JP3214545B2 - アレイ導波路格子 - Google Patents
アレイ導波路格子Info
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、フラットな光周波
数特性を有する光合分波器を実現し得るアレイ導波路格
子に関するものである。
数特性を有する光合分波器を実現し得るアレイ導波路格
子に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図１は従来のアレイ導波路格子の一例、
ここではアレイ導波路型光合分波器を示すもので、基板
１上に、入力用チャネル導波路２、出力用チャネル導波
路３、チャネル導波路アレイ４、前記入力用チャネル導
波路２とチャネル導波路アレイ４とを接続する第１の扇
型スラブ導波路５、並びに前記チャネル導波路アレイ４
と出力用チャネル導波路３とを接続する第２の扇型スラ
ブ導波路６が形成されてなっている。
ここではアレイ導波路型光合分波器を示すもので、基板
１上に、入力用チャネル導波路２、出力用チャネル導波
路３、チャネル導波路アレイ４、前記入力用チャネル導
波路２とチャネル導波路アレイ４とを接続する第１の扇
型スラブ導波路５、並びに前記チャネル導波路アレイ４
と出力用チャネル導波路３とを接続する第２の扇型スラ
ブ導波路６が形成されてなっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】図２は図１における第
２の扇型スラブ導波路と出力用チャネル導波路との接続
部を拡大して示すもので、図中、符号７で示す界分布
は、ある波長の光が第２の扇型スラブ導波路６と出力用
チャネル導波路３との境界で集光されるようすを示した
ものである。この際、波長（光周波数）の変化とともに
光の集光する位置が移動（短波長の光は右上側、長波長
の光は左下側に移動）するため、前述した従来のアレイ
導波路格子の光周波数特性は、図３に示すように各中心
周波数（図３の場合はアレイ導波路格子のチャネル間隔
Ｓ＝２００ＧＨｚ）の近傍で放物線状の損失特性とな
る。
２の扇型スラブ導波路と出力用チャネル導波路との接続
部を拡大して示すもので、図中、符号７で示す界分布
は、ある波長の光が第２の扇型スラブ導波路６と出力用
チャネル導波路３との境界で集光されるようすを示した
ものである。この際、波長（光周波数）の変化とともに
光の集光する位置が移動（短波長の光は右上側、長波長
の光は左下側に移動）するため、前述した従来のアレイ
導波路格子の光周波数特性は、図３に示すように各中心
周波数（図３の場合はアレイ導波路格子のチャネル間隔
Ｓ＝２００ＧＨｚ）の近傍で放物線状の損失特性とな
る。
【０００４】このため、レーザ光源の波長（光周波数）
が温度変化等により各信号チャネル（導波路）の中心光
周波数から変動すると、損失が大幅に増加してしまうと
いう問題があった。
が温度変化等により各信号チャネル（導波路）の中心光
周波数から変動すると、損失が大幅に増加してしまうと
いう問題があった。
【０００５】本発明の目的は、フラットな光周波数特性
を有するアレイ導波路格子を提供することにある。
を有するアレイ導波路格子を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明では、前記課題を
解決するため、基板上に配置された入力用チャネル導波
路と、出力用チャネル導波路と、チャネル導波路アレイ
と、前記入力用チャネル導波路及びチャネル導波路アレ
イを接続する第１の扇型スラブ導波路と、前記チャネル
導波路アレイ及び出力用チャネル導波路を接続する第２
の扇型スラブ導波路とを備え、前記チャネル導波路アレ
イの長さが所定の導波路長差で順次長くなるように構成
されたアレイ導波路格子であって、所定の光路長差を有
する２つの導波路と、該２つの導波路の両端をそれぞれ
結合して非対称マッハ・ツェンダー干渉計を構成する２
つの３ｄＢカプラと、入力導波路と、一方の導波路長が
他方に比べて長い２つの出力導波路とからなる入力用チ
