JP2006243011A - アレイ導波路格子の波長特性を調整するための方法およびマスク - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 アレイ導波路格子の実効的な導波路数をNaとし、導波路番号をi(i=−N〜N:N=Na/2)とし、3次関数L3(i)=a3×m3+a2×m2+a1×m+a0(但し、m=i/N)を満たす形状の開口部201を有する位相調整マスク200を作製する。このマスクの開口部をアレイ導波路上に重ねて紫外光を照射することで、3次関数L3(i)の形状に応じて各導波路の屈折率が変化する。関数L3(i)の係数を適切に設定することにより、AWGの透過スペクトルの傾き、波長分散、中心波長の特性を個々に調整できるようになる。また、紫外光の照射時間を変えることで、これら特性の調整量を制御することができる。これにより、共通のマスクを使用して個々の素子の特性のばらつきを補正し、精度の高い素子を良好な歩留まりで作製することが可能になる。
【選択図】 図4
Description
L3(i)=a3×m3+a2×m2+a1×m+a0
ここで、mは規格化導波路番号であり、m=i/Nとしている。また、本実施例では、a3≠0、L3(i)>0とする。すなわち、位相調整マスクの開口部は、導波路番号の3次関数となるようにその形状を決定する。
L2(i)=b2×m2+b1×m+b0
ただし、b2≠0、L2(i)>0とする。
L1(i)=c1×m+c0
ただし、c1≠0、L1(i)>0
L3(i)’=L3(i)/Δφi
直線導波路部に均一に紫外光を照射するには、例えば直線導波路の方向に沿って紫外光をスキャンするか、またはUVランプ光を円筒形状レンズなどを通して照射することにより実現することができる。
11 MMI型の入力導波路形状
12 Y分岐型の入力導波路形状
13 パラボラ型に直線導波路を付加した入力導波路形状
100 アレイ導波路格子
101 入力用光導波路
102 分岐用スラブ光導波路
103 アレイ光導波路
104 合波用スラブ導波路
105 出力用光導波路
107 波長板
200 位相調整マスク
201、304、305、500、501 開口部
202 アライメントマーク
601 直線導波路部
Claims (13)
- アレイ導波路格子の導波路に紫外光を照射して波長特性を調整するための方法であって、
前記導波路の本数をNa本とし、前記導波路の番号をi(i=−N〜N:N=Na/2)とし、前記導波路の規格化導波路番号をm=i/Nとして、紫外光を照射する各導波路の長さをL3(i)=a3×m3+a2×m2+a1×m+a0(a3≠0)とすることを特徴とする方法。 - 請求項1に記載の方法であって、L3(i)の係数を−0.45<a1/a3<−0.06とすることを特徴とする方法。
- 請求項1または2に記載の方法であって、L3(i)の係数をa2=0とすることを特徴とする方法。
- 請求項1ないし3のいずれかに記載の方法であって、
各導波路の既に紫外光を照射した領域とは別の領域にL2(i)=b2×m2+b1×m+b0として紫外光をさらに照射することを特徴とする方法。 - 請求項1ないし4のいずれかに記載の方法であって、
各導波路の既に紫外光を照射した領域とは別の領域にL1(i)=c1×m+c0として紫外光をさらに照射することを特徴とする方法。 - 請求項1ないし5のいずれかに記載の方法であって、導波路の直線部分に紫外光を照射することを特徴とする方法。
- 請求項1ないし6のいずれかに記載の方法であって、
紫外光を照射して波長特性の調整量を測定することと、
前記調整量に基づいてL3(i)を補正することと
をさらに備えることを特徴とする方法。 - 請求項1ないし7のいずれかに記載の方法であって、紫外光を照射する時間を変えることによって波長特性の調整量を制御することを特徴とする方法。
- アレイ導波路格子の導波路に紫外光を照射して波長特性を調整するためのマスクにおいて、
前記導波路の本数をNa本とし、前記導波路の番号をi(i=−N〜N:N=Na/2)とし、前記導波路の規格化導波路番号をm=i/Nとして、前記マスクの開口部の形状をL3(i)=a3×m3+a2×m2+a1×m+a0としたことを特徴とするマスク。 - 請求項9に記載のマスクにおいて、L3(i)の係数は、−0.45<a1/a3<−0.06の範囲であることを特徴とするマスク。
- 請求項9または10に記載のマスクにおいて、L3(i)の係数は、a2=0であることを特徴とするマスク。
- 請求項9ないし11のいずれかに記載のマスクにおいて、前記マスクは、L3(i)を満たす複数の異なる形状の開口部を有することを特徴とするマスク。
- 請求項9ないし12のいずれかに記載のマスクにおいて、前記開口部は、複数に分割して形成されたことを特徴とするマスク。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009145603A (ja) * | 2007-12-13 | 2009-07-02 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光回路およびその調整方法 |
