JPH08122557A - 光波長合分波器 - Google Patents

光波長合分波器

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JPH08122557A
JPH08122557A JP25534594A JP25534594A JPH08122557A JP H08122557 A JPH08122557 A JP H08122557A JP 25534594 A JP25534594 A JP 25534594A JP 25534594 A JP25534594 A JP 25534594A JP H08122557 A JPH08122557 A JP H08122557A
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JP
Japan
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waveguide
input
side slab
output
slab waveguide
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Application number
JP25534594A
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English (en)
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Kenji Akiba
健次 秋葉
Naoto Uetsuka
尚登 上塚
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Hitachi Cable Ltd
Original Assignee
Hitachi Cable Ltd
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Publication date
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    • G02OPTICS
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    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/10Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
    • G02B6/12Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
    • G02B6/12007Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind forming wavelength selective elements, e.g. multiplexer, demultiplexer
    • G02B6/12009Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind forming wavelength selective elements, e.g. multiplexer, demultiplexer comprising arrayed waveguide grating [AWG] devices, i.e. with a phased array of waveguides
    • G02B6/12016Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind forming wavelength selective elements, e.g. multiplexer, demultiplexer comprising arrayed waveguide grating [AWG] devices, i.e. with a phased array of waveguides characterised by the input or output waveguides, e.g. tapered waveguide ends, coupled together pairs of output waveguides