ャネル導波路を備え、該入力用チャネル導波路を構成す
る２つの出力導波路が、前記出力用チャネル導波路にお
ける間隔の半分の間隔をもって前記第１の扇型スラブ導
波路に接続されているアレイ導波路格子において、光路
長差δｌが、 δｌ＝ｃ／（ｎ c Ｓ） （Ｓはチャネル間隔、ｃは真空中の光速、ｎ c はコアの
等価屈折率） で与えられる２つの導波路と、一方の導波路長が他方に
比べて真空中の光の波長λの４ｎ c 分の１だけ長い２つ
の出力導波路とを有する入力用チャネル導波路を備えた
アレイ導波路格子を提案する。
解決するため、基板上に配置された入力用チャネル導波
路と、出力用チャネル導波路と、チャネル導波路アレイ
と、前記入力用チャネル導波路及びチャネル導波路アレ
イを接続する第１の扇型スラブ導波路と、前記チャネル
導波路アレイ及び出力用チャネル導波路を接続する第２
の扇型スラブ導波路とを備え、前記チャネル導波路アレ
イの長さが所定の導波路長差で順次長くなるように構成
されたアレイ導波路格子であって、所定の光路長差を有
する２つの導波路と、該２つの導波路の両端をそれぞれ
結合して非対称マッハ・ツェンダー干渉計を構成する２
つの３ｄＢカプラと、入力導波路と、一方の導波路長が
他方に比べて長い２つの出力導波路とからなる入力用チ
ャネル導波路を備え、該入力用チャネル導波路を構成す
る２つの出力導波路が、前記出力用チャネル導波路にお
ける間隔の半分の間隔をもって前記第１の扇型スラブ導
波路に接続されているアレイ導波路格子において、光路
長差δｌが、 δｌ＝ｃ／（ｎ c Ｓ） （Ｓはチャネル間隔、ｃは真空中の光速、ｎ c はコアの
等価屈折率） で与えられる２つの導波路と、一方の導波路長が他方に
比べて真空中の光の波長λの４ｎ c 分の１だけ長い２つ
の出力導波路とを有する入力用チャネル導波路を備えた
アレイ導波路格子を提案する。
【０００７】本発明によれば、非対称マッハ・ツェンダ
ー干渉計と導波路長の異なる２つの出力導波路とにより
入力用チャネル導波路を構成するとともに、出力用チャ
ネル導波路における間隔の半分の間隔で第１の扇型スラ
ブ導波路に接続したことにより、各チャネルにおいてチ
ャネル間隔の半分以上のフラットな帯域を得ることがで
き、これによって光源の波長（光周波数）が変化しても
分波出力特性はほぼ一定となるフラットな光周波数特性
を備えたアレイ導波路格子を提供でき、大容量・長距離
光通信及び波長分割ルーティング等に適した光合分波器
を実現することができる。
ー干渉計と導波路長の異なる２つの出力導波路とにより
入力用チャネル導波路を構成するとともに、出力用チャ
ネル導波路における間隔の半分の間隔で第１の扇型スラ
ブ導波路に接続したことにより、各チャネルにおいてチ
ャネル間隔の半分以上のフラットな帯域を得ることがで
き、これによって光源の波長（光周波数）が変化しても
分波出力特性はほぼ一定となるフラットな光周波数特性
を備えたアレイ導波路格子を提供でき、大容量・長距離
光通信及び波長分割ルーティング等に適した光合分波器
を実現することができる。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明を詳
細に説明する。
細に説明する。
【０００９】図４は本発明のアレイ導波路格子の実施の
形態の一例、ここではアレイ導波路型光合分波器を示す
もので、基板１１上に、入力用チャネル導波路１２、出
力用チャネル導波路１３、チャネル導波路アレイ１４、
前記入力用チャネル導波路１２とチャネル導波路アレイ
１４とを接続する第１の扇型スラブ導波路１５、並びに
前記チャネル導波路アレイ１４と出力用チャネル導波路
１３とを接続する第２の扇型スラブ導波路１６が形成さ
れてなっている。
形態の一例、ここではアレイ導波路型光合分波器を示す
もので、基板１１上に、入力用チャネル導波路１２、出
力用チャネル導波路１３、チャネル導波路アレイ１４、
前記入力用チャネル導波路１２とチャネル導波路アレイ
１４とを接続する第１の扇型スラブ導波路１５、並びに
前記チャネル導波路アレイ１４と出力用チャネル導波路
