JP2000092397A - 固体撮像素子の画素欠陥検出装置 - Google Patents

固体撮像素子の画素欠陥検出装置

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JP2000092397A JP10254428A JP25442898A JP2000092397A JP 2000092397 A JP2000092397 A JP 2000092397A JP 10254428 A JP10254428 A JP 10254428A JP 25442898 A JP25442898 A JP 25442898A JP 2000092397 A JP2000092397 A JP 2000092397A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 標準光量発生装置や格別の支援システム等を
必要とせず、ユーザであっても容易に実施することが可
能な固体撮像素子の画素欠陥検出装置を提供する。 【解決手段】 相互に異なる複数の入射光量に対する被
検査光電変換素子の各出力を記憶する画像メモリと、該
各入射光量、該各出力及び関数(x)=ax+bに基づい
て、該被検査光電変換素子の光電係数a及び入射光量が
無い状態での該被検査光電変換素子のオフセット出力レ
ベルbを求め、該光電係数a及び該オフセット出力レベ
ルbを予め設定された基準光電係数a0及び基準オフセ
ット出力レベルb0と比較することにより、該被検査光
電変換素子の欠陥を判定する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、CCD等の固体撮
像素子に発生した欠陥を自動的に検出するための固体撮
像素子の画素欠陥検出装置に関する。
【0002】
【従来の技術】一般に、CCD等の固体撮像素子は、生
産段階で発生した局部的な結晶欠陥など(傷と称する)
により画質劣化を招くことが知られている。あるいは、
固体撮像素子の出荷後に、宇宙線の照射が原因となっ
て、新たな傷が固体撮像素子に発生することもある。こ
の様な傷には、白傷と黒傷の2種類に分類される。
【0003】図6のグラフは、入射光量に対する固体撮
像素子の光電変換素子(以下画素と称する)の出力特性
を示しており、実線Aが正常な画素の出力特性を示し、
点線Bが白傷を有する画素の出力特性を示し、一点鎖線
Cが黒傷を有する画素の出力特性を示している。点線B
の出力特性から明らかな様に、白傷は、常にバイアス電
圧が画素の出力に加算されてしまうという欠陥である。
また、一点鎖線Cの出力特性から明らかな様に、黒傷
は、画素の感度が劣化するという欠陥である。
【0004】従来より、これらの傷を検出して、画素の
出力を補正するための各種の装置あるいは方法が提案さ
れている。
【0005】例えば、特開平8−195909号公報に
は、工場出荷時に既に存在しているCCDの傷の位置及
びレベルデータを格納するROMと、工場出荷後に新た
に発生したCCDの傷の位置及びレベルデータを格納す
るEEROMを備え、ROM及びEEROM内のデータ
に基づいて、傷を有するCCDの出力を補正するという
技術が開示されている。
【0006】また、特開平7−7675号公報には、γ
補正処理を行うと、傷を原因とするCCDの出力信号の
誤差量が低下して、傷の検出が困難になるので、CCD
の出力信号を逆γ補正した上で、傷の検出を行うという
技術が開示されている。
【0007】更に、特開昭62−8666号公報には、
傷を有する画素の出力信号を水平方向にある他の画素の
出力信号によって置換したり、あるいは垂直方向にある
他の画素の出力信号によって置換するという技術が開示
されている。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来
は、工場出荷前及び出荷後にかかわらず、固体撮像素子
の傷を検出するために、暗いレベルから明るいレベルま
での基準入射光を固体撮像素子に対して発生する標準光
量発生装置や支援システム等を必要とし、専門操作員で
なければ、画素の傷の検出と画素の出力の補正を行うこ
とが困難であり、ユーザによる実施はとても望めるもの
ではなかった。
【0009】そこで、本発明は、標準光量発生装置や格
別の支援システム等を必要とせず、ユーザであっても容
易に実施することが可能な固体撮像素子の画素欠陥検出
装置を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は、複数の光電変換素子を配列してなる固体
撮像素子の画素欠陥検出装置において、被検査光電変換
素子の入射光量を変化させたときの該入射光量に対する
該被検査光電変換素子の出力特性を求め、該被検査光電
変換素子の出力特性に基づいて該被検査光電変換素子の
画素欠陥の有無を判定する演算手段を備えている。
【0011】1実施形態では、前記各光電変換素子の出
力信号を記憶する画像メモリを備え、前記演算手段は、
前記画像メモリ内の前記被検査光電変換素子の出力信号
を用いて、該被検査光電変換素子の出力特性を求めてい
る。
【0012】1実施形態では、前記被検査光電変換素子
の出力特性は、異なる複数の入射光量に対する該被検査
光電変換素子の複数の出力信号で表される。
【0013】また、本発明は、複数の光電変換素子を配
列してなる固体撮像素子の画素欠陥検出装置において、
異なる複数の入射光量に対する被検査光電変換素子の各
出力を記憶する画像メモリと、該各入射光量、該各出力
及び次式(1)に基づいて、該被検査光電変換素子の光
電係数a及び入射光量が無い状態での該被検査光電変換
素子のオフセット出力レベルbを求め、該光電係数a及
び該オフセット出力レベルbを予め設定された基準光電
係数a0及び基準オフセット出力レベルb0と比較するこ
とにより、該被検査光電変換素子の画素欠陥の有無を判
定する演算手段を備えている。
【0014】y(x)=ax+b …(1) ただし、y(x)は前記被検査光電変換素子の出力、xは
入射光量である。
【0015】1実施形態では、前記固体撮像素子に映像
を投影する光学手段を備え、前記固体撮像素子に対する
前記光学手段の焦点をずらした状態で、前記光電変換素
子の出力を求めている。
【0016】1実施形態では、前記各入射光量は、前記
固体撮像素子に光が入射していないときの入射光量、及