CN103608720A (zh) * | 2011-03-28 | 2014-02-26 | 格姆法尔公司 | 降低偏振灵敏度的光学设备 |
JP2014067036A (ja) * | 2012-09-25 | 2014-04-17 | Ofs Fitel Llc | 表面ナノスケール・アキシャル・フォトニックデバイスを製造する方法 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000266946A (ja) * | 1999-03-17 | 2000-09-29 | Nec Corp | 波長合分波光回路及びその製造方法 |
JP2001124944A (ja) * | 1999-10-25 | 2001-05-11 | Fujikura Ltd | 光合分波回路 |
JP2002006157A (ja) * | 2000-06-27 | 2002-01-09 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | アレイ導波路型回折格子の位相調整用マスク及びそれを用いたアレイ導波路型回折格子の製造方法 |
JP2002243959A (ja) * | 2001-02-16 | 2002-08-28 | Hitachi Cable Ltd | 光波長合分波器 |
JP2002341158A (ja) * | 2001-05-14 | 2002-11-27 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | アレイ導波路格子型光波長合分波器 |
JP2003240984A (ja) * | 2002-02-15 | 2003-08-27 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | アレイ導波路格子の位相調整用マスクおよびそれを用いたアレイ導波路格子の製造方法 |
-
2005
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000266946A (ja) * | 1999-03-17 | 2000-09-29 | Nec Corp | 波長合分波光回路及びその製造方法 |
JP2001124944A (ja) * | 1999-10-25 | 2001-05-11 | Fujikura Ltd | 光合分波回路 |
JP2002006157A (ja) * | 2000-06-27 | 2002-01-09 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | アレイ導波路型回折格子の位相調整用マスク及びそれを用いたアレイ導波路型回折格子の製造方法 |
JP2002243959A (ja) * | 2001-02-16 | 2002-08-28 | Hitachi Cable Ltd | 光波長合分波器 |
JP2002341158A (ja) * | 2001-05-14 | 2002-11-27 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | アレイ導波路格子型光波長合分波器 |
JP2003240984A (ja) * | 2002-02-15 | 2003-08-27 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | アレイ導波路格子の位相調整用マスクおよびそれを用いたアレイ導波路格子の製造方法 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009145603A (ja) * | 2007-12-13 | 2009-07-02 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光回路およびその調整方法 |
JP4731543B2 (ja) * | 2007-12-13 | 2011-07-27 | 日本電信電話株式会社 | 光回路およびその調整方法 |
CN103608720A (zh) * | 2011-03-28 | 2014-02-26 | 格姆法尔公司 | 降低偏振灵敏度的光学设备 |
JP2014512573A (ja) * | 2011-03-28 | 2014-05-22 | ジェムファイア コーポレイション | 偏光依存性が低減された光学装置 |
JP2014067036A (ja) * | 2012-09-25 | 2014-04-17 | Ofs Fitel Llc | 表面ナノスケール・アキシャル・フォトニックデバイスを製造する方法 |
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