JP3566940B2 - アレイ導波路回折格子型光合分波器 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、光合波、光分波、光合分波の少なくともいずれか1つに使用されるアレイ導波路回折格子型光合分波器(Arrayed Waveguide grating type Optical Multiplexer/Demultiplexer)に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
近年、光通信においては、その伝送容量を飛躍的に増加させる方法として、光波長多重通信の研究開発が盛んに行なわれ、実用化が進みつつある。光波長多重通信は、例えば互いに異なる波長を有する複数の光を波長多重化して伝送させるものである。このような光波長多重通信のシステムにおいては、伝送される波長多重光から互いに異なる複数の波長の光を分波したり、互いに異なる複数の波長の光を合波する光合分波器が必要である。
【0003】
光合分波器の一例として、アレイ導波路回折格子(AWG;Arrayed Waveguide Grating)型光合分波器がある。アレイ導波路回折格子型光合分波器は、例えば図7の(a)に示すような導波路を有する光導波路部10を基板11上に形成したものである。
【0004】
アレイ導波路回折格子型光合分波器の導波路構成は、1本以上の並設された光入力導波路12と、該光入力導波路12の出射側に接続された第1のスラブ導波路13と、該第1のスラブ導波路13の出射側に接続され、複数並設されたチャネル導波路14aから成るアレイ導波路14と、該アレイ導波路14の出射側に接続された第2のスラブ導波路15と、該第2のスラブ導波路15の出射側に複数並設接続された光出力導波路16とを有して形成されている。
【0005】
前記チャネル導波路14aは、第1のスラブ導波路13から導出された光を伝搬するものであり、互いに設定量異なる長さに形成されている。
【0006】
光入力導波路12や光出力導波路16は、例えばアレイ導波路回折格子型光合分波器によって分波される互いに異なる波長の信号光の数に対応させて設けられる。チャネル導波路14aは、通常、例えば100本といったように多数設けられるが、図7の(a)においては、図の簡略化のために、これらの各導波路12,14a,16の本数を簡略的に示してある。また、アレイ導波路回折格子型光合分波器を形成する導波路は、一般に、図の破線軸Cに対してほぼ対称に形成されている。
【0007】
図7の(a)に示す鎖線枠A内の拡大図の概略図が図7の(b)に示されている。この図に示すように、従来のアレイ導波路回折格子型光合分波器においては、やや曲線形状の光入力導波路12の出射側が第1のスラブ導波路13の入射側に直接接続されている。また、同様に、第2のスラブ導波路15の出射側に、やや曲線形状の光出力導波路16の入射側が直接接続されている。
【0008】
光入力導波路12には、例えば送信側の光ファイバが接続されて、波長多重光が導入されるようになっている。光入力導波路12を通って第1のスラブ導波路13に導入された光は、その回折効果によって広がって複数の各チャネル導波路14aに入射し、アレイ導波路14を伝搬する。
【0009】
アレイ導波路14を伝搬した光は、第2のスラブ導波路15に達し、さらに、光出力導波路16に集光されて出力される。各チャネル導波路14aの長さが設定量互いに異なることから、各チャネル導波路14aを伝搬した後に個々の光の位相にずれが生じ、このずれ量に応じて集束光の波面が傾く。この傾き角度により集光する位置が決まるため、波長の異なった光の集光位置は互いに異なる。このことにより、各波長の集光位置に光出力導波路16を形成することによって、予め定めた設計波長間隔で互いに波長の異なった光を、各波長ごとに異なる光出力導波路16から出力できる。
【0010】
例えば、図7の(a)に示すように、1本の光入力導波路12から、前記設計波長間隔で互いに異なる波長λ1,λ2,λ3,・・・λn(nは2以上の整数)をもつ波長多重光を入力させると、これらの光は、第1のスラブ導波路13で広げられ、アレイ導波路14に到達する。そして、光はさらに第2のスラブ導波路15を通って、前記の如く、波長によって異なる位置に集光され、互いに異なる光出力導波路16に入射する。そして、それぞれの光出力導波路16を通って、光出力導波路16の出射端から出力される。
【0011】
各光出力導波路16の出射端に光出力用の光ファイバを接続することにより、この光ファイバを介して、前記各波長の光が取り出される。
【0012】
また、アレイ導波路型回折格子は、光の相反性(可逆性)の原理を利用しているため、光分波器としての機能と共に、光合波器としての機能も有している。すなわち、図7の(a)とは逆に、互いに前記設計波長間隔で異なる複数の波長の光をそれぞれの波長ごとにそれぞれの光出力導波路16から入射させると、これらの光は、上記と逆の伝搬経路を通って合波され、1本の光入力導波路12から波長多重光が出射される。
【0013】
このアレイ導波路回折格子型光合分波器においては、回折格子の波長分解能の向上が回折格子を構成する隣接するチャネル導波路14a同士の長さの差(ΔL)に比例する。したがって、ΔLを大きく設計することにより、従来の光合分波器では実現できなかった波長間隔の狭い波長多重光の光合分波が可能となる。例えば、ΔLを大きくして分波または合波する設計波長間隔を1nm以下に設計することにより、波長間隔が1nm以下の複数の光信号を分波または合波する機能を果たすことができ、高密度の光波長多重通信の実現に必要とされている複数の信号光の光合分波機能を果たすことができる。
【0014】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、一般に、アレイ導波路回折格子型光合分波器は、外部環境温度(使用環境温度)の変化に対して光透過波長(分波または合波される光の波長)が大きく変化する。そのため、外部環境温度が変化すると、アレイ導波路回折格子型光合分波器を用いて所望の波長の光を正確に合分波することができない。