び前記固体撮像素子がオーバーフローとなる直前の入射
光量を含む。
【0017】1実施形態では、予め設定されている基準
光電変換係数a0及び基準オフセットレベルb0と、前記
画像メモリに記憶されている被検査光電変換素子に対し
て基準となる光電変換素子の出力信号y0を次式(2)
に代入して、前記入射光量xを求めている。
【0018】x=(y0−b0)/a0 …(2) 1実施形態では、前記光電変換素子の出力y0は、少な
くとも前記被検査光電変換素子の近傍領域に含まれる複
数の光電変換素子の出力のうちの中央値に設定される。
【0019】1実施形態では、前記近傍領域に含まれる
前記各光電変換素子として、カラー表示用の各表示色の
うちの前記被検査光電変換素子と同一の表示色を表すも
のだけが選択される。
【0020】1実施形態では、前記被検査光電変換素子
の光電係数a及びオフセット出力レベルbと、前記基準
光電係数a0及び前記基準オフセット出力レベルb0を次
式(3)に代入して、該被検査光電変換素子の欠陥の有
無を判定している。
【0021】 |a0−a|<Δa かつ |b0−b|<Δb:欠陥無し …(3) ただし、Δa及びΔbは予め設定された各しきい値であ
る。
【0022】1実施形態では、前記被検査光電変換素子
の光電係数a及びオフセット出力レベルbと、前記基準
光電係数a0及び前記基準オフセット出力レベルb0を次
式(4)に代入して、該被検査光電変換素子の欠陥の有
無及び種類を判定している。
【0023】 |a0−a|<Δa かつ |b0−b|<Δb:欠陥無し |a0−a|≧Δa :黒傷有り |b0−b|≧Δb :白傷有り …(4) ただし、Δa及びΔbは予め設定された各しきい値であ
る。
【0024】1実施形態では、カラー表示用の各表示色
毎に、前記基準光電係数a0及び前記しきい値Δaを設
定している。
【0025】1実施形態では、前記被検査光電変換素子
のアドレスデータに基づいて、該被検査光電変換素子の
表示色を判定する判定手段を備え、前記判定手段の判定
に基づいて、前記基準光電係数a0及び前記しきい値Δ
aを設定している。
【0026】
【発明の実施の形態】まず、本発明の概略を説明する。
【0027】従来の様に、標準光量発生装置から標準光
量を固体撮像素子の全体に与え、格別の支援システムを
用いて、固体撮像素子の出力信号から欠陥を有する画素
を検出し、この画素の出力を補正する場合、ユーザによ
る実施はとても望めるものではなかった。
【0028】本発明においては、標準光量を与える標準
光量発生装置を用いないことを前提としている。この場
合、固体撮像素子への入射光量を特定できないので、単
に、画素の出力信号を該画素の周辺領域の他の画素の出
力信号と比較しても、欠陥を有する画素を識別すること
はできない。例えば、図1のグラフに示す様に、入射光
量に対する正常な画素の出力特性f1(x)と、入射光量に
対する黒傷を有する画素の出力特性f2(x)を比較した場
合、出力特性f1(x)と出力特性f2(x)の差(例えばΔy
1、Δy2)は入射光量に応じて変化するので、入射光量
を正確に特定できなければ、該差に基づいて欠陥を有す
る画素を識別することは不可能である。また、出力特性
f1(x)や出力特性f2(x)の差を1つだけ求めて欠陥の有
無を判定しようとしても、白傷や黒傷を正確に識別する
ことはできず、欠陥の有無を厳密に判定することができ
ない。
【0029】そこで、本発明においては、固体撮像素子
の画素の出力特性を次式(1)の関数で表し、この関数
を用いて、欠陥を有する画素を識別している。
【0030】y(x)=ax+b …(1) ただし、y(x)は被検査画素(被検査光電変換素子)の
出力レベル、xは入射光量、aは該画素の光電係数、b
は入射光量が無い状態での該画素のオフセット出力レベ
ルである。
【0031】正常な各画素の関数を比較すると、該各関
数の係数a、bの値は、相互に近くなって、平均的な基
準光電係数a0、基準オフセット出力レベルb0に略等し
くなる。また、黒傷を有する画素の関数の場合は、該画
素の関数の光電係数aが基準光電係数a0よりも小さく
なる。更に、白傷を有する画素の関数の場合は、該画素
の関数のオフセット出力レベルbが基準オフセット出力
レベルb0よりも大きくなる。
【0032】画素の関数の光電係数a及びオフセット出
力レベルbは、入射光量に関係無く、常に一定のため、
該画素の関数を導出すれば、該画素の欠陥の有無と種類
を特定することができる。
【0033】被検査画素に、暗から明までの相互に異な
るN個の入射光量x0,x1,…,x N-1を与えて、該被
検査画素の各出力レベルy0,y1,…,yN-1を得たと
き、上記式(1)に基づいて該被検査画素の入出力関係
を次式(5)によって表すことができる。
【0034】
【数1】 ……(5)
【0035】被検査画素の光電係数a及びオフセット出
力レベルbを最小2乗法によって求める場合、光電係数
a及びオフセット出力レベルbは、次式(6)によって
導出される誤差の2乗の総和σを最小にすることを条件
に、次式(7)に被検査画素の入射光量xi及び実際の
出力レベルyiを代入すれば導出することができる(最
小2乗法については、例えば日本機械学会編、朝倉書店
出版、「センサと信号処理システムII」、pp10-11、198
5を参照)。
【0036】
【数2】 ……(6)
【0037】
【数3】 ……(7)
【0038】本発明においては、標準光量発生装置を用
いないため、被検査画素の入射光量xiが標準光量でな
く、特定されない。このため、上記式(7)から光電係
数a及びオフセット出力レベルbを導出するに先立っ
て、この入射光量xiを推定する。
【0039】被検査画素の入射光量xiを推定するため
に、まず、該被検査画素の近傍領域において、例えば該
被検査画素の出力、及び該被検査画素の上下左右の各画
素の出力を選択する。このとき、選択した各画素のうち
に含まれる同じ種類の欠陥を有する画素の数が選択した
各画素の半数以下であれば、選択した各画素の出力レベ
ルの中央値y0を次式(8)のメディアンフィルタによ
って抽出して、正常な画素の出力レベルを求めることが
できる。
【0040】
【数4】 ……(8)
【0041】ただし、yi(i=1,……,5)は近傍
領域の5個の画素の出力レベルである。
【0042】例えば、y1が正常な画素の出力レベル、
