JPH05313029A - 光合分波器 - Google Patents
光合分波器Info
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- JPH05313029A JPH05313029A JP12021492A JP12021492A JPH05313029A JP H05313029 A JPH05313029 A JP H05313029A JP 12021492 A JP12021492 A JP 12021492A JP 12021492 A JP12021492 A JP 12021492A JP H05313029 A JPH05313029 A JP H05313029A
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- Japan
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- waveguide
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- demultiplexer
- diffraction grating
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 通過波長範囲を広げ、より実用的な波長分割
多重光通信用の光合分波器を得る。 【構成】 １つあるいは複数の入力導波路２と、第１の
凹面型スラブ導波路３と、長さの異なる複数のチャンネ
ル導波路からなるアレー導波路回折格子４と、第２の凹
面型スラブ導波路５と、１つあるいは複数の出力導波路
６が順次接続された形状でシリコン基板１上に作製され
るアレー導波路回折格子型光合分波器において、該出力
導波路６と第２の凹面スラブ導波路５との接続部にテー
パ形状を有する導波路が設けられている。
多重光通信用の光合分波器を得る。 【構成】 １つあるいは複数の入力導波路２と、第１の
凹面型スラブ導波路３と、長さの異なる複数のチャンネ
ル導波路からなるアレー導波路回折格子４と、第２の凹
面型スラブ導波路５と、１つあるいは複数の出力導波路
６が順次接続された形状でシリコン基板１上に作製され
るアレー導波路回折格子型光合分波器において、該出力
導波路６と第２の凹面スラブ導波路５との接続部にテー
パ形状を有する導波路が設けられている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、複数の信号光を合成・
分波できる光合分波器に関し、特に、波長分割多重光通
信に用いられるアレー導波路回折格子型光合分波器の通
過波長範囲の拡大手段に関するものである。
分波できる光合分波器に関し、特に、波長分割多重光通
信に用いられるアレー導波路回折格子型光合分波器の通
過波長範囲の拡大手段に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、波長分割多重伝送システムにおい
て、多重度を増やし伝送量を飛躍的に増大させようとす
る試みがなされている。その実現には、波長間隔が１ナ
ノメートル程度、あるいはそれ以下の複数の信号光を光
合成及び光分波（以下、光合分波と称す）できる光合分
波器が必要である。しかし、従来の回折格子を用いた光
合分波器では、利用できる回折次数に制限があり十分な
分散が得られないことから、波長間隔を１ナノメートル
以下にすることができなかった。
て、多重度を増やし伝送量を飛躍的に増大させようとす
る試みがなされている。その実現には、波長間隔が１ナ
ノメートル程度、あるいはそれ以下の複数の信号光を光
合成及び光分波（以下、光合分波と称す）できる光合分
波器が必要である。しかし、従来の回折格子を用いた光
合分波器では、利用できる回折次数に制限があり十分な
分散が得られないことから、波長間隔を１ナノメートル
以下にすることができなかった。
【０００３】前記の問題を解決する有力な方法として、
アレー導波路回折格子を用いる方法が知られている（'A
rrayed-waveguide grating for wavelength division m
ulti/demultiplexer with nanometer resolution';Elec
tronics Letters, vol.26, pp.87-88,1990.および特願
平１−６５５８８を参照のこと）。図３は、アレー導波
路回折格子を用いた光合分波器の概略構成を示す模式図
である。図３において、１はシリコン基板、２は入力導
波路、３は入力側スラブ導波路、４はチャンネル導波路
からなるアレー導波路回折格子、５は出力側スラブ導波
路、６は出力導波路である。
アレー導波路回折格子を用いる方法が知られている（'A
rrayed-waveguide grating for wavelength division m
ulti/demultiplexer with nanometer resolution';Elec
tronics Letters, vol.26, pp.87-88,1990.および特願
平１−６５５８８を参照のこと）。図３は、アレー導波
路回折格子を用いた光合分波器の概略構成を示す模式図
である。図３において、１はシリコン基板、２は入力導
