣＤの出力信号を逆γ補正した上で、傷の検出を行うという技術が開示されている。
【０００７】
更に、特開昭６２−８６６６号公報には、傷を有する画素の出力信号を水平方向にある他の画素の出力信号によって置換したり、あるいは垂直方向にある他の画素の出力信号によって置換するという技術が開示されている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来は、工場出荷前及び出荷後にかかわらず、固体撮像素子の傷を検出するために、暗いレベルから明るいレベルまでの基準入射光を固体撮像素子に対して発生する標準光量発生装置や支援システム等を必要とし、専門操作員でなければ、画素の傷の検出と画素の出力の補正を行うことが困難であり、ユーザによる実施はとても望めるものではなかった。
【０００９】
そこで、本発明は、標準光量発生装置や格別の支援システム等を必要とせず、ユーザであっても容易に実施することが可能な固体撮像素子の画素欠陥検出装置を提供することを目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】
本発明の固体撮像素子の画素欠陥検出装置は、複数の光電変換素子を配列してなる固体撮像素子の画素欠陥検出装置において、それぞれの光量が異なるＮ個（Ｎは２以上の整数）の光を、被検査光電変換素子およびその近傍領域に含まれる複数の光電変換素子に照射して、それぞれの入射光に対して被検査光電変換素子およびその近傍領域に含まれる複数の光電変換素子の出力をそれぞれ記憶する画像メモリと、前記Ｎ個の入射光のそれぞれに対して、前記画像メモリに記憶された前記被検査光電変換素子およびその近傍領域に含まれる複数の光電変換素子の出力の中央値ｙ _０（ｉ） （ｉは０≦ｉ≦Ｎ−１の整数）を求めて、求められたＮ個の出力の中央値ｙ _０（ｉ） を、それぞれ、基準となる光電変換素子の出力信号として次式（２）に代入するとともに、次式（２）に予め設定された基準光電係数ａ _０ および基準オフセット出力レベルｂ _０ を代入して、Ｎ個の入射光のそれぞれの光量ｘ _ｉ を求め、求められたＮ個の入射光量ｘ _ｉ と、Ｎ個の入射光量ｘ _ｉ のそれぞれに対する被検査光電変換素子の実際のＮ個の出力信号ｙ _ｉ ( ｘ ) とを用いて、次式（１）に基づいて、光電係数ａと、入射光量が無い状態での該被検査光電変換素子のオフセット出力レベルｂとを求め、求められた光電係数ａ及び該オフセット出力レベルｂを前記基準光電係数ａ_０及び基準オフセット出力レベルｂ_０と比較することにより、該被検査光電変換素子の画素欠陥の有無を判定する演算手段とを備える。
【００１４】
ｙ _ｉ (ｘ)＝ａ・ｘ _ｉ ＋ｂ …（１）
ｘ _ｉ ＝（ｙ _０（ｉ） −ｂ _０ ）／ａ _０ …（２）。
【００１５】
１実施形態では、前記固体撮像素子に映像を投影する光学手段を備え、前記画像メモリは、前記固体撮像素子に対する前記光学手段の焦点をずらした状態で前記固体撮像素子に投影される映像に基づいて、前記被検査光電変換素子およびその近傍領域に含まれる複数の光電変換素子の出力を記憶する。
【００１６】
１実施形態では、前記Ｎ個の入射光量は、前記被検査光電変換素子およびその近傍領域に含まれる複数の光電変換素子に光が入射していないときの入射光量と、前記被検査光電変換素子およびその近傍領域に含まれる複数の光電変換素子がオーバーフローとなる直前の入射光量とを含む。
【００１７】
１実施形態では、予め設定されている基準光電変換係数ａ_０及び基準オフセットレベルｂ_０と、前記画像メモリに記憶されている被検査光電変換素子に対して基準となる光電変換素子の出力信号ｙ_０を次式（２）に代入して、前記入射光量ｘを求めている。
【００１８】
ｘ＝（ｙ_０−ｂ_０）／ａ_０ …（２）
１実施形態では、前記光電変換素子の出力ｙ_０は、少なくとも前記被検査光電変換素子の近傍領域に含まれる複数の光電変換素子の出力のうちの中央値に設定される。
【００１９】
１実施形態では、前記近傍領域に含まれる前記各光電変換素子として、カラー表示用の各表示色のうちの前記被検査光電変換素子と同一の表示色を表すものだけが選択される。
【００２０】
１実施形態では、前記被検査光電変換素子の光電係数ａ及びオフセット出力レベルｂと、前記基準光電係数ａ_０及び前記基準オフセット出力レベルｂ_０を次式（３）に代入して、該被検査光電変換素子の欠陥の有無を判定している。
【００２１】
｜ａ_０−ａ｜＜Δａ かつ ｜ｂ_０−ｂ｜＜Δｂ：欠陥無し …（３）
ただし、Δａ及びΔｂは予め設定された各しきい値である。
【００２２】
１実施形態では、前記被検査光電変換素子の光電係数ａ及びオフセット出力レベルｂと、前記基準光電係数ａ_０及び前記基準オフセット出力レベルｂ_０を次式（４）に代入して、該被検査光電変換素子の欠陥の有無及び種類を判定している。
【００２３】
｜ａ_０−ａ｜＜Δａ かつ ｜ｂ_０−ｂ｜＜Δｂ：欠陥無し
｜ａ_０−ａ｜≧Δａ ：黒傷有り
｜ｂ_０−ｂ｜≧Δｂ ：白傷有り
…（４）
ただし、Δａ及びΔｂは予め設定された各しきい値である。
【００２４】
１実施形態では、カラー表示用の各表示色毎に、前記基準光電係数ａ_０及び前記しきい値Δａを設定している。
【００２５】
１実施形態では、前記被検査光電変換素子のアドレスデータに基づいて、該被検査光電変換素子の表示色を判定する判定手段を備え、前記判定手段の判定に基づいて、前記基準光電係数ａ_０及び前記しきい値Δａを設定している。
【００２６】
【発明の実施の形態】
まず、本発明の概略を説明する。
【００２７】