2,y3が黒傷を有する画素の出力レベル(正常な画素
の出力レベルよりも小さい)、y4,y5が白傷を有する
画素の出力レベル(正常な画素の出力レベルよりも大き
い)とすると、メディアンフィルタによって抽出された
中央値y0は、正常な画素の出力レベルy1となる。ある
いは、近傍領域から正常な各画素のみが選択されたとき
には、正常な各画素の出力レベルのうちの中央値が選択
される。
【0043】正常な画素の出力レベルy0を求めると、
この出力レベルy0を次式(2)に代入して、被検査画
素の入射光量xを求めることができる。
【0044】x=(y0−b0)/a0 …(2) ただし、a0は正常な各画素の平均的な基準光電係数、
0は正常な各画素の平均的な基準オフセット出力レベ
ルである。
【0045】暗から明までの相互に異なるN個の入射光
量x0,x1,…,xN-1の光を入射する度に、近傍領域
から正常な画素の出力レベルy0を求め、この出力レベ
ルy0を上記式(2)に代入し、これによって該各入射
光量x0,x1,…,xN-1を逆算して求める。
【0046】こうして被検査画素の各入射光量x0
1,…,xN-1が求められると、これらの入射光量と、
該各入射光量に対する被検査画素の実際の出力レベルy
0,y1,…,yN-1を上記式(7)に代入して、該被検
査画素の光電係数a及びオフセット出力レベルbを導出
することができる。
【0047】更に、カラー表示を前提とすると、各表示
色毎に、基準光電係数a0が異なる。このため、例えば
R,G,Bの3原色によってカラー表示を行うならば、
R,G,Bの各原色毎に、基準光電係数a0を設定する
必要がある。この場合、各原色毎に、被検査画素の近傍
領域から該被検査画素と同一の表示色を表す各画素を選
択し、選択した各画素について、上記式(8)に基づく
出力レベルの中央値の抽出、上記式(2)に基づく入射
光量xの導出、及び上記式(7)に基づく光電係数aの
導出を逐次行う。
【0048】ただし、上記式(2)において、R,G,
Bの各原色の予め設定された基準光電係数をa0R
0G,a0Bとする。また、R,G,Bの各原色毎に求め
られたそれぞれの光電係数をaR,aG,aBとする。
【0049】オフセット出力レベルb、及び基準オフセ
ット出力レベルb0については、各原色別に求める必要
がなく、各原色に共通の値を設定すれば良い。
【0050】ところで、本発明の様に標準光量発生装置
等の格別な機器を用いない場合は、固体撮像素子の全体
に均一な光量を入射させることは非常に困難である。こ
のため、本発明においては、被検査画素の近傍領域を可
能な限り小さくして、均一な光量が入射する近傍領域を
設定せなばならない。
【0051】例えば、カラー表示のために図2に示す様
な原色ベイヤー配列のカラーフィルターを利用している
場合、原色Rについては、被検査画素R1の近傍領域mas
k1を設定し、この近傍領域mask1から9個の各画素R1,
Riを選択して、入射光量を求める。同様に、原色Bに
ついては、被検査画素B1の近傍領域mask2を設定し、こ
の近傍領域mask2から9個の各画素B1,Biを選択し
て、入射光量を求める。更に、原色Gについては、被検
査画素G1の近傍領域mask3もしくはmask4を設定し、こ
れらの近傍領域mask3もしくはmask4から9個の各画素G
1,Giもしくは5個の各画素G1,Giを選択して、入
射光量を求める。
【0052】原色Gは人が最も鋭敏に感知するので、こ
の原色Gについては、最も小さな近傍領域mask4を設定
し、これによって被検査画素の入射光量を厳密に求めて
るのが好ましい。
【0053】この様にして各被検査画素毎に、入射光量
及び出力レベルを求め、被検査画素の表示色に応じて各
光電係数aR,aG,aBのいずれかを導出するととも
に、R,G,Bの各原色に共通の基準オフセット出力レ
ベルb0を導出した後、次式(9)、(10)及び(1
1)に基づいて、各被検査画素の欠陥の有無と種類を判
定する。
【0054】被検査画素の原色Rを表示する場合は、 |a0R−aR|<ΔaR かつ |b0−b|<ΔbR :欠陥無し |a0R−aR|≧ΔaR :黒傷有り |b0−b|≧ΔbR :白傷有り …(9) 被検査画素の原色Bを表示する場合は、 |a0B−aB|<ΔaB かつ |b0−b|<ΔbB :欠陥無し |a0B−aB|≧ΔaB :黒傷有り |b0−b|≧ΔbB :白傷有り …(10) 被検査画素の原色Gを表示する場合は、 |a0G−aG|<ΔaG かつ |b0−b|<ΔbG :欠陥無し |a0G−aG|≧ΔaG :黒傷有り |b0−b|≧ΔbG :白傷有り …(11) ただし、ΔaR,ΔaB,ΔaG、及びΔbR,ΔbB,Δ
Gはしきい値であり、判別精度の向上を考慮して、こ
れらのしきい値をR,G,Bの各原色別に定めている。
【0055】なお、上記式(7)に基づいて光電係数a
及びオフセット出力レベルbを求めるには、該式(7)
の左辺の変数が0でなければ、つまり次式(12)が成
立しなければならない。すなわち、上記式(5)のN個
の関数列は相互に独立していなければならない。理想条
件に近い(ホワイトノイズなどが存在しない)場合に
は、N個の関数列が相関であるために、該式(12)が
成立しなくなる。このとき、光電係数a=a0、オフセ
ット出力レベルb=b0となる。
【0056】
【数5】 ……(12)
【0057】こうして各被検査画素毎に、被検査画素の
欠陥の有無と種類を判定した後、被検査画素に欠陥があ
れば、この欠陥を有する画素の出力レベルを補正する。
【0058】白傷を有する画素は、その出力に加算され
るバイアス電圧が温度に応じて変化し、また黒傷を有す
る画素は、その感度が劣化しているので、画素の出力に
対して一定の電圧を加算したり減算するという補正方法
は充分とはいえず、欠陥を有する画素の出力信号を該画
素の近傍の他の各画素の出力信号によって補正するのが
適切である。
【0059】また、水平方向及び垂直方向のいずれか一
方に並ぶ他の各画素の出力信号だけでなく、両方向に並
ぶ他の各画素の出力信号に基づいて、欠陥を有する画素
の出力信号を補正するのが望ましい。これは、欠陥を有
する画素が被写体のエッジに位置している場合、エッジ
から水平方向及び垂直方向に並ぶ各画素による表示が異
なるので、欠陥を有する画素一方のみに並ぶ他の各画素
の出力信号を用いて補正を行うと、色ずれが生じるため
である。