波路、３は入力側スラブ導波路、４はチャンネル導波路
からなるアレー導波路回折格子、５は出力側スラブ導波
路、６は出力導波路である。
【０００４】前記入力導波路２には、送信側の光ファイ
バが接続された波長多重光が導入される。前記入力側ス
ラブ導波路３において、回折効果により広がった光は、
アレー導波路回折格子４を構成する複数のチャンネル導
波路内に入り伝搬し出力側スラブ導波路５に達する。
バが接続された波長多重光が導入される。前記入力側ス
ラブ導波路３において、回折効果により広がった光は、
アレー導波路回折格子４を構成する複数のチャンネル導
波路内に入り伝搬し出力側スラブ導波路５に達する。
【０００５】前記出力側スラブ導波路５は、図４に示す
ように、出力導波路付近を曲率中心とする扇型であり、
アレー導波路回折格子４からの光は、その曲率中心付近
に集光される。ところが、アレー導波路回折格子４を構
成する個々のチャンネル導波路の長さが異なるため、チ
ャンネル導波路を伝搬後の個々の光の位相にずれが生じ
集束光の波面は傾いている。また、位相ずれ量は波長に
依存するので、集光する位置は波長により異なり、波長
別に異なった出力導波路から信号光が取り出される。
ように、出力導波路付近を曲率中心とする扇型であり、
アレー導波路回折格子４からの光は、その曲率中心付近
に集光される。ところが、アレー導波路回折格子４を構
成する個々のチャンネル導波路の長さが異なるため、チ
ャンネル導波路を伝搬後の個々の光の位相にずれが生じ
集束光の波面は傾いている。また、位相ずれ量は波長に
依存するので、集光する位置は波長により異なり、波長
別に異なった出力導波路から信号光が取り出される。
【０００６】アレー導波路回折格子４の特徴は、その波
長分解能がアレー導波路回折格子４を構成するチャンネ
ル導波路の長さの差（以降ΔＬと称する）に比例するこ
とである。すなわち、ΔＬを大きく設計することによ
り、従来の回折格子では実現できなかった波長間隔の狭
い多重光の光合分波が可能となる。
長分解能がアレー導波路回折格子４を構成するチャンネ
ル導波路の長さの差（以降ΔＬと称する）に比例するこ
とである。すなわち、ΔＬを大きく設計することによ
り、従来の回折格子では実現できなかった波長間隔の狭
い多重光の光合分波が可能となる。
【０００７】図５は、波長多重間隔１ｎｍ、多重数１３
の光合分波器の特性を波長１．５５μｍ付近で測定した
結果である。各出力導波路の通過波長が１ｎｍずつ異な
り、良好な光合分波特性が得られている。
の光合分波器の特性を波長１．５５μｍ付近で測定した
結果である。各出力導波路の通過波長が１ｎｍずつ異な
り、良好な光合分波特性が得られている。
【０００８】また、前記光合分波器では、光合分波器に
必要な入出力系、集光系、回折格子などすべての機能が
光導波回路を用いて一括して基板上に作製できるので、
レンズや回折格子を組み立てるバルク型と比較して、量
産性、特性の安定性、低価格などの点においても有利で
ある。
必要な入出力系、集光系、回折格子などすべての機能が
光導波回路を用いて一括して基板上に作製できるので、
レンズや回折格子を組み立てるバルク型と比較して、量
産性、特性の安定性、低価格などの点においても有利で
ある。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来型のアレー導波路回折格子型光合分波器においては、
通過波長範囲が狭いという問題があった。これは、光源
の波長変動により光合分波器からの出力パワーが変動す
る広帯域の変調信号の波形が歪むといった問題の原因と
なる。
来型のアレー導波路回折格子型光合分波器においては、
通過波長範囲が狭いという問題があった。これは、光源
の波長変動により光合分波器からの出力パワーが変動す
る広帯域の変調信号の波形が歪むといった問題の原因と
なる。
【００１０】本発明は、前記従来技術の問題点を解決す
るために成されたものであり、本発明の目的は、通過波
長範囲を広げ、より実用的な波長分割多重光通信用の光
合分波器を提供することにある。
るために成されたものであり、本発明の目的は、通過波
長範囲を広げ、より実用的な波長分割多重光通信用の光
合分波器を提供することにある。
【００１１】本発明の前記ならびにその他の目的及び新
規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面によって明ら
かにする。
規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面によって明ら
かにする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するため
に、本発明の光合分波器は、１つあるいは複数の入力導
波路と、第１の凹面型スラブ導波路と、長さの異なる複
数のチャンネル導波路からなるアレー導波路回折格子
と、第２の凹面型スラブ導波路と、１つあるいは複数の
出力導波路が順次接続された形状で基板上に作製される
アレー導波路回折格子型光合分波器において、該出力導
波路と第２の凹面スラブ導波路との接続部にテーパ形状
を有する導波路が設けられていることを最も主要な特徴
とする。
に、本発明の光合分波器は、１つあるいは複数の入力導
波路と、第１の凹面型スラブ導波路と、長さの異なる複