従来の様に、標準光量発生装置から標準光量を固体撮像素子の全体に与え、格別の支援システムを用いて、固体撮像素子の出力信号から欠陥を有する画素を検出し、この画素の出力を補正する場合、ユーザによる実施はとても望めるものではなかった。
【００２８】
本発明においては、標準光量を与える標準光量発生装置を用いないことを前提としている。この場合、固体撮像素子への入射光量を特定できないので、単に、画素の出力信号を該画素の周辺領域の他の画素の出力信号と比較しても、欠陥を有する画素を識別することはできない。例えば、図１のグラフに示す様に、入射光量に対する正常な画素の出力特性ｆ１（ｘ）と、入射光量に対する黒傷を有する画素の出力特性ｆ２（ｘ）を比較した場合、出力特性ｆ１（ｘ）と出力特性ｆ２（ｘ）の差（例えばΔｙ１、Δｙ２）は入射光量に応じて変化するので、入射光量を正確に特定できなければ、該差に基づいて欠陥を有する画素を識別することは不可能である。また、出力特性ｆ１（ｘ）や出力特性ｆ２（ｘ）の差を１つだけ求めて欠陥の有無を判定しようとしても、白傷や黒傷を正確に識別することはできず、欠陥の有無を厳密に判定することができない。
【００２９】
そこで、本発明においては、固体撮像素子の画素の出力特性を次式（１）の関数で表し、この関数を用いて、欠陥を有する画素を識別している。
【００３０】
ｙ（ｘ）＝ａｘ＋ｂ …（１）
ただし、ｙ（ｘ）は被検査画素（被検査光電変換素子）の出力レベル、ｘは入射光量、ａは該画素の光電係数、ｂは入射光量が無い状態での該画素のオフセット出力レベルである。
【００３１】
正常な各画素の関数を比較すると、該各関数の係数ａ、ｂの値は、相互に近くなって、平均的な基準光電係数ａ_０、基準オフセット出力レベルｂ_０に略等しくなる。また、黒傷を有する画素の関数の場合は、該画素の関数の光電係数ａが基準光電係数ａ_０よりも小さくなる。更に、白傷を有する画素の関数の場合は、該画素の関数のオフセット出力レベルｂが基準オフセット出力レベルｂ_０よりも大きくなる。
【００３２】
画素の関数の光電係数ａ及びオフセット出力レベルｂは、入射光量に関係無く、常に一定のため、該画素の関数を導出すれば、該画素の欠陥の有無と種類を特定することができる。
【００３３】
被検査画素に、暗から明までの相互に異なるＮ個の入射光量ｘ_０，ｘ_１，…，ｘ_Ｎ−１を与えて、該被検査画素の各出力レベルｙ_０，ｙ_１，…，ｙ_Ｎ−１を得たとき、上記式（１）に基づいて該被検査画素の入出力関係を次式（５）によって表すことができる。
【００３４】
【数１】……（５）

【００３５】
被検査画素の光電係数ａ及びオフセット出力レベルｂを最小２乗法によって求める場合、光電係数ａ及びオフセット出力レベルｂは、次式（６）によって導出される誤差の２乗の総和σを最小にすることを条件に、次式（７）に被検査画素の入射光量ｘ_ｉ及び実際の出力レベルｙ_ｉを代入すれば導出することができる（最小２乗法については、例えば日本機械学会編、朝倉書店出版、「センサと信号処理システムＩＩ」、ｐｐ１０−１１、１９８５を参照）。
【００３６】
【数２】……（６）

【００３７】
【数３】……（７）

【００３８】
本発明においては、標準光量発生装置を用いないため、被検査画素の入射光量ｘ_ｉが標準光量でなく、特定されない。このため、上記式（７）から光電係数ａ及びオフセット出力レベルｂを導出するに先立って、この入射光量ｘ_ｉを推定する。
【００３９】
被検査画素の入射光量ｘ_iを推定するために、まず、該被検査画素の近傍領域において、例えば該被検査画素の出力、及び該被検査画素の上下左右の各画素の出力を選択する。このとき、選択した各画素のうちに含まれる同じ種類の欠陥を有する画素の数が選択した各画素の半数以下であれば、選択した各画素の出力レベルの中央値ｙ _０（ｉ） を次式（８）のメディアンフィルタによって抽出して、正常な画素の出力レベルを求めることができる。
【００４０】
ｙ _０（ｉ） ＝ｍｅｄｉａｎ｛ｙ_１，ｙ_２，ｙ_３，ｙ_４，ｙ_５｝
＝ｙ１；ｗｈｅｎ ｙ_２＜ｙ_３＜ｙ_１＜ｙ_４＜ｙ_５ ……（８）
【００４１】
ただし、ｙ _ｋ （ｋ＝１，……，５）は近傍領域の５個の画素の出力レベルである。
【００４２】
例えば、ｙ₁が正常な画素の出力レベル、ｙ₂，ｙ₃が黒傷を有する画素の出力レベル（正常な画素の出力レベルよりも小さい）、ｙ₄，ｙ₅が白傷を有する画素の出力レベル（正常な画素の出力レベルよりも大きい）とすると、メディアンフィルタによって抽出された中央値ｙ _０（ｉ） は、正常な画素の出力レベルｙ₁となる。あるいは、近傍領域から正常な各画素のみが選択されたときには、正常な各画素の出力レベルのうちの中央値が選択される。
【００４３】
正常な画素の出力レベルｙ _０（ｉ） を求めると、この出力レベルｙ _０（ｉ） を次式（２）に代入して、被検査画素の入射光量ｘ _ｉ を求めることができる。
【００４４】
ｘ _ｉ ＝（ｙ _０（ｉ） −ｂ_０）／ａ_０ …（２）
ただし、ａ_０は正常な各画素の平均的な基準光電係数、ｂ_０は正常な各画素の平均的な基準オフセット出力レベルである。
【００４５】
暗から明までの相互に異なるＮ個の入射光量ｘ_０，ｘ_１，…，ｘ_{N −１}の光を入射する度に、近傍領域から正常な画素の出力レベルｙ _０（ｉ） を求め、この出力レベルｙ _０（ｉ） を上記式（２）に代入し、これによって該各入射光量ｘ_０，ｘ_１，…，ｘ_Ｎ−１を逆算して求める。
【００４６】
こうして被検査画素の各入射光量ｘ_０，ｘ_１，…，ｘ_Ｎ−１が求められると、これらの入射光量と、該各入射光量に対する被検査画素の実際の出力レベルｙ_０，ｙ_１，…，ｙ_Ｎ−１を上記式（７）に代入して、該被検査画素の光電係数ａ及びオフセット出力レベルｂを導出することができる。