【0015】
そこで、従来は、温度調節用のペルチェ素子等を設けてアレイ導波路回折格子型光合分波器を一定温度に保つことにより、上記外部環境温度の変動に伴う光透過波長の変動を抑制している。しかし、この種のアレイ導波路回折格子型光合分波器においては、ペルチェ素子とその温度制御のための回路を設けるために、アレイ導波路回折格子型光合分波器のコストが増大し、しかも、温度制御のための電力が必要であるといった問題がある。
【0016】
そのため、外部環境温度に依存することなく、安定にアレイ導波路回折格子型光合分波器によって所望の波長の光を合分波できるようにすることが望まれている。
【0017】
また、アレイ導波路回折格子型光合分波器を用いて光波長多重通信を行なうに際し、この通信を高品質に行なうためには、隣接する通過波長に対するクロストーク(以下、隣接クロストークと呼ぶ)の抑制効果を向上させることも大きな課題となっている。
【0018】
本発明は、上記従来の課題を解決するためになされたものであり、その目的は、外部環境温度に依存することなく、安定に所望の波長の光を合分波でき、アレイ導波路回折格子型光合分波器の隣接クロストークを向上させて高品質の光波長多重通信を実現するアレイ導波路回折格子型光合分波器を提供することにある。
【0019】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明は次のような構成をもって課題を解決するための手段としている。すなわち、本発明は、1本以上の並設された光入力導波路と、前記光入力導波路の出射側に接続された第1のスラブ導波路と、前記第1のスラブ導波路の出射側に接続され、互いに設定量異なる長さの複数並設されたチャネル導波路から成るアレイ導波路と、前記アレイ導波路の出射側に接続された第2のスラブ導波路と、前記第2のスラブ導波路の出射側に複数並設接続された光出力導波路とを有し、予め定めた設計波長間隔の互いに異なる複数の波長をもった光から互いに異なる複数の波長の光を分波する光分波機能と、前記設計波長間隔で互いに異なる複数の波長の光を合波する光合波機能とを有し、少なくとも1本以上の光入力導波路と少なくとも1本以上の光出力導波路との少なくとも一方の光入(出)力導波路には、接続相手のスラブ導波路との間に略矩形状電界分布形成導波路が接続され、該略矩形状電界分布形成導波路は、光入(出)力導波路側から対応するスラブ導波路側に向かう光の電界振幅分布をガウシアン形状から略矩形形状に変化させる導波路であり、前記略矩形状電界分布形成導波路は接続相手の対応するスラブ導波路側に向かうにつれて拡幅する台形状導波路で構成され、この台形状導波路の狭幅端には該狭幅端の幅と同じ幅の等幅直線導波路の一端が接続され、その等幅直線導波路の他端には該等幅直線導波路の幅よりも狭幅の光入(出)力導波路が直接接続されている構成をもって課題を解決する手段としている。
【0020】
本発明のアレイ導波路回折格子型光合分波器は、例えば入力導波路側からスラブ導波路側に向かう光の電界振幅分布をガウシアン形状から略矩形形状に変化させるものであるため、第1のスラブ導波路の入射面において、光入力導波路側から第1のスラブ導波路に入射する光の電界振幅分布を略矩形形状にできる。
【0021】
それにより、アレイ導波路回折格子型光合分波器の透過スペクトルを例えば図2の(b)に示すように、平坦化領域の幅を広くし、しかも、スペクトルの裾野部分の立ち上がりを良好に(急峻に)することが可能となる。
【0022】
そして、このようにすることで、中心波長平坦性を向上させるとともに、隣接クロストークをさらに抑制でき、外部環境温度変化によって光透過中心波長が多少ずれても、アレイ導波路回折格子型光合分波器を支障なく機能することが可能となる。
【0023】
なお、本明細書において、略矩形形状とは、例えば図2の(a)に示すように、山の裾野部分(同図に示すAの部分)の立ち上がりが良好で(裾野部分がなだらかでなく)、山の頂上領域(同図に示す領域B)が比較的平坦な形状(例えば図5のb’に示すような落ち込み部を有して多少凹凸が形成されているものも含む)を表現したものである。
【0024】
また、前記略矩形状電界分布形成導波路を、対応する光入力導波路または光出力導波路の幅よりも広幅で、かつ、対応するスラブ導波路側に向かうにつれて拡幅する台形状導波路により形成したり、台形状導波路の狭幅端側に該狭幅端と等幅の等幅直線導波路部を設けたりすると、上記のように、入力導波路側又は出力導波路側から対応するスラブ導波路側に向かう光の電界振幅分布をガウシアン形状から略矩形形状に変化させることが可能となる。
【0025】
なお、これらの詳細は、本願と同じ柏原、奈良を発明者とした日本国特許出願(出願番号:特願平11−370602号、出願日平成11年12月27日、出願番号:特願2000−58646、出願日2000年3月3日、特願2000−102473、出願日2000年4月4日、特願2000−285448、出願日2000年9月20日)に記述されている。
【0026】
また、上記日本国特許出願における検討により、光入力導波路側又は光出力導波路側から対応するスラブ導波路に入射する光の電界振幅分布を、略矩形形状にすることにより、前記の如く透過スペクトルの平坦性が向上して1dB帯域幅が広くなり、隣接クロストークが小さいアレイ導波路回折格子型光合分波器を提供することが可能になることも確認されている。
【0027】
したがって、本発明のアレイ導波路回折格子型光合分波器は、従来の一般的なアレイ導波路回折格子型光合分波器に比べ、透過スペクトルの1dB帯域幅が広く、隣接クロストークが低いアレイ導波路回折格子型光合分波器とすることが可能となった。
【0028】