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Abstract

(57)【要約】 【目的】 クロストークが悪化することなく、3dB帯
域幅が拡大された波長分割多重伝送用の光波長合分波器
を提供する。 【構成】 基板101と、基板101上に形成された1
本又は複数本の入力導波路102と、入力導波路102
に接続され平板構造を有する入力側スラブ導波路103
と、入力側スラブ導波路103に接続され導波路長がL
i(i=1,2,3,…)の複数のチャネル導波路11
5〜117からなるアレイ導波路回折格子104と、ア
レイ導波路回折格子104に接続された出力側スラブ導
波路105と、出力側スラブ導波路105に接続された
複数本の出力導波路106〜108とを備えた光波長合
分波器において、入力導波路102と入力側スラブ導波
路103との接続部で入力導波路102又は入力側スラ
ブ導波路103上にスリット112を形成したことを特
徴としている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、通過帯域が広帯域であ
るアレイ導波路型光波長合分波器に関する。
【0002】
【従来の技術】光通信の分野において、複数の信号を異
なる波長の光に載せ、1本の光ファイバで伝送すること
により情報容量を拡大する方法(波長分割多重方式)が
検討されている。この方法において異なる波長の光を回
折格子による合波又は分波を行う合分波器が重要な役割
を果たしている。なかでもアレイ導波路回折格子を用い
た光波長合分波器は狭い波長間隔で通信容量の多重数を
大きくすることができ、有望視されている。
【0003】また、近年、波長分割多重伝送システムに
おいて多重数を増やし伝送容量を飛躍的に増大させよう
とする試みがなされている。
【0004】その実現には波長間隔が1nm程度か又は
それ以下の複数の信号光を合波・分波できる合分波器が
必要である。
【0005】しかしながら、従来の回折格子を用いた光
波長合分波器では、利用できる回折次数に制限があり、
十分な分散が得られないことから、波長間隔を1nm以
下にすることができなかった。
【0006】そこで、アレイ導波路回折格子を用いた方
法が提案されている(特開平4−116607号、特開
平4−163406号、特開平4−22062号、特開
平4−326308号、特開平5−157920号公
報)。
【0007】図9はアレイ導波路回折格子を用いた従来
の1入力、N出力の光合分波器の平面図、図10(a)
は図9のA−A線断面図、図10(b)は図9のB−B
線断面図、図10(c)は図9のD−D線断面図をそれ
ぞれ示している。
【0008】図9及び図10において、基板201上に
は、1本の入力導波路202と、入力導波路202に接
続された入力側スラブ導波路203と、入力側スラブ導
波路203の複数の出力に各々接続されたアレイ導波路
回折格子204と、アレイ導波路回折格子204の出力
に接続された出力側スラブ導波路205と、出力側スラ
ブ導波路205の出力側に接続されたN本の出力導波路
206〜208とが形成されている。
【0009】この光波長合分波器は、基板201上にバ
ッファ層209を形成し、このバッファ層209上にバ
ッファ層209よりもわずかに屈折率の高い材料からな
る導波路(コア)210を形成し、さらにコア210
を、コア210よりもわずかに屈折率の低いクラッド2
11で埋め込んだものである。
【0010】また、アレイ導波路回折格子204は、長
さがΔLずつ異なる複数本のチャネル導波路212〜2
14により構成されている。入力側スラブ導波路20
3、出力側スラブ導波路205は膜厚方向にのみ閉じ込
め効果をもつ平板構造を有している。
【0011】図11は出力用スラブ導波路端面での集光
位置と波長との関係を示す図である。
【0012】図9及び図11を参照してアレイ導波路回
折格子型波長合分波器の動作原理を説明する。
【0013】波長λ1 〜λN のN波が多重されている波
長多重光2100は、入力導波路202に続く入力側ス
ラブ導波路203において回折効果により広げられた
後、さらに入力側スラブ導波路203に続くアレイ導波
路回折格子204を構成する複数本のチャネル導波路2
12、…、214内に伝搬され、アレイ導波路回折格子
204に接続された出力側スラブ導波路205に導入さ
れる。
【0014】ここでアレイ導波路回折格子204に導入