１３とを接続する第２の扇型スラブ導波路１６が形成さ
れてなっている。
【００１０】図５は入力用チャネル導波路のうちの１つ
を詳細に説明するためのもので、光路長差δｌが、チャ
ネル間隔をＳ、真空中の光速をｃ、コアの等価屈折率を
ｎcとした時、 δｌ＝ｃ／（ｎc Ｓ） ……(1) で与えられる２つの導波路２１と、該２つの導波路の両
端２１をそれぞれ結合して非対称マッハ・ツェンダー干
渉計を構成する２つの３ｄＢカプラ２２，２３と、入力
導波路２４と、一方の導波路長が他方に比べて真空中の
光の波長λの４ｎc 分の１だけ長い２つの出力導波路２
５とからなっている。
を詳細に説明するためのもので、光路長差δｌが、チャ
ネル間隔をＳ、真空中の光速をｃ、コアの等価屈折率を
ｎcとした時、 δｌ＝ｃ／（ｎc Ｓ） ……(1) で与えられる２つの導波路２１と、該２つの導波路の両
端２１をそれぞれ結合して非対称マッハ・ツェンダー干
渉計を構成する２つの３ｄＢカプラ２２，２３と、入力
導波路２４と、一方の導波路長が他方に比べて真空中の
光の波長λの４ｎc 分の１だけ長い２つの出力導波路２
５とからなっている。
【００１１】図６は図５における入力用チャネル導波路
の出力導波路と第１の扇型スラブ導波路との接続部を拡
大して示すもので、図中、符号３１で示す界分布は、ア
レイ導波路格子の中心光周波数をｆｏとしてｆ＝ｆｏ−
Ｓ／４（λｏ＝ｃ／ｆｏ、λ＝ｃ／ｆ）の光に対する光
分布を示している。
の出力導波路と第１の扇型スラブ導波路との接続部を拡
大して示すもので、図中、符号３１で示す界分布は、ア
レイ導波路格子の中心光周波数をｆｏとしてｆ＝ｆｏ−
Ｓ／４（λｏ＝ｃ／ｆｏ、λ＝ｃ／ｆ）の光に対する光
分布を示している。
【００１２】ｆ＝ｆｏ−Ｓ／４の光が２つの出力導波路
２５のうち右側の出力導波路から出射するようにするた
めには、前述した非対称マッハ・ツェンダー干渉計の光
路長差δｌを熱光学効果等で微小量変化させれば良い。
２５のうち右側の出力導波路から出射するようにするた
めには、前述した非対称マッハ・ツェンダー干渉計の光
路長差δｌを熱光学効果等で微小量変化させれば良い。
【００１３】図７は図５における第２の扇型スラブ導波
路と出力用チャネル導波路との接続部を拡大して示すも
ので、ｆ＝ｆｏ−Ｓ／４の周波数の光の界分布は、アレ
イ導波路格子のパラメータを、 導波路のコア径２ａ＝７μｍ、 スラブの曲率半径Ｒ＝１１．３ｍｍ、 チャネル導波路アレイ１４の導波路長差ΔＬ＝６３μ
ｍ、 チャネル導波路アレイ１４の本数Ｎ＝１００、 入出力用チャネル導波路の間隔Ｄ＝５０μｍ、 アレイ導波路格子の中心波長λｏ＝１．５５μｍ、 チャネル間隔Ｓ＝２００ＧＨｚ、 と設定することによって、符号３２に示すように４番目
（＃４）の出力導波路の中心に集光することができる。
路と出力用チャネル導波路との接続部を拡大して示すも
ので、ｆ＝ｆｏ−Ｓ／４の周波数の光の界分布は、アレ
イ導波路格子のパラメータを、 導波路のコア径２ａ＝７μｍ、 スラブの曲率半径Ｒ＝１１．３ｍｍ、 チャネル導波路アレイ１４の導波路長差ΔＬ＝６３μ
ｍ、 チャネル導波路アレイ１４の本数Ｎ＝１００、 入出力用チャネル導波路の間隔Ｄ＝５０μｍ、 アレイ導波路格子の中心波長λｏ＝１．５５μｍ、 チャネル間隔Ｓ＝２００ＧＨｚ、 と設定することによって、符号３２に示すように４番目
（＃４）の出力導波路の中心に集光することができる。
【００１４】また、図８は図５における入力用チャネル
導波路の出力導波路と第１の扇型スラブ導波路との接続
部における、ｆ＝ｆｏの光周波数の光に対する光分布を
示すもので、符号４１に示すように、ｆ＝ｆｏの光は２
つの出力導波路２５から等しい強度で出射する。
導波路の出力導波路と第１の扇型スラブ導波路との接続
部における、ｆ＝ｆｏの光周波数の光に対する光分布を
示すもので、符号４１に示すように、ｆ＝ｆｏの光は２
つの出力導波路２５から等しい強度で出射する。
【００１５】ここで、２つの導波路２１及び３ｄＢカプ
ラ２２，２３で構成されるマッハ・ツェンダー干渉計の
２つの出力の間にはπ／２だけの位相差が存在するの
