JP2002341158A - アレイ導波路格子型光波長合分波器 - Google Patents
アレイ導波路格子型光波長合分波器Info
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- JP2002341158A JP2002341158A JP2001143573A JP2001143573A JP2002341158A JP 2002341158 A JP2002341158 A JP 2002341158A JP 2001143573 A JP2001143573 A JP 2001143573A JP 2001143573 A JP2001143573 A JP 2001143573A JP 2002341158 A JP2002341158 A JP 2002341158A
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- waveguide
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- slab waveguide
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 大きな過剰損失を発生させることなく、チャ
ンネル波長間隔に対して相対的に広い３ｄＢ透過スペク
トル幅を実現する。 【解決手段】 単一波長の光を入力導波路１から入射し
たときに生じる第２スラブ導波路５出力端での光強度分
布と、第２スラブ導波路５出力端に接続する出力導波路
６の導波モードの光強度分布が共にガウス形状であり、
かつその半値幅が故意に異なるように回路設計を行う。
第１スラブ導波路２に接続する入力導波路幅と第２スラ
ブ導波路５に接続する出力導波路幅とを互いに異ならせ
る。または、第１スラブ導波路２の長さと第２スラブ導
波路５の長さを互いに異ならせる。または、第１スラブ
導波路２に接続するアレイ導波路４の間隔と、第２スラ
ブ導波路５に接続するアレイ導波路４の間隔とを互いに
異ならせる。
ンネル波長間隔に対して相対的に広い３ｄＢ透過スペク
トル幅を実現する。 【解決手段】 単一波長の光を入力導波路１から入射し
たときに生じる第２スラブ導波路５出力端での光強度分
布と、第２スラブ導波路５出力端に接続する出力導波路
６の導波モードの光強度分布が共にガウス形状であり、
かつその半値幅が故意に異なるように回路設計を行う。
第１スラブ導波路２に接続する入力導波路幅と第２スラ
ブ導波路５に接続する出力導波路幅とを互いに異ならせ
る。または、第１スラブ導波路２の長さと第２スラブ導
波路５の長さを互いに異ならせる。または、第１スラブ
導波路２に接続するアレイ導波路４の間隔と、第２スラ
ブ導波路５に接続するアレイ導波路４の間隔とを互いに
異ならせる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、平面光導波路で構
成されたアレイ導波路格子型光波長合分波器に関し、よ
り詳細には、僅かな過剰損失と引き替えに透過スペクト
ル幅が広くなるアレイ導波路格子型光波長合分波器に関
する。
成されたアレイ導波路格子型光波長合分波器に関し、よ
り詳細には、僅かな過剰損失と引き替えに透過スペクト
ル幅が広くなるアレイ導波路格子型光波長合分波器に関
する。
【０００２】
【従来の技術】現在、通信容量の拡大のために複数の光
波長を用いた光波長多重通信システム（ＷＤＭシステ
ム）の開発が盛んである。この光波長多重通信システム
において、送信側で複数の波長の光信号を合波する光波
長合波器として、アレイ導波路格子型光波長合分波器
（以下、ＡＷＧという）が広く使用されている。その理
由は、ＡＷＧは複数波長（２〜数百波）の光を一括して
合分波でき、他の技術に比べてコンパクトで低コスト化
が図られるためである。
波長を用いた光波長多重通信システム（ＷＤＭシステ
ム）の開発が盛んである。この光波長多重通信システム
において、送信側で複数の波長の光信号を合波する光波
長合波器として、アレイ導波路格子型光波長合分波器
（以下、ＡＷＧという）が広く使用されている。その理
由は、ＡＷＧは複数波長（２〜数百波）の光を一括して
合分波でき、他の技術に比べてコンパクトで低コスト化
が図られるためである。
【０００３】図１２は、従来のＡＷＧの回路構成を示す
図で、入力導波路５１に入射された光は、第１のスラブ
導波路５２でシリコン基板５３と水平方向に回折し、複
数のアレイ導波路５４に結合する。隣接するアレイ導波
路５４はそれぞれ一定の光路長差を有しているため、第
２のスラブ導波路５５に結合する際に、複数の光ビーム
は波長に依存する位相差を有する。この結果として、複
数の光ビームの干渉で生じる焦点は波長に依存して位置
が変化する。その焦点位置に予め複数の出力導波路５を
配置しておくことにより、ＡＷＧは複数光波長を一括し
て合分波する光波長合分波器として機能する。ここで第
２のスラブ導波路端に形成される焦点は、入力導波路端
における光強度分布に等しい。
図で、入力導波路５１に入射された光は、第１のスラブ
導波路５２でシリコン基板５３と水平方向に回折し、複
数のアレイ導波路５４に結合する。隣接するアレイ導波
路５４はそれぞれ一定の光路長差を有しているため、第
２のスラブ導波路５５に結合する際に、複数の光ビーム
は波長に依存する位相差を有する。この結果として、複
数の光ビームの干渉で生じる焦点は波長に依存して位置
が変化する。その焦点位置に予め複数の出力導波路５を
配置しておくことにより、ＡＷＧは複数光波長を一括し
て合分波する光波長合分波器として機能する。ここで第
２のスラブ導波路端に形成される焦点は、入力導波路端
における光強度分布に等しい。
【０００４】一般に、ＡＷＧを合波器として使用する場
合は、入力導波路を複数本、出力導波路を１本設計し、
それぞれ光ファイバと隣接する。ＡＷＧの原理に関して
は、H. Takahashi, S. Suzuki. and I. Nishi. “Wave
length multiplexer based on SiO2 TaO2 arrayed-wav
eguide grating,”IEEE Journal of Lightwave Technol
ogy, vol. 12, no. 6, pp. 989-995, 1994.に記載され
ている。
合は、入力導波路を複数本、出力導波路を１本設計し、