された光は、各チャネル導波路212、…、214の長
さが異なるために光束の位相がずれる。この位相ずれは
波長分散をもつため、出力側スラブ導波路端面2140
において、各波長の集光ビーム215、216、…、2
17はそれぞれx1 、x2 、x3 、…、xN に分波する
ことができる。
【0015】図12は集光ビームと導波モードとの関係
を示し、図13は出力導波路の波長損失特性を示す図で
ある。図12において横軸は集光位置を示し、縦軸は光
強度を示し、図13において横軸は波長を示し、縦軸は
損失をそれぞれ示している。
【0016】以下、例として第i出力導波路の波長損失
特性について説明する。スラブ導波路端面2140にお
ける集光ビーム218はその波長により集光位置xがシ
フトする。このとき、出力導波路に結合する光強度は、
第(i)出力導波路における光219の電界分布と集光
ビーム218の電界分布との重畳積分となる。そのた
め、波長と共に集光位置がシフトすると、徐々に重畳積
分の部分220が大きくなり、損失が小さくなる。集光
位置がさらにシフトすると、波長λj で最小となり、そ
の後は徐々に大きくなる。そのため、損失波長特性曲線
221は波長λjで最小値をもつような形状となる。
【0017】ここで図13を用いて、以下のように用語
を定義する。
【0018】損失が最小となる波長を「中心波長」22
2、損失が3dB増加したところの帯域幅を「3dB帯
域幅」223とする。また、第(i−1)出力導波路の
損失波長特性曲線224や第(i+1)出力導波路の損
失波長特性曲線225と比較したとき、第(i)出力導
波路の使用波長帯域226内における第(i)出力導波
路の損失の最小値と、第(i)出力導波路や第(i+
1)出力導波路などの他の出力導波路の損失の最小値と
の差を「クロストーク」227とする。
【0019】
【発明が解決しようとする課題】ところで、光波長合分
波器は、3dB帯域幅を改善しようとすると、クロスト
ークが悪化するという問題があった。
【0020】そこで、本発明の目的は、上記課題を解決
し、クロストークが悪化することなく、3dB帯域幅が
拡大された波長分割多重伝送用の光波長合分波器を提供
することにある。
【0021】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、基板と、基板上に形成された1本又は複数
本の入力導波路と、入力導波路に接続され平板構造を有
する入力側スラブ導波路と、入力側スラブ導波路に接続
され導波路長がLi(i=1,2,3,…)の複数のチ
ャネル導波路からなるアレイ導波路回折格子と、アレイ
導波路回折格子に接続された出力側スラブ導波路と、出
力側スラブ導波路に接続された複数本の出力導波路とを
備えた光波長合分波器において、入力導波路と入力側ス
ラブ導波路との接続部で入力導波路又は入力側スラブ導
波路上にスリットを形成したものである。
【0022】上記目的を達成するために本発明は、基板
と、基板上に形成された1本又は複数本の入力導波路
と、入力導波路に接続され平板構造を有する入力側スラ
ブ導波路と、入力側スラブ導波路に接続され導波路長が
Li(i=1,2,3,…)の複数のチャネル導波路か
らなるアレイ導波路回折格子と、アレイ導波路回折格子
に接続された出力側スラブ導波路と、出力側スラブ導波
路に接続された複数本の出力導波路とを備えた光波長合
分波器において、出力導波路と出力側スラブ導波路との
接続部で出力導波路又は出力側スラブ導波路上にスリッ
トを形成したものである。
【0023】上記構成に加え本発明は、アレイ導波路回
折格子のチャネル導波路の導波路長Li(i=1,2,
3,…)の導波路長差ΔLが数1式を満たすようにする
と共に、
【0024】
【数1】ΔL=λ・m/neff (但し、λ:使用波長、neff :実効屈折率、m:正の
整数) チャネル導波路を長さの順に配置したものである。
【0025】上記構成に加え本発明は、アレイ導波路回
折格子のチャネル導波路のコア寸法を、使用波長域でシ
ングルモード条件が成り立つような寸法としたものであ
る。
【0026】上記構成に加え本発明は、アレイ導波路回
折格子のチャネル導波路が、入出力側スラブ導波路との
接続部でそのチャネル導波路のコア幅がスラブ導波路の
方向に緩やかに増加するようなテーパ構造としたもので
ある。
【0027】上記構成に加え本発明は、入出力側スラブ
導波路の端面が、アレイ導波路回折格子との接続部で円
弧形状であり、アレイ導波路回折格子をその円弧形状端