で、これを相殺するために一方（図８においては右側）
の導波路長が他方に比べて真空中の光の波長λの４ｎc
分の１だけ長くしてある。
ラ２２，２３で構成されるマッハ・ツェンダー干渉計の
２つの出力の間にはπ／２だけの位相差が存在するの
で、これを相殺するために一方（図８においては右側）
の導波路長が他方に比べて真空中の光の波長λの４ｎc
分の１だけ長くしてある。
【００１６】図９は図５における第２の扇型スラブ導波
路と出力用チャネル導波路との接続部における、ｆ＝ｆ
ｏの光周波数の光に対する光分布を示すもので、符号４
２で示すように、光周波数ｆ＝ｆｏの光の界分布は４番
目（＃４）の出力導波路のまわりで双峰性の分布をな
す。この際、出力導波路のコア幅は通常の導波路部分の
コア幅２ａ＝７μｍより広く（ここでは１５μｍ）して
あるので、双峰性の光分布から出力導波路への光結台の
量は図７の場合とほぼ同じとなる。
路と出力用チャネル導波路との接続部における、ｆ＝ｆ
ｏの光周波数の光に対する光分布を示すもので、符号４
２で示すように、光周波数ｆ＝ｆｏの光の界分布は４番
目（＃４）の出力導波路のまわりで双峰性の分布をな
す。この際、出力導波路のコア幅は通常の導波路部分の
コア幅２ａ＝７μｍより広く（ここでは１５μｍ）して
あるので、双峰性の光分布から出力導波路への光結台の
量は図７の場合とほぼ同じとなる。
【００１７】また、図１０は図５における入力用チャネ
ル導波路の出力導波路と第１の扇型スラブ導波路との接
続部における、ｆ＝ｆｏ＋Ｓ／４の光周波数の光に対す
る光分布を示すもので、符号５１に示すように、ｆ＝ｆ
ｏ＋Ｓ／４の光は非対称マッハ・ツェンダー干渉計の光
路長差δｌ＝ｃ／（ｎc Ｓ）により、２つの出力導波路
２５のうち左側の出力導波路から出射する。
ル導波路の出力導波路と第１の扇型スラブ導波路との接
続部における、ｆ＝ｆｏ＋Ｓ／４の光周波数の光に対す
る光分布を示すもので、符号５１に示すように、ｆ＝ｆ
ｏ＋Ｓ／４の光は非対称マッハ・ツェンダー干渉計の光
路長差δｌ＝ｃ／（ｎc Ｓ）により、２つの出力導波路
２５のうち左側の出力導波路から出射する。
【００１８】図１１は図５における第２の扇型スラブ導
波路と出力用チャネル導波路との接続部における、ｆ＝
ｆｏ＋Ｓ／４の光周波数の光に対する光分布を示すもの
である。
波路と出力用チャネル導波路との接続部における、ｆ＝
ｆｏ＋Ｓ／４の光周波数の光に対する光分布を示すもの
である。
【００１９】ここで、もし、ｆ＝ｆｏ＋Ｓ／４の光が図
６の場合と同様に、２つの出力導波路２５のうち右側の
出力導波路から出射した場合には、符号５２で示す光分
布のうち、破線で示すようにチャネル間隔Ｓの半分に相
当する距離のＤ／２だけ右側に移動（高周波数の光は右
上側、低周波数の光は左下側に移動）する。
６の場合と同様に、２つの出力導波路２５のうち右側の
出力導波路から出射した場合には、符号５２で示す光分
布のうち、破線で示すようにチャネル間隔Ｓの半分に相
当する距離のＤ／２だけ右側に移動（高周波数の光は右
上側、低周波数の光は左下側に移動）する。
【００２０】しかし、図１０に示すようにｆ＝ｆｏ＋Ｓ
／４の光は、図６の場合に比べてＤ／２だけ左にシフト
した、出力導波路２５のうち左側の出力導波路から出射
しているので、アレイ導波路格子の性質により、第２の
扇型スラブ導波路と出力用チャネル導波路との接続部に
おける集光位置も、符号５２で示す光分布のうち、実線
で示すようにＤ／２だけ左にシフトすることになる。
／４の光は、図６の場合に比べてＤ／２だけ左にシフト
した、出力導波路２５のうち左側の出力導波路から出射
しているので、アレイ導波路格子の性質により、第２の
扇型スラブ導波路と出力用チャネル導波路との接続部に
おける集光位置も、符号５２で示す光分布のうち、実線
で示すようにＤ／２だけ左にシフトすることになる。
【００２１】このような理由により、ｆ＝ｆｏ＋Ｓ／４
の光も４番目（＃４）の出力導波路の中心に集光するこ
とになる。
の光も４番目（＃４）の出力導波路の中心に集光するこ