【００４７】
更に、カラー表示を前提とすると、各表示色毎に、基準光電係数ａ_０が異なる。このため、例えばＲ，Ｇ，Ｂの３原色によってカラー表示を行うならば、Ｒ，Ｇ，Ｂの各原色毎に、基準光電係数ａ_０を設定する必要がある。この場合、各原色毎に、被検査画素の近傍領域から該被検査画素と同一の表示色を表す各画素を選択し、選択した各画素について、上記式（８）に基づく出力レベルの中央値の抽出、上記式（２）に基づく入射光量ｘの導出、及び上記式（７）に基づく光電係数ａの導出を逐次行う。
【００４８】
ただし、上記式（２）において、Ｒ，Ｇ，Ｂの各原色の予め設定された基準光電係数をａ_０Ｒ，ａ_０Ｇ，ａ_０Ｂとする。また、Ｒ，Ｇ，Ｂの各原色毎に求められたそれぞれの光電係数をａ_Ｒ，ａ_Ｇ，ａ_Ｂとする。
【００４９】
オフセット出力レベルｂ、及び基準オフセット出力レベルｂ_０については、各原色別に求める必要がなく、各原色に共通の値を設定すれば良い。
【００５０】
ところで、本発明の様に標準光量発生装置等の格別な機器を用いない場合は、固体撮像素子の全体に均一な光量を入射させることは非常に困難である。このため、本発明においては、被検査画素の近傍領域を可能な限り小さくして、均一な光量が入射する近傍領域を設定せねばならない。
【００５１】
例えば、カラー表示のために図２に示す様な原色ベイヤー配列のカラーフィルターを利用している場合、原色Ｒについては、被検査画素Ｒ１の近傍領域ｍａｓｋ１を設定し、この近傍領域ｍａｓｋ１から９個の各画素Ｒ１，Ｒｉを選択して、入射光量を求める。同様に、原色Ｂについては、被検査画素Ｂ１の近傍領域ｍａｓｋ２を設定し、この近傍領域ｍａｓｋ２から９個の各画素Ｂ１，Ｂｉを選択して、入射光量を求める。更に、原色Ｇについては、被検査画素Ｇ１の近傍領域ｍａｓｋ３もしくはｍａｓｋ４を設定し、これらの近傍領域ｍａｓｋ３もしくはｍａｓｋ４から９個の各画素Ｇ１，Ｇｉもしくは５個の各画素Ｇ１，Ｇｉを選択して、入射光量を求める。
【００５２】
原色Ｇは人が最も鋭敏に感知するので、この原色Ｇについては、最も小さな近傍領域mask4を設定し、これによって被検査画素の入射光量を厳密に求めるのが好ましい。
【００５３】
この様にして各被検査画素毎に、入射光量及び出力レベルを求め、被検査画素の表示色に応じて各光電係数ａ_Ｒ，ａ_Ｇ，ａ_Ｂのいずれかを導出するとともに、Ｒ，Ｇ，Ｂの各原色に共通の基準オフセット出力レベルｂ_０を導出した後、次式（９）、（１０）及び（１１）に基づいて、各被検査画素の欠陥の有無と種類を判定する。
【００５４】
被検査画素の原色Ｒを表示する場合は、

被検査画素の原色Ｂを表示する場合は、

被検査画素の原色Ｇを表示する場合は、

ただし、Δａ_Ｒ，Δａ_Ｂ，Δａ_Ｇ、及びΔｂ_Ｒ，Δｂ_Ｂ，Δｂ_Ｇはしきい値であり、判別精度の向上を考慮して、これらのしきい値をＲ，Ｇ，Ｂの各原色別に定めている。
【００５５】
なお、上記式（７）に基づいて光電係数ａ及びオフセット出力レベルｂを求めるには、該式（７）の左辺の変数が０でなければ、つまり次式（１２）が成立しなければならない。すなわち、上記式（５）のＮ個の関数列は相互に独立していなければならない。理想条件に近い（ホワイトノイズなどが存在しない）場合には、Ｎ個の関数列が相関であるために、該式（１２）が成立しなくなる。このとき、光電係数ａ＝ａ_０、オフセット出力レベルｂ＝ｂ_０となる。
【００５６】
【数５】……（１２）

【００５７】
こうして各被検査画素毎に、被検査画素の欠陥の有無と種類を判定した後、被検査画素に欠陥があれば、この欠陥を有する画素の出力レベルを補正する。
【００５８】
白傷を有する画素は、その出力に加算されるバイアス電圧が温度に応じて変化し、また黒傷を有する画素は、その感度が劣化しているので、画素の出力に対して一定の電圧を加算したり減算するという補正方法は充分とはいえず、欠陥を有する画素の出力信号を該画素の近傍の他の各画素の出力信号によって補正するのが適切である。
【００５９】
また、水平方向及び垂直方向のいずれか一方に並ぶ他の各画素の出力信号だけでなく、両方向に並ぶ他の各画素の出力信号に基づいて、欠陥を有する画素の出力信号を補正するのが望ましい。これは、欠陥を有する画素が被写体のエッジに位置している場合、エッジから水平方向及び垂直方向に並ぶ各画素による表示が異なるので、欠陥を有する画素の一方のみに並ぶ他の各画素の出力信号を用いて補正を行うと、色ずれが生じるためである。
【００６０】
更に、表示される各原色毎に、画素の出力レベルの補正を行うことが望ましい。例えばＲ、Ｇ、Ｂの各原色を表示している場合、Ｇの原色は、Ｒ、Ｂの各原色よりも重要であるため、原色ベイヤー配列の分布を利用して、Ｇの原色をより精密に補正する。
【００６１】
例えば、図２に示す様に、原色Ｒについては、被検査画素Ｒ１の近傍領域ｍａｓｋ１を設定し、原色Ｂについては、被検査画素Ｂ１の近傍領域ｍａｓｋ２を設定する。そして、被検査画素の補正された出力レベルをｙ（ｉ，ｊ）とすると、次式（１３）に基づいて、該被検査画素の近傍領域における該被検査画素と同一の表示色を有する他の８個の各画素の出力レベルの平均を求める。
【００６２】

また、図２に示す様に、原色Ｇについては、被検査画素Ｇ１の近傍領域ｍａｓｋ４を設定する。そして、被検査画素の補正された出力レベルをｙ（ｉ，ｊ）とすると、次式（１４）に基づいて、該被検査画素の近傍領域における該被検査画素と同一の表示色を有する他の４個の各画素の出力レベルの平均を求める。
【００６３】

ただし、ｉ，ｊ等は画素の座標を示す。
【００６４】