面に沿って放射状に配置したものである。
【0028】上記構成に加え本発明は、入力導波路及び
出力導波路の双方又はいずれか一方が入出力側スラブ導
波路との接続部でコア幅が入出力側スラブ導波路の方向
に緩やかに変化するテーパ構造としたものである。
【0029】上記構成に加え本発明は、出力導波路と入
出力側スラブ導波路との接続部で出力導波路又はスラブ
導波路上にスリットを形成したものである。
【0030】上記構成に加え本発明は、スリットが入力
導波路又は出力導波路のコアの中心軸上に、光の進行方
向に沿って形成されたものである。
【0031】上記構成に加え本発明は、スリットの形状
が基板の上方からみて入出力側スラブ導波路に向かって
緩やかに拡大する三角形又は台形形状を有しているもの
である。
【0032】上記構成に加え本発明は、入力導波路又は
出力導波路でスリットが形成された部分のコア幅が、シ
ングルモード条件を満足するコア幅の略1倍から3倍で
あり、スリットの幅はそのコア幅の1/5倍から3/5
倍の部分を占めているものである。
【0033】
【作用】上記構成によれば、ガウス分布型の波長多重光
が入力導波路に入力すると、スリットで2つに分割され
た後回折して2つの極大値を有する電界分布が形成され
る。スリットの幅がコア幅全体の1/5〜3/5ある場
合には電界分布は完全に分離されず、中央部にリップル
をもつような分布となる。
【0034】この波長多重光が入力側スラブ導波路に入
力すると、入力側スラブ導波路には横方向(紙面に平行
な方向)の閉じ込め効果がないので、回折効果によりス
ポットサイズが拡大されることになる。このとき遠方に
おける電界分布が、入力したときの電界分布のフーリエ
変換となるため、波長の順に広がり入力側スラブ導波路
のアレイ導波路格子側端面での電界分布はサイドローブ
をもつ形状となる。
【0035】このような電界分布をもつ光は、アレイ導
波路回折格子のテーパ部において、複数のチャネル導波
路に低損失で分配される。このとき、アレイ導波路回折
格子の電界分布は、個々のチャネル導波路ではガウス型
分布になっている。しかし包絡線の形状は入力側スラブ
導波路のアレイ導波路回折格子側端面での電界分布を保
存している。アレイ導波路回折格子を構成するチャネル
導波路は、長さがそれぞれ異なっているため、出力側ス
ラブ導波路のアレイ導波路回折格子側端面において、そ
れぞれのチャネル導波路を通る光の位相が異なる。この
位相ずれは波長分散をもつため、出力側スラブ導波路端
面において各波長の集光ビームはそれぞれ異なる位置に
配置された出力導波路に分波することができる。
【0036】他方、出力側スラブ導波路の出力側導波路
端面での電界分布は、波長と共にその集光位置がシフト
する。出力導波路に結合する光のパワーは、出力側スラ
ブ導波路の出力側導波路端面での電界分布と出力導波路
の電界分布との重畳積分となる。出力側導波路端面での
電界分布が中央部にリップルをもつような形状であるた
め、損失波長特性曲線は中心波長付近で平坦な形状とな
り、3dB帯域幅が大きくなる。
【0037】
【実施例】以下、本発明の一実施例を添付図面に基づい
て詳述する。
【0038】図1は本発明の光波長合分波器の一実施例
の平面図、図2は入力導波路のスリット部拡大図、図3
は出力側スラブ導波路の部分拡大図である。図4(a)
は図1のA−A線断面図、図4(b)は図1のB−B線
断面図、図4(c)は図1のC−C線断面図、図4
(d)は図1のD−D線断面図である。
【0039】図1に示す光波長合分波器は波長間隔ΔL
の光信号を合分波するためのアレイ導波路回折格子を用
いた光波長合分波器である。
【0040】図1及び図4(a)〜図4(d)に示すよ
うに、基板101上に、1本の入力導波路102と、入
力導波路102に接続された入力側スラブ導波路103
と、入力側スラブ導波路103に接続されたアレイ導波
路回折格子104と、アレイ導波路回折格子104に接
続された出力側スラブ導波路105と、出力側スラブ導
波路105に接続された複数の出力導波路106、10
7、…、108とが配置されている。
【0041】この光波長合分波器は、基板101上に、
バッファ層109を形成し、このバッファ層109の上
にバッファ層109よりもわずかに屈折率の高い材料で
導波路(コア)110を形成し、さらにコア110をコ
ア110よりもわずかに屈折率の低いクラッド111で
埋め込んだものである。
【0042】入力導波路102は、矩形断面構造をもつ