【0060】更に、表示される各原色毎に、画素の出力
レベルの補正を行うことが望ましい。例えばR、G、B
の各原色を表示している場合、Gの原色は、R、Bの各
原色よりも重要であるため、原色ベイヤー配列の分布を
利用して、Gの原色をより精密に補正する。
【0061】例えば、図2に示す様に、原色Rについて
は、被検査画素R1の近傍領域mask1を設定し、原色Bに
ついては、被検査画素B1の近傍領域mask2を設定する。
そして、被検査画素の補正された出力レベルをy(i,
j)とすると、次式(13)に基づいて、該被検査画素
の近傍領域における該被検査画素と同一の表示色を有す
る他の8個の各画素の出力レベルの平均を求める。
【0062】 y(i,j)=[y(i-2,j-2)+y(i,j-2)+y(i+2,j-2) +y(i-2,j)+y(i+2,j)+y(i-2,j+2) +y(i,j+2)+y(i+2,j+2)]/8 ……(13) また、図2に示す様に、原色Gについては、被検査画素
G1の近傍領域mask4を設定する。そして、被検査画素の
補正された出力レベルをy(i,j)とすると、次式(1
4)に基づいて、該被検査画素の近傍領域における該被
検査画素と同一の表示色を有する他の4個の各画素の出
力レベルの平均を求める。
【0063】 y(i,j)=[y(i-1,j-1)+y(i+1,j-1)+y(i-1,j+1) +y(i+1,j+1)]/4 ……(14) ただし、i,j等は画素の座標を示す。
【0064】原色Gは人が最も鋭敏に感知するので、こ
の原色Gについては、最も小さな近傍領域mask4を設定
し、これによって出力レベルを厳密に求めている。
【0065】さて、本発明の画素欠陥検出装置の一実施
形態は、例えばデジタルスチルカメラの固体撮像素子
(CCD)の画素欠陥検出のために適用される。このデ
ジタルスチルカメラには、画素欠陥検出のための専用モ
ードを設定しておく。この専用動作モードを設定した場
合は、所定の操作のもとに、固体撮像素子の欠陥検出が
ほぼ自動的に行われ、欠陥を有する画素の位置や該画素
の出力特性が記録され、通常の撮像モードを設定したと
きには、この記録内容に基づいて、欠陥を有する画素の
出力信号が補正される。
【0066】固体撮像素子の画素欠陥検出に際しては、
欠陥を有する画素の出力信号の誤差量を低下させないた
めに、固体撮像素子の出力信号に対してγ補正を施さな
い。
【0067】本実施形態の画素欠陥検出装置において
は、固体撮像素子の入射光を変化させて、固体撮像素子
の出力特性を求める。固体撮像素子の入射光を変化させ
るために、デジタルスチルカメラの絞り、ストロボ、シ
ャッタースピード等の機能を適宜に組み合わせて、これ
らの機能を作動させる。
【0068】また、固体撮像素子の全体にほぼ一様なレ
ベルの入射光を入射させるために、デジタルスチルカメ
ラのピントをずらす。例えば、一様な階調の壁やパネル
をデジタルスチルカメラによって撮像し、これによって
固体撮像素子の全体にほぼ一様なレベルの入射光を入射
させる場合でも、デジタルスチルカメラのピントをずら
せば、被写体の階調ムラや該被写体に対する照明のむら
をぼかすことができ、固体撮像素子の全体により均一な
レベルの入射光を入射させることができる。
【0069】図3は、本発明の画素欠陥検出装置の一実
施形態を適用したデジタルスチルカメラ示すブロック図
である。図3において、光は、レンズ部1、絞り2及び
シャッター3を介して固体撮像素子(例えばCCD)4
に入射し、この固体撮像素子4の撮像画面に映像が投影
される。固体撮像素子4は、複数の光電変換素子(以下
画素と称す)を水平及び垂直方向に配列してなり、映像
が該各画素に投影される。これらの画素の出力信号は、
スイッチングモジュール5を介して画像処理部6に順次
送出される。ストロボ7は、シャッター3の開閉動作に
同期して発光し、光を被写体に照射するものである。操
作キー群8は、該デジタルスチルカメラを操作するため
のものである。
【0070】画像処理部6は、画像メモリ11、EER
OM12、データテーブル13及び制御信号生成部1
4、プロセッサ15等を備えている。画像メモリ11
は、固体撮像素子4の各画素の出力レベル、つまり撮像
された画像を示す画像データを記録するものであり、少
なくとも3つの画像を記録することができる。EERO
M12は、欠陥を有する画素の座標位置、R,G,Bの
各原色毎に予め設定された各基準光電係数a0R,a0G
0B、各しきい値ΔaR,ΔaB,ΔaG、各しきい値Δ
R,ΔbB,ΔbG、及び基準オフセット出力レベル
0、固体撮像素子4の撮像画面のサイズ(撮像画面に
おける水平及び垂直方向の各画素数I0×J0)等を記憶す
るものである。データテーブル13は、画像データに施
されるγ補正を行うときに用いられるデータ、画像デー
タに施されるJPEG圧縮を行うときに用いられるデータ等
を記憶している。制御信号生成部14は、プロセッサ1
5からの指令に応答して、レンズ部1、絞り2、シャッ
ター3、固体撮像素子4、スイッチングモジュール5、
及びストロボ7等を制御するための制御信号を生成して
出力する。プロセッサ15は、該画像処理部6を統括的
に制御し、画像データの処理、各種の演算処理等を行
う。
【0071】この様な画像処理部6は、1チップのLS
I上に作製することができる。
【0072】本実施形態のデジタルスチルカメラにおい
ては、操作キー群8を操作することによって、通常の撮
影動作モードを選択することができる。
【0073】通常の撮影動作モードにおいては、操作キ
ー群8が適宜に操作されると、これに応答してプロセッ
サ15は、レンズ部1を駆動制御して、固体撮像素子4
の撮像画面に投影される映像のピントを合わせ(オート
フォーカス)、絞り2による絞り量を調節し、シャッタ
ー3を開閉し、ストロボ7をシャッター3の開閉動作に
同期させて発光させる。この結果、映像が固体撮像素子
4によって撮像される。プロセッサ15は、スイッチン
グモジュール5を通じて固体撮像素子4から画像データ
を入力して、該画像データを画像メモリ11に一旦記憶
し、この画像データに対する画像処理(γ補正や画像圧
縮)を施し、この画像データを図示しない記録媒体の録
画機構に送出する。録画機構は、画像データを記録媒体
に記録する。
【0074】また、本実施形態のデジタルスチルカメラ
においては、操作キー群8を操作することによって、画