原色Ｇは人が最も鋭敏に感知するので、この原色Ｇについては、最も小さな近傍領域ｍａｓｋ４を設定し、これによって出力レベルを厳密に求めている。
【００６５】
さて、本発明の画素欠陥検出装置の一実施形態は、例えばデジタルスチルカメラの固体撮像素子（ＣＣＤ）の画素欠陥検出のために適用される。このデジタルスチルカメラには、画素欠陥検出のための専用モードを設定しておく。この専用動作モードを設定した場合は、所定の操作のもとに、固体撮像素子の欠陥検出がほぼ自動的に行われ、欠陥を有する画素の位置や該画素の出力特性が記録され、通常の撮像モードを設定したときには、この記録内容に基づいて、欠陥を有する画素の出力信号が補正される。
【００６６】
固体撮像素子の画素欠陥検出に際しては、欠陥を有する画素の出力信号の誤差量を低下させないために、固体撮像素子の出力信号に対してγ補正を施さない。
【００６７】
本実施形態の画素欠陥検出装置においては、固体撮像素子の入射光を変化させて、固体撮像素子の出力特性を求める。固体撮像素子の入射光を変化させるために、デジタルスチルカメラの絞り、ストロボ、シャッタースピード等の機能を適宜に組み合わせて、これらの機能を作動させる。
【００６８】
また、固体撮像素子の全体にほぼ一様なレベルの入射光を入射させるために、デジタルスチルカメラのピントをずらす。例えば、一様な階調の壁やパネルをデジタルスチルカメラによって撮像し、これによって固体撮像素子の全体にほぼ一様なレベルの入射光を入射させる場合でも、デジタルスチルカメラのピントをずらせば、被写体の階調ムラや該被写体に対する照明のむらをぼかすことができ、固体撮像素子の全体により均一なレベルの入射光を入射させることができる。
【００６９】
図３は、本発明の画素欠陥検出装置の一実施形態を適用したデジタルスチルカメラ示すブロック図である。図３において、光は、レンズ部１、絞り２及びシャッター３を介して固体撮像素子（例えばＣＣＤ）４に入射し、この固体撮像素子４の撮像画面に映像が投影される。固体撮像素子４は、複数の光電変換素子（以下画素と称す）を水平及び垂直方向に配列してなり、映像が該各画素に投影される。これらの画素の出力信号は、スイッチングモジュール５を介して画像処理部６に順次送出される。ストロボ７は、シャッター３の開閉動作に同期して発光し、光を被写体に照射するものである。操作キー群８は、該デジタルスチルカメラを操作するためのものである。
【００７０】
画像処理部６は、画像メモリ１１、ＥＥＲＯＭ１２、データテーブル１３及び制御信号生成部１４、プロセッサ１５等を備えている。画像メモリ１１は、固体撮像素子４の各画素の出力レベル、つまり撮像された画像を示す画像データを記録するものであり、少なくとも３つの画像を記録することができる。ＥＥＲＯＭ１２は、欠陥を有する画素の座標位置、Ｒ，Ｇ，Ｂの各原色毎に予め設定された各基準光電係数ａ_０Ｒ，ａ_０Ｇ，ａ_０Ｂ、各しきい値Δａ_Ｒ，Δａ_Ｂ，Δａ_Ｇ、各しきい値Δｂ_Ｒ，Δｂ_Ｂ，Δｂ_Ｇ、及び基準オフセット出力レベルｂ_０、固体撮像素子４の撮像画面のサイズ（撮像画面における水平及び垂直方向の各画素数Ｉ０×Ｊ０）等を記憶するものである。データテーブル１３は、画像データに施されるγ補正を行うときに用いられるデータ、画像データに施されるＪＰＥＧ圧縮を行うときに用いられるデータ等を記憶している。制御信号生成部１４は、プロセッサ１５からの指令に応答して、レンズ部１、絞り２、シャッター３、固体撮像素子４、スイッチングモジュール５、及びストロボ７等を制御するための制御信号を生成して出力する。プロセッサ１５は、該画像処理部６を統括的に制御し、画像データの処理、各種の演算処理等を行う。
【００７１】
この様な画像処理部６は、１チップのＬＳＩ上に作製することができる。
【００７２】
本実施形態のデジタルスチルカメラにおいては、操作キー群８を操作することによって、通常の撮影動作モードを選択することができる。
【００７３】
通常の撮影動作モードにおいては、操作キー群８が適宜に操作されると、これに応答してプロセッサ１５は、レンズ部１を駆動制御して、固体撮像素子４の撮像画面に投影される映像のピントを合わせ（オートフォーカス）、絞り２による絞り量を調節し、シャッター３を開閉し、ストロボ７をシャッター３の開閉動作に同期させて発光させる。この結果、映像が固体撮像素子４によって撮像される。プロセッサ１５は、スイッチングモジュール５を通じて固体撮像素子４から画像データを入力して、該画像データを画像メモリ１１に一旦記憶し、この画像データに対する画像処理（γ補正や画像圧縮）を施し、この画像データを図示しない記録媒体の録画機構に送出する。録画機構は、画像データを記録媒体に記録する。
【００７４】
また、本実施形態のデジタルスチルカメラにおいては、操作キー群８を操作することによって、画素欠陥検出モードを選択することができる。画素欠陥検出モードを選択した場合、プロセッサ１５は、図４のフローチャートに示す処理を実行し、これによって欠陥を有する画素を自動的に検出し、この画素の座標位置をＥＥＲＯＭ１２に記憶する。このため、格別の装置や知識は不要であり、ユーザであっても、欠陥画素の検出を行うことができる。
【００７５】
まず、プロセッサ１５は、画像メモリ１１内に３枚分の画像データの格納領域を用意し、またγ補正、画像圧縮、レンズ部１のオートフォーカスを停止し、更に該レンズ部１を駆動制御して、該レンズ部１のピントを例えば∞に合わせる（ステップ１０１，１０２）。
【００７６】
この後、プロセッサ１５は、シャッター３による開放時間を０に設定してから、固体撮像素子４の各画素の出力信号をスイッチングモジュール５を介して入力し、これらの画素の出力レベルを画像メモリ１１の１枚目の画像データの格納領域に記憶する（ステップ１０３）。