すなわち、本発明のアレイ導波路回折格子型光合分波器は以上のことにより、安定した小さい隣接クロストークに抑制できる効果に加え、外部環境温度に依存することなく、所望の波長の光を安定に合分波できる効果が得られるものであり、隣接クロストークが安定化し、かつ、外部環境温度に依存することなく、さらに安定に所望の光を合分波できることになる。
【0029】
【発明の実施の形態】
本発明の一例のアレイ導波路回折格子型光合分波器は、例えば光入力導波路から入力される予め定めた設計波長間隔の互いに異なる複数の波長をもった光から該互いに異なる複数の波長(例えばλ1、λ2、λ3、・・・λn)の光を分波して各光出力導波路から出力する光分波機能を有している。
【0030】
従来のアレイ導波路回折格子型光合分波器の光透過波長特性は例えば図8の(c)に示すものであり、予め定めた設計波長間隔の互いに異なる複数の波長(例えばλ1、λ3、・・・)の光を入力して、予め定めた設計波長間隔の互いに異なる複数の波長(λ1、λ3、・・・)の光を分波して各光出力導波路から出力する。このアレイ導波路回折格子型光合分波器の光透過波長特性は、各光透過中心波長を中心としたスペクトル幅の重なりが多く、低隣接クロストーク化が困難である。
【0031】
一方、本発明の一例においては、例えば、図8の(a)に示す光透過波長特性を有するアレイ導波路回折格子型光合分波器(設計波長間隔がλ1、λ2、λ3、・・・)に、前記設計波長間隔の概略整数倍の波長間隔で互いに異なる複数の波長(例えばλ1、λ3、・・・)をもった波長多重光を入射して、この光を波長が前記波長間隔の整数倍の波長間隔で異なる複数の光に分波するものであり、このときの光透過波長特性は図8の(b)に示すようになる。
【0032】
つまり、各光透過中心波長を中心としたスペクトルの重なりが少なく、図8の(c)に示した光透過波長特性を有するアレイ導波路回折格子型光合分波器に同じ波長多重光(λ1、λ3、・・・)を入射して分波(λ1、λ3、・・・)を行なう場合に比べ、本発明のアレイ導波路回折格子型光合分波器は、低隣接クロストーク化が容易である。
【0033】
すなわち、本発明は、例えば100GHz間隔の光合分波機能を有するアレイ導波路回折格子型光合分波器を設計し、例えば200GHz間隔の互いに異なる複数の波長の多重光を入射し、200GHz間隔の互いに異なる複数の波長の光を分波させる。100GHz間隔の互いに異なる複数の光を分波できる光出力導波路を配置し、200GHz間隔の互いに異なる波長の複数の光を分波できる光出力導波路を使用するように、または、それらの位置に光出力導波路を配置するように設計する。
【0034】
そうすると、隣接する波長(つまり、隣接する波長に対して±0.2nm)でのクロストークをバックグランドクロストーク(中心波長に対して±1.6nm以遠で±1/2・FSR以内の各波長でのクロストーク)の範囲内とし、安定した隣接クロストークとなる。なお、FSRはFree Spectral Range(自由スペクトル領域)のことである。
【0035】
さらに、前記の如く、アレイ導波路回折格子型光合分波器は、外部環境温度の変化に対して光の透過波長(上記分波または合波される波長)が変化する。そのため、一般には、温度制御等を行なわない限り上記光透過波長の中心波長ずれ(光透過中心波長のずれ)による特性劣化(急激な損失変化、隣接クロストークの劣化)を抑制することが困難であり、上記設計を用いても、この特性劣化を抑制することが困難である。
【0036】
そこで、上記設計に加えて、アレイ導波路回折格子型光合分波器の透過スペクトルを、光透過中心波長の長波長側と短波長側両方に、帯域幅が前記温度の変化による中心波長ずれを吸収できるくらい広い平坦化領域を有するものにすれば、その中心波長ずれによる特性劣化の抑制が可能になる。そのようにすれば、外部環境温度の変化により光透過中心波長が多少ずれても、帯域幅の広い平坦化領域内でのずれになるので、アレイ導波路回折格子型光合分波器を外部環境温度変化に対して問題なく機能することが可能となる。
【0037】
以下、詳細に本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。なお、本実施形態例の説明において、図7の(a)、(b)に示した従来例と共通名称部分には同一符号を付し、その重複説明は省略又は簡略化する。図1の(a)には、本発明に係るアレイ導波路回折格子型光合分波器の第1実施形態例の構成が、模式的に示されており、図1の(b)には、図1の(a)に示す破線領域A内の拡大図が示されている。
【0038】
図1の(a)に示した第1実施形態例のアレイ導波路回折格子型光合分波器は、図7の(a)に示したアレイ導波路回折格子型光合分波器とほぼ同様に構成されているが、この第1実施形態例のアレイ導波路回折格子型光合分波器が従来例と異なる第1の点は、図1の(b)に示すように、各光入力導波路12の出射側に、光入力導波路12の幅よりも広幅で、かつ、対応する(接続相手の)スラブ導波路(第1のスラブ導波路13)側に向かうにつれて拡幅する台形状導波路5を接続したことである。
【0039】
本実施形態例のアレイ導波路回折格子型光合分波器が従来例と異なる第2の点は、上記台形状導波路5の狭幅端に、該狭幅端と等幅の等幅直線導波路部25を設けたことである。以下、台形状導波路5に前記の等幅直線導波路部25を設けた導波路をスピーカー型導波路50と呼ぶ。
【0040】
本実施形態例のアレイ導波路回折格子型光合分波器が従来例と異なる第3の点は、上記スピーカー型導波路50と光入力導波路12との間に、光入力導波路12の幅よりも狭幅の狭幅直線導波路1を接続したことである。
【0041】
本実施形態例において、スピーカー型導波路50は、各光入力導波路12側から第1のスラブ導波路13側に向かう光の電界振幅分布を、ガウシアン形状から略矩形形状に変化させる略矩形状電界分布形成導波路として機能するものであり、具体的には、以下のように構成されている。