素欠陥検出モードを選択することができる。画素欠陥検
出モードを選択した場合、プロセッサ15は、図4のフ
ローチャートに示す処理を実行し、これによって欠陥を
有する画素を自動的に検出し、この画素の座標位置をE
EROM12に記憶する。このため、格別の装置や知識
は不要であり、ユーザであっても、欠陥画素の検出を行
うことができる。
【0075】まず、プロセッサ15は、画像メモリ11
内に3枚分の画像データの格納領域を用意し、またγ補
正、画像圧縮、レンズ部1のオートフォーカスを停止
し、更に該レンズ部1を駆動制御して、該レンズ部1の
ピントを例えば∞に合わせる(ステップ101,10
2)。
【0076】この後、プロセッサ15は、シャッター3
による開放時間を0に設定してから、固体撮像素子4の
各画素の出力信号をスイッチングモジュール5を介して
入力し、これらの画素の出力レベルを画像メモリ11の
1枚目の画像データの格納領域に記憶する(ステップ1
03)。
【0077】シャッター3による開放時間を0に設定し
た場合は、固体撮像素子4の各画素に対する入射光量が
0であるから、該各画素の出力レベルは最も低くなる。
【0078】引き続いて、プロセッサ15は、絞り2を
開放に設定し、シャッター3を開閉し、ストロボ7をシ
ャッター3の開閉動作に同期させて発光させる。そし
て、プロセッサ15は、固体撮像素子4の各画素の出力
信号をスイッチングモジュール5を介して入力し、これ
らの画素の出力レベルを画像メモリ11の2枚目の画像
データの格納領域に記憶する(ステップ104)。
【0079】このとき、シャッター3の開放時間は、固
体撮像素子4がオーバーフローとなる直前の入射光量が
該固体撮像素子4の各画素に入射する様に設定され、こ
れによって該各画素の出力レベルが最も高くなる。ま
た、先に述べた様に、一様な階調の壁やパネルを撮像す
れば、固体撮像素子4により撮像された映像が略一様の
階調になるので、欠陥を有する画素を検出するには好ま
しい。その上、レンズ部1のピントを∞に合わせている
ので、固体撮像素子4により撮像された映像がぼけて更
に一様な階調となる。この様な一様の階調の映像は、出
力レベルが特に低かったり(暗い)、出力レベルが特に
高い(明るい)画素、つまり欠陥を有する画素を検出す
るのに好適である。
【0080】更に、プロセッサ15は、絞り2を充分に
絞り込み、シャッター3を開閉し、ストロボ7をシャッ
ター3の開閉動作に同期させて発光させる。そして、プ
ロセッサ15は、固体撮像素子4の各画素の出力信号を
スイッチングモジュール5を介して入力し、これらの画
素の出力レベルを画像メモリ11の3枚目の画像データ
の格納領域に記憶する(ステップ105)。
【0081】絞り2を充分に絞り込み、ストロボ7を発
光させて、シャッター3を開閉しているので、固体撮像
素子4の各画素に対する入射光量がステップ103と1
04のときの各入射光量の中間になり、該各画素の出力
レベルも中間となる。このときも、デジタルスチルカメ
ラの視野がステップ104のときと同一であるのが好ま
しく、先に述べた様に、一様な階調の壁やパネルを撮像
するのが良い。勿論、レンズ部1のピントを∞に合わせ
ているので、固体撮像素子4により撮像された映像がぼ
けて更に一様な階調となる。
【0082】この様に各ステップ103,104,10
5においては、入射光量が最小のときの固体撮像素子4
の各画素の出力レベル、入射光量が中間のときの固体撮
像素子4の各画素の出力レベル、及び入射光量が最大の
ときの固体撮像素子4の各画素の出力レベルを画像メモ
リ11に記憶する。
【0083】これによって、固体撮像素子4の各画素毎
に、上記式(5)の入出力関係(N−1=2)が実現さ
れる。
【0084】次に、プロセッサ15は、固体撮像素子4
の各画素のアドレスデータ、つまり座標位置(i,j)を
順次指定し、座標位置(i,j)を指定する度に、指定し
た座標位置(i,j)に基づいて、該座標位置(i,j)に
ある画素がR,G,Bの各原色のいずれを表示するのか
を判定し、更に該画素の関数を導出して、該画素の欠陥
の有無と種類を判定する。
【0085】本実施形態では、図2に示す原色ベイヤー
配列のカラーフィルターを利用しているので、画素の座
標位置(i,j)に基づいて、該座標位置(i,j)にある
画素がR,G,Bの各原色のいずれを表示するのかを判
定することができる。
【0086】最初、プロセッサ15は、座標位置(i,
j)を(0,0)に初期設定する。また、R,G,Bの各
原色毎に予め設定された各基準光電係数a0R,a0G,a
0B、各しきい値ΔaR,ΔaB,ΔaG、各しきい値Δ
R,ΔbB,ΔbG、及び基準オフセット出力レベル
0、固体撮像素子4の撮像画面のサイズ(撮像画面に
おける水平及び垂直方向の各画素数(I0-1)×(J0-1))
等をEEROM12から読み出す(ステップ106)。
【0087】そして、プロセッサ15は、座標位置
(i,j)のi,j別に、偶数であるか否かを判定する(ス
テップ107,108)。
【0088】ここでは、初期設定された座標位置(0,
0)の0が偶数とみなされ(ステップ107,108共
にYes)、図2に示す原色ベイヤー配列においては i,j
が共に偶数である座標位置の画素がRの原色を表示する
ので、Rの原色を表示する画素の欠陥の有無及び種類の
判定が行われる(ステップ109)。
【0089】上記ステップ109において、プロセッサ
15は、座標位置(0,0)の画素を被検査画素とみな
し、各ステップ103〜105において画像メモリ11
に記憶した3枚分の画像データから必要な各画素の出力
レベルを抽出しつつ、上記式(8)及び(2)に基づい
て、該被検査画素の入射光量を求め、上記式(7)に基
づいて、該被検査画素の光電係数a及びオフセット出力
レベルbを求め、上記式(9)に基づいて、該被検査画
素の欠陥の有無と種類を判定し、該被検査画素に欠陥が
あれば、該被検査画素の欠陥の種類(白傷又は黒傷)と
該座標位置を画像メモリ11に記憶する。
【0090】この後、プロセッサ15は、iに1を加算
して更新した座標位置(i,j)が画像サイズ(I0-1)か
ら外れないことを確認した後(ステップ110,No)、
iに1を加算して座標位置(i,j)を更新し(ステップ
111)、ステップ107に戻る。
【0091】更新した座標位置(i,j)のiは、1とい