【００７７】
シャッター３による開放時間を０に設定した場合は、固体撮像素子４の各画素に対する入射光量が０であるから、該各画素の出力レベルは最も低くなる。
【００７８】
引き続いて、プロセッサ１５は、絞り２を開放に設定し、シャッター３を開閉し、ストロボ７をシャッター３の開閉動作に同期させて発光させる。そして、プロセッサ１５は、固体撮像素子４の各画素の出力信号をスイッチングモジュール５を介して入力し、これらの画素の出力レベルを画像メモリ１１の２枚目の画像データの格納領域に記憶する（ステップ１０４）。
【００７９】
このとき、シャッター３の開放時間は、固体撮像素子４がオーバーフローとなる直前の入射光量が該固体撮像素子４の各画素に入射する様に設定され、これによって該各画素の出力レベルが最も高くなる。また、先に述べた様に、一様な階調の壁やパネルを撮像すれば、固体撮像素子４により撮像された映像が略一様の階調になるので、欠陥を有する画素を検出するには好ましい。その上、レンズ部１のピントを∞に合わせているので、固体撮像素子４により撮像された映像がぼけて更に一様な階調となる。この様な一様の階調の映像は、出力レベルが特に低かったり（暗い）、出力レベルが特に高い（明るい）画素、つまり欠陥を有する画素を検出するのに好適である。
【００８０】
更に、プロセッサ１５は、絞り２を充分に絞り込み、シャッター３を開閉し、ストロボ７をシャッター３の開閉動作に同期させて発光させる。そして、プロセッサ１５は、固体撮像素子４の各画素の出力信号をスイッチングモジュール５を介して入力し、これらの画素の出力レベルを画像メモリ１１の３枚目の画像データの格納領域に記憶する（ステップ１０５）。
【００８１】
絞り２を充分に絞り込み、ストロボ７を発光させて、シャッター３を開閉しているので、固体撮像素子４の各画素に対する入射光量がステップ１０３と１０４のときの各入射光量の中間になり、該各画素の出力レベルも中間となる。このときも、デジタルスチルカメラの視野がステップ１０４のときと同一であるのが好ましく、先に述べた様に、一様な階調の壁やパネルを撮像するのが良い。勿論、レンズ部１のピントを∞に合わせているので、固体撮像素子４により撮像された映像がぼけて更に一様な階調となる。
【００８２】
この様に各ステップ１０３，１０４，１０５においては、入射光量が最小のときの固体撮像素子４の各画素の出力レベル、入射光量が中間のときの固体撮像素子４の各画素の出力レベル、及び入射光量が最大のときの固体撮像素子４の各画素の出力レベルを画像メモリ１１に記憶する。
【００８３】
これによって、固体撮像素子４の各画素毎に、上記式（５）の入出力関係（Ｎ−１＝２）が実現される。
【００８４】
次に、プロセッサ１５は、固体撮像素子４の各画素のアドレスデータ、つまり座標位置（ｉ，ｊ）を順次指定し、座標位置（ｉ，ｊ）を指定する度に、指定した座標位置（ｉ，ｊ）に基づいて、該座標位置（ｉ，ｊ）にある画素がＲ，Ｇ，Ｂの各原色のいずれを表示するのかを判定し、更に該画素の関数を導出して、該画素の欠陥の有無と種類を判定する。
【００８５】
本実施形態では、図２に示す原色ベイヤー配列のカラーフィルターを利用しているので、画素の座標位置（ｉ，ｊ）に基づいて、該座標位置（ｉ，ｊ）にある画素がＲ，Ｇ，Ｂの各原色のいずれを表示するのかを判定することができる。
【００８６】
最初、プロセッサ１５は、座標位置（ｉ，ｊ）を（０，０）に初期設定する。また、Ｒ，Ｇ，Ｂの各原色毎に予め設定された各基準光電係数ａ_０Ｒ，ａ_０Ｇ，ａ_０Ｂ、各しきい値Δａ_Ｒ，Δａ_Ｂ，Δａ_Ｇ、各しきい値Δｂ_Ｒ，Δｂ_Ｂ，Δｂ_Ｇ、及び基準オフセット出力レベルｂ_０、固体撮像素子４の撮像画面のサイズ（撮像画面における水平及び垂直方向の各画素数（Ｉ０−１）×（Ｊ０−１））等をＥＥＲＯＭ１２から読み出す（ステップ１０６）。
【００８７】
そして、プロセッサ１５は、座標位置（ｉ，ｊ）のｉ，ｊ別に、偶数であるか否かを判定する（ステップ１０７，１０８）。
【００８８】
ここでは、初期設定された座標位置（０，０）の０が偶数とみなされ（ステップ１０７，１０８共にＹｅｓ）、図２に示す原色ベイヤー配列においては ｉ，ｊが共に偶数である座標位置の画素がＲの原色を表示するので、Ｒの原色を表示する画素の欠陥の有無及び種類の判定が行われる（ステップ１０９）。
【００８９】
上記ステップ１０９において、プロセッサ１５は、座標位置（０，０）の画素を被検査画素とみなし、各ステップ１０３〜１０５において画像メモリ１１に記憶した３枚分の画像データから必要な各画素の出力レベルを抽出しつつ、上記式（８）及び（２）に基づいて、該被検査画素の入射光量を求め、上記式（７）に基づいて、該被検査画素の光電係数ａ及びオフセット出力レベルｂを求め、上記式（９）に基づいて、該被検査画素の欠陥の有無と種類を判定し、該被検査画素に欠陥があれば、該被検査画素の欠陥の種類（白傷又は黒傷）と該座標位置を画像メモリ１１に記憶する。
【００９０】
この後、プロセッサ１５は、ｉに１を加算して更新した座標位置（ｉ，ｊ）が画像サイズ（Ｉ０−１）から外れないことを確認した後（ステップ１１０，Ｎｏ）、ｉに１を加算して座標位置（ｉ，ｊ）を更新し（ステップ１１１）、ステップ１０７に戻る。
【００９１】
更新した座標位置（ｉ，ｊ）のｉは、１という奇数となる。従って、ｉが奇数と判定され（ステップ１０７，Ｎｏ）、ｊが偶数であると判定され（ステップ１１２，Ｙｅｓ）、図２に示す原色ベイヤー配列においては該座標位置（ｉ，ｊ）の画素がＧの原色を表示するので、Ｇの原色を表示する画素の欠陥の有無及び種類の判定が行われる（ステップ１１３）。
【００９２】