それぞれ光ファイバと隣接する。ＡＷＧの原理に関して
は、H. Takahashi, S. Suzuki. and I. Nishi. “Wave
length multiplexer based on SiO2 TaO2 arrayed-wav
eguide grating,”IEEE Journal of Lightwave Technol
ogy, vol. 12, no. 6, pp. 989-995, 1994.に記載され
ている。
【０００５】従来のＡＷＧでは、原理的に損失の低いガ
ウス型の透過スペクトルを有するガウス型ＡＷＧと、３
〜４ｄＢ程度の過剰損失があるが透過スペクトルが平坦
なフラット型ＡＷＧとが知られている。
ウス型の透過スペクトルを有するガウス型ＡＷＧと、３
〜４ｄＢ程度の過剰損失があるが透過スペクトルが平坦
なフラット型ＡＷＧとが知られている。
【０００６】［第１従来例］ガウス型ＡＷＧは、第１の
スラブ導波路と、複数のアレイ導波路と、第２のスラブ
導波路とが線対称に配置されており、かつ第１のスラブ
導波路に接続する入力導波路幅と第２のスラブ導波路に
接続する出力導波路幅とが等しい。このため、入力導波
路から入射された任意の波長の光は、第２のスラブ導波
路端に入力導波路の導波モードに相当する光強度分布を
形成する。この光強度分布は出力導波路の導波モードに
等しいため、特定の波長では、入射された光は原理的に
損失なしに出力導波路と結合し、外部に出射される。こ
の場合の透過スペクトル幅は、第１および第２のスラブ
導波路に接続する入出力導波路端での光強度分布の重な
り積分で決まる。
スラブ導波路と、複数のアレイ導波路と、第２のスラブ
導波路とが線対称に配置されており、かつ第１のスラブ
導波路に接続する入力導波路幅と第２のスラブ導波路に
接続する出力導波路幅とが等しい。このため、入力導波
路から入射された任意の波長の光は、第２のスラブ導波
路端に入力導波路の導波モードに相当する光強度分布を
形成する。この光強度分布は出力導波路の導波モードに
等しいため、特定の波長では、入射された光は原理的に
損失なしに出力導波路と結合し、外部に出射される。こ
の場合の透過スペクトル幅は、第１および第２のスラブ
導波路に接続する入出力導波路端での光強度分布の重な
り積分で決まる。
【０００７】したがって、透過スペクトル幅を広げるた
めに、入出力導波路がスラブに接続する部分にその光強
度分布を広げるためのテーパ導波路を付加している。た
だし、複数波長の合波器を形成する場合、入力導波路は
チャンネル波長間隔に相当する間隔で配置する必要があ
る。このためテーパ導波路幅としては、その入力導波路
間隔が限界であった。この場合、３ｄＢ透過幅はチャン
ネル波長間隔の６割程度になる。
めに、入出力導波路がスラブに接続する部分にその光強
度分布を広げるためのテーパ導波路を付加している。た
だし、複数波長の合波器を形成する場合、入力導波路は
チャンネル波長間隔に相当する間隔で配置する必要があ
る。このためテーパ導波路幅としては、その入力導波路
間隔が限界であった。この場合、３ｄＢ透過幅はチャン
ネル波長間隔の６割程度になる。
【０００８】図１３は、実際に作製した１００ＧＨｚ１
６チャンネル・ガウス型ＡＷＧの透過スペクトル（中央
３ポートの特性）を示す図で、挿入損失（最も損失の小
さくなる波長における挿入損失）は、２．８ｄＢ、３ｄ
Ｂ透過幅は５８ＧＨｚであった。
６チャンネル・ガウス型ＡＷＧの透過スペクトル（中央
３ポートの特性）を示す図で、挿入損失（最も損失の小
さくなる波長における挿入損失）は、２．８ｄＢ、３ｄ
Ｂ透過幅は５８ＧＨｚであった。
【０００９】［第２従来例］一方、フラット型ＡＷＧで
は、第２のスラブ導波路端での光強度分布として双峰性
の分布を実現することにより、出力導波路の導波モード
との重なり積分が平坦な透過スペクトルを有するように
設計されている。双峰性光強度分布を実現する方法とし
ては、入力導波路端にマルチモード干渉計（ＭＭＩ）、
パラボラホーン、Ｙ分岐などを配置したものが報告され
ている。この原理については、J. B.D. Soole, M. R. A
mersfoort, H. P. LeBlanc. N. C. Andreadakis, A. Ra
jhel,and C. Caneau. “Passband flattening of array
ed waveguide filters, ”LEOS '95(San Francisco), p
aper PD 1.3, Oct. 1995. および K. Okamoto and A.Su
gita,“Flat spectral response arrayed-waveguide gr
ating multiplexer with parabolic waveguide horn
s,”Electron. Lett., vol. 32, no. 18, pp. 1661-166
2, Aug., 1996.に記載されている。これらの方法では、
チャンネル波長間隔の８割程度の３ｄＢ透過幅が得られ
る代わりに過剰損失が３〜４ｄＢ程度が生じる。これ
は、第２のスラブ導波路端に形成される双峰性光強度分
布と、出力導波路の導波モードであるガウス型光強度分
布とが互いに大きく異なるため、およびＭＭＩ，パラボ
ラホーン、Ｙ分岐などによる過剰損失が原因である。
は、第２のスラブ導波路端での光強度分布として双峰性
の分布を実現することにより、出力導波路の導波モード
との重なり積分が平坦な透過スペクトルを有するように
設計されている。双峰性光強度分布を実現する方法とし
ては、入力導波路端にマルチモード干渉計（ＭＭＩ）、
パラボラホーン、Ｙ分岐などを配置したものが報告され
ている。この原理については、J. B.D. Soole, M. R. A
mersfoort, H. P. LeBlanc. N. C. Andreadakis, A. Ra
jhel,and C. Caneau. “Passband flattening of array
ed waveguide filters, ”LEOS '95(San Francisco), p
aper PD 1.3, Oct. 1995. および K. Okamoto and A.Su
gita,“Flat spectral response arrayed-waveguide gr
ating multiplexer with parabolic waveguide horn