チャネル導波路で、入力側スラブ導波路103の直前に
おいて、コア幅が入力側スラブ導波路103に向かって
緩やかに拡大するようなテーパ構造を有している。コア
の中心軸上には、基板101の上方から見て台形形状の
スリット112が形成されている。このスリット112
の幅は、入力側スラブ導波路103に向かって徐々に拡
大するように形成されている。
【0043】入力側スラブ導波路103は、横方向に閉
じ込め構造がない平板構造である。アレイ導波路回折格
子104側の端面113は、入力導波路102と入力側
スラブ導波路103との接続点に曲率中心114をもつ
円弧形状を有している。
【0044】アレイ導波路回折格子104は、矩形断面
をもつ複数のチャネル導波路115、116、…、11
7で構成されている。各チャネル導波路115、11
6、…、117の長さはΔL(一定値)ずつ異なり、長
さの順に配置されている。
【0045】ここで、アレイ導波路回折格子のチャネル
導波路の導波路長Li(i=1,2,3,…)の導波路
長差ΔLは、数1式を満たす。
【0046】
【数1】ΔL=λ・m/neff (但し、λ:使用波長、neff :実効屈折率、m:正の
整数) また、これらのチャネル導波路115、116、…、1
17の寸法は、使用する波長帯域において、シングルモ
ード条件を満足するように設計されている。
【0047】入力側スラブ導波路103の付近では、コ
アはその幅が入力側スラブ導波路103に向かって緩や
かに拡大するようなテーパ構造を有すると共に、コアは
入力側スラブ導波路103のアレイ導波路回折格子10
4側の端面113の曲率中心114から放射状に配置さ
れている。
【0048】出力側スラブ導波路105の付近において
も、同様にコアはその幅が出力側スラブ導波路105に
向かって緩やかに拡大するようなテーパ構造を有すると
共に、コアは出力側スラブ導波路105のアレイ導波路
回折格子側の端面118の曲率中心119から放射状に
配置されている。
【0049】出力側スラブ導波路105は、入力側スラ
ブ導波路103と同様に、横方向に閉じ込め構造がない
平板構造である。アレイ導波路回折格子側の端面118
は、出力導波路106、107、…、108と出力側ス
ラブ導波路105との接続面(出力導波路側の端面)1
20に曲率中心119をもつ円弧形状を有している。ま
た、出力導波路側の端面120は、アレイ導波路回折格
子側の端面118上に曲率中心121をもつような円弧
形状を有している。
【0050】出力導波路106、107、…、108
は、矩形断面形状のN本のチャネル導波路で構成されて
いる。出力導波路106、107、…、108は出力側
スラブ導波路105の付近では直線形状をもち、出力導
波路側の端面120に沿って、角度Δθの間隔で、その
曲率中心121から放射状に配置されている。
【0051】次に実施例の作用を述べる。
【0052】図5(a)〜図5(f)は図1に示した光
波長合分波器の各導波路における光信号の電界分布を示
す図である。図5(a)は図1のA−A線断面図、図5
(b)は図1のB−B線断面図、図5(c)は図1のC
−C線断面図、図5(d)は図1のD−D線断面図、図
5(e)は図1のE−E線断面図、図5(f)は図1の
F−F線断面図となっている。
【0053】光ファイバ122からの波長多重光123
0は、入力導波路102中を伝搬する。入力導波路10
2は矩形断面形状のため、入力導波路102での電界分
布124は、図5(a)のようなガウス型分布となる。
入力導波路102のスリット112では、コアが2つあ
る構造と等価であるため、電界分布125は2つの極大
値を有する。但し、スリット112の幅がコア幅全体の
1/5〜3/5であるので、電界分布は完全に分離され
ず、図5(b)に示すように、中央部にリップル126
を有する分布となる。
【0054】この波長多重光1230が入力側スラブ導
波路103に入力されると、入力側スラブ導波路103
には横方向の閉じ込め効果がないので、回折効果により
スポットサイズが拡大されることになる。このとき、遠
方における光の電界分布が、入力されたときの光の電界
分布のフーリエ変換となることが知られている。そのた
め、入力側スラブ導波路103のアレイ導波路回折格子
側の端面113での電界分布127は、図5(c)に示
すようなサイドローブ128をもつような形状となる。
【0055】この電界分布127は、アレイ導波路回折