【0042】
すなわち、スピーカー型導波路50は、前記各光入力導波路12の幅(W1)よりも広幅で、かつ、第1のスラブ導波路13側に向かうにつれて拡幅する台形状導波路5の狭幅端側(上底4側)に、狭幅端の幅(W3)と等幅の等幅直線導波路部25を設けて形成されている。等幅直線導波路部25の長さはL3である。また、台形状導波路5はテーパ角度θで拡幅しており、台形状導波路5の下底6は僅かに曲線状と成し、この下底6の幅はW4である。
【0043】
また、各狭幅直線導波路1の幅方向の中心は、対応する等幅直線導波路部25の入射端の幅方向の中心と位置合わせされている。前記各狭幅直線導波路1は、各狭幅直線導波路1に接続されている光入力導波路12を伝搬してきた光信号のパワーの中心を狭幅直線導波路1の幅方向の中心に移動させて、該光信号パワー中心を等幅直線導波路部25の入射端の幅方向の中心に入射させる光パワー中心位置調整手段と成している。狭幅直線導波路1の幅はW2であり、その長さはL2である。
【0044】
本実施形態例において、上記パラメータは、以下のように設定されている。すなわち、光入力導波路12の幅W1=6.5μm、狭幅直線導波路1の幅W2=3.0μm、狭幅直線導波路1の長さL2=500μm、等幅直線導波路部25の幅(スピーカー型導波路50の狭幅端幅)W3=24.5μm、等幅直線導波路部25の長さL3=250μm、テーパ角度θ=0.4°、台形状導波路5の下底6の幅(スピーカー型導波路50の拡幅端幅)W4=37.9μmである。また、各導波路を形成するコアの高さは6.5μm、各導波路のクラッドに対するコアの比屈折率差Δは0.8%である。
【0045】
本実施形態例は以上のような導波路構成を有しており、本実施形態例のアレイ導波路回折格子型光合分波器は、光分波機能と、光合波機能を持つ。
【0046】
光分波機能は、前記光入力導波路12から入力される互いに異なる複数の波長をもった光から、予め定めた設計波長間隔としての100GHz間隔(約0.8nm)の互いに異なる複数の波長の光を分波して各光出力導波路16から出力する機能である。光合波機能は、前記各光出力導波路16から入力される互いに波長が前記設計波長間隔で異なる複数の光を合波して前記光入力導波路12から出力する機能である。
【0047】
さらに、本実施形態例のアレイ導波路回折格子型光合分波器が従来例と異なる第4の点は、第1実施形態例のアレイ導波路回折格子型光合分波器は、前記設計波長間隔の整数倍である2倍の波長間隔(200GHz;約1.6nm)で互いに異なる複数の波長をもった光を入射して該光を前記設計波長間隔の倍の波長間隔(200GHz)で互いに波長が異なる複数の光に分波して出力する設計を行う。または、アレイ導波路回折格子型光合分波器に、前記設計波長間隔の2倍の波長間隔で互いに波長が異なる光をそれぞれの導波路から入射し、各波長の複数の光を合波して出力する設計を行うことである。
【0048】
なお、第1実施形態例のアレイ導波路回折格子型光合分波器の構成および設計を決定するにあたり、以下の検討を行なった。すなわち、例えば、本実施形態例のように、100GHz間隔の光合分波機能を有するアレイ導波路回折格子型光合分波器を設計し、200GHz間隔の互いに異なる複数の波長の多重光を入射し、200GHz間隔の互いに異なる複数の波長の光を分波させることによって、隣接する波長(つまり、隣接する波長に対して±0.2nm)でのクロストークがバックグランドクロストーク(中心波長に対して±1.6nm以遠で±1/2・FSR以内の各波長でのクロストーク)の範囲に設定でき、安定した隣接クロストークを得ることができると考えた。
【0049】
また、外部環境温度変化によって光透過中心波長が多少ずれても、アレイ導波路回折格子型光合分波器を問題なく機能させて高品質の光波長多重通信を実現するために、アレイ導波路回折格子型光合分波器の透過スペクトルにおける中心波長平坦性を向上させることが必要であり、そのためには、1dB帯域幅を前記温度の変化による中心波長ずれを吸収できるくらい広くすることが必要となる。
【0050】
さらに、隣接クロストークの抑制向上を考えた場合、アレイ導波路回折格子型光合分波器の透過スペクトル波形における裾野部分の立ち上がりを良好にする(急峻にする)ことも必要となる。
【0051】
そこで、前記した日本国特許出願(出願番号:特願平11−370602号、特願2000−102473、特願2000−285448)の記載から明らかなように、上記構成のスピーカー型導波路50を光入力導波路12の出射側に設けることにより、第1のスラブ導波路13側に向かう光の電界振幅分布をガウシアン形状から略矩形形状に変化させ、それにより、1dB帯域幅が広く、アレイ導波路回折格子型光合分波器の光透過中心波長をもつ透過スペクトル波形における裾野部分の立ち上がりを良好にした。そしてこのようにアレイ導波路回折格子型光合分波器を構成した上で、前記本発明の設計を適用するようにした。
【0052】
具体的には、第1実施形態例のアレイ導波路回折格子型光合分波器は、以下のようにして設計されている。すなわち、使用環境温度内でアレイ導波路回折格子型光合分波器の光透過中心波長を、例えば、設定波長としてのITUグリッド波長とほぼ一致させるようにした。そのために、まず、アレイ導波路回折格子型光合分波器の使用環境温度(0℃〜70℃)の中心温度である35℃で光透過中心波長がITUグリッド波長と一致するように設計した。
【0053】
また、アレイ導波路回折格子型光合分波器の光透過中心波長の温度依存性(0.011nm/℃)を考慮すると、0℃〜70℃における光透過中心波長のシフト量が0.77nmであり、この温度依存性による中心波長変化分よりも、光透過中心波長の通過帯域幅が広ければよいことになる。そこで、光波長多重通信システム側から要求されている1dB帯域幅が0.3nm程度であることから、前記光透過中心波長のシフト量である0.77nmに0.3nmを加算すると、約1.1nmとなるので、1dB帯域幅が約1.1nm以上となるようにアレイ導波路回折格子型光合分波器を設計した。