s,”Electron. Lett., vol. 32, no. 18, pp. 1661-166
2, Aug., 1996.に記載されている。これらの方法では、
チャンネル波長間隔の８割程度の３ｄＢ透過幅が得られ
る代わりに過剰損失が３〜４ｄＢ程度が生じる。これ
は、第２のスラブ導波路端に形成される双峰性光強度分
布と、出力導波路の導波モードであるガウス型光強度分
布とが互いに大きく異なるため、およびＭＭＩ，パラボ
ラホーン、Ｙ分岐などによる過剰損失が原因である。
【００１０】図１４は、パラボラホーンを入力導波路端
に配置して作製した１００ＧＨｚ１６チャンネル・フラ
ット型ＡＷＧの透過スペクトル（中央３ポートのスペク
トル）を示す図で、挿入損失は７．５ｄＢ、３ｄＢ透過
幅は７７ＧＨｚであった。
に配置して作製した１００ＧＨｚ１６チャンネル・フラ
ット型ＡＷＧの透過スペクトル（中央３ポートのスペク
トル）を示す図で、挿入損失は７．５ｄＢ、３ｄＢ透過
幅は７７ＧＨｚであった。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、ガウ
ス型ＡＷＧは損失が低い代わりにチャンネル波長間隔の
６割程度の３ｄＢ透過幅しか得られないという問題があ
った。一方、フラット型ＡＷＧはチャンネル波長間隔の
８割程度の３ｄＢ透過幅が得られるが、過剰損失が３〜
４ｄＢ程度生じるという問題があった。
ス型ＡＷＧは損失が低い代わりにチャンネル波長間隔の
６割程度の３ｄＢ透過幅しか得られないという問題があ
った。一方、フラット型ＡＷＧはチャンネル波長間隔の
８割程度の３ｄＢ透過幅が得られるが、過剰損失が３〜
４ｄＢ程度生じるという問題があった。
【００１２】本発明は、このような問題に鑑みてなされ
たもので、その目的とするところは、大きな過剰損失を
発生させることなく、チャンネル波長間隔に対して相対
的に広い３ｄＢ透過スペクトル幅を実現するアレイ導波
路格子型光波長合分波器を提供することにある。
たもので、その目的とするところは、大きな過剰損失を
発生させることなく、チャンネル波長間隔に対して相対
的に広い３ｄＢ透過スペクトル幅を実現するアレイ導波
路格子型光波長合分波器を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明は、このような目
的を達成するために、請求項１に記載の発明は、基板上
に形成された第１のスラブ導波路と、第２のスラブ導波
路と、それらを結ぶ互いに長さの異なる複数のアレイ導
波路と、前記第１のスラブ導波路の入力端に接続する複
数本の入力導波路と、前記第２のスラブ導波路の出力端
に接続する１本あるいは複数本の出力導波路とから構成
されるアレイ導波路格子型光波長合分波器において、単
一波長の光を前記入力導波路から入射したときに生じる
前記第２のスラブ導波路の出力端での光強度分布と、前
記第２のスラブ導波路の出力端に接続する出力導波路の
導波モードの光強度分布が共にガウス形状であり、かつ
その半値幅が故意に異なるように設計されることを特徴
とする。
的を達成するために、請求項１に記載の発明は、基板上
に形成された第１のスラブ導波路と、第２のスラブ導波
路と、それらを結ぶ互いに長さの異なる複数のアレイ導
波路と、前記第１のスラブ導波路の入力端に接続する複
数本の入力導波路と、前記第２のスラブ導波路の出力端
に接続する１本あるいは複数本の出力導波路とから構成
されるアレイ導波路格子型光波長合分波器において、単
一波長の光を前記入力導波路から入射したときに生じる
前記第２のスラブ導波路の出力端での光強度分布と、前
記第２のスラブ導波路の出力端に接続する出力導波路の
導波モードの光強度分布が共にガウス形状であり、かつ
その半値幅が故意に異なるように設計されることを特徴
とする。
【００１４】また、請求項２に記載の発明は、請求項１
に記載の発明において、前記第１のスラブ導波路に接続
する入力導波路幅と、前記第２のスラブ導波路に接続す
る出力導波路幅が互いに異なることを特徴とする。
に記載の発明において、前記第１のスラブ導波路に接続
する入力導波路幅と、前記第２のスラブ導波路に接続す
る出力導波路幅が互いに異なることを特徴とする。
【００１５】また、請求項３に記載の発明は、請求項２
に記載の発明において、前記第２のスラブ導波路に接続
する出力導波路幅が、前記第１のスラブ導波路に接続す
る複数本の入力導波路間隔よりも広いことを特徴とす
る。
に記載の発明において、前記第２のスラブ導波路に接続
する出力導波路幅が、前記第１のスラブ導波路に接続す
る複数本の入力導波路間隔よりも広いことを特徴とす
る。
【００１６】また、請求項４に記載の発明は、請求項１
に記載の発明において、前記第１のスラブ導波路の長さ
と、前記第２のスラブ導波路の長さが互いに異なること
を特徴とする。
に記載の発明において、前記第１のスラブ導波路の長さ
と、前記第２のスラブ導波路の長さが互いに異なること
を特徴とする。
【００１７】また、請求項５に記載の発明は、請求項１
に記載の発明において、前記第１のスラブ導波路に接続
するアレイ導波路の間隔と、前記第２のスラブ導波路に
接続するアレイ導波路の間隔とが互いに異なることを特
徴とする。
に記載の発明において、前記第１のスラブ導波路に接続
するアレイ導波路の間隔と、前記第２のスラブ導波路に
接続するアレイ導波路の間隔とが互いに異なることを特
徴とする。
【００１８】また、請求項６に記載の発明は、請求項１
に記載の発明において、前記アレイ導波路において、隣
接するアレイ導波路の長さの差が一定ではなく、アレイ
導波路の長さがその番号に対して２次関数で表されるこ
とを特徴とする。
に記載の発明において、前記アレイ導波路において、隣
接するアレイ導波路の長さの差が一定ではなく、アレイ
導波路の長さがその番号に対して２次関数で表されるこ
とを特徴とする。
【００１９】このような構成により、僅かな過剰損失で
チャンネル波長間隔に対して相対的に広い透過スペクト
ル幅を有するアレイ導波路格子型光波長合分波器を実現
することができる。
チャンネル波長間隔に対して相対的に広い透過スペクト
ル幅を有するアレイ導波路格子型光波長合分波器を実現
することができる。
【００２０】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を詳細に説明する。
施の形態を詳細に説明する。