数のチャンネル導波路からなるアレー導波路回折格子
と、第２の凹面型スラブ導波路と、１つあるいは複数の
出力導波路が順次接続された形状で基板上に作製される
アレー導波路回折格子型光合分波器において、該出力導
波路と第２の凹面スラブ導波路との接続部にテーパ形状
を有する導波路が設けられていることを最も主要な特徴
とする。
【００１３】ここで、テーパ導波路の幅は、スラブ導波
路から出力導波路に向かうに従い徐々に狭まり、幅減少
率（テーパ）はモード変換損失が問題とならない程度の
小さな値である。
路から出力導波路に向かうに従い徐々に狭まり、幅減少
率（テーパ）はモード変換損失が問題とならない程度の
小さな値である。
【００１４】
【作用】前述の手段によれば、テーパ導波路を介して出
力導波路と出力側スラブ導波路を接続すると、出力導波
路内の集束光が出力導波路へ結合する効率の集束光位置
に対する依存性が小さくなる。すなわち、トレランスカ
ーブがゆるやかになる。したがって、通過波長範囲を拡
大することができる。ここで、重要なことは入力側スラ
ブ導波路と入力導波路の間には、テーパ導波路が挿入さ
れていないことであり、入力導波路の基本モードのスポ
ットサイズとテーパを用いて広げられた出力導波路のス
ポットサイズの違いが本発明の作用を生み出しているの
である。
力導波路と出力側スラブ導波路を接続すると、出力導波
路内の集束光が出力導波路へ結合する効率の集束光位置
に対する依存性が小さくなる。すなわち、トレランスカ
ーブがゆるやかになる。したがって、通過波長範囲を拡
大することができる。ここで、重要なことは入力側スラ
ブ導波路と入力導波路の間には、テーパ導波路が挿入さ
れていないことであり、入力導波路の基本モードのスポ
ットサイズとテーパを用いて広げられた出力導波路のス
ポットサイズの違いが本発明の作用を生み出しているの
である。
【００１５】
【実施例】以下、図面を参照して、本発明の一実施例を
詳細に説明する。
詳細に説明する。
【００１６】本発明の一実施例のアレー導波路回折格子
を基本とした波長分割多重光通信用の光合分波器の光導
波回路の概略構成は、図３に示すアレー導波路回折格子
用いた光合分波器の光導波回路において、１３本の入力
導波路２、入力側スラブ導波路３、８１本のチャンネル
導波路からなるアレー導波路回折格子４、出力側スラブ
導波路５、１３本の出力導波路６が順次接続された構成
になっている。
を基本とした波長分割多重光通信用の光合分波器の光導
波回路の概略構成は、図３に示すアレー導波路回折格子
用いた光合分波器の光導波回路において、１３本の入力
導波路２、入力側スラブ導波路３、８１本のチャンネル
導波路からなるアレー導波路回折格子４、出力側スラブ
導波路５、１３本の出力導波路６が順次接続された構成
になっている。
【００１７】前記光導波回路の設計にあたっては、光通
信で用いられる波長１.５５μｍ帯において、波長多重
間隔１ｎｍを得られるようにした。
信で用いられる波長１.５５μｍ帯において、波長多重
間隔１ｎｍを得られるようにした。
【００１８】図１は、本実施例の出力側スラブ導波路５
付近の詳細図である。図１において、クロストークを防
ぐため出力側スラブ導波路端における出力導波路６の間
隔は２５μｍとし、線分散は２５μｍ／ｎｍである。ま
た、アレー導波路を構成するチャンネル導波路間の光路
長差ΔＬは１２２μｍである。アレー導波路回折格子４
のピッチ（アレー導波路を構成するチャンネル導波路の
スラブ導波路端における間隔）ｄは２５μｍ、スラブ導
波路の曲率半径（焦点距離）ｆは７７６６μｍである。
アレー導波路回折格子４と出力側スラブ導波路５の接続
部には、傾斜１／２５０のテーパ導波路７が設けられて
いる。このテーパ導波路７の開口幅はピッチと一致して
いて、出力側スラブ導波路５で回折により水平方向に広
がった光を漏れなく受光し、損失を低減している。
付近の詳細図である。図１において、クロストークを防
ぐため出力側スラブ導波路端における出力導波路６の間
隔は２５μｍとし、線分散は２５μｍ／ｎｍである。ま
た、アレー導波路を構成するチャンネル導波路間の光路
長差ΔＬは１２２μｍである。アレー導波路回折格子４
のピッチ（アレー導波路を構成するチャンネル導波路の
スラブ導波路端における間隔）ｄは２５μｍ、スラブ導
波路の曲率半径（焦点距離）ｆは７７６６μｍである。
アレー導波路回折格子４と出力側スラブ導波路５の接続
部には、傾斜１／２５０のテーパ導波路７が設けられて
いる。このテーパ導波路７の開口幅はピッチと一致して
いて、出力側スラブ導波路５で回折により水平方向に広
がった光を漏れなく受光し、損失を低減している。
【００１９】前記出力導波路６と出力側スラブ導波路５
との接続部にもテーパ導波路８が設けられているが、こ
の目的は本発明の特徴である通過波長範囲を拡大するこ
とである。テーパ導波路８の開口幅は２５μｍであり、
１／２５０のテーパで徐々に細くなり最終的に出力導波
路幅７μｍとなる。なお、入力側においては、入力導波
路と入力側スラブ導波路の接続にはテーパ導波路が設け
られていないが、その他の寸法や形状などは出力側と同
様である。
との接続部にもテーパ導波路８が設けられているが、こ
の目的は本発明の特徴である通過波長範囲を拡大するこ