ステップ１１３において、プロセッサ１５は、座標位置（１，０）の画素を被検査画素とみなし、各ステップ１０３〜１０５において画像メモリ１１に記憶した３枚分の画像データから必要な各画素の出力レベルを抽出しつつ、上記式（８）及び（２）に基づいて、該被検査画素の入射光量を求め、上記式（７）に基づいて、該被検査画素の光電係数ａ及びオフセット出力レベルｂを求め、上記式（１０）に基づいて、該被検査画素の欠陥の有無と種類を判定し、該被検査画素に欠陥があれば、該被検査画素の欠陥の種類（白傷又は黒傷）と該座標位置を画像メモリ１１に記憶する。
【００９３】
以降同様に、図２に示す原色ベイヤー配列においては座標位置（ｉ，０）の各画素の表示色がＲとＧに交互に代わるので、ステップ１０９と１１３が交互に行われて、座標位置（ｉ，０）の各画素の欠陥の有無と種類が判定され、その度に欠陥を有する被検査画素の欠陥の種類と座標位置が画像メモリ１１に記憶される。
【００９４】
そして、ｉに１を加算して更新したｉがＩ０に達すると（ステップ１１０，Ｙｅｓ）、プロセッサ１５は、ｊに１を加算して更新した座標位置（ｉ，ｊ）が画像サイズ（Ｊ０−１）から外れないことを確認した後（ステップ１１４，Ｎｏ）、ｊに１を加算してｊを１に更新する（ステップ１１５）。このｊが奇数であるため（各ステップ１０８，１１２共にＮｏ）、ｉが偶数であるか否かに応じて（ステップ１０７）、各ステップ１１３，１１６のいずかが行われる。
【００９５】
ステップ１１３においては、先に述べた様にＧの原色を表示する画素の欠陥の有無及び種類の判定が行われる。ステップ１１４においては、Ｂの原色を表示する画素の欠陥の有無及び種類の判定が行われる。この判定を行うために、プロセッサ１５は、各ステップ１０３〜１０５において画像メモリ１１に記憶した３枚分の画像データから必要な各画素の出力レベルを抽出しつつ、上記式（８）及び（２）に基づいて、被検査画素の入射光量を求め、上記式（７）に基づいて、該被検査画素の光電係数ａ及びオフセット出力レベルｂを求め、上記式（１１）に基づいて、該被検査画素の欠陥の有無と種類を判定し、該被検査画素に欠陥があれば、該被検査画素の欠陥の種類（白傷又は黒傷）と該座標位置を画像メモリ１１に記憶する。
【００９６】
図２に示す原色ベイヤー配列から明らかな様に、座標位置（ｉ，１）の各画素の表示色がＢとＧに交互に代わるので、ステップ１０９と１１３を交互に行うことによって、座標位置（ｉ，１）の各画素の欠陥の有無と種類を判定することができる。プロセッサ１５は、欠陥を有する被検査画素の欠陥の種類と座標位置を画像メモリ１１に記憶する。
【００９７】
以降同様に、ｊに１を加算する度に、ｉを０〜（Ｉ０−１）の範囲で順次変化させて、座標位置（０〜（Ｉ０−１），ｊ）の各画素の欠陥の有無と種類を逐次判定し、１を加算して更新したｉが（Ｉ０−１）に達し（ステップ１１０，Ｙｅｓ）、かつ１を加算して更新したｊが （Ｊ０−１）に達すると（ステップ１１４，Ｙｅｓ）、全ての画素について欠陥の有無と種類の判定を終了したことになるので、プロセッサ１５は、欠陥を有する全ての各画素の欠陥の種類と座標位置を画像メモリ１１から読み出してＥＥＲＯＭ１２に記憶する。
【００９８】
こうして固体撮像素子４の全ての各欠陥画素の欠陥の種類と座標位置をＥＥＲＯＭ１２に記憶した後には、先に述べた撮影動作モードにおいて、各欠陥画素の出力レベルを補正するために次の様な処理がなされる。
【００９９】
操作キー群８を操作して、通常の撮像モードを設定すると、映像が固体撮像素子４によって撮像され、プロセッサ１５は、スイッチングモジュール５を通じて固体撮像素子４から画像データを入力する。
【０１００】
スイッチングモジュール５は、図５に示す様に構成されており、３つの各端子ＳＷ１，ＳＷ２，ＳＷ３を備えている。切片５ａが端子ＳＷ１に切換接続されているときには、固体撮像素子４の出力がそのままプロセッサ１５に送出され、各画素の出力レベルが画像メモリ１１に記憶される。
【０１０１】
また、プロセッサ１５は、ＥＥＲＯＭ１２から欠陥を有する画素の座標位置（ｉ，ｊ）を読み出し、該座標位置（ｉ，ｊ）に基づいて欠陥を有する該画素の表示色を識別し、該画素の出力信号が出力されるタイミングで、スイッチングモジュール５を端子ＳＷ２又はＳＷ３に切り換える。つまり、図４の各ステップ１０７，１０８，１１２と同様に座標位置（ｉ，ｊ）に基づいて欠陥を有する画素の表示色を判定し、該画素の表示色がＲ及びＢであれば、出力信号が該画素から出力されるタイミングで、スイッチングモジュール５を端子ＳＷ２に切り換え、また該画素の表示色がＧであれば、出力信号が該画素から出力されるタイミングで、スイッチングモジュール５を端子ＳＷ３に切り換える。
【０１０２】
プロセッサ１５は、Ｒ及びＢの原色を有する欠陥画素の出力信号をスイッチングモジュール５の端子ＳＷ２から入力したときには、上記式（１３）の演算を行うのに必要なデータが固体撮像素子４から画像メモリ１１に送出され記録された時点で、該式（１３）の演算を行って、該欠陥画素の出力レベルを求め、この求められた出力レベルを画像メモリ１１の該欠陥画素のアドレスに記憶する。
【０１０３】
また、プロセッサ１５は、Ｇの原色を有する欠陥画素の出力信号をスイッチングモジュール５の端子ＳＷ３から入力したときには、上記式（１４）の演算を行うのに必要なデータが固体撮像素子４から画像メモリ１１に送出され記録された時点で、該式（１４）の演算を行って、該欠陥画素の出力レベルを求め、この求められた出力レベルを画像メモリ１１の該欠陥画素のアドレスに記憶する。
【０１０４】