格子104のテーパ部において、複数のチャネル導波路
115、116、…、117に低損失で分配される。こ
のとき、アレイ導波路回折格子104の電界分布129
は、図3(d)に示すように個々のチャネル導波路では
ガウス型分布となる。しかし、包絡線130の形状は、
入力側スラブ導波路103のアレイ導波路回折格子側の
端面113での電界分布123を保存している。アレイ
導波路回折格子104を構成する複数のチャネル導波路
115、116、…、117は長さがそれぞれ異なるた
めに、出力側スラブ導波路のアレイ導波路回折格子側の
端面118において、それぞれのチャネル導波路11
5、116、…、117の位相が異なる。アレイ導波路
回折格子104の導波路長差をΔLとすると、隣接する
チャネル導波路間での位相差φは数2式となり、波長多
重光の波長に依存することがわかる。
【0056】
【数2】φ=2πne ΔL/λ (但し、ne はチャネル導波路の実効屈折率) 数2式を波長λで微分すると、数3式となり、位相差の
波長依存性はδφが波長変化δλに比例することがわか
る。
【0057】
【数3】δφ=−2πne ΔLδλ/λ アレイ導波路回折格子104の各チャネル導波路11
5、116、…、117の電界分布124は、テーパ部
により、一つに結合され、出力側スラブ導波路105に
出力される。このとき、各チャネル導波路間で位相差が
あるため、等位相面131はアレイ導波路回折格子側の
端面118に対して傾きを生じる。また、位相差φが波
長依存性をもつため、等位相面131の傾きも波長依存
性をもち、アレイ導波路回折格子104を構成する各チ
ャネル導波路の、円弧上での間隔をsとすると、各波長
間(δλ)の位相面の傾きδθは数3式より数4式とな
る。
【0058】
【数4式】δθ=−tan−1{ΔLδλ/(sλ)} したがって、波長間隔δλの波長多重光λ1 〜λN は、
角度間隔δθずつ異なった方向に伝搬される。
【0059】ここで、出力側スラブ導波路105のアレ
イ導波路回折格子側の端面118での電界分布132
は、位相面は傾いているものの、入力側スラブ導波路1
03のアレイ導波路回折格子側の端面113での電界分
布127と同じ形状となる。また、出力側スラブ導波路
105のアレイ導波路回折格子側の端面118が、円弧
形状であり、その曲率中心119が出力側スラブ導波路
105の出力導波路側の端面120上にあるため、波長
多重光λ1 〜λN はそれぞれ、出力側スラブ導波路10
5の出力導波路側の端面120に集光される。このと
き、出力側スラブ導波路105のアレイ導波路回折格子
側の端面118での電界分布132が図5(e)に示す
ようなサイドローブ133をもつ形状であるため、出力
導波路側の端面120での電界分布134は、図5
(f)に示すように中央にリップル1350を有するよ
うな分布となる。また、集光位置は波長毎に異なってい
る。
【0060】さらに、出力導波路側の端面120での電
界分布134は、出力導波路側の端面120に、曲率中
心121を中心に、角度間隔Δθで配置された出力導波
路106、107、…、108に入力される。
【0061】図6(a)は、出力側スラブ導波路の出力
導波路側端面での電界分布と、出力導波路の電界分布と
の関係を示す図であり、図6(b)は損失波長特性を示
す図である。
【0062】以下図6(a)、(b)を参照して損失波
長特性を説明する。
【0063】出力側スラブ導波路105の出力導波路側
端面120での電界分布134は、前述したように波長
と共にその集光位置がシフトする。出力導波路106、
107、…、108に結合する光のパワーは、出力導波
路側端面120での電界分布134と出力導波路の電界
分布135との重畳積分136となる。
【0064】ここで、出力導波路側端面120での電界
分布134が中央部分にリップルをもつような形状であ
るため、損失波長特性曲線137は中心波長138付近
で平坦な形状となり、3dB帯域幅139も大きくな
る。
【0065】図7は、図1に示した光波長合分波器の波
長損失特性を示す図である。
【0066】同図において横軸は波長を示し、縦軸は損
失を示している。
【0067】中心波長間隔140は約1.0nmであ
る。このとき、3dB帯域幅141は0.8nmと従来
の3dB帯域幅の約2倍となった。
【0068】ここで、最適条件について述べる。
【0069】図8(a)は図1に示した光波長合分波器
の入力導波路のスリット幅とコア幅との比と3dB帯域