とである。テーパ導波路８の開口幅は２５μｍであり、
１／２５０のテーパで徐々に細くなり最終的に出力導波
路幅７μｍとなる。なお、入力側においては、入力導波
路と入力側スラブ導波路の接続にはテーパ導波路が設け
られていないが、その他の寸法や形状などは出力側と同
様である。
【００２０】本実施例の光合分波器を光分波器として使
用する際には、波長多重された光が送られてくる送信側
光ファイバが入力導波路の１つに接続され、出力導波路
には複数の受信側ファイバが接続され、波長別に分波さ
れる。光合波器として使用するときには複数の送信側フ
ァイバが入力導波路に接続され、合波された光は出力導
波路の１つに接続された受信側ファイバから得られる。
この場合、入出力が入れ替わっただけであり、損失の波
長依存性は光分波器として用いる場合と同様である。
用する際には、波長多重された光が送られてくる送信側
光ファイバが入力導波路の１つに接続され、出力導波路
には複数の受信側ファイバが接続され、波長別に分波さ
れる。光合波器として使用するときには複数の送信側フ
ァイバが入力導波路に接続され、合波された光は出力導
波路の１つに接続された受信側ファイバから得られる。
この場合、入出力が入れ替わっただけであり、損失の波
長依存性は光分波器として用いる場合と同様である。
【００２１】次に、本実施例の光合分波器の特性評価に
おいては、送信側ファイバを中央の入力導波路に接続
し、損失を測定した。
おいては、送信側ファイバを中央の入力導波路に接続
し、損失を測定した。
【００２２】図２は、本実施例と従来例の通過波長近傍
の損失特性の測定結果を示す図であり、白丸は本実施例
の出力導波路と出力側スラブ導波路の間にテーパ導波路
を有する場合のもの、また、黒丸は比較のため測定した
従来型の場合である。横軸は相対波長、縦軸は過剰損失
で、従来型の通過波長の損失を基準値０ｄＢとした。本
実施例の場合、通過波長範囲は０.６ｎｍであり、従来
型の０.３ｎｍの２倍の値が得られた。
の損失特性の測定結果を示す図であり、白丸は本実施例
の出力導波路と出力側スラブ導波路の間にテーパ導波路
を有する場合のもの、また、黒丸は比較のため測定した
従来型の場合である。横軸は相対波長、縦軸は過剰損失
で、従来型の通過波長の損失を基準値０ｄＢとした。本
実施例の場合、通過波長範囲は０.６ｎｍであり、従来
型の０.３ｎｍの２倍の値が得られた。
【００２３】なお、通過中心波長の損失が、従来型より
も２ｄＢ増加しているが、これは出力側スラブ導波路に
おける集束光のスポットサイズと、開口幅２５μｍのテ
ーパ導波路における基本モードのスポットサイズが一致
していないためである。
も２ｄＢ増加しているが、これは出力側スラブ導波路に
おける集束光のスポットサイズと、開口幅２５μｍのテ
ーパ導波路における基本モードのスポットサイズが一致
していないためである。
【００２４】この損失増加が問題となる場合には、送信
側あるいは受信側にファイバアンプなどの増幅装置を接
続し、損失を補償すれば良い。
側あるいは受信側にファイバアンプなどの増幅装置を接
続し、損失を補償すれば良い。
【００２５】なお、図２は、１つの出力導波路の損失特
性の測定結果であるが、その他の１２の出力導波路にお
いても測定を行った結果、同様の通過波長範囲の拡大効
果が得られた。
性の測定結果であるが、その他の１２の出力導波路にお
いても測定を行った結果、同様の通過波長範囲の拡大効
果が得られた。
【００２６】本実施例の光合分波器の作製にあたって
は、シリコン基板上に火炎堆積法を用いて、まず石英ガ
ラスのアンダークラッド膜を堆積し、次に、ゲルマニウ
ムが添加された屈折率の高い石英ガラスのコア膜を堆積
した。次に、フォトリソグラフィとドライエッチングを
用いてコア膜の不要部分を削り、図３に示した導波路形
状を作製した。最後に再び火炎堆積法を用いて石英ガラ
スのオーバークラッド膜を堆積した。導波路コア膜の屈
折率はクラッド膜と比較して０.７５％高い。コアの断
面形状は７μｍ×７μｍである。
は、シリコン基板上に火炎堆積法を用いて、まず石英ガ
ラスのアンダークラッド膜を堆積し、次に、ゲルマニウ
ムが添加された屈折率の高い石英ガラスのコア膜を堆積
した。次に、フォトリソグラフィとドライエッチングを
用いてコア膜の不要部分を削り、図３に示した導波路形
状を作製した。最後に再び火炎堆積法を用いて石英ガラ
スのオーバークラッド膜を堆積した。導波路コア膜の屈
折率はクラッド膜と比較して０.７５％高い。コアの断
面形状は７μｍ×７μｍである。
【００２７】また、本実施例においては、テーパ導波路
の開口幅は出力導波路の間隔と一致する２５μｍであっ
たが、本発明は、この寸法に限定される必要はない。出
力導波路の間隔より開口幅を小さくした場合には、本実
施例よりは通過波長範囲拡大の効果は少なくはなるが、
従来型よりは広い通過波長範囲が得られることは容易に
予測することができる。
の開口幅は出力導波路の間隔と一致する２５μｍであっ
たが、本発明は、この寸法に限定される必要はない。出
力導波路の間隔より開口幅を小さくした場合には、本実
施例よりは通過波長範囲拡大の効果は少なくはなるが、
従来型よりは広い通過波長範囲が得られることは容易に
予測することができる。
【００２８】さらに、前記本実施例においては、導波路