【００２１】［第１の実施形態］図１は、本発明の第１
実施形態における１００ＧＨｚ間隔１６チャンネルＡＷ
Ｇの回路構成を示す図で、シリコン基板３上に形成され
た第１のスラブ導波路２と、第２のスラブ導波路５と、
それらを結ぶ互いに長さの異なる複数のアレイ導波路４
と、第１のスラブ導波路２の入力端に接続する複数本の
入力導波路１と、第２のスラブ導波路５の出力端に接続
する１本あるいは複数本の出力導波路６とから構成され
るアレイ導波路格子型光波長合分波器であって、１６本
の入力導波路１と、第１のスラブ導波路２と、１００本
のアレイ導波路４と、第２のスラブ導波路５と、１本の
出力導波路６と、入力導波路１と第１のスラブ導波路２
とを接続する第１テーパ導波路１ａと、出力導波路６と
第２のスラブ導波路５とを接続する第２テーパ導波路６
ａから構成されている。
実施形態における１００ＧＨｚ間隔１６チャンネルＡＷ
Ｇの回路構成を示す図で、シリコン基板３上に形成され
た第１のスラブ導波路２と、第２のスラブ導波路５と、
それらを結ぶ互いに長さの異なる複数のアレイ導波路４
と、第１のスラブ導波路２の入力端に接続する複数本の
入力導波路１と、第２のスラブ導波路５の出力端に接続
する１本あるいは複数本の出力導波路６とから構成され
るアレイ導波路格子型光波長合分波器であって、１６本
の入力導波路１と、第１のスラブ導波路２と、１００本
のアレイ導波路４と、第２のスラブ導波路５と、１本の
出力導波路６と、入力導波路１と第１のスラブ導波路２
とを接続する第１テーパ導波路１ａと、出力導波路６と
第２のスラブ導波路５とを接続する第２テーパ導波路６
ａから構成されている。
【００２２】ＡＷＧの透過スペクトルは、入力導波路１
が第１のスラブ導波路２に接続する位置での光強度分布
と、出力導波路６が第２のスラブ導波路５に接続する位
置での光強度分布との重なり積分で決まる。このため、
透過スペクトル幅を広げるためには第１および第２テー
パ導波路１ａ，６ａを用いて、各々の光強度分布を広げ
ればよい。しかし、従来のＡＷＧでは損失を最小にする
ため第１テーパ導波路幅と第２テーパ導波路幅を等しく
していたため、その幅の限界はチャンネル波長間隔に相
当する第１テーパ導波路間隔で決まっていた。
が第１のスラブ導波路２に接続する位置での光強度分布
と、出力導波路６が第２のスラブ導波路５に接続する位
置での光強度分布との重なり積分で決まる。このため、
透過スペクトル幅を広げるためには第１および第２テー
パ導波路１ａ，６ａを用いて、各々の光強度分布を広げ
ればよい。しかし、従来のＡＷＧでは損失を最小にする
ため第１テーパ導波路幅と第２テーパ導波路幅を等しく
していたため、その幅の限界はチャンネル波長間隔に相
当する第１テーパ導波路間隔で決まっていた。
【００２３】これに対して、本実施例では図２及び図３
に示すように、第１テーパ導波路幅と第２テーパ導波路
幅を故意に異ならせた。その結果として、原理的に僅か
な過剰損失が生じる代わりに、広い３ｄＢ透過幅を実現
できる。つまり、単一波長の光を入力導波路１から入射
したときに生じる第２のスラブ導波路５の出力端での光
強度分布と、第２のスラブ導波路５の出力端に接続する
出力導波路６の導波モードの光強度分布とが共にガウス
形状であり、かつその半値幅が異なるようにしたもので
ある。
に示すように、第１テーパ導波路幅と第２テーパ導波路
幅を故意に異ならせた。その結果として、原理的に僅か
な過剰損失が生じる代わりに、広い３ｄＢ透過幅を実現
できる。つまり、単一波長の光を入力導波路１から入射
したときに生じる第２のスラブ導波路５の出力端での光
強度分布と、第２のスラブ導波路５の出力端に接続する
出力導波路６の導波モードの光強度分布とが共にガウス
形状であり、かつその半値幅が異なるようにしたもので
ある。
【００２４】本実施例のデメリットは、隣接クロストー
クが悪いことである。ＡＷＧを分波器として使用する場
合、隣接クロストークは重要なパラメータであり、本実
施例のＡＷＧは実用上使うことができない。しかし、Ａ
ＷＧを合波器として使用する場合は、クロストークは問
題にならない。言い換えれば、本実施例は合波器として
のＡＷＧはクロストークが問題にならないことに着目し
て、如何に透過スペクトル幅を広げるかを追求した結果
生まれたアイデアである。
クが悪いことである。ＡＷＧを分波器として使用する場
合、隣接クロストークは重要なパラメータであり、本実
施例のＡＷＧは実用上使うことができない。しかし、Ａ
ＷＧを合波器として使用する場合は、クロストークは問
題にならない。言い換えれば、本実施例は合波器として
のＡＷＧはクロストークが問題にならないことに着目し
て、如何に透過スペクトル幅を広げるかを追求した結果
生まれたアイデアである。
【００２５】以下に具体的な計算結果および実験結果を
示す。本実施例では、第１のスラブ導波路端における第
１テーパ導波路間隔を２５μｍ、第１テーパ導波路幅を
２２μｍと設定した。第１テーパ導波路幅を２５μｍで
なく２２μｍにした理由は、複数の第１テーパ導波路間
で光結合が生じないようにするためである。第１及び第
２テーパ導波路を含む入出力導波路以外のアレイ導波路
及び第１及び第２スラブ導波路の設計は左右対称とし
た。
示す。本実施例では、第１のスラブ導波路端における第
１テーパ導波路間隔を２５μｍ、第１テーパ導波路幅を
２２μｍと設定した。第１テーパ導波路幅を２５μｍで
なく２２μｍにした理由は、複数の第１テーパ導波路間
で光結合が生じないようにするためである。第１及び第
２テーパ導波路を含む入出力導波路以外のアレイ導波路
及び第１及び第２スラブ導波路の設計は左右対称とし
た。
【００２６】次に、本実施例では出力導波路は１本しか
必要でないため、第２テーパ導波路幅は決まるものはな
い。そこで、第２テーパ導波路幅を変化させたときの３
ｄＢ透過幅および過剰損失を計算で求めたものを図４及
び図５に示す。第２テーパ幅を２２μｍから３５μｍに
まで増加させることにより３ｄＢ透過幅が５８ＧＨｚか
ら８０ＧＨｚにまで増加することがわかる。このときの
過剰損失は０．６ｄＢである。この過剰損失は、パラボ
ラホーンを使用した場合の３〜４ｄＢに比べて大幅に小
さな値である。
必要でないため、第２テーパ導波路幅は決まるものはな
い。そこで、第２テーパ導波路幅を変化させたときの３
ｄＢ透過幅および過剰損失を計算で求めたものを図４及
び図５に示す。第２テーパ幅を２２μｍから３５μｍに