う奇数となる。従って、iが奇数と判定され(ステップ
107,No)、jが偶数であると判定され(ステップ1
12,Yes)、図2に示す原色ベイヤー配列においては
該座標位置(i,j)の画素がGの原色を表示するので、
Gの原色を表示する画素の欠陥の有無及び種類の判定が
行われる(ステップ113)。
【0092】ステップ113において、プロセッサ15
は、座標位置(1,0)の画素を被検査画素とみなし、各
ステップ103〜105において画像メモリ11に記憶
した3枚分の画像データから必要な各画素の出力レベル
を抽出しつつ、上記式(8)及び(2)に基づいて、該
被検査画素の入射光量を求め、上記式(7)に基づい
て、該被検査画素の光電係数a及びオフセット出力レベ
ルbを求め、上記式(10)に基づいて、該被検査画素
の欠陥の有無と種類を判定し、該被検査画素に欠陥があ
れば、該被検査画素の欠陥の種類(白傷又は黒傷)と該
座標位置を画像メモリ11に記憶する。
【0093】以降同様に、図2に示す原色ベイヤー配列
においては座標位置(i,0)の各画素の表示色がRとG
に交互に代わるので、ステップ109と113が交互に
行われて、座標位置(i,0)の各画素の欠陥の有無と種
類が判定され、その度に欠陥を有する被検査画素の欠陥
の種類と座標位置が画像メモリ11に記憶される。
【0094】そして、iに1を加算して更新したiがI0
に達すると(ステップ110,Yes)、プロセッサ15
は、jに1を加算して更新した座標位置(i,j)が画像
サイズ(J0-1)から外れないことを確認した後(ステップ
114,No)、jに1を加算してjを1に更新する(ス
テップ115)。このjが奇数であるため(各ステップ
108,112共にNo)、iが偶数であるか否かに応じ
て(ステップ107)、各ステップ113,116のい
ずかが行われる。
【0095】ステップ113においては、先に述べた様
にGの原色を表示する画素の欠陥の有無及び種類の判定
が行われる。ステップ114においては、Bの原色を表
示する画素の欠陥の有無及び種類の判定が行われる。こ
の判定を行うために、プロセッサ15は、各ステップ1
03〜105において画像メモリ11に記憶した3枚分
の画像データから必要な各画素の出力レベルを抽出しつ
つ、上記式(8)及び(2)に基づいて、被検査画素の
入射光量を求め、上記式(7)に基づいて、該被検査画
素の光電係数a及びオフセット出力レベルbを求め、上
記式(11)に基づいて、該被検査画素の欠陥の有無と
種類を判定し、該被検査画素に欠陥があれば、該被検査
画素の欠陥の種類(白傷又は黒傷)と該座標位置を画像
メモリ11に記憶する。
【0096】図2に示す原色ベイヤー配列から明らかな
様に、座標位置(i,1)の各画素の表示色がBとGに交
互に代わるので、ステップ109と113を交互に行う
ことによって、座標位置(i,1)の各画素の欠陥の有無
と種類を判定することができる。プロセッサ15は、欠
陥を有する被検査画素の欠陥の種類と座標位置を画像メ
モリ11に記憶する。
【0097】以降同様に、jに1を加算する度に、iを
0〜(I0-1)の範囲で順次変化させて、座標位置(0〜(I
0-1),j)の各画素の欠陥の有無と種類を逐次判定し、
1を加算して更新したiが(I0-1)に達し(ステップ1
10,Yes)、かつ1を加算して更新したjが (J0-1)に
達すると(ステップ114,Yes)、全ての画素につい
て欠陥の有無と種類の判定を終了したことになるので、
プロセッサ15は、欠陥を有する全ての各画素の欠陥の
種類と座標位置を画像メモリ11から読み出してEER
OM12に記憶する。
【0098】こうして固体撮像素子4の全ての各欠陥画
素の欠陥の種類と座標位置をEEROM12に記憶した
後には、先に述べた撮影動作モードにおいて、各欠陥画
素の出力レベルを補正するために次の様な処理がなされ
る。
【0099】操作キー群8を操作して、通常の撮像モー
ドを設定すると、映像が固体撮像素子4によって撮像さ
れ、プロセッサ15は、スイッチングモジュール5を通
じて固体撮像素子4から画像データを入力する。
【0100】スイッチングモジュール5は、図5に示す
様に構成されており、3つの各端子SW1,SW2,SW
3を備えている。切片5aが端子SW1に切換接続されて
いるときには、固体撮像素子4の出力がそのままプロセ
ッサ15に送出され、各画素の出力レベルが画像メモリ
11に記憶される。
【0101】また、プロセッサ15は、EEROM12
から欠陥を有する画素の座標位置(i,j)を読み出し、
該座標位置(i,j)に基づいて欠陥を有する該画素の表
示色を識別し、該画素の出力信号が出力されるタイミン
グで、スイッチングモジュール5を端子SW2又はSW3
に切り換える。つまり、図4の各ステップ107,10
8,112と同様に座標位置(i,j)に基づいて欠陥を
有する画素の表示色を判定し、該画素の表示色がR及び
Bであれば、出力信号が該画素から出力されるタイミン
グで、スイッチングモジュール5を端子SW2に切り換
え、また該画素の表示色がGであれば、出力信号が該画
素から出力されるタイミングで、スイッチングモジュー
ル5を端子SW3に切り換える。
【0102】プロセッサ15は、R及びBの原色を有す
る欠陥画素の出力信号をスイッチングモジュール5の端
子SW2から入力したときには、上記式(13)の演算
を行うのに必要なデータが固体撮像素子4から画像メモ
リ11に送出され記録された時点で、該式(13)の演
算を行って、該欠陥画素の出力レベルを求め、この求め
られた出力レベルを画像メモリ11の該欠陥画素のアド
レスに記憶する。
【0103】また、プロセッサ15は、Gの原色を有す
る欠陥画素の出力信号をスイッチングモジュール5の端
子SW3から入力したときには、上記式(14)の演算
を行うのに必要なデータが固体撮像素子4から画像メモ
リ11に送出され記録された時点で、該式(14)の演
算を行って、該欠陥画素の出力レベルを求め、この求め
られた出力レベルを画像メモリ11の該欠陥画素のアド
レスに記憶する。
【0104】この様にスイッチングモジュール5の切片
5aを各端子SW1,SW2,SW3に切り換えることに
よって、固体撮像素子4からの画像データを画像メモリ
11に記憶しつつ、ほぼリアルタイムで、欠陥画素の出
力レベルを補正することができる。
【0105】この後、画像メモリ11内の画像データに