材料としてシリコン基板上に作製したＧｅドープの石英
系ガラスを用いているが、本発明はこれに限定されるも
のではなく、イオン交換法あるいはプロトン交換法で
作製したガラス導波路、ニオブ酸リチウム等の誘電体
結晶導波路、ＧａＡｓ，ＩｎＰ等の半導体導波路、
ＰＭＭＡ等の有機材料系の導波路の場合にも適用でき
る。
材料としてシリコン基板上に作製したＧｅドープの石英
系ガラスを用いているが、本発明はこれに限定されるも
のではなく、イオン交換法あるいはプロトン交換法で
作製したガラス導波路、ニオブ酸リチウム等の誘電体
結晶導波路、ＧａＡｓ，ＩｎＰ等の半導体導波路、
ＰＭＭＡ等の有機材料系の導波路の場合にも適用でき
る。
【００２９】以上の説明からわかるように、本実施例に
よれば、テーパ導波路７を介してアレー導波路回折格子
４と出力側スラブ導波路５を接続し、出力側スラブ導波
路５と出力導波路６を接続すると、出力側スラブ導波路
５内の集束光が出力導波路６へ結合する効率の集束光位
置に対する依存性が小さくなり、通過波長範囲を広げる
ことができるので、送信側の光源の波長が変動した際の
光合分波器からの出力変動を低減することができる。
よれば、テーパ導波路７を介してアレー導波路回折格子
４と出力側スラブ導波路５を接続し、出力側スラブ導波
路５と出力導波路６を接続すると、出力側スラブ導波路
５内の集束光が出力導波路６へ結合する効率の集束光位
置に対する依存性が小さくなり、通過波長範囲を広げる
ことができるので、送信側の光源の波長が変動した際の
光合分波器からの出力変動を低減することができる。
【００３０】また、通過波長範囲が広がるので広帯域の
変調信号の波形劣下を防止することもできる。
変調信号の波形劣下を防止することもできる。
【００３１】これらにより、本発明の光合分波器は、波
長分割多重（あるいは周波数分割多重）の光通信システ
ムを構築する上で、非常に大きな利点を有している。
長分割多重（あるいは周波数分割多重）の光通信システ
ムを構築する上で、非常に大きな利点を有している。
【００３２】以上、本発明を実施例に基づき具体的に説
明したが、本発明は、前記実施例に限定されるものでは
なく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更し得
ることはいうまでもない。
明したが、本発明は、前記実施例に限定されるものでは
なく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更し得
ることはいうまでもない。
【００３３】
【発明の効果】以上、説明したように、本発明によれ
ば、アレー導波路回折格子型光合分波器の出力導波路を
テーパ形状を用いて広げることにより、出力導波路内の
集束光が出力導波路へ結合する効率の集束光位置に対す
る依存性が小さくなり、通過波長範囲を広げることがで
きるので、送信側の光源の波長が変動した際の光合分波
器からの出力変動を低減することができる。
ば、アレー導波路回折格子型光合分波器の出力導波路を
テーパ形状を用いて広げることにより、出力導波路内の
集束光が出力導波路へ結合する効率の集束光位置に対す
る依存性が小さくなり、通過波長範囲を広げることがで
きるので、送信側の光源の波長が変動した際の光合分波
器からの出力変動を低減することができる。
【００３４】また、通過波長範囲が広がるので広帯域の
変調信号の波形劣下を防止することもできる。
変調信号の波形劣下を防止することもできる。
【００３５】これらにより、本発明の光合分波器は、波
長分割多重（あるいは周波数分割多重）の光通信システ
ムを構築する上で、非常に大きな利点を有している。
長分割多重（あるいは周波数分割多重）の光通信システ
ムを構築する上で、非常に大きな利点を有している。
【図１】 本発明のアレー導波路回折格子型光合分波器
の出力側スラブ導波路付近の詳細図。
の出力側スラブ導波路付近の詳細図。
【図２】 本発明の一実施例及び従来例のアレー導波路
回折格子を用いた光合分波器の通過波長付近の損失と相
対波長の関係の測定結果を示す図。
回折格子を用いた光合分波器の通過波長付近の損失と相
対波長の関係の測定結果を示す図。
【図３】 本発明の一実施例及び従来型のアレー導波路
回折格子を用いた光合分波器の導波回路の概略構成を示
す模式図。
回折格子を用いた光合分波器の導波回路の概略構成を示
す模式図。
【図４】 従来型のアレー導波路回折格子型光合分波器
の入力及び出力側スラブ導波路付近の詳細図。
の入力及び出力側スラブ導波路付近の詳細図。
【図５】 従来型のアレー導波路回折格子の損失の波長
依存性測定結果を示す図。
依存性測定結果を示す図。
１…シリコン基板、２…入力導波路、３…入力側スラブ
導波路、４…アレー導波路回折格子、５…出力側スラブ
導波路、６…出力導波路、７…テーパ導波路、８…テー
パ導波路。
導波路、４…アレー導波路回折格子、５…出力側スラブ
導波路、６…出力導波路、７…テーパ導波路、８…テー
パ導波路。
フロントページの続き (72)発明者 肥田 安弘 東京都千代田区内幸町一丁目１番６号 日 本電信電話株式会社内 (72)発明者 神宮寺 要 東京都千代田区内幸町一丁目１番６号 日 本電信電話株式会社内 (72)発明者 鈴木 扇太 東京都千代田区内幸町一丁目１番６号 日 本電信電話株式会社内 (72)発明者 井上 靖之 東京都千代田区内幸町一丁目１番６号 日 本電信電話株式会社内