【0054】
さらに、隣接クロストークは、通常、200GHz間隔の合分波の場合、中心波長に対して、分波する波長間隔(この実施形態例の場合、1.6nm)±0.2nmの隣接波長範囲における最悪クロストークを示す。そこで、光透過中心波長の温度依存性(光透過中心波長のシフト量)を考慮すると、0.77nm/2=0.385nmをさらに加えて、1.6nm±0.6nmの波長範囲内における最悪クロストークが、光波長多重通信システム側から要求されている隣接クロストークの値−26dB以下となるようにアレイ導波路回折格子型光合分波器を設計した。
【0055】
その結果、本実施形態例のアレイ導波路回折格子型光合分波器は、前記導波路構成を有し、各パラメータを前記の如く形成したものとなり、例えば図2の(b)に示すように、1dB帯域幅が1.14nm、リップルが0.2dB、隣接クロストーク(この場合、光透過中心波長に対して1.6nm±0.6nmの波長範囲内における最悪クロストークを求めたもの)が−27dBの特性を有するアレイ導波路回折格子型光合分波器となった。
【0056】
本実施形態例によれば、アレイ導波路回折格子型光合分波器によって光合分波する波長間隔を100GHzに設計しておいて、入力する光の波長間隔を200GHzにし、かつ、各光入力導波路12の出射側にスピーカー型導波路50を設けることにより、アレイ導波路回折格子型光合分波器の透過スペクトルの平坦性を向上させ、アレイ導波路回折格子型光合分波器の外部環境温度によって光透過中心波長が多少ずれても、十分なアイソレーションがとれるようにした。
【0057】
その結果、本実施形態例のアレイ導波路回折格子型光合分波器は、外部環境温度に依存することなく、安定にITUグリッド波長の光を合分波でき、アレイ導波路回折格子型光合分波器の隣接クロストークの抑制効果を向上させて、高品質の光波長多重通信を確実に可能とすることができる。
【0058】
次に、本発明に係るアレイ導波路回折格子型光合分波器の第2実施形態例について説明する。なお、第2実施形態例の説明において、上記第1実施形態例との重複説明は省略する。
【0059】
図3には、第2実施形態例のアレイ導波路回折格子型光合分波器における光入力導波路12の出射側と第1のスラブ導波路13との接続構造が示されている。第1実施形態例と第2実施形態例はその接続構造が異なり、それ以外の構成については、第2実施形態例は上記第1実施形態例とほぼ同様である。
【0060】
第2実施形態例が上記第1実施形態例と異なることは、第1実施形態例に設けられている直線導波路1とスピーカー型導波路50における等幅直線導波路部25を省略し、光入力導波路12の出射側に台形状導波路5を略矩形状電界分布形成導波路として直接接続したことである。
【0061】
第2実施形態例では、光入力導波路12を伝搬する光強度の中心位置が光入力導波路12の幅方向中心位置からずれないように設計している。したがって、上記第1実施形態例に設けた直線導波路1を省略しても、光入力導波路12を伝搬する光強度の中心位置が台形状導波路5の狭幅端(上底4)の幅方向中心位置に入射される。
【0062】
また、スピーカー型導波路50と台形状導波路5の機能はほぼ同様であり、したがって、台形状導波路5によって光電界振幅分布を適切に変化させることができる。そのため、第2実施形態例のアレイ導波路回折格子型光合分波器は上記第1実施形態例と同様に、光透過中心波長の平坦性を良好にできるものである。
【0063】
すなわち、第2実施形態例において、図4に示すように、光入力導波路12を通る光は、その電界振幅形状がガウシアン形状である。そして、その光強度中心は台形状導波路5に入射し、光は、光電界振幅分布を台形状導波路5内で変化させながら進行して行く。その際、光電界振幅分布の裾野部分が光の進行に伴って切り落とされて全体として分布幅を広げながら略矩形形状となるように進行していく。そして、台形状導波路5の出射端(下底6)では図5に示す形状になり、上記第1実施形態例と同様に、光透過中心波長の平坦性を良好にできる。
【0064】
第2実施形態例において、アレイ導波路回折格子型光合分波器の導波路構成を形成する各パラメータは、以下に示すものである。すなわち、光入力導波路12の幅W1=6.5μm、台形状導波路5の狭幅端幅W3=22.5μm、テーパ角度θ=0.3°、台形状導波路5の下底6の幅W4=61.5μmである。また、各導波路を形成するコアの高さおよび比屈折率差は上記第1実施形態例と同一値である。
【0065】
第2実施形態例においても、上記第1実施形態例のアレイ導波路回折格子型光合分波器を設計するときとほぼ同様にして設計した。
【0066】
その結果、第2実施形態例においても上記第1実施形態例と同様の作用により、ほぼ同様の効果を奏することができた。
【0067】
上記のように構成した第2実施形態例のアレイ導波路回折格子型光合分波器を5個作製し(サンプル1〜5)、波長1.55μm帯において200GHzの波長間隔を有する互いに異なる波長の光をもった波長多重光を光入力導波路12から入射して、アレイ導波路回折格子型光合分波器から出射される光の1dB帯域幅と隣接クロストーク特性を評価したところ、表1に示す結果が得られた。なお、表1に示す隣接クロストークは、中心波長に対して1.6±0.6nmの隣接波長範囲における最悪クロストークとして測定した結果を示す。
【0068】
【表1】
【0069】
その結果、第2実施形態例のアレイ導波路回折格子型光合分波器は、1.55μm帯において200GHzの波長間隔の光合分波機能を有するアレイ導波路回折格子型光合分波器に対し、1dB帯域幅が同等で、隣接クロストークは格段に良好、かつ、安定であることが確認できた。
【0070】