対する画像処理(γ補正や画像圧縮)を施し、この画像
データを記録媒体の録画機構に送出して、画像データを
記録媒体に記録する。
【0106】なお、図4の各ステップ107,108,
112と同様に座標位置(i,j)に基づいて欠陥を有す
る画素の表示色を判定する代わりに、i及びjの最下位
ビットが0のときにはi及びjが偶数であり、i及びj
の最下位ビットが1のときにはi及びjが奇数であるこ
とに着目し、iとjの排他的論理和が偽であれば、画素
の表示色がR又はBであると判定し、iとjの排他的論
理和が真であれば、画素の表示色がGであると判定して
も良い。
【0107】なお、先に述べた画素欠陥検出モードを選
択したときには、切片5aが端子SW1に常に接続され
ている。
【0108】以上の説明から明らかな様に、本実施形態
のデジタルスチルカメラにおいては、標準光量発生装置
や格別の支援システム等を必要とせず、複数回の撮像に
よって3枚の画像データを得るだけで、欠陥画素の座標
位置や種類、あるいは欠陥画素の出力信号の補正が自動
的に行われるので、ユーザであっても欠陥画素の検出及
び補正を容易に実施することが可能である。
【0109】本発明は、上記実施形態に限定されるもの
でなく、多様に変形することが可能である。例えば、各
画素毎に、3つの入射光量に対する3つの出力レベルに
基づいて、光電係数a及びはオフセット出力レベルbを
求めているが、2つの入射光量に対する2つの出力レベ
ルに基づいて、あるいは4つの入射光量に対する4つの
出力レベルに基づいて、光電係数a及びはオフセット出
力レベルbを求めても良い。
【0110】また、2つの入射光量に対する2つの出力
レベルに基づいて、光電係数a及びはオフセット出力レ
ベルbを求める場合は、上記各(5),(6),(7)
を必要とせず、上記式(8),(2)に基づいて2つの
入射光量を求め、これらの入射光量に対する画素の2つ
の出力レベルを検出すれば、光電係数a及びはオフセッ
ト出力レベルbを導出することができる。
【0111】更に、本実施形態においては、画素の出力
を1次関数によって近似的に表しているが、これは演算
回路の規模、演算量及び演算時間を実用的な範囲におさ
めるためである。光電変換素子の出力特性は、厳密には
非線形である。また、光電変換素子の出力特性を1つの
線形関数で近似することが困難なときには、演算回路の
規模、演算量及び演算時間の増大を可能な限り抑えるこ
とを条件に、複数の線形関数の組み合わせや別の関数を
適用することが考えられる。どの様な関数を採用するに
しても、画素の実際の出力特性を関数で表して、この関
数の係数の大小によって該画素の欠陥の有無と種類を判
定する。
【0112】また、上記式(8)のメディアンフィルタ
だけでなく、他の方法によって正常な画素の出力レベル
を求めても良い。例えば、被検査画素の近傍領域におけ
る各画素の出力レベルの最大値と最小値を除いてから、
メディアンフィルタを適用したり、被検査画素の近傍領
域における各画素の出力レベルに対して周知の統計処理
を施すことによって、正常な画素の出力レベルを求めて
も良い。更に、被検査画素の近傍領域として様々な領域
を指定しても構わない。
【0113】また、本実施形態では、CCDを例示して
いるが、本発明は、これに限定されるものではない。例
えば、CID、CPD等の固体撮像素子にも、本発明を
適用することができる。あるいは、本発明は、デジタル
スチルカメラだけでなく、ビデオカメラ、フィルムスキ
ャナー等の固体撮像素子に適用することができる。
【0114】更に、カラーフィルターとして、原色ベイ
ヤー配列のカラーフィルターを例示しているが、各原色
や各補色等を所定の法則に従って配列した他の種類のカ
ラーフィルターを適用することが可能である。
【0115】
【発明の効果】以上説明した様に、本発明によれば、被
検査光電変換素子の入射光量を変化させたときの該入射
光量に対する該被検査光電変換素子の出力特性を求め、
該被検査光電変換素子の出力特性に基づいて該被検査光
電変換素子の欠陥を判定している。
【0116】あるいは、本発明によれば、相互に異なる
複数の入射光量に対する被検査光電変換素子の各出力を
画像メモリに記憶しておき、該各入射光量、該各出力及
び次式(1)に基づいて、該被検査光電変換素子の光電
係数a及び入射光量が無い状態での該被検査光電変換素
子のオフセット出力レベルbを求め、該光電係数a及び
該オフセット出力レベルbを予め設定された基準光電係
数a0及び基準オフセット出力レベルb0と比較すること
により、該被検査光電変換素子の欠陥を判定している。
【0117】y(x)=ax+b …(1) ただし、y(x)は前記被検査光電変換素子の出力、xは
入射光量である。
【0118】この様に被検査光電変換素子の出力特性を
求め、この出力特性に基づいて、該被検査光電変換素子
の欠陥を判定する場合は、従来の様に標準光量発生装置
や格別の支援システム等をを必要としないので、ユーザ
であっても容易に光電変換素子の欠陥を検出することが
できる。また、光電変換素子の欠陥の有無だけでなく、
その種類をも判定することが可能となる。
【0119】また、固体撮像素子に対する焦点をずらし
た状態で、光電変換素子の出力を求めているので、該光
電変換素子の近傍領域においては略一様な光が入射する
ことになり、この近傍領域の複数の光電変換素子の出力
信号から正常な光電変換素子の出力信号を特定して、実
際の入射光量を推定することが可能になる。
【0120】更に、各入射光量は、固体撮像素子に光が
入射していないときの入射光量、及び固体撮像素子がオ
ーバーフローとなる直前の入射光量等に設定している。
これらの入射光量は、ビデオカメラやデジタルスチルカ
メラのシャッター速度、絞り、ストロボ等を適宜に制御
することによって容易に実施することができる。
【0121】また、カラー表示の場合は、各表示色別
に、光電変換素子の検査を行っているので、光電変換素
子の欠陥の有無と種類を正確に判定することができる。
【0122】更に、カラー表示の場合は、各画素のアド
レスデータ(座標位置)に基づいて、各画素の表示色を
判定しているので、演算を速やかに行うことができる。
【0123】
【図面の簡単な説明】
【図1】光電変換素子の入出力特性を説明するために用
いたグラフである。
【図2】原色ベイヤー配列のカラーフィルターにおける
各原色の配列を示す平面図である。