Claims (1)
- 【請求項１】 １つあるいは複数の入力導波路と、第１
の凹面型スラブ導波路と、長さの異なる複数のチャンネ
ル導波路からなるアレー導波路回折格子と、第２の凹面
型スラブ導波路と、１つあるいは複数の出力導波路が順
次接続された形状で基板上に作製されるアレー導波路回
折格子型光合分波器において、該出力導波路と第２の凹
面スラブ導波路との接続部にテーパ形状を有する導波路
が設けられていることを特徴とする光合分波器。
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|---|---|---|---|
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Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP12021492A Expired - Lifetime JP3139571B2 (ja) | 1992-05-13 | 1992-05-13 | 光合分波器 |
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|---|---|
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Cited By (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2742882A1 (fr) * | 1995-12-22 | 1997-06-27 | Corning Inc | Demultiplexeur de longueurs d'onde, realise en optique integree |
| US6141152A (en) * | 1996-07-01 | 2000-10-31 | Corning Incorporated | Multiplexer/demutiplexer with flattened spectral response |
| FR2793563A1 (fr) * | 1999-05-11 | 2000-11-17 | Samsung Electronics Co Ltd | Multiplexeur/demultiplexeur de longueur d'onde optique comportant une structure de reseau de diffraction a groupement de guides d'ondes |
| EP1113297A2 (en) * | 1999-12-27 | 2001-07-04 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Arrayed waveguide grating multiplexer with tapered waveguides |
| EP1148358A2 (en) * | 2000-04-18 | 2001-10-24 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | An arrayed waveguide grating type optical multiplexer/demultiplexer |
| EP1219989A2 (en) * | 2000-12-28 | 2002-07-03 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Arrayed waveguide grating type optical multiplexer/demultiplexer |
| WO2002052319A1 (en) * | 2000-12-22 | 2002-07-04 | Alcatel Optronics Uk Limited | Arrayed waveguide grating |
| US6434303B1 (en) | 2000-07-14 | 2002-08-13 | Applied Wdm Inc. | Optical waveguide slab structures |
| US6493487B1 (en) | 2000-07-14 | 2002-12-10 | Applied Wdm, Inc. | Optical waveguide transmission devices |
| US6553165B1 (en) | 2000-07-14 | 2003-04-22 | Applied Wdm, Inc. | Optical waveguide gratings |
| WO2003083535A1 (fr) * | 2002-03-28 | 2003-10-09 | Hitachi Chemical Co.,Ltd. | Guide d'ondes optique et multiplexeur/demultiplexeur optique |
| WO2004077117A1 (ja) * | 2003-02-26 | 2004-09-10 | Fujitsu Limited | アレイ導波路型波長合分波器および光伝送装置 |