まで増加させることにより３ｄＢ透過幅が５８ＧＨｚか
ら８０ＧＨｚにまで増加することがわかる。このときの
過剰損失は０．６ｄＢである。この過剰損失は、パラボ
ラホーンを使用した場合の３〜４ｄＢに比べて大幅に小
さな値である。
【００２７】次に、上述した計算結果に基づいて、第１
テーパ導波路幅を２２μｍに、第２テーパ導波路幅を３
５μｍに設定したＡＷＧを実際に作製した。本実施形態
の石英系ガラス導波路作製方法を、図６を用いて説明す
る。
テーパ導波路幅を２２μｍに、第２テーパ導波路幅を３
５μｍに設定したＡＷＧを実際に作製した。本実施形態
の石英系ガラス導波路作製方法を、図６を用いて説明す
る。
【００２８】シリコン基板２１上に、火炎堆積法でＳｉ
Ｏ２を主体にした下部クラッドガラススート２２と、Ｓ
ｉＯ２にＧｅＯ２を添加したコアガラススート２３を堆
積する。
Ｏ２を主体にした下部クラッドガラススート２２と、Ｓ
ｉＯ２にＧｅＯ２を添加したコアガラススート２３を堆
積する。
【００２９】その後、１０００℃以上の高温ガラス透明
化を行う。この時に、下部クラッドガラス層２２は３０
ミクロン厚、コアガラス２３は７ミクロン厚となるよう
に、ガラスの堆積を行っている。
化を行う。この時に、下部クラッドガラス層２２は３０
ミクロン厚、コアガラス２３は７ミクロン厚となるよう
に、ガラスの堆積を行っている。
【００３０】引き続き、フォトリソグラフィ技術を用い
てコアガラス２３上にエッチングマスク２４を形成し、
反応性イオンエッチングによってコアガラス２３のパタ
ーン化を行う。
てコアガラス２３上にエッチングマスク２４を形成し、
反応性イオンエッチングによってコアガラス２３のパタ
ーン化を行う。
【００３１】エッチングマスク２４を除去した後、上部
クラッドガラス２５を再度火炎堆積法で形成する。上部
クラッドガラス２５にはＢ２Ｏ３やＰ２Ｏ３などのドー
パントを添加してガラス転移温度を下げ、それぞれのコ
アガラス２３と、コアガラス２３の狭い隙間にも上部ク
ラッドガラス２５が入り込むようにしている。
クラッドガラス２５を再度火炎堆積法で形成する。上部
クラッドガラス２５にはＢ２Ｏ３やＰ２Ｏ３などのドー
パントを添加してガラス転移温度を下げ、それぞれのコ
アガラス２３と、コアガラス２３の狭い隙間にも上部ク
ラッドガラス２５が入り込むようにしている。
【００３２】図７は、このようにして作製したＡＷＧの
透過スペクトル（中央３ポートの特性）を示す図で、こ
のときの挿入損失は３．６ｄＢ、３ｄＢ透過幅は８２Ｇ
Ｈｚであった。図１３に示す第１従来例の透過スペクト
ルと比較して、挿入損失が０．８ｄＢ増加したものの、
３ｄＢ透過幅は、５８ＧＨｚから８２ＧＨｚへ大幅に拡
大した。隣接クロストークは−１８ｄＢであった。この
結果は、第２従来例と比較して８０ＧＨｚというほぼ同
程度の透過幅を実現するための過剰損失が、第２従来例
では、３〜４ｄＢであったのに比べて本実施例では０．
８ｄＢで実現された。このことは本実施例の大きな特徴
である。しかしその代わりに、第２従来例では、−３０
ｄＢ以下の隣接クロストークを実現できているのに比べ
て、本実施例では−１８ｄＢしか得られていない。
透過スペクトル（中央３ポートの特性）を示す図で、こ
のときの挿入損失は３．６ｄＢ、３ｄＢ透過幅は８２Ｇ
Ｈｚであった。図１３に示す第１従来例の透過スペクト
ルと比較して、挿入損失が０．８ｄＢ増加したものの、
３ｄＢ透過幅は、５８ＧＨｚから８２ＧＨｚへ大幅に拡
大した。隣接クロストークは−１８ｄＢであった。この
結果は、第２従来例と比較して８０ＧＨｚというほぼ同
程度の透過幅を実現するための過剰損失が、第２従来例
では、３〜４ｄＢであったのに比べて本実施例では０．
８ｄＢで実現された。このことは本実施例の大きな特徴
である。しかしその代わりに、第２従来例では、−３０
ｄＢ以下の隣接クロストークを実現できているのに比べ
て、本実施例では−１８ｄＢしか得られていない。
【００３３】したがって、クロストークが重要な意味を
持つ分波器として使用する場合は、第２従来例のタイプ
のＡＷＧの方が有利である。しかし、ＡＷＧを光合波器
として使用する場合、挿入損失と３ｄＢ透過幅が最も重
要でクロストークは問題にならない。このため、光合波
器としては第２従来例よりも本実施例のＡＷＧの方が、
挿入損失が低い分だけ優れている。
持つ分波器として使用する場合は、第２従来例のタイプ
のＡＷＧの方が有利である。しかし、ＡＷＧを光合波器
として使用する場合、挿入損失と３ｄＢ透過幅が最も重
要でクロストークは問題にならない。このため、光合波
器としては第２従来例よりも本実施例のＡＷＧの方が、
挿入損失が低い分だけ優れている。
【００３４】［第２の実施形態］図８は、本実施形態の
１００ＧＨｚ間隔１６チャンネルＡＷＧの回路構成を示
す図で、第１および第２のスラブ導波路３２，３５に接
続するテーパ導波路幅が等しい代わりに、第１および第
２のスラブ導波路端における焦点の波長依存性（線分散
と呼ぶ）が互いに異なる。より詳しくは、第１のスラブ
導波路端における線分散を第２のスラブ導波路端におけ
る線分散よりも大きな値とした。第１のスラブ導波路端
の線分散が第２のスラブ導波路端の線分散よりも大きい
ために、第２のスラブ導波路端では単一波長の入射光が
結ぶ光強度分布が入力テーパ導波路端における導波モー
ドよりも小さくなる。この光強度分布に対して入力テー
パ導波路幅と等しい幅を有する出力テーパ導波路を接続
すると、その重なり積分で決まる透過スペクトル幅は広
くなる。これが本実施形態の透過スペクトル幅を広げる
ための原理である。なお、図中符号３１は入力導波路、
３３はシリコン基板、３４はアレイ導波路、３６は出力
導波路を示している。
１００ＧＨｚ間隔１６チャンネルＡＷＧの回路構成を示
す図で、第１および第２のスラブ導波路３２，３５に接
続するテーパ導波路幅が等しい代わりに、第１および第
２のスラブ導波路端における焦点の波長依存性（線分散
と呼ぶ）が互いに異なる。より詳しくは、第１のスラブ
導波路端における線分散を第２のスラブ導波路端におけ
る線分散よりも大きな値とした。第１のスラブ導波路端
の線分散が第２のスラブ導波路端の線分散よりも大きい
ために、第２のスラブ導波路端では単一波長の入射光が
結ぶ光強度分布が入力テーパ導波路端における導波モー
ドよりも小さくなる。この光強度分布に対して入力テー
パ導波路幅と等しい幅を有する出力テーパ導波路を接続
すると、その重なり積分で決まる透過スペクトル幅は広