この様にスイッチングモジュール５の切片５ａを各端子ＳＷ１，ＳＷ２，ＳＷ３に切り換えることによって、固体撮像素子４からの画像データを画像メモリ１１に記憶しつつ、ほぼリアルタイムで、欠陥画素の出力レベルを補正することができる。
【０１０５】
この後、画像メモリ１１内の画像データに対する画像処理（γ補正や画像圧縮）を施し、この画像データを記録媒体の録画機構に送出して、画像データを記録媒体に記録する。
【０１０６】
なお、図４の各ステップ１０７，１０８，１１２と同様に座標位置（ｉ，ｊ）に基づいて欠陥を有する画素の表示色を判定する代わりに、ｉ及びｊの最下位ビットが０のときにはｉ及びｊが偶数であり、ｉ及びｊの最下位ビットが１のときにはｉ及びｊが奇数であることに着目し、ｉとｊの排他的論理和が偽であれば、画素の表示色がＲ又はＢであると判定し、ｉとｊの排他的論理和が真であれば、画素の表示色がＧであると判定しても良い。
【０１０７】
なお、先に述べた画素欠陥検出モードを選択したときには、切片５ａが端子ＳＷ１に常に接続されている。
【０１０８】
以上の説明から明らかな様に、本実施形態のデジタルスチルカメラにおいては、標準光量発生装置や格別の支援システム等を必要とせず、複数回の撮像によって３枚の画像データを得るだけで、欠陥画素の座標位置や種類、あるいは欠陥画素の出力信号の補正が自動的に行われるので、ユーザであっても欠陥画素の検出及び補正を容易に実施することが可能である。
【０１０９】
本発明は、上記実施形態に限定されるものでなく、多様に変形することが可能である。例えば、各画素毎に、３つの入射光量に対する３つの出力レベルに基づいて、光電係数ａ及びはオフセット出力レベルｂを求めているが、２つの入射光量に対する２つの出力レベルに基づいて、あるいは４つの入射光量に対する４つの出力レベルに基づいて、光電係数ａ及びはオフセット出力レベルｂを求めても良い。
【０１１０】
また、２つの入射光量に対する２つの出力レベルに基づいて、光電係数ａ及びはオフセット出力レベルｂを求める場合は、上記各（５），（６），（７）を必要とせず、上記式（８），（２）に基づいて２つの入射光量を求め、これらの入射光量に対する画素の２つの出力レベルを検出すれば、光電係数ａ及びオフセット出力レベルｂを導出することができる。
【０１１１】
更に、本実施形態においては、画素の出力を１次関数によって近似的に表しているが、これは演算回路の規模、演算量及び演算時間を実用的な範囲におさめるためである。光電変換素子の出力特性は、厳密には非線形である。また、光電変換素子の出力特性を１つの線形関数で近似することが困難なときには、演算回路の規模、演算量及び演算時間の増大を可能な限り抑えることを条件に、複数の線形関数の組み合わせや別の関数を適用することが考えられる。どの様な関数を採用するにしても、画素の実際の出力特性を関数で表して、この関数の係数の大小によって該画素の欠陥の有無と種類を判定する。
【０１１２】
また、上記式（８）のメディアンフィルタだけでなく、他の方法によって正常な画素の出力レベルを求めても良い。例えば、被検査画素の近傍領域における各画素の出力レベルの最大値と最小値を除いてから、メディアンフィルタを適用したり、被検査画素の近傍領域における各画素の出力レベルに対して周知の統計処理を施すことによって、正常な画素の出力レベルを求めても良い。更に、被検査画素の近傍領域として様々な領域を指定しても構わない。
【０１１３】
また、本実施形態では、ＣＣＤを例示しているが、本発明は、これに限定されるものではない。例えば、ＣＩＤ、ＣＰＤ等の固体撮像素子にも、本発明を適用することができる。あるいは、本発明は、デジタルスチルカメラだけでなく、ビデオカメラ、フィルムスキャナー等の固体撮像素子に適用することができる。
【０１１４】
更に、カラーフィルターとして、原色ベイヤー配列のカラーフィルターを例示しているが、各原色や各補色等を所定の法則に従って配列した他の種類のカラーフィルターを適用することが可能である。
【０１１５】
【発明の効果】
以上説明した様に、本発明によれば、被検査光電変換素子の入射光量を変化させたときの該入射光量に対する該被検査光電変換素子の出力特性を求め、該被検査光電変換素子の出力特性に基づいて該被検査光電変換素子の欠陥を判定している。
【０１１６】
あるいは、本発明によれば、相互に異なる複数の入射光量に対する被検査光電変換素子の各出力を画像メモリに記憶しておき、該各入射光量、該各出力及び次式（１）に基づいて、該被検査光電変換素子の光電係数ａ及び入射光量が無い状態での該被検査光電変換素子のオフセット出力レベルｂを求め、該光電係数ａ及び該オフセット出力レベルｂを予め設定された基準光電係数ａ_０及び基準オフセット出力レベルｂ_０と比較することにより、該被検査光電変換素子の欠陥を判定している。
【０１１７】
ｙ（ｘ）＝ａｘ＋ｂ …（１）
ただし、ｙ（ｘ）は前記被検査光電変換素子の出力、ｘは入射光量である。
【０１１８】
この様に被検査光電変換素子の出力特性を求め、この出力特性に基づいて、該被検査光電変換素子の欠陥を判定する場合は、従来の様に標準光量発生装置や格別の支援システム等をを必要としないので、ユーザであっても容易に光電変換素子の欠陥を検出することができる。また、光電変換素子の欠陥の有無だけでなく、その種類をも判定することが可能となる。
【０１１９】
また、固体撮像素子に対する焦点をずらした状態で、光電変換素子の出力を求めているので、該光電変換素子の近傍領域においては略一様な光が入射することになり、この近傍領域の複数の光電変換素子の出力信号から正常な光電変換素子の出力信号を特定して、実際の入射光量を推定することが可能になる。
【０１２０】