| US6842560B2 (en) | 2001-02-27 | 2005-01-11 | Ntt Electronics Corporation | Optical multiplexing circuit and optical multiplexer |
| US6898349B2 (en) | 2001-04-25 | 2005-05-24 | Nhk Spring Co., Ltd. | Optical multi-demultiplexer |
| US6920265B2 (en) | 2000-12-28 | 2005-07-19 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Arrayed waveguide grating type optical multiplexer/demultiplexer |
| KR100520027B1 (ko) * | 1997-03-07 | 2005-10-10 | 텔레폰악티에볼라겟엘엠에릭슨(펍) | 적어도 하나의 브래그-격자 구조체를 포함하는 광 파장 선택 디바이스 |
-
1992
- 1992-05-13 JP JP12021492A patent/JP3139571B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (28)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0811281A1 (en) * | 1995-12-22 | 1997-12-10 | Corning Incorporated | Wavelength demultiplexer constructed using integrated optics |
| EP0811281A4 (en) * | 1995-12-22 | 1999-03-10 | Corning Inc | WAVELENGTH MULTIPLEXER WITH INTEGRATED OPTICS |
| FR2742882A1 (fr) * | 1995-12-22 | 1997-06-27 | Corning Inc | Demultiplexeur de longueurs d'onde, realise en optique integree |
| US6141152A (en) * | 1996-07-01 | 2000-10-31 | Corning Incorporated | Multiplexer/demutiplexer with flattened spectral response |
| KR100520027B1 (ko) * | 1997-03-07 | 2005-10-10 | 텔레폰악티에볼라겟엘엠에릭슨(펍) | 적어도 하나의 브래그-격자 구조체를 포함하는 광 파장 선택 디바이스 |
| FR2793563A1 (fr) * | 1999-05-11 | 2000-11-17 | Samsung Electronics Co Ltd | Multiplexeur/demultiplexeur de longueur d'onde optique comportant une structure de reseau de diffraction a groupement de guides d'ondes |
| US6836591B2 (en) | 1999-12-27 | 2004-12-28 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Arrayed waveguide grating type optical multiplexer/demultiplexer and optical waveguide circuit |
| EP1113297A2 (en) * | 1999-12-27 | 2001-07-04 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Arrayed waveguide grating multiplexer with tapered waveguides |
| EP1113297A3 (en) * | 1999-12-27 | 2004-04-07 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Arrayed waveguide grating multiplexer with tapered waveguides |
| EP1148358A2 (en) * | 2000-04-18 | 2001-10-24 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | An arrayed waveguide grating type optical multiplexer/demultiplexer |
| EP1148358A3 (en) * | 2000-04-18 | 2004-03-31 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | An arrayed waveguide grating type optical multiplexer/demultiplexer |