なお、本発明は上記各実施形態例に限定されることはなく、様々な実施の態様を採り得る。例えば上記実施形態例では、全部の各光入力導波路12の出射側にスピーカー型導波路50または台形状導波路5を設けたが、少なくとも1本以上の光入力導波路12の出射側にスピーカー型導波路50や台形状導波路5を設けてもよい。
【0071】
また、本発明のアレイ導波路回折格子型光合分波器は、少なくとも1本以上の出力導波路16の入射側に第2のスラブ導波路15側に向かうにつれて拡幅する台形状導波路や該台形状導波路を有するスピーカー型導波路を接続して形成してもよい。また、本発明のアレイ導波路回折格子型光合分波器は、少なくとも1本以上の光入力導波路12の出射側と少なくとも1本以上の光出力導波路16の入射側の両方に台形状導波路やスピーカー型導波路を設けて形成してもよい。
【0072】
なお、本発明のアレイ導波路回折格子型光合分波器において、光出力導波路16側に台形状導波路やスピーカー型導波路を設ける場合は、台形状導波路やスピーカー型導波路の幅を光出力導波路16の幅よりも広幅とする。
【0073】
また、上記第1実施形態例では、スピーカー型導波路50と光入力導波路12の間に狭幅直線導波路1を介設したが、図6の(a)に示すように、光入力導波路12の出射側や光出力導波路16の入射側にスピーカー型導波路50を直接接続してもよい。
【0074】
さらに、上記第2実施形態例では、光入力導波路12の出射側に台形状導波路5を直接接続したが、図6の(b)に示すように、光入力導波路12と台形状導波路5の間に狭幅直線導波路1を介設してもよいし、光出力導波路16の入射側に台形状導波路5を設ける場合にも、光出力導波路16と台形状導波路5との間に狭幅直線導波路1を介設してもよい。
【0075】
さらに、上記のアレイ導波路回折格子型光合分波器において、台形状導波路の幅や長さやテーパ角度、狭幅直線状導波路の長さや幅、スピーカー型導波路50における等幅直線導波路部の幅や長さ等は特に限定されるものではなく適宜設定されるものである。例えば図4に示したような光電界振幅分布のシミュレーション結果に基づいて、アレイ導波路回折格子型光合分波器の仕様に合わせて上記各値を設定することにより、上記各実施形態例のような優れた効果を奏するアレイ導波路回折格子型光合分波器とすることができる。
【0076】
さらに、上記各実施形態例では、光入力導波路12から入射される波長多重光を、予め定めた設計波長間隔の互いに異なる複数の波長の光に分波して各光出力導波路16から出力できるように、設計波長間隔の互いに異なる複数の波長の光を取り出せる位置に各光出力導波路16を形成したが、前記設計波長間隔の概略整数倍の間隔の光のみを取り出せる位置に(例えば上記実施形態例のように設計波長間隔の2倍の波長間隔の光を出力する場合には、1本おきに)光出力導波路16を形成してもよい。
【0077】
【発明の効果】
本発明によれば、少なくとも1本以上の光入力導波路と少なくとも1本以上の出力導波路との少なくとも一方に、接続相手のスラブ導波路との間に略矩形状電界分布形成導波路を接続することにより、アレイ導波路回折格子型光合分波器の光透過中心波長の平坦性を前記温度変化による中心波長ずれを吸収できるくらい向上させ、さらに、隣接クロストークを抑制できる。
【0078】
そのため、本発明のアレイ導波路回折格子型光合分波器は、外部環境温度変化によって光透過中心波長が多少ずれても、アレイ導波路回折格子型光合分波器を問題なく機能させることができ、高品質の光波長多重通信の実現を図ることができる。
【0079】
また、本発明において、略矩形状電界分布形成導波路を、対応する光入力導波路または光出力導波路の幅よりも広幅で、かつ、対応するスラブ導波路側に向かうにつれて拡幅する台形状導波路により形成し、台形状導波路の狭幅端側に該狭幅端と等幅の等幅直線導波路部を設けることにより、入力導波路側又は出力導波路側から対応するスラブ導波路側に向かう光の電界振幅分布をガウシアン形状から略矩形形状に変化させることができ、上記効果を確実に奏することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)は本発明に係るアレイ導波路回折格子型光合分波器の第1実施形態例を示す構成図であり、(b)は、図1の(a)の領域A部分の拡大説明図である。
【図2】(a)は第1実施形態例のアレイ導波路回折格子型光合分波器におけるスピーカー型導波路の出力端の光電界振幅分布を示すグラフであり、(b)は第1実施形態例のアレイ導波路回折格子型光合分波器の光透過特性を示すグラフである。
【図3】本発明に係るアレイ導波路回折格子型光合分波器の第2実施形態例における光入力導波路の出射端部を示す構成図である。
【図4】第2実施形態例における、光入力導波路と台形状導波路を伝搬する光電界振幅分布を、立体的に示すシミュレーション結果の説明図である。
【図5】第2実施形態例における台形状導波路の出力端における光電界振幅分布を示すグラフである。
【図6】本発明に係るアレイ導波路回折格子型光合分波器の他の実施形態例における光入力導波路と第1のスラブ導波路との接続部構造例を示す説明図である。
【図7】(a)は、従来のアレイ導波路回折格子型光合分波器の構成を示す説明図であり、(b)は、(a)の領域A部分を拡大して示す説明図である。
【図8】アレイ導波路回折格子型光合分波器の各波長光の光透過特性例をそれぞれ比較状態で示すグラフである。
【符号の説明】
1 狭幅直線導波路
3 斜辺
5 台形状導波路
11 基板
12 光入力導波路
13 第1のスラブ導波路
14 アレイ導波路
15 第2のスラブ導波路
16 光出力導波路
25 等幅直線導波路部
50 スピーカー型導波路
Claims (1)