幅との関係を示す図であり、横軸がスリット幅g/コア
幅wを示し、縦軸は3dB帯域幅/波長間隔を示してい
る。図8(b)〜図8(d)は波長と損失との関係を示
す図であり、横軸が波長を示し、縦軸が損失を示してい
る。
【0070】図8(a)に示すように3dB帯域幅は、
入力導波路のコア幅wに占めるスリット幅gに伴って大
きくなる。すなわちスリット幅gが狭いと損失特性曲線
の中心付近が急峻となり(図8(a)、(b))、スリ
ット幅gが大きくなりすぎると損失特性曲線の中心付近
でリップルが大きくなり、3dB帯域幅は急激に小さく
なる(図8(a)、(d))。
【0071】スリット幅wが10μmのときは、コア幅
g/スリット幅w=0.4(スリット幅4μm)で3d
B帯域幅/波長間隔は0.8で最大となる(図8
(a)、(c))。他のコア幅wについては、極大とな
る位置が多少変化するが、傾向は同じであり、0.2<
g/w<0.6の範囲にある。
【0072】以上において本実施例によれば、波長間隔
に対する3dB帯域幅を大きくすることができ、光源の
波長変動に対する損失変動を低減することができる。そ
のため、光源の波長制御が容易となり、波長多重を利用
した光通信システムが効率的に利用できる。すなわち、
クロストークが悪化することなく、3dB帯域幅が拡大
された波長分割多重伝送用の光波長合分波器を実現する
ことができる。
【0073】尚、本実施例の光波長合分波器はガラス基
板に形成したものであるが、これに限定されるものでは
なく半導体基板等にも形成することができる。また、コ
ア、クラッド、バッファ層についてもガラス系の材料だ
けでなく半導体材料等、光学系的に透明な材料を用いて
形成してもよい。さらに入力導波路に形成したスリット
を出力導波路側に形成してもよい。
【0074】
【発明の効果】以上要するに本発明によれば、次のよう
な優れた効果を発揮する。
【0075】チャネル導波路と入出力側スラブ導波路と
の接続部でチャネル導波路又は入出力側スラブ導波路上
にスリットを形成したので、クロストークが悪化するこ
となく、3dB帯域幅が拡大された波長分割多重伝送用
の光波長合分波器を実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】波長間隔ΔLの光信号を合分波するためのアレ
イ導波路回折格子を用いた光波長合分波器である。
【図2】入力導波路のスリット部拡大図である。
【図3】出力側スラブ導波路の部分拡大図である。
【図4】(a)は図1のA−A線断面図、(b)は図1
のB−B線断面図、(c)は図1のC−C線断面図、
(d)は図1のD−D線断面図である。
【図5】(a)〜(f)は図1に示した光波長合分波器
の各導波路における光信号の電界分布を示す図である。
【図6】(a)は、出力側スラブ導波路の出力導波路側
端面での電界分布と、出力導波路の電界分布との関係を
示す図であり、(b)は損失波長特性を示す図である。
【図7】図1に示した光波長合分波器の波長損失特性を
示す図である。
【図8】(a)は図1に示した光波長合分波器の入力導
波路のスリット幅とコア幅との比と3dB帯域幅との関
係を示す図であり、(b)〜(d)は波長と損失との関
係を示す図である。
【図9】アレイ導波路回折格子を用いた従来の1入力、
N出力の光合分波器の平面図である。
【図10】(a)は図9のA−A線断面図、(b)は図
9のB−B線断面図、(c)は図9のD−D線断面図を
それぞれ示している。
【図11】出力用スラブ導波路端面での集光位置と波長
との関係を示す図である。
【図12】集光ビームと導波モードとの関係を示す図で
ある。
【図13】出力導波路の波長損失特性を示す図である。
【符号の説明】
101 基 板 102 入力導波路 103 入力側スラブ導波路 104 アレイ導波路回折格子 105 出力側スラブ導波路 106〜108 出力導波路 112 スリット 115〜117 チャネル導波路
【手続補正書】
【提出日】平成7年1月9日
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0007
【補正方法】変更
【補正内容】
【0007】 図9はアレイ導波路回折格子を用いた従
来の1入力、N出力の光合分波器の平面図、図10
(a)は図9のA−A線断面図、図10(b)は図9の
B−B線断面図、図10(c)は図9のC−C線断面
図、図10(d)は図9のD−D線断面図をそれぞれ示
している。