くなる。これが本実施形態の透過スペクトル幅を広げる
ための原理である。なお、図中符号３１は入力導波路、
３３はシリコン基板、３４はアレイ導波路、３６は出力
導波路を示している。
【００３５】次に、第１のスラブ導波路端における線分
散を第２のスラブ導波路端における線分散よりも大きな
値にするための方法について説明する。
散を第２のスラブ導波路端における線分散よりも大きな
値にするための方法について説明する。
【００３６】スラブ導波路端における線分散は次式で与
えられる。
えられる。
【００３７】
【数１】
【００３８】ここで、ｘはスラブ端での位置、λは光波
長、ｆはスラブ長（焦点距離）、ｍは回折次数（整
数）、ｄはスラブ導波路に接続するアレイ導波路の間
隔、ｎｓはスラブ導波路における実効屈折率、ｎｓはチ
ャンネル導波路の群屈折率、ｎｓはチャンネル導波路の
実効屈折率をそれぞれ意味する。
長、ｆはスラブ長（焦点距離）、ｍは回折次数（整
数）、ｄはスラブ導波路に接続するアレイ導波路の間
隔、ｎｓはスラブ導波路における実効屈折率、ｎｓはチ
ャンネル導波路の群屈折率、ｎｓはチャンネル導波路の
実効屈折率をそれぞれ意味する。
【００３９】本実施例では、第１のスラブ導波路端にお
ける線分散を第２のスラブ導波路端における線分散より
も大きくするために、（１）式からわかるように第１の
スラブ導波路長ｆ１を第２のスラブ導波路長ｆ２よりも
大きな値に設定した。具体的には、第１のスラブ導波路
長ｆ１を９．６ｍｍ、第２のスラブ導波路長ｆ２を４．
８ｍｍとした。この結果として得られた透過スペクトル
はほぼ図７に示したものと同じであった。挿入損失は
３．８ｄＢ、３ｄＢ透過幅は７９ＧＨｚであった。
ける線分散を第２のスラブ導波路端における線分散より
も大きくするために、（１）式からわかるように第１の
スラブ導波路長ｆ１を第２のスラブ導波路長ｆ２よりも
大きな値に設定した。具体的には、第１のスラブ導波路
長ｆ１を９．６ｍｍ、第２のスラブ導波路長ｆ２を４．
８ｍｍとした。この結果として得られた透過スペクトル
はほぼ図７に示したものと同じであった。挿入損失は
３．８ｄＢ、３ｄＢ透過幅は７９ＧＨｚであった。
【００４０】本実施例の方法は、第１の実施形態と原理
的には等しい。第１の実施形態が第１のスラブ導波路端
での光強度分布がそのまま第２のスラブ導波路端に転写
されて、その光強度分布よりも広い導波モードを有する
出力テーパ導波路を接続することで、僅かな過剰損失と
引き替えに広い透過スペクトル幅を実現した。これに対
して、本実施例では、第１のスラブ導波路端の線分散を
第２のスラブ導波路端の線分散よりも大きく設計するこ
とにより、第２のスラブ導波路端に結ぶ光強度分布を細
くして、その分布に比べて広い導波モードを有する出力
テーパ導波路を接続することにより、僅かな過剰損失と
引き替えに広い透過スペクトル幅を実現した。
的には等しい。第１の実施形態が第１のスラブ導波路端
での光強度分布がそのまま第２のスラブ導波路端に転写
されて、その光強度分布よりも広い導波モードを有する
出力テーパ導波路を接続することで、僅かな過剰損失と
引き替えに広い透過スペクトル幅を実現した。これに対
して、本実施例では、第１のスラブ導波路端の線分散を
第２のスラブ導波路端の線分散よりも大きく設計するこ
とにより、第２のスラブ導波路端に結ぶ光強度分布を細
くして、その分布に比べて広い導波モードを有する出力
テーパ導波路を接続することにより、僅かな過剰損失と
引き替えに広い透過スペクトル幅を実現した。
【００４１】第１及び第２のスラブ導波路の焦点距離は
互いに異ならせたＡＷＧは、既に特願平９−１５６５８
９号に記載されている。しかしながら、この特願平９−
１５６５８９号における目的は、「チャンネル波長間隔
が入力側と出力側とで異なるＡＷＧを実現する」ことに
あり、その透過スペクトル幅に関しては記載されていな
い。本発明のＡＷＧは、基本的に多入力１出力の光合波
器としての応用を想定しており、特願平９−１５６５８
９号に記載された目的とは異なる。つまり、本発明の目
的は、前述したとおり、透過スペクトル幅を広げること
にあり、特願平９−１５６５８９号にはその点の記載は
なされていない。
互いに異ならせたＡＷＧは、既に特願平９−１５６５８
９号に記載されている。しかしながら、この特願平９−
１５６５８９号における目的は、「チャンネル波長間隔
が入力側と出力側とで異なるＡＷＧを実現する」ことに
あり、その透過スペクトル幅に関しては記載されていな
い。本発明のＡＷＧは、基本的に多入力１出力の光合波
器としての応用を想定しており、特願平９−１５６５８
９号に記載された目的とは異なる。つまり、本発明の目
的は、前述したとおり、透過スペクトル幅を広げること
にあり、特願平９−１５６５８９号にはその点の記載は
なされていない。
【００４２】［第３の実施形態］図９は、本実施形態の
１００ＧＨｚ間隔１６チャンネルＡＷＧの回路構成を示
す図で、図１０は、図９のＣ部の拡大図、図１１は、図
９のＤ部の拡大図をそれぞれ示す図である。図中符号４
１は入力導波路、４２は第１のスラブ導波路、４３はシ
リコン基板、４４はアレイ導波路、４４ａ，４４ｂはテ
ーパ導波路、４５は第２のスラブ導波路、４６は出力導
波路を示している。
１００ＧＨｚ間隔１６チャンネルＡＷＧの回路構成を示
す図で、図１０は、図９のＣ部の拡大図、図１１は、図
９のＤ部の拡大図をそれぞれ示す図である。図中符号４
１は入力導波路、４２は第１のスラブ導波路、４３はシ
リコン基板、４４はアレイ導波路、４４ａ，４４ｂはテ
ーパ導波路、４５は第２のスラブ導波路、４６は出力導
波路を示している。
【００４３】本実施形態のＡＷＧの透過スペクトル幅を
広げるための原理は、第２の実施形態と等しい。すなわ
ち、第１のスラブ導波路端における線分散を第２のスラ
ブ導波路端における線分散よりも大きな値となるように
ＡＷＧの設計を行った。第２の実施形態との差異は、第
２の実施形態では第１のスラブ導波路長を第２のスラブ
導波路長よりも長く設計したのに対して、本実施例では
両者を等しくする代わりに第１のスラブ導波路に接続す
るアレイ導波路間隔ｄ１を第２のスラブ導波路に接続す
るアレイ導波路間隔ｄ２よりも小さくした。具体的に
は、ｄ１を１２μｍ、ｄ２を２５μｍと設定した。この
結果として得られた透過スペクトルはほぼ図７に示した
ものと同じであった。挿入損失は３．９ｄＢ、３ｄＢ透