- 1本以上の並設された光入力導波路と、前記光入力導波路の出射側に接続された第1のスラブ導波路と、前記第1のスラブ導波路の出射側に接続され、互いに設定量異なる長さの複数並設されたチャネル導波路から成るアレイ導波路と、前記アレイ導波路の出射側に接続された第2のスラブ導波路と、前記第2のスラブ導波路の出射側に複数並設接続された光出力導波路とを有し、予め定めた設計波長間隔の互いに異なる複数の波長をもった光から互いに異なる複数の波長の光を分波する光分波機能と、前記設計波長間隔で互いに異なる複数の波長の光を合波する光合波機能とを有し、少なくとも1本以上の光入力導波路と少なくとも1本以上の光出力導波路との少なくとも一方の光入(出)力導波路には、接続相手のスラブ導波路との間に略矩形状電界分布形成導波路が接続され、該略矩形状電界分布形成導波路は、光入(出)力導波路側から対応するスラブ導波路側に向かう光の電界振幅分布をガウシアン形状から略矩形形状に変化させる導波路であり、前記略矩形状電界分布形成導波路は接続相手の対応するスラブ導波路側に向かうにつれて拡幅する台形状導波路で構成され、この台形状導波路の狭幅端には該狭幅端の幅と同じ幅の等幅直線導波路の一端が接続され、その等幅直線導波路の他端には該等幅直線導波路の幅よりも狭幅の光入(出)力導波路が直接接続されていることを特徴とするアレイ導波路回折格子型光合分波器。
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US6563988B2 (en) * | 2001-04-25 | 2003-05-13 | Lightwave Microsystems Corporation | Optical apparatus and method having predetermined group velocity dispersion |
US7142749B2 (en) * | 2001-06-27 | 2006-11-28 | Finisar Corporation | System and method for controlling spectral passband profile |
JP2003043272A (ja) * | 2001-07-27 | 2003-02-13 | Nec Corp | 導波路型光デバイス |
US20030039008A1 (en) * | 2001-08-27 | 2003-02-27 | Michael Davies | Optical grating for coarse wavelength division multiplexing (CWDM) applications |
JP3884341B2 (ja) | 2002-01-21 | 2007-02-21 | 古河電気工業株式会社 | 可変分散補償器およびその可変分散補償器を用いた可変分散補償デバイス |
US6859574B2 (en) * | 2002-04-03 | 2005-02-22 | Lucent Technologies Inc. | N×N switching arrangement of two planar arrays without waveguide crossings |
US20060088112A1 (en) * | 2004-09-08 | 2006-04-27 | Das Suvra S | Process and a system for transmission of data |
JP2007065562A (ja) * | 2005-09-02 | 2007-03-15 | Furukawa Electric Co Ltd:The | アレイ導波路回折格子 |
JP4456065B2 (ja) * | 2005-12-21 | 2010-04-28 | 日本電信電話株式会社 | アレイ導波路格子回路 |
JP4748524B2 (ja) * | 2006-08-31 | 2011-08-17 | 古河電気工業株式会社 | アレイ導波路格子型合分波器 |
JP5100175B2 (ja) * | 2007-03-28 | 2012-12-19 | 古河電気工業株式会社 | アレイ導波路格子型の合分波装置 |
DE102009014478B4 (de) * | 2009-03-23 | 2013-07-18 | fos4X GmbH | Vorrichtung zum Umsetzen eines optischen Eingangssignals in ein elektrisches Ausgangssignal und Verfahren zur Herstellung der Vorrichtung |
US20110085761A1 (en) * | 2009-05-26 | 2011-04-14 | Furukawa Electric Co., Ltd. | Arrayed waveguide grating and method of manufacturing arrayed waveguide grating |
JP2010276639A (ja) * | 2009-05-26 | 2010-12-09 | Furukawa Electric Co Ltd:The | アレイ導波路格子 |
CN104101952A (zh) * | 2013-04-01 | 2014-10-15 | 宜兴新崛起光集成芯片科技有限公司 | 阵列光栅波导型波分复用器 |
TWI505655B (zh) * | 2013-11-20 | 2015-10-21 | Chunghwa Telecom Co Ltd | Adjustable laser applied to NG-PON2 optical wavelength automatic adjustment method |
US9588293B2 (en) | 2015-06-25 | 2017-03-07 | International Business Machines Corporation | MEMS based photonic devices and methods for forming |