とになる。
【００２２】以上説明したように、本発明のアレイ導波
路格子によれば、各信号チャネル中心の周波数をｆｉ
（ｉ＝１〜全チャネル数）として、少なくとも ｆ＝ｆｉ±Ｓ／４ ……(2) の範囲のＳ／２（チャネル間隔の半分）以上のフラット
な帯域を得ることができる。さらに、フラット化に伴っ
て挿入損失が増加する等の問題も生じないという利点が
ある。
路格子によれば、各信号チャネル中心の周波数をｆｉ
（ｉ＝１〜全チャネル数）として、少なくとも ｆ＝ｆｉ±Ｓ／４ ……(2) の範囲のＳ／２（チャネル間隔の半分）以上のフラット
な帯域を得ることができる。さらに、フラット化に伴っ
て挿入損失が増加する等の問題も生じないという利点が
ある。
【００２３】前述したアレイ導波路格子に関しマスクを
作製し、石英系光導波路を用いて本実施の形態のアレイ
導波路格子を作製した。
作製し、石英系光導波路を用いて本実施の形態のアレイ
導波路格子を作製した。
【００２４】まず、Ｓｉ基板上に火炎堆積法によってＳ
ｉ０2 下部クラッド層を堆積し、次にＧｅＯ2 をドーパ
ントとして添加したＳｉＯ2 ガラスのコア層を堆積した
後に、電気炉で透明ガラス化した。次に、図４、５に示
すようなパターンを用いてコア層をエッチングして光導
波路部分を作製した。最後に、再びＳｉ０2 上部クラッ
ド層を堆積した。
ｉ０2 下部クラッド層を堆積し、次にＧｅＯ2 をドーパ
ントとして添加したＳｉＯ2 ガラスのコア層を堆積した
後に、電気炉で透明ガラス化した。次に、図４、５に示
すようなパターンを用いてコア層をエッチングして光導
波路部分を作製した。最後に、再びＳｉ０2 上部クラッ
ド層を堆積した。
【００２５】このようにして作製したアレイ導波路格子
の光周波数特性の測定結果を図１２に示す。従来のアレ
イ導波路格子では５０ＧＨｚ程度（図３）であった１ｄ
Ｂ帯域幅（Ｂ1.0dB ）が、隣接する信号チャネルへのク
ロストークを劣化させることなく１４０ＧＨｚにまで拡
大されていることが分かる。さらに信号に対する挿入損
失は従来のアレイ導波路格子の損失とほぼ同じであるこ
とが分かる。
の光周波数特性の測定結果を図１２に示す。従来のアレ
イ導波路格子では５０ＧＨｚ程度（図３）であった１ｄ
Ｂ帯域幅（Ｂ1.0dB ）が、隣接する信号チャネルへのク
ロストークを劣化させることなく１４０ＧＨｚにまで拡
大されていることが分かる。さらに信号に対する挿入損
失は従来のアレイ導波路格子の損失とほぼ同じであるこ
とが分かる。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
所定の光路長差を有する２つの導波路と、該２つの導波
路の両端をそれぞれ結合して非対称マッハ・ツェンダー
干渉計を構成する２つの３ｄＢカプラと、入力導波路
と、一方の導波路長が他方に比べて長い２つの出力導波
路とからなる入力用チャネル導波路を備え、該入力用チ
ャネル導波路を構成する２つの出力導波路が、前記出力
用チャネル導波路における間隔の半分の間隔をもって前
記第１の扇型スラブ導波路に接続されているアレイ導波
路格子において、光路長差δｌが、 δｌ＝ｃ／（ｎ c Ｓ） （Ｓはチャネル間隔、ｃは真空中の光速、ｎ c はコアの
等価屈折率） で与えられる２つの導波路と、一方の導波路長が他方に
比べて真空中の光の波長λの４ｎ c 分の１だけ長い２つ
の出力導波路とを有する入力用チャネル導波路を備えて
いる ため、信号損失を通常のアレイ導波路格子に比べて
増大させることなく、１ｄＢ帯域幅、３ｄＢ帯域幅を大
幅に増大でき、光源の波長が温度変化等により各信号チ
ャネルの中心波長から変動した場合でも通過損失が増加
せず、波長分割ルーティングシステム等の設計の許容度
が増すという利点を有する。
所定の光路長差を有する２つの導波路と、該２つの導波
路の両端をそれぞれ結合して非対称マッハ・ツェンダー
干渉計を構成する２つの３ｄＢカプラと、入力導波路
と、一方の導波路長が他方に比べて長い２つの出力導波
路とからなる入力用チャネル導波路を備え、該入力用チ