更に、各入射光量は、固体撮像素子に光が入射していないときの入射光量、及び固体撮像素子がオーバーフローとなる直前の入射光量等に設定している。これらの入射光量は、ビデオカメラやデジタルスチルカメラのシャッター速度、絞り、ストロボ等を適宜に制御することによって容易に実施することができる。
【０１２１】
また、カラー表示の場合は、各表示色別に、光電変換素子の検査を行っているので、光電変換素子の欠陥の有無と種類を正確に判定することができる。
【０１２２】
更に、カラー表示の場合は、各画素のアドレスデータ（座標位置）に基づいて、各画素の表示色を判定しているので、演算を速やかに行うことができる。
【０１２３】
【図面の簡単な説明】
【図１】光電変換素子の入出力特性を説明するために用いたグラフである。
【図２】原色ベイヤー配列のカラーフィルターにおける各原色の配列を示す平面図である。
【図３】本発明の画素欠陥検出装置の一実施形態を適用したデジタルスチルカメラ示すブロック図である。
【図４】図３の装置における処理を示すフローチャートである。
【図５】図３の装置におけるスイッチングモジュールを示すブロック図である。
【図６】光電変換素子の入出力特性を説明するために用いたグラフである。
【符号の説明】
１ レンズ部
２ 絞り
３ シャッター
４ 固体撮像素子
５ スイッチングモジュール
６ 画像処理部
７ ストロボ
８ 操作キー群
１１ 画像メモリ
１２ ＥＥＲＯＭ
１３ データテーブル
１４ 制御信号生成部
１５ プロセッサ

Claims (8)

1. 複数の光電変換素子を配列してなる固体撮像素子の画素欠陥検出装置において、
   それぞれの光量が異なるＮ個（Ｎは２以上の整数）の光を、被検査光電変換素子およびその近傍領域に含まれる複数の光電変換素子に照射して、それぞれの入射光に対して被検査光電変換素子およびその近傍領域に含まれる複数の光電変換素子の出力をそれぞれ記憶する画像メモリと、
   前記Ｎ個の入射光のそれぞれに対して、前記画像メモリに記憶された前記被検査光電変換素子およびその近傍領域に含まれる複数の光電変換素子の出力の中央値ｙ _０（ｉ） （ｉは０≦ｉ≦Ｎ−１の整数）を求めて、求められたＮ個の出力の中央値ｙ _０（ｉ） を、それぞれ、基準となる光電変換素子の出力信号として次式（２）に代入するとともに、次式（２）に予め設定された基準光電係数ａ _０ および基準オフセット出力レベルｂ _０ を代入して、Ｎ個の入射光のそれぞれの光量ｘ _ｉ を求め、求められたＮ個の入射光量ｘ _ｉ と、Ｎ個の入射光量ｘ _ｉ のそれぞれに対する被検査光電変換素子の実際のＮ個の出力信号ｙ _ｉ ( ｘ ) とを用いて、次式（１）に基づいて、光電係数ａと、入射光量が無い状態での該被検査光電変換素子のオフセット出力レベルｂとを求め、求められた光電係数ａ及び該オフセット出力レベルｂを前記基準光電係数ａ_０及び基準オフセット出力レベルｂ_０と比較することにより、該被検査光電変換素子の画素欠陥の有無を判定する演算手段とを備える固体撮像素子の画素欠陥検出装置。
   ｙ _ｉ (ｘ)＝ａ・ｘ _ｉ ＋ｂ …（１）
   ｘ _ｉ ＝（ｙ _０（ｉ） −ｂ _０ ）／ａ _０ …（２）。
2. 前記固体撮像素子に映像を投影する光学手段を備え、
   前記画像メモリは、前記固体撮像素子に対する前記光学手段の焦点をずらした状態で前記固体撮像素子に投影される映像に基づいて、前記被検査光電変換素子およびその近傍領域に含まれる複数の光電変換素子の出力を記憶する請求項１に記載の固体撮像素子の画素欠陥検出装置。
3. 前記Ｎ個の入射光量は、前記被検査光電変換素子およびその近傍領域に含まれる複数の光電変換素子に光が入射していないときの入射光量と、前記被検査光電変換素子およびその近傍領域に含まれる複数の光電変換素子がオーバーフローとなる直前の入射光量とを含む請求項１または２に記載の固体撮像素子の画素欠陥検出装置。
4. 前記近傍領域に含まれる前記光電変換素子として、カラー表示用の各表示色のうちの前記被検査光電変換素子と同一の表示色を表すものだけが選択される請求項１乃至３のいずれかに記載の固体撮像素子の画素欠陥検出装置。
5. 前記被検査光電変換素子の光電係数ａ及びオフセット出力レベルｂと、前記基準光電係数ａ_０及び前記基準オフセット出力レベルｂ_０を次式（３）に代入して、該被検査光電変換素子の欠陥の有無を判定する請求項１乃至４のいずれかに記載の固体撮像素子の画素欠陥検出装置。
   ｜ａ_０−ａ｜＜Δａ かつ ｜ｂ_０−ｂ｜＜Δｂ：欠陥無し …（３）
   ただし、Δａ及びΔｂは予め設定された各しきい値である。
6. 前記被検査光電変換素子の光電係数ａ及びオフセット出力レベルｂと、前記基準光電係数ａ_０及び前記基準オフセット出力レベルｂ_０を次式（４）に代入して、該被検査光電変換素子の欠陥の有無及び種類を判定する請求項１乃至４のいずれかに記載の固体撮像素子の画素欠陥検出装置。
   ｜ａ_０−ａ｜＜Δａ かつ ｜ｂ_０−ｂ｜＜Δｂ：欠陥無し
   ｜ａ_０−ａ｜≧Δａ ：黒傷有り
   ｜ｂ_０−ｂ｜≧Δｂ ：白傷有り
   …（４）
   ただし、Δａ及びΔｂは予め設定された各しきい値である。
7. カラー表示用の各表示色毎に、前記基準光電係数ａ_０及び前記しきい値Δａを設定する請求項５又は６に記載の固体撮像素子の画素欠陥検出装置。
8. 前記被検査光電変換素子のアドレスデータに基づいて、該被検査光電変換素子の表示色を判定する判定手段を備え、
   前記判定手段の判定に基づいて、前記基準光電係数ａ_０及び前記しきい値Δａを設定する請求項５又は６に記載の固体撮像素子の画素欠陥検出装置。

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