【図3】本発明の画素欠陥検出装置の一実施形態を適用
したデジタルスチルカメラ示すブロック図である。
【図4】図3の装置における処理を示すフローチャート
である。
【図5】図3の装置におけるスイッチングモジュールを
示すブロック図である。
【図6】光電変換素子の入出力特性を説明するために用
いたグラフである。
【符号の説明】
1 レンズ部 2 絞り 3 シャッター 4 固体撮像素子 5 スイッチングモジュール 6 画像処理部 7 ストロボ 8 操作キー群 11 画像メモリ 12 EEROM 13 データテーブル 14 制御信号生成部 15 プロセッサ
フロントページの続き Fターム(参考) 5C021 PA58 PA78 PA80 PA82 PA92 YA06 5C024 AA01 BA01 CA09 DA01 FA01 FA11 GA11 HA24 HA25 5C061 BB03 BB11

Claims (13)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 複数の光電変換素子を配列してなる固体
    撮像素子の画素欠陥検出装置において、 被検査光電変換素子の入射光量を変化させたときの該入
    射光量に対する該被検査光電変換素子の出力特性を求
    め、該被検査光電変換素子の出力特性に基づいて該被検
    査光電変換素子の画素欠陥の有無を判定する演算手段を
    備える固体撮像素子の画素欠陥検出装置。
  2. 【請求項2】 前記各光電変換素子の出力信号を記憶す
    る画像メモリを備え、 前記演算手段は、前記画像メモリ内の前記被検査光電変
    換素子の出力信号を用いて、該被検査光電変換素子の出
    力特性を求める請求項1に記載の固体撮像素子の画素欠
    陥検出装置。
  3. 【請求項3】 前記被検査光電変換素子の出力特性は、
    異なる複数の入射光量に対する該被検査光電変換素子の
    複数の出力信号で表される請求項1又は2に記載の固体
    撮像素子の画素欠陥検出装置。
  4. 【請求項4】 複数の光電変換素子を配列してなる固体
    撮像素子の画素欠陥検出装置において、 異なる複数の入射光量に対する被検査光電変換素子の各
    出力を記憶する画像メモリと、 該各入射光量、該各出力及び次式(1)に基づいて、該
    被検査光電変換素子の光電係数a及び入射光量が無い状
    態での該被検査光電変換素子のオフセット出力レベルb
    を求め、該光電係数a及び該オフセット出力レベルbを
    予め設定された基準光電係数a0及び基準オフセット出
    力レベルb0と比較することにより、該被検査光電変換
    素子の画素欠陥の有無を判定する演算手段を備える固体
    撮像素子の画素欠陥検出装置。 y(x)=ax+b …(1) ただし、y(x)は前記被検査光電変換素子の出力、xは
    入射光量である。
  5. 【請求項5】 前記固体撮像素子に映像を投影する光学
    手段を備え、 前記固体撮像素子に対する前記光学手段の焦点をずらし
    た状態で、前記光電変換素子の出力を求める請求項1乃
    至4のいずれかに記載の固体撮像素子の画素欠陥検出装
    置。
  6. 【請求項6】 前記各入射光量は、前記固体撮像素子に
    光が入射していないときの入射光量、及び前記固体撮像
    素子がオーバーフローとなる直前の入射光量を含む請求
    項3乃至5のいずれかに記載の固体撮像素子の画素欠陥
    検出装置。
  7. 【請求項7】 予め設定されている基準光電変換係数a
    0及び基準オフセットレベルb0と、前記画像メモリに記
    憶されている被検査光電変換素子に対して基準となる光
    電変換素子の出力信号y0を次式(2)に代入して、前
    記入射光量xを求める請求項4乃至6のいずれかに記載
    の固体撮像素子の画素欠陥検出装置。 x=(y0−b0)/a0 …(2)
  8. 【請求項8】 前記光電変換素子の出力y0は、少なく
    とも前記被検査光電変換素子の近傍領域に含まれる複数
    の光電変換素子の出力のうちの中央値に設定される請求
    項7に記載の固体撮像素子の画素欠陥検出装置。
  9. 【請求項9】 前記近傍領域に含まれる前記各光電変換
    素子として、カラー表示用の各表示色のうちの前記被検
    査光電変換素子と同一の表示色を表すものだけが選択さ
    れる請求項8に記載の固体撮像素子の画素欠陥検出装
    置。
  10. 【請求項10】 前記被検査光電変換素子の光電係数a
    及びオフセット出力レベルbと、前記基準光電係数a0
    及び前記基準オフセット出力レベルb0を次式(3)に
    代入して、該被検査光電変換素子の欠陥の有無を判定す
    る請求項4乃至9のいずれかに記載の固体撮像素子の画
    素欠陥検出装置。 |a0−a|<Δa かつ |b0−b|<Δb:欠陥無し …(3) ただし、Δa及びΔbは予め設定された各しきい値であ
    る。
  11. 【請求項11】 前記被検査光電変換素子の光電係数a
    及びオフセット出力レベルbと、前記基準光電係数a0
    及び前記基準オフセット出力レベルb0を次式(4)に
    代入して、該被検査光電変換素子の欠陥の有無及び種類
    を判定する請求項4乃至9のいずれかに記載の固体撮像
    素子の画素欠陥検出装置。 |a0−a|<Δa かつ |b0−b|<Δb:欠陥無し |a0−a|≧Δa :黒傷有り |b0−b|≧Δb :白傷有り …(4) ただし、Δa及びΔbは予め設定された各しきい値であ
    る。
  12. 【請求項12】 カラー表示用の各表示色毎に、前記基
    準光電係数a0及び前記しきい値Δaを設定する請求項
    10又は11に記載の固体撮像素子の画素欠陥検出装
    置。
  13. 【請求項13】 前記被検査光電変換素子のアドレスデ
    ータに基づいて、該被検査光電変換素子の表示色を判定
    する判定手段を備え、 前記判定手段の判定に基づいて、前記基準光電係数a0
    及び前記しきい値Δaを設定する請求項10又は11に
    記載の固体撮像素子の画素欠陥検出装置。
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