ャネル導波路を構成する２つの出力導波路が、前記出力
用チャネル導波路における間隔の半分の間隔をもって前
記第１の扇型スラブ導波路に接続されているアレイ導波
路格子において、光路長差δｌが、 δｌ＝ｃ／（ｎ c Ｓ） （Ｓはチャネル間隔、ｃは真空中の光速、ｎ c はコアの
等価屈折率） で与えられる２つの導波路と、一方の導波路長が他方に
比べて真空中の光の波長λの４ｎ c 分の１だけ長い２つ
の出力導波路とを有する入力用チャネル導波路を備えて
いる ため、信号損失を通常のアレイ導波路格子に比べて
増大させることなく、１ｄＢ帯域幅、３ｄＢ帯域幅を大
幅に増大でき、光源の波長が温度変化等により各信号チ
ャネルの中心波長から変動した場合でも通過損失が増加
せず、波長分割ルーティングシステム等の設計の許容度
が増すという利点を有する。
【図１】従来のアレイ導波路格子の一例を示す構成図
【図２】図１における第２の扇型スラブ導波路と出力用
チャネル導波路との接続部を光分布とともに拡大して示
す図
チャネル導波路との接続部を光分布とともに拡大して示
す図
【図３】従来のアレイ導波路格子の光周波数特性の測定
結果を示す図
結果を示す図
【図４】本発明のアレイ導波路格子の実施の形態の一例
を示す構成図
を示す構成図
【図５】本発明のアレイ導波路格子の実施の形態の一例
を示す一部拡大図
を示す一部拡大図
【図６】図５における入力用チャネル導波路の出力導波
路と第１の扇型スラブ導波路との接続部を光分布ととも
に拡大して示す図
路と第１の扇型スラブ導波路との接続部を光分布ととも
に拡大して示す図
【図７】図５における第２の扇型スラブ導波路と出力用
チャネル導波路との接続部を光分布とともに拡大して示
す図
チャネル導波路との接続部を光分布とともに拡大して示
す図
【図８】図５における入力用チャネル導波路の出力導波
路と第１の扇型スラブ導波路との接続部を光分布ととも
に拡大して示す図
路と第１の扇型スラブ導波路との接続部を光分布ととも
に拡大して示す図
【図９】図５における第２の扇型スラブ導波路と出力用
チャネル導波路との接続部を光分布とともに拡大して示
す図
チャネル導波路との接続部を光分布とともに拡大して示
す図
【図１０】図５における入力用チャネル導波路の出力導
波路と第１の扇型スラブ導波路との接続部を光分布とと
もに拡大して示す図
波路と第１の扇型スラブ導波路との接続部を光分布とと
もに拡大して示す図
【図１１】図５における第２の扇型スラブ導波路と出力
用チャネル導波路との接続部を光分布とともに拡大して
示す図
用チャネル導波路との接続部を光分布とともに拡大して
示す図
【図１２】本発明のアレイ導波路格子の光周波数特性の
測定結果を示す図
測定結果を示す図
１１…基板、１２…入力用チャネル導波路、１３…出力
用チャネル導波路、１４…チャネル導波路アレイ、１５
…第１の扇型スラブ導波路、１６…第２の扇型スラブ導
波路、２１…導波路、２２，２３…３ｄＢカプラ、２４
…入力導波路、２５…出力導波路。
用チャネル導波路、１４…チャネル導波路アレイ、１５
…第１の扇型スラブ導波路、１６…第２の扇型スラブ導
波路、２１…導波路、２２，２３…３ｄＢカプラ、２４
…入力導波路、２５…出力導波路。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平５−313029（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−301721（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−94868（ＪＰ，Ａ) 特開 平８−122557（ＪＰ，Ａ) 特開 平10−73730（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G02B 6/12 - 6/14 G02B 6/28 - 6/293 ＪＩＣＳＴファイル（ＪＯＩＳ)
Claims (1)
- 【請求項１】 基板上に配置された入力用チャネル導波
路と、出力用チャネル導波路と、チャネル導波路アレイ