過幅は８２ＧＨｚであった。
広げるための原理は、第２の実施形態と等しい。すなわ
ち、第１のスラブ導波路端における線分散を第２のスラ
ブ導波路端における線分散よりも大きな値となるように
ＡＷＧの設計を行った。第２の実施形態との差異は、第
２の実施形態では第１のスラブ導波路長を第２のスラブ
導波路長よりも長く設計したのに対して、本実施例では
両者を等しくする代わりに第１のスラブ導波路に接続す
るアレイ導波路間隔ｄ１を第２のスラブ導波路に接続す
るアレイ導波路間隔ｄ２よりも小さくした。具体的に
は、ｄ１を１２μｍ、ｄ２を２５μｍと設定した。この
結果として得られた透過スペクトルはほぼ図７に示した
ものと同じであった。挿入損失は３．９ｄＢ、３ｄＢ透
過幅は８２ＧＨｚであった。
【００４４】［第４の実施形態］本実施形態の１００Ｇ
Ｈｚ間隔１６チャンネルＡＷＧでは、アレイ導波路に故
意に緩やかな周期の位相誤差を与えることにより、第２
のスラブ導波路出力端での光強度分布に焦点ぼけを発生
させてその半値幅を広げることにより、透過スペクトル
幅を広げている。アレイ導波路に与える位相誤差はミク
ロンオーダであるため、本実施形態のＡＷＧの外観は図
１とほぼ等しくなる。
Ｈｚ間隔１６チャンネルＡＷＧでは、アレイ導波路に故
意に緩やかな周期の位相誤差を与えることにより、第２
のスラブ導波路出力端での光強度分布に焦点ぼけを発生
させてその半値幅を広げることにより、透過スペクトル
幅を広げている。アレイ導波路に与える位相誤差はミク
ロンオーダであるため、本実施形態のＡＷＧの外観は図
１とほぼ等しくなる。
【００４５】アレイ導波路の長さＬｍ（単位μｍ）は、
次式で与えた。 Ｌｍ＝Ｌ０＋６4.２・ｍ＋0.３２・ｍ２ （２） ここでｍはアレイ導波路番号（１，２，…，１００）、
Ｌ０は最も短いアレイ導波路の長さ（通常１0.０００μ
ｍ程度）を意味する。実際に石英系ガラス導波路を用い
て作製したＡＷＧの挿入損失は５．２ｄＢ、３ｄＢ透過
幅は７８ＧＨｚであった。
次式で与えた。 Ｌｍ＝Ｌ０＋６4.２・ｍ＋0.３２・ｍ２ （２） ここでｍはアレイ導波路番号（１，２，…，１００）、
Ｌ０は最も短いアレイ導波路の長さ（通常１0.０００μ
ｍ程度）を意味する。実際に石英系ガラス導波路を用い
て作製したＡＷＧの挿入損失は５．２ｄＢ、３ｄＢ透過
幅は７８ＧＨｚであった。
【００４６】上述した本発明の各実施形態では、シリコ
ン基板上の石英系ガラス導波路を用いたＡＷＧを示した
が、その導波路材料がポリイミド、シリコン、半導体、
ＬｉＮｂＯ３などであっても本発明の原理は適用可能で
ある。また、基板もシリコンに限定するものではない。
ン基板上の石英系ガラス導波路を用いたＡＷＧを示した
が、その導波路材料がポリイミド、シリコン、半導体、
ＬｉＮｂＯ３などであっても本発明の原理は適用可能で
ある。また、基板もシリコンに限定するものではない。
【００４７】本発明の要旨は、単一波長の光を入力導波
路から入射したときに生じる第２スラブ導波路出力端で
の光強度分布と第２スラブ導波路出力端に接続する出力
導波路の導波モードの光強度分布が共にガウス形状であ
り、かつその半値幅が故意に異なることを特徴とする。
路から入射したときに生じる第２スラブ導波路出力端で
の光強度分布と第２スラブ導波路出力端に接続する出力
導波路の導波モードの光強度分布が共にガウス形状であ
り、かつその半値幅が故意に異なることを特徴とする。
【００４８】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、単
一波長の光を前記入力導波路から入射したときに生じる
第２のスラブ導波路の出力端での光強度分布と、第２の
スラブ導波路の出力端に接続する出力導波路の導波モー
ドの光強度分布が共にガウス形状であり、かつその半値
幅が異なるようにしたので、僅かな過剰損失で広い透過
スペクトル幅を実現するアレイ導波路格子型光波長合分
波器が可能である。
一波長の光を前記入力導波路から入射したときに生じる
第２のスラブ導波路の出力端での光強度分布と、第２の
スラブ導波路の出力端に接続する出力導波路の導波モー
ドの光強度分布が共にガウス形状であり、かつその半値
幅が異なるようにしたので、僅かな過剰損失で広い透過
スペクトル幅を実現するアレイ導波路格子型光波長合分
波器が可能である。
【図１】本発明の第１の実施形態におけるＡＷＧの回路
構成図である。
構成図である。
【図２】図１のＡ部の拡大図（上面図）である。
【図３】図１のＢ部の拡大図（上面図）である。
【図４】第１の実施形態のＡＷＧにおいて第２テーパ導
波路幅を変化させたときの３ｄＢ透過スペクトル幅（計
算結果）を示すグラフである。
波路幅を変化させたときの３ｄＢ透過スペクトル幅（計
算結果）を示すグラフである。
【図５】第１の実施形態のＡＷＧにおいて第２テーパ導
波路幅を変化させたときの過剰損失（計算結果）を示す
グラフである。
波路幅を変化させたときの過剰損失（計算結果）を示す
グラフである。
【図６】石英系ガラス導波路作製方法を説明するための
図である。
図である。
【図７】第１の実施形態におけるＡＷＧの透過スペクト
ル（中央３ポートの特性）を示すグラフである。
ル（中央３ポートの特性）を示すグラフである。
【図８】第２の実施形態におけるＡＷＧの回路構成図で
ある。
ある。
【図９】第３の実施形態におけるＡＷＧの回路構成図で
ある。
ある。
【図１０】図９のＣ部の拡大図（上面図）である。
【図１１】図９のＤ部の拡大図（上面図）である。
【図１２】従来のＡＷＧ回路構成図である。
【図１３】従来のガウス型ＡＷＧの透過スペクトル（中
央３ポートの特性）を示すグラフである。
央３ポートの特性）を示すグラフである。
【図１４】従来のフラット型ＡＷＧの透過スペクトル
（中央３ポートの特性）を示すグラフである。
（中央３ポートの特性）を示すグラフである。
１，３１，４１，５１ 入力導波路 １ａ，６ａ，４４ａ，４４ｂ テーパ導波路 ２，３２，４２，５２ 第１のスラブ導波路 ３，３２，４３，５３ シリコン基板 ４，３４，４４，５４ アレイ導波路 ５，３４，４５，５５ 第２のスラブ導波路 ６，３６，４６，５６ 出力導波路 ２１ シリコン基板 ２２ 下部クラッドガラススート ２３ コアガラススート ２４ エッチングマスク ２５ 上部クラッドガラス