| US6816651B2 (en) | 2000-04-18 | 2004-11-09 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Arrayed waveguide grating optical multiplexer/demultiplexer and method for manufacturing the same |
| US6493487B1 (en) | 2000-07-14 | 2002-12-10 | Applied Wdm, Inc. | Optical waveguide transmission devices |
| US6553165B1 (en) | 2000-07-14 | 2003-04-22 | Applied Wdm, Inc. | Optical waveguide gratings |
| US6434303B1 (en) | 2000-07-14 | 2002-08-13 | Applied Wdm Inc. | Optical waveguide slab structures |
| WO2002052319A1 (en) * | 2000-12-22 | 2002-07-04 | Alcatel Optronics Uk Limited | Arrayed waveguide grating |
| US7058262B2 (en) | 2000-12-22 | 2006-06-06 | Michael Lanker | Arrayed waveguide grating |
| EP1219989A2 (en) * | 2000-12-28 | 2002-07-03 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Arrayed waveguide grating type optical multiplexer/demultiplexer |
| US6920265B2 (en) | 2000-12-28 | 2005-07-19 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Arrayed waveguide grating type optical multiplexer/demultiplexer |
| EP1219989A3 (en) * | 2000-12-28 | 2004-04-07 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Arrayed waveguide grating type optical multiplexer/demultiplexer |
| US6842560B2 (en) | 2001-02-27 | 2005-01-11 | Ntt Electronics Corporation | Optical multiplexing circuit and optical multiplexer |
| US6898349B2 (en) | 2001-04-25 | 2005-05-24 | Nhk Spring Co., Ltd. | Optical multi-demultiplexer |
| WO2003083535A1 (fr) * | 2002-03-28 | 2003-10-09 | Hitachi Chemical Co.,Ltd. | Guide d'ondes optique et multiplexeur/demultiplexeur optique |
| CN1318868C (zh) * | 2002-03-28 | 2007-05-30 | 日立化成工业株式会社 | 光波导和光合/分波器 |
| US7606493B2 (en) | 2002-03-28 | 2009-10-20 | Hitachi Chemical Co., Ltd. | Optical waveguide and optical multiplexer-demultiplexer |
| WO2004077117A1 (ja) * | 2003-02-26 | 2004-09-10 | Fujitsu Limited | アレイ導波路型波長合分波器および光伝送装置 |
| US6985657B2 (en) * | 2003-02-26 | 2006-01-10 | Fujitsu Limited | Arrayed waveguide wavelength multiplexing apparatus and optical transmitter |
| GB2410095B (en) * | 2003-02-26 | 2007-08-08 | Fujitsu Ltd | Array waveguide wavelength multiplexing apparatus and optical transmitter |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
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