と、前記入力用チャネル導波路及びチャネル導波路アレ
イを接続する第１の扇型スラブ導波路と、前記チャネル
導波路アレイ及び出力用チャネル導波路を接続する第２
の扇型スラブ導波路とを備え、前記チャネル導波路アレ
イの長さが所定の導波路長差で順次長くなるように構成
されたアレイ導波路格子であって、 所定の光路長差を有する２つの導波路と、該２つの導波
路の両端をそれぞれ結合して非対称マッハ・ツェンダー
干渉計を構成する２つの３ｄＢカプラと、入力導波路
と、一方の導波路長が他方に比べて長い２つの出力導波
路とからなる入力用チャネル導波路を備え、 該入力用チャネル導波路を構成する２つの出力導波路
が、前記出力用チャネル導波路における間隔の半分の間
隔をもって前記第１の扇型スラブ導波路に接続されてい
るアレイ導波路格子において、 光路長差δｌが、 δｌ＝ｃ／（ｎ c Ｓ） （Ｓはチャネル間隔、ｃは真空中の光速、ｎ c はコアの
等価屈折率） で与えられる２つの導波路と、一方の導波路長が他方に
比べて真空中の光の波長λの４ｎ c 分の１だけ長い２つ
の出力導波路とを有する入力用チャネル導波路を備えた
ことを特徴とするアレイ導波路格子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23944396A JP3214545B2 (ja) | 1996-09-10 | 1996-09-10 | アレイ導波路格子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23944396A JP3214545B2 (ja) | 1996-09-10 | 1996-09-10 | アレイ導波路格子 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1090530A JPH1090530A (ja) | 1998-04-10 |
| JP3214545B2 true JP3214545B2 (ja) | 2001-10-02 |
Family
ID=17044857
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23944396A Expired - Fee Related JP3214545B2 (ja) | 1996-09-10 | 1996-09-10 | アレイ導波路格子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3214545B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003083535A1 (fr) * | 2002-03-28 | 2003-10-09 | Hitachi Chemical Co.,Ltd. | Guide d'ondes optique et multiplexeur/demultiplexeur optique |
| GB2410095B (en) | 2003-02-26 | 2007-08-08 | Fujitsu Ltd | Array waveguide wavelength multiplexing apparatus and optical transmitter |
| CN111830486B (zh) * | 2020-07-27 | 2023-04-28 | 电子科技大学 | 一种全固态激光雷达片上集成芯片及其设计方法 |
-
1996
- 1996-09-10 JP JP23944396A patent/JP3214545B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH1090530A (ja) | 1998-04-10 |
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Legal Events
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