TWI622275B (zh) * | 2017-08-03 | 2018-04-21 | Chunghwa Telecom Co Ltd | Adjustable laser light wavelength automatic adjusting device and method thereof |
Family Cites Families (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3102874B2 (ja) * | 1990-11-05 | 2000-10-23 | 日本板硝子株式会社 | Y分岐光回路 |
US5136671A (en) * | 1991-08-21 | 1992-08-04 | At&T Bell Laboratories | Optical switch, multiplexer, and demultiplexer |
US5529992A (en) * | 1992-04-21 | 1996-06-25 | Curators Of The University Of Missouri | Method for inhibiting myocardial fibrosis by administering an aldosterone antagonist which suppresses aldoster one receptors |
JP3139571B2 (ja) * | 1992-05-13 | 2001-03-05 | 日本電信電話株式会社 | 光合分波器 |
US5546483A (en) * | 1993-08-02 | 1996-08-13 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Integrated optical waveguide circuit and optical branch line test system using the same |
JPH08122557A (ja) | 1994-10-20 | 1996-05-17 | Hitachi Cable Ltd | 光波長合分波器 |
US5629992A (en) * | 1995-09-14 | 1997-05-13 | Bell Communications Research, Inc. | Passband flattening of integrated optical filters |
US5908873A (en) | 1995-12-20 | 1999-06-01 | Borden Chemicals, Inc. | Peelable bonded ribbon matrix material; optical fiber bonded ribbon arrays containing same; and process for preparing said optical fiber bonded ribbon arrays |
FR2742882B1 (fr) * | 1995-12-22 | 1998-02-13 | Corning Inc | Demultiplexeur de longueurs d'onde, realise en optique integree |
JP3112246B2 (ja) | 1996-05-01 | 2000-11-27 | 日本電信電話株式会社 | アレイ導波路格子 |
US5889906A (en) | 1997-05-28 | 1999-03-30 | Lucent Technologies Inc. | Signal router with coupling of multiple waveguide modes for provicing a shaped multi-channel radiation pattern |
JPH11133253A (ja) | 1997-11-04 | 1999-05-21 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | アレイ導波路型波長合分波器 |
JP2861996B1 (ja) | 1998-01-30 | 1999-02-24 | 日立電線株式会社 | 光波長合分波器 |
JP3039491B2 (ja) * | 1997-11-27 | 2000-05-08 | 日立電線株式会社 | 光波長合分波器 |
US6195482B1 (en) * | 1998-12-29 | 2001-02-27 | Lucent Technologies Inc. | Waveguide grating router |
WO2001013150A1 (fr) | 1999-08-10 | 2001-02-22 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Selecteur de mode de diffraction de guides d'ondes en reseau |
JP3434489B2 (ja) | 1999-09-24 | 2003-08-11 | 古河電気工業株式会社 | アレイ導波路型回折格子 |
US6289147B1 (en) | 1999-11-01 | 2001-09-11 | Bbv Design Bv | Passband flattening of a phasar |
JP3566918B2 (ja) * | 1999-12-27 | 2004-09-15 | 古河電気工業株式会社 | アレイ導波路回折格子型光合分波器 |
JP4460031B2 (ja) | 2000-03-28 | 2010-05-12 | 古河電気工業株式会社 | アレイ導波路型回折格子 |
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