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 鬼頭 勤 東京都千代田区大手町二丁目３番１号 日 本電信電話株式会社内 (72)発明者 日比野 善典 東京都千代田区大手町二丁目３番１号 日 本電信電話株式会社内 Ｆターム(参考） 2H047 KA04 KA12 LA01 LA19 PA01 PA22 PA24 QA02 QA03 QA04 QA05 TA27
Claims (6)
- 【請求項１】 基板上に形成された第１のスラブ導波路
と、第２のスラブ導波路と、それらを結ぶ互いに長さの
異なる複数のアレイ導波路と、前記第１のスラブ導波路
の入力端に接続する複数本の入力導波路と、前記第２の
スラブ導波路の出力端に接続する１本あるいは複数本の
出力導波路とから構成されるアレイ導波路格子型光波長
合分波器において、 単一波長の光を前記入力導波路から入射したときに生じ
る前記第２のスラブ導波路の出力端での光強度分布と、
前記第２のスラブ導波路の出力端に接続する出力導波路
の導波モードの光強度分布が共にガウス形状であり、か
つその半値幅が故意に異なるように設計されていること
を特徴とするアレイ導波路格子型光波長合分波器。 - 【請求項２】 前記第１のスラブ導波路に接続する入力
導波路幅と、前記第２のスラブ導波路に接続する出力導
波路幅が互いに異なることを特徴とする請求項１に記載
のアレイ導波路格子型光波長合分波器。 - 【請求項３】 前記第２のスラブ導波路に接続する出力
導波路幅が、前記第１のスラブ導波路に接続する複数本
の入力導波路間隔よりも広いことを特徴とする請求項２
に記載のアレイ導波路格子型光波長合分波器。 - 【請求項４】 前記第１のスラブ導波路の長さと、前記
第２のスラブ導波路の長さが互いに異なることを特徴と
する請求項１に記載のアレイ導波路格子型光波長合分波
器。 - 【請求項５】 前記第１のスラブ導波路に接続するアレ
イ導波路の間隔と、前記第２のスラブ導波路に接続する
アレイ導波路の間隔とが互いに異なることを特徴とする
請求項１に記載のアレイ導波路格子型光波長合分波器。 - 【請求項６】 前記アレイ導波路において、隣接するア
レイ導波路の長さの差が一定ではなく、アレイ導波路の
長さがその番号に対して２次関数で表されることを特徴
とする請求項１に記載のアレイ導波路格子型光波長合分
波器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001143573A JP2002341158A (ja) | 2001-05-14 | 2001-05-14 | アレイ導波路格子型光波長合分波器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001143573A JP2002341158A (ja) | 2001-05-14 | 2001-05-14 | アレイ導波路格子型光波長合分波器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002341158A true JP2002341158A (ja) | 2002-11-27 |
Family
ID=18989700
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001143573A Pending JP2002341158A (ja) | 2001-05-14 | 2001-05-14 | アレイ導波路格子型光波長合分波器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002341158A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003083535A1 (fr) * | 2002-03-28 | 2003-10-09 | Hitachi Chemical Co.,Ltd. | Guide d'ondes optique et multiplexeur/demultiplexeur optique |
| JP2006243011A (ja) * | 2005-02-28 | 2006-09-14 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | アレイ導波路格子の波長特性を調整するための方法およびマスク |
| JP2014515903A (ja) * | 2011-04-22 | 2014-07-03 | 華為技術有限公司 | 光トランシーバ装置、及び波長分割多重受動光ネットワークシステム |
-
2001
- 2001-05-14 JP JP2001143573A patent/JP2002341158A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003083535A1 (fr) * | 2002-03-28 | 2003-10-09 | Hitachi Chemical Co.,Ltd. | Guide d'ondes optique et multiplexeur/demultiplexeur optique |
| US7606493B2 (en) | 2002-03-28 | 2009-10-20 | Hitachi Chemical Co., Ltd. | Optical waveguide and optical multiplexer-demultiplexer |
| JP2006243011A (ja) * | 2005-02-28 | 2006-09-14 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | アレイ導波路格子の波長特性を調整するための方法およびマスク |
| JP2014515903A (ja) * | 2011-04-22 | 2014-07-03 | 華為技術有限公司 | 光トランシーバ装置、及び波長分割多重受動光ネットワークシステム |
| US8971709B2 (en) | 2011-04-22 | 2015-03-03 | Huawei Technologies Co., Ltd. | Optical transceiver apparatus and wavelength division multiplexing passive optical network system |
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