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図10
【補正方法】変更
【補正内容】
【図10】 (a)は図9のA−A線断面図、(b)は
図9のB−B線断面図、(c)は図9のC−C線断面
図、(d)は図9のD−D線断面図をそれぞれ示してい
る。

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板と、該基板上に形成された1本又は
    複数本の入力導波路と、該入力導波路に接続され平板構
    造を有する入力側スラブ導波路と、該入力側スラブ導波
    路に接続され導波路長がLi(i=1,2,3,…)の
    複数のチャネル導波路からなるアレイ導波路回折格子
    と、該アレイ導波路回折格子に接続された出力側スラブ
    導波路と、該出力側スラブ導波路に接続された複数本の
    出力導波路とを備えた光波長合分波器において、上記入
    力導波路と上記入力側スラブ導波路との接続部で上記入
    力導波路又は上記入力側スラブ導波路上にスリットを形
    成したことを特徴とする光波長合分波器。
  2. 【請求項2】 基板と、該基板上に形成された1本又は
    複数本の入力導波路と、該入力導波路に接続され平板構
    造を有する入力側スラブ導波路と、該入力側スラブ導波
    路に接続され導波路長がLi(i=1,2,3,…)の
    複数のチャネル導波路からなるアレイ導波路回折格子
    と、該アレイ導波路回折格子に接続された出力側スラブ
    導波路と、該出力側スラブ導波路に接続された複数本の
    出力導波路とを備えた光波長合分波器において、上記出
    力導波路と上記出力側スラブ導波路との接続部で上記出
    力導波路又は上記出力側スラブ導波路上にスリットを形
    成したことを特徴とする光波長合分波器。
  3. 【請求項3】 上記アレイ導波路回折格子のチャネル導
    波路の導波路長Li(i=1,2,3,…)の導波路長
    差ΔLが数1式を満たすようにすると共に、 【数1】ΔL=λ・m/neff (但し、λ:使用波長、neff :実効屈折率、m:正の
    整数) 上記チャネル導波路を長さの順に配置した請求項1又は
    2記載の光波長合分波器。
  4. 【請求項4】 上記アレイ導波路回折格子を構成するチ
    ャネル導波路のコア寸法を、使用波長域でシングルモー
    ド条件が成り立つような寸法とした請求項1から3のい
    ずれか一項記載の光波長合分波器。
  5. 【請求項5】 上記アレイ導波路回折格子を構成する導
    波路が、上記入出力側スラブ導波路との接続部でその導
    波路のコア幅が上記入出力側スラブ導波路の方向に緩や
    かに増加するようなテーパ構造とした請求項1から4の
    いずれか一項記載の光波長合分波器。
  6. 【請求項6】 上記入出力側スラブ導波路の端面が、上
    記アレイ導波路回折格子との接続部で円弧形状であり、
    上記アレイ導波路回折格子をその円弧形状端面に沿って
    放射状に配置した請求項1から5のいずれか一項記載の
    光波長合分波器。
  7. 【請求項7】 上記入力導波路及び上記出力導波路の双
    方又はいずれか一方が上記入出力側スラブ導波路との接
    続部でコア幅が上記入出力側スラブ導波路の方向に緩や
    かに変化するテーパ構造とした請求項1から6のいずれ
    か一項記載の光波長合分波器。
  8. 【請求項8】 上記スリットが上記入力導波路又は上記
    出力導波路のコアの中心軸上に、光の進行方向に沿って
    形成された請求項1から7いずれか一項記載の光波長合
    分波器。
  9. 【請求項9】 上記スリットの形状が基板の上方からみ
    て上記入出力側スラブ導波路に向かって緩やかに拡大す
    る三角形又は台形形状を有している請求項7又は8記載
    の光波長合分波器。
  10. 【請求項10】 上記入力導波路又は上記出力導波路で
    上記スリットが形成された部分のコア幅が、上記シング
    ルモード条件を満足するコア幅の略1倍から3倍であ
    り、上記スリットの幅はそのコア幅の1/5倍から3/
    5倍の部分を占めている請求項7から9のいずれか一項
    記載の光波長合分波器。
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